CN1676392A - 钢瓶推车 - Google Patents

钢瓶推车 Download PDF

Info

Publication number
CN1676392A
CN1676392A CN 200410017406 CN200410017406A CN1676392A CN 1676392 A CN1676392 A CN 1676392A CN 200410017406 CN200410017406 CN 200410017406 CN 200410017406 A CN200410017406 A CN 200410017406A CN 1676392 A CN1676392 A CN 1676392A
Authority
CN
China
Prior art keywords
steel cylinder
gas
opening
outside
cart
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 200410017406
Other languages
English (en)
Inventor
梁金秋
黄振聪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Original Assignee
Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp filed Critical Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority to CN 200410017406 priority Critical patent/CN1676392A/zh
Publication of CN1676392A publication Critical patent/CN1676392A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Handcart (AREA)
  • Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)

Abstract

本发明提供一种钢瓶推车,它具有气密功能可用于运送储存有具危险性气体的钢瓶,当钢瓶气体泄漏时,因其气密空间可使气体无法散布至空气中,不会对人体造成危害。所述钢瓶推车主要包含一推车主体,其内部具有一容置空间,其上并设有双层结构的容置开口,配合同样具双层结构的封盖装置可使推车整体形成良好的气密空间,推车主体上另设有气体监控系统,包含气体检知器、压力计及传感器等,用于随时侦测钢瓶气体的状态,万一发生泄漏可立即警示,让操作人员可利用排气管线让泄漏气体安全排出,对于提升工作环境安全,降低灾害有相当良好的应用。

Description

钢瓶推车
技术领域
本发明涉及一种推车的设计,特别是一种用于运送及暂时储存具危险性气体的钢瓶推车。
背景技术
在半导体的工艺中,不论是气相沉积工艺、刻蚀工艺或离子注入工艺,均需各种气体以让反应进行,这些气体通常储存在各式不同的钢瓶中,并将钢瓶放置在特定的存放地点加以保存,使用时再将存放有气体的钢瓶运送到硅片厂中供给不同工艺使用,然而由于这些气体通常具有强烈的毒性(如PH3、EF3及ASH3)或易爆性(如SiH4、H2),因此处理时必须非常谨慎,硅片厂通常将这些气体存放在特定气体储存柜中,并配合压力调节器、气体侦测器、气体清除装置等来防止气体外泄,然而当储气柜中的气体使用完毕时,必须将气体以钢瓶方式运送至储气柜中补充时,通常是以人工搬运钢瓶,但这样十分容易因为人为疏忽造成钢瓶中气体外泄而导致灾害发生,且每次运送的数量有限,运送效率较低。
危险性气体除对于硅片制造占有相当大的应用外,在许多产业或多或少均有其应用性,而为能保护工作环境的安全,因此有专门用于运送钢瓶的推车设计,如台湾319,193号专利,其具有夹层的推车设计可存放数个钢瓶,并利用观察窗可方便观察储存的钢瓶状况,但就安全性及方便性而言,其防爆气密处理装置为另一独立的装置,使用时需将钢瓶另置入防爆气密处理装置内才能有较周全的保护,因此仍有改善的空间,是以本发明设计一具有气密功能的推车,在运送钢瓶的同时,即能监控钢瓶的情况,利用其气密的设计使钢瓶受到严密的保护,万一气体外泄,也能因密闭的空间使气体不会散布至空气中。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种钢瓶推车,其设有容置空间可有效率且安全地运送装载有危险性气体的钢瓶。
本发明的另一目的在于提供一种具高安全性的推车,其利用双层密封设计配合内部形成负压的作用可确实防止气体泄漏,达到安全运送具有毒性气体的目的。
本发明的另一目的在于提供一种可随时监控钢瓶情况的推车,利用设于推车上的气体传感器、压力计等感测组件,从外部即能得知钢瓶的状况,万一气体外泄时,能立即得知并采取应变措施,降低因人为疏忽所产生的危险。
为达到上述的目的,本发明提供一种钢瓶推车,其特征在于包含:一推车主体,其具有一容置空间,且其上形成有至少一容置开口,使所述容置空间可容置数个钢瓶;数个推车车轮,连接设于所述推车主体下方,以使所述推车主体可任意移动;至少一封盖装置,覆盖所述容置开口,使所述容置空间气密;一监测系统,设于所述推车主体上,监控所述钢瓶的气体是否泄漏;以及一排气装置,设于所述推车主体上,使所述容置空间与外部连接。
较佳的,钢瓶推车所述监测系统包含一气体检知器,可侦测所述数个钢瓶所存放气体泄漏至所述容置空间的气体浓度。
较佳的,所述监测系统还包含一压力计,用于测量所述容置空间的气体压力。
较佳的,所述监测系统还设有一气体传感器,用于侦测所述容置空间是否含有过量所述数个钢瓶所存放气体,并加以警报。
较佳的,所述容置开口更包含一内开口与形成在其外侧的一外开口,且所述封盖装置同样包含一内封盖与一外封盖,使所述内/外封盖可分别覆盖在内/外开口上,以达到密封所述容置空间。
较佳的,所述封盖装置包含两个C型环扣,可环设在所述内/外封盖与所述内/外开口的边缘,使所述封盖装置与能紧密固定在所述容置开口上。
较佳的,所述内/外开口上设有一气密垫,使所述内/外封盖与所述内/外开口紧密。
较佳的,所述内/外封盖上设有一把手,以方便所述内/外封盖的开启与关闭。
较佳的,所述推车主体包含一握把,以使所述推车主体能方便移动。
较佳的,所述排气装置包含一控制阀与一排气管线。
本发明的有益效果是:能够有效率且安全地运送装载有危险性气体的钢瓶,并能随时监控钢瓶情况,万一气体外泄时,能立即得知并采取应变措施,降低因人为疏忽所产生的危险。
附图说明
图1为本发明立体结构示意图。
图2为本发明的封盖装置开启示意图。
图3为本发明的推车密封完成示意图。
图4为本发明立体结构正视图。
图5为本发明立体结构侧视图。
标号说明:
10推车主体
12推车手把
14推车车轮
16容置空间
18容置开口
180内开口
182外开口
20钢瓶
22封盖装置
220内封盖
222外封盖
24、240弹片
26握把
28气体检知器
30压力计
32气体传感器
34排气管线
36控制阀
38、380C型环扣
具体实施方式
以下结合附图及实施例进一步说明本发明的结构特征及其所达成的有益效果。
本发明是一种钢瓶推车的设计,且它的主要功能在于可加强运送存有危险气体钢瓶的安全性,由于半导体工艺中所使用的气体大多具有毒性,以传统人工运送或以一般推车运送,均有可能因操作不当或人为疏忽而发生危险,因此本发明的独特推车设计可对钢瓶进行气密的防护,万一钢瓶内的有毒气体泄漏,也不会散布至空气中而产生危险。
首先,本发明的立体结构示意图如图1所示,此钢瓶推车主要包含一推车主体10,其设有一推车手把12,且下方连接设有数个推车车轮14,可方便推车主体10任意移动;推车主体10内具有一容置空间16,且其上形成至少一容置开口18,使欲运送的钢瓶20可容置于其中,而为加强气密的功能,本发明的容置开口18采用双层设计,包含一内开口180与形成在其外侧较高处的一外开口182,内开口180与外开口182上端均形成一平坦面;对应于容置开口18的设计,本发明尚设有至少一封盖装置22,包含用于覆盖内开口180的内封盖220与覆盖外开口182的外封盖222,它能将容置空间18形成气密,内封盖220利用一弹片24设于外开口182的内侧壁,而外封盖222利用一弹片240连接固定于推车主体10上,使内、外封盖220、222能与内、外开口180、182盖合,在封盖上并可设一握把26,以方便内/外封盖220、222的开启与关闭;另推车主体10上还设有一监测系统,以能实时监控置于推车10内钢瓶18的状况,监测系统主要包含一气体检知器28、一压力计30及一气体传感器32,用于侦测容置空间16中的气体浓度与气体压力,并具有警示的功能,当钢瓶20的气体泄漏时可实时侦测并发出警告;再利用设于推车主体10的排气装置,包含排气管线34与控制阀36,可使容置空间16与外部接通,通过控制阀36的操作即可将气体经由排气管线34释放至安全的地方。
本发明的创新设计使得推车10本身即是一个完全气密的空间,当钢瓶20容置于其中不幸产生泄漏状况时,也能因气密的保护而使气体无法散布至空气中对人体造成危害,而其气密的功能除推车主体10本身的材料特性外,本发明采用双层密封的设计,并可抽出部分空气使容置空间16为负压状态,更是形成更良好的气密作用,以下通过图2与图3说明本发明的作动与其所具有的特色。图2所示为本发明的封盖装置22开启示意图,当封盖装置开启时可将钢瓶20取出或置入,而其可置入钢瓶20数量视其尺寸设计而定,以可置入四瓶钢瓶20为例,将钢瓶20经由容置开口18依序置入容置空间16后,先将封盖装置22所包含的内封盖220覆盖于内开口180的平坦部上,以一C型环扣38环设在内封盖220与内开口180的周缘,使其二者能紧密固定在一起,再以同样的方式将外封盖222与外开口182同样以另一C型环扣380紧密固定,即完成如图3所示的推车密封完成示意图,而为能加强气密的作用,在内开口180与外开口182上可设一气密垫,使内/外封盖220、222能与内/外开口180、182更紧密。而完成容置空间的密封后,图4为推车密封后的正视图,图5为推车密封后的侧视图,利用排气管线34与厂房的真空设备连接,可将容置空间16内的部分空气抽出,使其内部形成负压状态,利用外部压力与内部压力的所形成的压差,让封盖装置22更紧密的覆盖在容置开口18上,形成更好的密封效果。而不论是在抽真空形成负压的过程中或是密封好运送的过程中,通过监控系统所包含的压力计30可随时监控容置空间16的气体压力,而气体检知器28可分析容置空间16中所含有各种气体的浓度,气体传感器32可侦测容置空间16中是否含有钢瓶20泄漏的气体,若超过预设标准值立即发出警示,通知操作人员进行处理,将排气管线34与厂房的排气设备连接,开启控制阀36让泄漏的气体安全排出,让气体不致危害人体。利用这样的设计不仅可安全的运送存放有高危险性气体的钢瓶,万一气体产生泄漏,也能立即完成气体泄漏的处理而不会造成危害。
本发明设计具有气密功能的一推车用于进行钢瓶的运送,除采用双层密封使形成良好的气密外,其可直接测量压差的压力表可看出钢瓶是否泄漏,与气体传感器形成双重检测,加强监控的效用。且本钢瓶推车操作简单,防护周全,一次可运送数个钢瓶,运送效率高,对于常需使用危险性气体的企业而言,是加强工厂安全,增加运送效率相当好的一种设备。
以上所述仅为本发明的优先实施方式,不能仅以本实施例来限定本发明实施的范围。凡依本发明申请范围所述的形状、构造、特征及精神所为的同等变化或修饰,仍落在本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种钢瓶推车,其特征在于包括:
一推车主体,其具有一容置空间,且其上形成有至少一容置开口,使所述容置空间可容置数个钢瓶;
数个推车车轮,连接设于所述推车主体下方,以使所述推车主体可任意移动;
至少一封盖装置,覆盖所述容置开口,使所述容置空间气密;
一监测系统,设于所述推车主体上,监控所述钢瓶的气体是否泄漏;以及
一排气装置,设于所述推车主体上,使所述容置空间与外部连接。
2.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述监测系统包含一气体检知器。
3.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述监测系统包含一压力计。
4.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述监测系统设有一气体传感器。
5.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述容置开口更包含一内开口与形成在其外侧的一外开口,且所述封盖装置同样包含一内封盖与一外封盖,使所述内/外封盖可分别覆盖在内/外开口上,以达到密封所述容置空间。
6.根据权利要求5所述的钢瓶推车,其特征在于:所述封盖装置包含两个C型环扣,可环设在所述内/外封盖与所述内/外开口的边缘。
7.根据权利要求5所述的钢瓶推车,其特征在于:所述内/外开口上设有一气密垫。
8.根据权利要求5所述的钢瓶推车,其特征在于:所述内/外封盖上设有一把手。
9.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述推车主体包含一握把。
10.根据权利要求1所述的钢瓶推车,其特征在于:所述排气装置包含一控制阀与一排气管线。
CN 200410017406 2004-04-01 2004-04-01 钢瓶推车 Pending CN1676392A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200410017406 CN1676392A (zh) 2004-04-01 2004-04-01 钢瓶推车

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200410017406 CN1676392A (zh) 2004-04-01 2004-04-01 钢瓶推车

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1676392A true CN1676392A (zh) 2005-10-05

Family

ID=35049183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200410017406 Pending CN1676392A (zh) 2004-04-01 2004-04-01 钢瓶推车

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1676392A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107110429A (zh) * 2014-11-12 2017-08-29 Lpg瑞士股份公司 用于气瓶的填充站以及填充方法
CN114435737A (zh) * 2020-10-30 2022-05-06 联华气体工业股份有限公司 钢瓶泄漏处理设备
CN117028844A (zh) * 2023-10-10 2023-11-10 国网湖北省电力有限公司超高压公司 用于gis设备的sf6气体移动检测平台及检测方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107110429A (zh) * 2014-11-12 2017-08-29 Lpg瑞士股份公司 用于气瓶的填充站以及填充方法
CN107110429B (zh) * 2014-11-12 2019-08-02 清洁技术瑞士股份公司 用于气瓶的填充站以及填充方法
US10738943B2 (en) 2014-11-12 2020-08-11 CleanTech Swiss AG Filling station for gas bottles and filling method
CN114435737A (zh) * 2020-10-30 2022-05-06 联华气体工业股份有限公司 钢瓶泄漏处理设备
CN117028844A (zh) * 2023-10-10 2023-11-10 国网湖北省电力有限公司超高压公司 用于gis设备的sf6气体移动检测平台及检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5328360A (en) Heat-treating apparatus
US6991671B2 (en) Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel
KR100704214B1 (ko) 운송 중에 초고순도 제품 저장 탱크를 모니터링하는 운송및 저장 시스템과 그 방법
JP4768700B2 (ja) 反応性気体用の漏洩抑制装置
US5086804A (en) Emergency security device for head of a leaking gas cylinder
KR100298764B1 (ko) 가반식 밀폐 컨테이너용 가스퍼지 유니트
KR20080038241A (ko) 물질 봉쇄 시스템
WO1998014160A3 (en) Apparatus for obtaining, storing and transporting liquid samples and methods for making and using same
US11143329B2 (en) Valve system with position indicator
CN1676392A (zh) 钢瓶推车
US20020069936A1 (en) Filter vent fitting
CN112233830A (zh) 一种具有排污系统的放射性物料密闭处理系统
CN105867178A (zh) 手套箱过渡仓互锁控制系统及方法
CN210860649U (zh) 一种危废气体贮存室
JP3746107B2 (ja) 簡易ガス除害装置
JPH01250699A (ja) 防災キャップ
US6684899B2 (en) Apparatus for safely containing and delivering hazardous fluid substances from at least two supply cylinders
TW200533543A (en) Canister trolley
CN102633056A (zh) 一种保持物品清洁度的方法及装置
US6585008B2 (en) Method and apparatus for breaching and venting sealed inner containers within a drum
CN206103731U (zh) 一种有毒电子混合气体的配制装置
CN219359520U (zh) 一种具有交互式过渡舱的惰性气体操作箱
JPH0410146Y2 (zh)
CN218543987U (zh) 一种液化气瓶安全监控系统
JP3506258B2 (ja) ボンベ漏洩ガス除去装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication