CN1707235A - 气体泄漏探测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的一种气体泄漏探测装置，用以探测一待检测物是否漏气，气体泄漏探测装置包含一探测室、一固定板、一气体转接头、一压力检测单元、以及一抽真空单元。其中，探测室具有一开口；固定板覆盖开口，使探测室及固定板形成一密闭空间；气体转接头穿设于固定板，气体转接头的一端与待检测物连接，待检测物容置于探测室内；压力检测单元与探测室连结；抽真空单元与探测室连结。本发明比已知技术来得更精准，更有效率，可增进制程的良率，降低生产的成本。

Description

气体泄漏探测装置
技术领域
本发明关于一种气体泄漏探测装置，尤其是用于探测一气动元件是否漏气的气体泄漏探测装置。
背景技术
在半导体制程中，常常会于真空腔室(Vacuum Chamber)中，进行沉积以及溅镀等等制程。为了确保真空腔室内外完全隔绝，并且避免污染真空腔室内的环境清洁度或是真空度被破坏，制程机台常会使用气动式的元件，来协助进行基板的传送。
如图1所示，以溅镀机台(Sputter)的气动式旋转式手臂(PneumaticSwivel Arm)10为例，其为设置于真空腔室内的一气动式元件。旋转式手臂10的中央部份，具有一气体入口111及一气体出口112。通过外部空气压力的控制，使得两侧的蛇簧管12能分别伸张及收缩，并利用两端的基板承载处13得以分别夹持基板，以传送基板进行溅镀制程。蛇簧管12蛇簧管12伸张时，旋转式手臂10两端的基板承载处13得以分别夹持基板；卸去空气压力使蛇簧管12缩回后，利用一马达14使旋转式手臂10进行旋转，使两端基板承载处13的位置进行交换。一方面可将未溅镀的基板送至溅镀腔室，以进行溅镀制程；另一方面，则是将溅镀好的基板移出溅镀腔室，以再夹持一未溅镀的基板。
然而，旋转式手臂10的蛇簧管12经过长时间操作后，难免会有破损。蛇簧管12一旦破损后，原本存于蛇簧管12内的空气，就会进入溅镀的真空腔室，进而破坏了腔室的真空度，进而使得溅镀制程遭受污染，影响产品的品质。而等到在生产制程线上察觉旋转式手臂10有漏气现象时，往往要花费相当长的时间来拆卸及重新组装一个新的旋转式手臂10，因此浪费了许多的时间，也增加了生产的成本。
为了检测旋转式手臂是否漏气，已知的技术是将旋转式手臂整个放置于水中，并于旋转式手臂中通入空气，使蛇簧管伸张收缩。以肉眼观察是否有因气体漏出而产生的气泡，来判断旋转式手臂是否漏气。但是，当蛇簧管的漏气现象不明显时，所产生的气泡则会相当小，肉眼不易辨识，甚至会忽略掉而以为没有漏气的现象。
有鉴于上述问题，本案发明人因于此，亟思一种可以解决已知气动式元件漏气判断不易等问题的「气体泄漏探测装置」。
发明内容
本发明的目的为提供一种气体泄漏探测装置，其具有一模仿制程真空腔室的探测室，让待检测物在装设于制程机台之前，即能利用气体泄漏探测装置来探测是否有气体泄漏的现象，以使得每个在制程机台上的待检测物不会有漏气的现象发生。
为达上述目的，依本发明的气体泄漏探测装置，用以探测一待检测物是否漏气，气体泄漏探测装置包含一探测室、一固定板、一气体转接头、一压力检测单元、以及一抽真空单元。其中，探测室具有一开口；固定板覆盖开口，使探测室及固定板形成一密闭空间；气体转接头穿设于固定板，气体转接头的一端与待检测物连接，待检测物容置于探测室内；压力检测单元与探测室连结；抽真空单元与探测室连结。
承上所述，本发明的气体泄漏探测装置用以探测一待检测物是否漏气。与已知技术相比，本发明的气体泄漏探测装置于模拟成制程真空腔室的探测室中进行压力探测，让待检测物于探测室中充气，以测定待检测物是否漏气。在实施例中，用压力表来检测探测室中的压力变化，故较已知技术用肉眼观察水中是否有气泡产生，来得更精准，更有效率。因此，在待检测物进行定期的保养时，即进行是否漏气的探测，则可确保每个安装于制程机台上的待检测物均没有漏气的问题。如此一来，即可增进制程的良率，进而降低生产的成本。
附图说明
图1已知气动式旋转式手臂的一示意图；
图2本发明的气体泄漏探测装置的一示意图；
图3本发明的气体泄漏探测装置的另一示意图；以及
图4本发明的气体泄漏探测装置的气体转接头及固定板的连接示意图。
图中符号说明：
10旋转式手臂
111气体入口
112气体出口
12蛇簧管
13基板承载处
14马达
20气体泄漏探测装置
21探测室
211开口
22固定板
221把手
222螺丝
23气体转接头
231螺丝
231气体进入口
232气体输出口
24压力检测单元
241显示器
25抽真空单元
251抽低真空泵
252抽高真空泵
253控制器
26旋转式手臂
261蛇簧管
具体实施方式
以下将参照相关附图，说明依本发明较佳实施例的气体泄漏探测装置。
请参照图2，气体泄漏探测装置20包含一探测室21、一固定板22、一气体转接头23、一压力检测单元24、以及一抽真空单元25。
本发明的气体泄漏探测装置20，用以探测一待检测物是否漏气，而待检测物可为一气动式元件。本实施例中，待检测物以应用于溅镀机台中的一旋转式手臂26为例，以说明本发明气体泄漏探测装置20的较佳实施例。
如图3所示，本实施例中，探测室21具有一开口211。固定板22覆盖开211，使探测室21及固定板22形成一密闭空间，以模拟一真空腔室。而固定板22外露于探测室21的一侧，至少设有一把手221。设置于固定板22上的把手221，方便于搬运固定板22，使其覆盖开口211。固定板22覆盖开口211后，可利用复数螺222将固定板22与探测室21锁合住，以形成一密闭空间。
请参考图4，气体转接头23穿设于固定板22，而气体转接头23与固定板22可以是一体成型，也可以是螺合于固定板22。气体转接头23的一端与旋转式手臂26连接，而连接的方式，可利用复数螺丝231将气体转接头23的一端锁合于旋转式手臂26上。故，待固定板22与探测室21固定后，旋转式手臂26即容置于探测室21内(如图2所示)。
如图4所示，气体转接头23的另一端更具有一气体进入口232及一气体输出口233。气体进入口232用以输入气体进入旋转式手臂26，使得旋转式手臂26的蛇簧管261开始舒展；而气体输出口233是让气体得以由旋转式手臂26输出，而使得蛇簧管261收缩。
如图2所示，压力检测单元24与探测室21连结。本实施例中，压力检测单元24可为一压力表，用以检测探测室21内的压力。而压力检测单元24更可具有一显示器241，以显示压力检测单元24所检测的压力值，方便操作人员观看。当旋转式手臂26容置于探测室21内时，即可开始进行压力的检测。
如图2所示，抽真空单元25与探测室21连结。抽真空单元25包含一抽低真空泵251及一抽高真空泵252，抽高真空泵252与探测室21连接，而抽低真空泵251与抽高真空泵252连接。当旋转式手臂26容置于探测室21内时，先开启抽低真空泵251，将密闭空间内的压力降低的一定的程度后，再开启抽高真空泵252，并关闭抽低真空泵251。开启抽高真空泵252可做密闭空间的压力下降至几乎真空的状态。抽真空单元25更包含一控制器253。控制器253用以控制抽低真空泵251及抽高真空泵252的开启及关闭。
进行漏气测试时，请参照图2及图3，首先，将旋转式手臂26(待检测物)与气体转接头23连接，使得旋转式手臂26间接固定于固定板22上，排出蛇簧管261内多余的气体，以使蛇簧管261收缩。
其次，以把手221作为施力点将旋转式手臂26由开口211处进入探测室21，并进行锁合固定板22及探测室21，使旋转式手臂26容置于探测室21内。
接着，再利用控制器253控制抽真空单元25的运作，先开启抽低真空泵251，将密闭空间内的压力降低至一定的程度后，再开启抽高真空泵252。当探测室21与固定板22所形成的密闭空间的压力几乎为真空状态，且压力值保持恒定时，则可开始进行检测。
将气体由气体进入口232输入旋转式手臂26，使得气体进入蛇簧管261而膨胀。此时，若蛇簧管261上有破损，则气体则会进入探测室21，压力检测单元24则会检知压力升高的变化，操作者即得知待检测物旋转式手臂26为破损的不良品，需要进行维修。反之，若待检测物旋转式手臂26的蛇簧管261没有破损，则不会造成探测室21的压力升高。经过此探测后，再将测试正常的旋转式手臂26上线，则可确保旋转式手臂26不会漏气，故不会影响溅镀制程的良率。
综上所述，本发明的气体泄漏探测装置用以探测一待检测物是否漏气。与已知技术相比，本发明的气体泄漏探测装置于模拟成制程真空腔室的探测室中进行压力探测，让待检测物于探测室中充气，以测定待检测物是否漏气。在实施例中，用压力表来检测探测室中的压力变化，故较已知技术用肉眼观察水中是否有气泡产生，来得更精准，更有效率。因此，在待检测物进行定期的保养时，即进行是否漏气的探测，则可确保每个安装于制程机台上的待检测物均没有漏气的问题。如此一来，即可增进制程的良率，进而降低生产的成本。
以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于所述的申请专利范围中。

Claims (10)

1.一种气体泄漏探测装置，用以探测一待检测物是否漏气，其特征在于，该气体泄漏探测装置包含：
一探测室，其具有一开口；
一固定板，其覆盖该开口，使该探测室及该固定板形成一密闭空间；
一气体转接头，其穿设于该固定板，该气体转接头的一端与该待检测物连接，该待检测物容置于该探测室内；
一压力检测单元，其与该探测室连结；以及
一抽真空单元，其与该探测室连结。
2.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该待检测物为一气动式元件。
3.如权利要求2所述的气体泄漏探测装置，其中该气动式元件为一旋转式手臂。
4.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该固定板外露于该探测室的一侧，至少设有一把手。
5.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该气体转接头以复数螺丝与该待检测物连接。
6.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该气体转接头的另一端更具有一气体进入口及一气体输出口。
7.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该气体转接头与该固定板为一体成型。
8.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该压力检测单元更具有一显示器。
9.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该抽真空单元包含一抽低真空泵及一抽高真空泵，该抽高真空泵与该探测室连接，而该抽低真空泵与该抽高真空泵连接。
10.如权利要求1所述的气体泄漏探测装置，其中该抽真空单元更包含一控制器。
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