CN1654210A - 喷墨头的制造方法及喷墨头 - Google Patents

Abstract

本发明提供喷墨头的制造方法及喷墨头，可以削减浪费的零件成本和制造成本。喷墨头的制造方法包括：流路单元制作工序，制作含有到达喷嘴的墨水流路的流路单元；执行单元制作工序，制作含有使压力室的容积发生变化的压电片的执行单元；以及接合体制作工序，通过接合流路单元和执行单元来制作接合体。并且包括：测定工序，测定接合体上所含有的压电片的每个活性部上的阻抗的频率特性；和判定工序，根据阻抗极大的反共振频率Fa和阻抗极小的共振频率Fr的差值Fa－Fr的偏差，判定喷墨头是否为合格品。

Description

喷墨头的制造方法及喷墨头

技术领域

本发明涉及一种喷出墨水进行印刷的喷墨打印机的喷墨头的制造方法和喷墨头。

背景技术

喷墨打印机具有向被印刷物上喷出墨水的喷墨头。作为喷墨头，公知的是，具有供应墨水的多个压力室和与其对应的压电元件，通过对压电元件外加电位进行驱动而使压力室内产生压力，从而由与压力室对应的各喷嘴喷出墨水的喷墨头。这样的喷墨头，一般是接合通过层叠施行了开口加工等的金属薄板而在内部形成含有压力室和喷嘴的墨水流路的流路部件，和被电极夹持的压电元件而制作的。并且，当由喷嘴喷出墨水时，由控制装置通过FPC(Flexible Printed Circuit：软性印刷电路)等供电部件对夹持压电元件的电极外加电位。

喷墨头的制造工序之一是，用于判定流路部件的精度不良和流路部件与压电元件的接合不良等的判定工序。在该判定工序中，使装配完毕的喷墨头喷出墨水而判定这些不良。但是当装配完喷墨头之后进行判定工序时，存在必须对不合格的喷墨头花费零件成本和制造成本的问题。因此，在将供电部件连接在压电元件上的阶段，公知的技术是，通过FPC对电极外加电位，从而测定压电元件的固有频率，根据该测定结果来判定流路部件和压电元件的接合状态的不良(参照专利文献1)。根据该技术，由于不喷出墨水也可以发现这些不良，所以可以削减浪费的零件成本和制造成本。

专利文献1：特开平11-64175号公报(图5)

发明内容

上述技术，虽然通过根据固有频率检查压电元件的机械性的限制状态来判定各部件的接合状态的不良，但是由于仅通过固有频率无法充分把握压电元件的压电特性，所以不能高精度地发现压电特性的异常。因此，当压电元件的压电特性发生异常时，如果不由装配完毕的喷墨头喷出墨水，则无法发现该异常。因此，不得不在喷墨头上花费浪费的零件成本和制造成本。

因此，本发明的主要目的在于，提供一种可以削减浪费的零件成本和制造成本的喷墨头的制造方法以及由此方法所制造的喷墨头。

本发明的喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：流路单元制作工序，用于制作形成有多个经过压力室而到达喷出墨水的喷嘴的多个单个墨水流路的流路单元；执行单元制作工序，用于制作含有压电体的执行单元；接合体制作工序，通过接合所述流路单元和所述执行单元，来制作所述流路单元和所述执行单元的接合体；测定工序，对于所述接合体所含有的所述压电体，在与至少一个所述压力室相对的每个区域上，测定阻抗的频率特性；以及判定工序，根据关于多个所述区域的作为阻抗极大的频率的反共振频率Fa与作为阻抗极小的频率的共振频率Fr的差值Fa-Fr的分布、共振频率Fr的分布以及共振频率Fr上的阻抗Zr的分布中的至少一种，来判定所述接合体是否为合格品。

本发明的发明者，新发现了Fa-Fr的分布、Fr的分布以及Zr的分布与压电元件的压电特性有关。本发明，是根据本发明者的新发现所作出的，可以通过研究Fa-Fr的分布、Fr的分布、和/或Zr的分布来判定是否含有异常分布。即，即使分布的一部分存在异常也可以容易地检测出来，从而可以高精度地判定压电元件的不合格。由此，可以削减浪费的零件成本和制造成本。

此外，在本发明中，优选还包括供电部件接合工序，在通过所述判定工序判定为合格品的所述接合体的所述执行单元上，接合用于将驱动信号供应给所述执行单元的供电部件。由此，由于在接合供电部件之前进行判定工序而不受供电部件自身的电阻和杂散电容等影响，所以可以高精度地判定压电元件的不良，因此可以进一步削减浪费的零件成本和制造成本。此外，由于不会在不合格的接合体上接合供电部件，所以不会浪费供电部件。

另外，在本发明中，优选在所述判定工序中，当与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差都在规定值以下时，判定该接合体为合格品。由此，可以通过统一的处理而高精度地判定接合体是否为合格品。

另外，在本发明中，优选当与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差都大于所有区域上的Fa-Fr的平均值的70％并且小于该平均值的130％时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品。由此，可以高精度地、统一地判定接合体是否为合格品。

另外，在本发明中，优选在所述接合体制作工序中，接合所述流路单元和多个所述执行单元；当(x)与执行单元的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr偏差都在对该执行单元所设定的单个规定值以下，并且(y)各执行单元上的多个差值Fa-Fr的偏差的平均值都在对所述接合体所设定的整体规定值以下时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品。由此，即使具有多个执行单元，也可以高精度地判定各部件的接合状态以及压电元件的不合格。

而且，在本发明中，优选在所述判定工序中，根据关于多个所述区域的差值Fa-Fr的分布和共振频率Fr的分布来判定所述接合体是否为合格品。此外，优选在所述判定工序中，当与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差都在第1规定值以下，并且与所述接合体内的多个所述区域对应的多个共振频率Fr的偏差都在第2规定值以下时，判定该接合体为合格品。由此，能够以更高的精度判定各部件的接合状态和压电元件的不合格。

此外，在本发明中，优选当满足(p)-α＜所有与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr偏差＜α，(q)-β＜所有与所述接合体内的多个多个区域对应的多个共振频率Fr的偏差＜β时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品；并且α为第1规定值，β为第2规定值。由此，能够以更高的精度判定各部件的接合状态和压电元件的不合格。

优选本发明的喷墨头的制造方法还包括分类工序，根据通过所述测定工序所得到的测定结果，将通过所述判定工序判定为合格品的所述接合体定为多个等级中的任一级。由此，通过对与预先判断出的等级对应的喷墨头进行墨水的喷出控制，可以使喷墨头之间的墨水的喷出特性均匀。

另外，在本发明中，优选在所述测定工序中，利用网络分析器进行测定。由此，与利用阻抗分析器进行测定的情形相比，可以迅速地进行测定。

从另一角度看来，本发明的喷墨头，包括：流路单元，在平面内以矩阵状相互邻接配置与喷出墨水的喷嘴连通的多个压力室，并且形成经过所述压力室而到达喷嘴的多个单个墨水流路；和执行单元，接合在所述流路单元上，并且改变所述压力室的容积；在所述执行单元上，在形成有被与各压力室相对地配置的多个单个电极和保持规定电位的共用电极所夹持的多个活性部的压电片上，以非对称性配置的方式将横跨多个所述压力室而延伸的一个或多个含有活性部的层和未形成所述活性部并横跨多个所述压力室而延伸的一个或多个非活性层层叠起来；分别与所述执行单元上的一个或多个压力室相对的多个区域所对应的、作为阻抗极大的频率的反共振频率Fa和作为阻抗极小的共振频率Fr的多个差值Fa-Fr都在差值Fa-Fr的平均值的±30％的范围内。因此，由于关于与压力室对应的多个区域的执行单元的特性标准离差少，所以可以使各喷嘴的墨水的喷出性能均匀。

附图说明

图1是根据本发明一实施方式所制造的喷墨头的外观透视图。

图2是图1所示的喷墨头的剖面图。

图3是图1所示的喷墨头所包含的打印头主体的俯视图。

图4是图3的被单点划线包围的区域的放大图。

图5是与图3所示的打印头主体的压力室对应的部分剖面图。

图6是图3所描述的执行单元上所形成的单个电极的俯视图。

图7是图3所描述的执行单元的部分剖面图。

图8是表示图1所示的喷墨头的制造方法的方框图。

图9是表示图8所示的测定工序中的阻抗的频率特性的测定方法的图。

图10是在图8所示的测定工序中所测定的、活性部上的阻抗的频率特性的例子。

图11是表示图5所描述的执行单元上的各接合体的活性部的Fa-Fr的偏差与墨水的喷出速度及体积的关系的图。

图12是表示图5所描述的执行单元上的各接合体的活性部的Fr偏差与墨水的喷出速度及体积的关系的图。

图13是表示表示图5所描述的执行单元上的各接合体的活性部的Zr偏差与墨水的喷出速度及体积的关系的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。

(打印头整体结构)

对根据本发明一实施方式涉及的制造方法所制造的喷墨头进行说明。图1是根据本实施方式的喷墨头1的透视图。图2是沿图1的II-II线的剖面图。喷墨头1，包括：用于对纸张喷出墨水的打印头主体70，具有沿主扫描方向延伸的矩形平面形状；和作为贮存器单元的基块71，配置在打印头主体70上方并且形成有作为向打印头主体70供应的墨水的流路的2个贮墨处3。

打印头主体70，包含：形成有墨水流路的流路单元4和通过环氧类热硬化性粘接剂而接合在流路单元4的上表面上的多个执行单元21。这些流路单元4和执行单元21都是层叠多块薄板并互相接合的结构。此外，在执行单元21的上表面上，通过焊锡接合作为供电部件的软性印刷电路板(FPC)50，并向左或向右引出。

图3是打印头主体70的俯视图。如图3所示，流路单元4具有沿一个方向(主扫描方向)延伸的矩形平面形状。在图3中，以虚线来描述作为设在流路单元4内的共用墨水室的歧管流路5。通过多个开口3a将墨水由基块71的贮墨处3供应到歧管流路5内。歧管流路5分叉为与流路单元4的长度方向平行地延伸的多个副歧管流路5a。

在以交错状排成两列的状态下将平面形状为梯形的4个执行单元21接合在流路单元4的上表面上，使得避开开口3a。将各执行单元21配置成其平行对边(上边和下边)沿着流路单元4的长度方向。并且，邻接的执行单元21的斜边彼此之间，在流路单元4的宽度方向上一部分重叠。

与执行单元21的接合区域相对的流路单元4的下表面，成为以矩阵状排列有多个喷嘴8(参照图5)的喷墨区域。在与执行单元21相对的流路单元4的表面上，形成以矩阵状排列有多个压力室10(参照图5)的压力室群9。换言之，执行单元21具有横跨多个压力室10的尺寸。

返回图2，基块71例如由不锈钢等金属材料构成。基块71内的贮墨处3，是沿基块71的长度方向所形成的略呈长方体的中空区域。贮墨处3通过设在其一端的开口(未图示)与墨水容器(未图示)连通，通常充满墨水。在贮墨处3上，沿其延伸方向以交错状设置开口3b，使得每两个构成一对，并在未设置执行单元21的区域与开口3a相连。

基块71的下表面73，在开口3b附近从周围向下突出。并且，基块71，仅在下表面73的开口3b附近部分73a与流路单元4接触。由此，基块71的下表面73的开口3b附近部分73a以外的区域，与打印头主体70隔离，在该隔离部分配置执行单元21。

将基块71接合固定在支架72的把持部72a的下表面上所形成的凹部内。支架72包含把持部72a和由把持部72a的上表面沿与此垂直相交的方向延伸出规定间隔的平板状的一对突出部72b。分别通过海绵等弹性部件83沿着支架72的突出部72b表面配置被接合在执行单元21上的FPC50。另外，在支架72的突出部72b表面上配置的FPC50上设置驱动器IC80。为了将由驱动器IC80输出的驱动信号传递给打印头主体70的执行单元21，FPC50通过焊接与两者电接合起来。

由于在驱动器IC80的外侧表面上靠紧配置略呈长方体形状的散热片82，所以可以使驱动器IC80所产生的热量高效散失。在驱动器IC80和散热片82的上方、FPC50的外侧，配置基板81。分别通过密封部件84接合散热片82的上表面和基板81之间，以及散热片82的下表面和FPC50之间。

图4是图3内被单点划线包围的部分的放大图。如图4所示，在与执行单元21相对的流路单元4内，4条副歧管流路5a与流路单元4的长度方向平行地延伸。在各歧管流路5a上，连接有由其出口到达喷嘴8的多条单个墨水流路。图5是表示单个墨水流路的剖面图。由图5可知，各喷嘴8通过压力室10和缝隙即节流孔13与副歧管流路5a连通。这样，在打印头主体70上，在每个压力室10上形成由副歧管流路5a的出口经过缝隙13、压力室10而到达喷嘴8的单个墨水流路7。

(打印头剖面结构)

由图5可知，打印头主体70具有从上方层叠执行单元21、空腔板22、底板23、缝隙板24、供给板25、歧管板26、27、28、盖板29以及喷嘴板30共计10块板材的叠层结构。在这些板材之中，由除执行单元21以外的其他9块平板构成流路单元。

如后面详述的那样，执行单元21，将四块压电片41～44(参照图7)层叠起来并且通过配置电极仅将其中的最上层做成具有当外加电场时成为活性部的部分的层(以下简记为“具有活性部的层”)，将剩余的三层做成不具有活性部的非活性层。空腔板22，是在执行单元21的粘贴范围之内设有多个用于构成压力室10的空隙的略呈菱形的孔的金属板。底板23是对空腔板22的每个压力室10分别设有压力室10与缝隙13的连接孔23a和由压力室10向喷嘴8的连接孔23b的金属板。

缝隙板24，是对空腔板22的每个压力室10，除了作为缝隙13的孔之外还分别设有由压力室10向喷嘴8的连接孔的金属板。供给板25，是对空腔板22的每个压力室10，分别设有缝隙13与副歧管流路5a的连接孔和由压力室10向喷嘴8的连接孔的金属板。歧管板26、27、28，是除了副歧管流路5a以外，还分别对空腔板22的每个压力室10，分别设有由压力室10向喷嘴8的连接孔的金属板。盖板29，是对空腔板22的每个压力室10分别设有由压力室10向喷嘴8的连接孔的金属板。喷嘴板30，是对空腔板22的每个压力室10分别设有喷嘴8的金属板。

将这10块板21～30相互对位地层叠起来，使得形成图5所示的单个墨水流路7。该单个墨水流路7，由副歧管流路5a首先向上，在缝隙13上沿水平延伸，之后再向上，在压力室10上再次沿水平延伸，之后不久，沿远离缝隙13的方向朝斜下方，沿正下方朝向喷嘴8。

由图5可知，在各平板的层叠方向上，将压力室10和缝隙13设置在不同的水平面上。由此，如图4所示，在与执行单元21相对的流路单元4内，可以将与每个压力室10连通的缝隙13配置在俯视图中和与该压力室邻接的其他压力室10相同的位置上。其结果是，由于压力室10彼此之间紧靠着高密度地排列，所以可以通过占有面积较小的喷墨头1来实现高析像度的图像印刷。

在底板23和歧管板28的上下表面、供给板25和歧管板26、27的上表面以及盖板29的下表面上，以包围各平板的接合面上所形成的开口的方式设置用于使多余的粘接剂流出的排出槽14。通过存在该排出槽14，可以防止接合平板彼此之间时粘接剂溢出单个墨水流路使得流路阻力发生变动。

(流路单元的详细内容)

返回图4，在执行单元21的粘贴范围内，形成由多个压力室10构成的压力室群9。压力室群9具有大小与执行单元21的粘贴范围大致相同的梯形形状。在各执行单元21上各形成一个压力室群9。

由图4可知，属于压力室群9的各压力室10，其长对角线的一端与喷嘴8连通，并且长对角线的另一端通过缝隙13与副歧管流路5a连通。如后面所述，在执行单元21上，与压力室10相对地以矩阵状排列平面形状大致为菱形并且比压力室10小一圈的单个电极35(参照图6和图7)。另外，在图4中，为便于理解附图，以实线描述在流路单元4上本应以虚线描述的喷嘴8、压力室10以及缝隙13等。

沿排列方向A(第1方向)和排列方向B(第2方向)两个方向以矩阵状邻接配置压力室10。排列方向A是喷墨头1的长度方向，即流路单元4的延伸方向，与压力室10的短对角线平行。排列方向B是与排列方向A成钝角θ的压力室10的一斜边方向。并且，压力室10的两个锐角部，位于邻接的另外两个压力室之间。

沿着排列方向A和排列方向B两个方向以矩阵状邻接配置的压力室10，沿着排列方向A各隔离相当于37.5dpi的距离。此外，在每个执行单元21内，沿着排列方向B排列16个压力室10。

以矩阵状配置的多个压力室10，沿着图4所示的排列方向A，形成多个压力室列。从与图4的纸面垂直的方向(第3方向)看来，根据与副歧管流路5a的相对位置，将压力室列划分成第1压力室列11a、第2压力室列11b、第3压力室列11c以及第4压力室列11d。这些第1～第4压力室列11a～11d，由执行单元21的上边向下边，按照11c→11d→11a→11b→11c→11d→……→11b的顺序，周期性地各配置四个。

在用于构成第1压力室列11a的压力室10a和用于构成第2压力室列11b的压力室10b上，从第3方向看，喷嘴8关于与排列方向A垂直相交的方向(第4方向)不均匀地分布在图4的纸面的下侧。并且，喷嘴8与各自对应的压力室10的下端部附近相对。另一方面，在用于构成第3压力室列11c的压力室10c和用于构成第4压力室列11d的压力室10d上，喷嘴8关于第4方向不均匀地分布在图4的纸面上侧。并且，喷嘴8与各自对应的压力室10的上端部附近相对。在第1以及第4压力室列11a、11d上，从第3方向看，压力室10a、10d的一半以上的区域与副歧管流路5a重叠。在第2以及第3压力室列11b、11c上，从第3方向看，压力室10b、10c的整个区域基本上不与副歧管流路5a重叠。因此，对于属于任意压力室列的压力室10，与其连通的喷嘴8都不与副歧管流路5a重叠，并且可以尽可能地增大副歧管流路5a的宽度而将墨水顺畅地供应给各压力室10。

如图4所示，在打印头主体70上，沿着梯形压力室群9的成对平行边中的长边，在整个长边上以一直线状排列形状和大小与压力室10相同的多个周边空隙15。通过由执行单元21和底板23堵塞空腔板22上所形成的形状和大小与压力室10相同的孔，来划分周边空隙15。即，在周边空隙15上未连接墨水流路，并且在周边空隙15上未设置相对的单个电极35。即。周边空隙15不会充满墨水。

此外，在打印头主体70上，沿着梯形压力室群9的成对平行边中的短边，在整个短边上以一直线状排列多个周边空隙16。另外，在打印头主体70上，沿着梯形压力室群9的两斜边，在整个两斜边上以一直线状排列多个周边空隙17。周边空隙16、17，在俯视图中正三角形的区域上都贯通空腔板22。在周边空隙16、17上未连接墨水流路，并且在周边空隙16、17上未设置相对的单个电极35。即，周边空隙16、17与周边空隙15一样，不会充满墨水。

(执行单元的详细内容)

接着，对执行单元21的结构进行说明。在执行单元21上，以与压力室10相同的模式将多个单个电极35配置成矩阵状。将各单个电极35配置在俯视图中与压力室10相对的位置上。

图6是单个电极35的俯视图。如图6所示，单个电极35由配置在与压力室10相对的位置上并且在俯视图中被收容在压力室10内的主电极区域35a，和与主电极区域35a相连并且被配置在与压力室10外侧相对的位置上的辅助电极区域35b构成。

图7是沿图6的VII-VII线的剖面图。如图7所示，执行单元21，包括分别以15μm左右的相同厚度所形成的四块压电片41、42、43、44。这些压电片41～44形成连续的层状平板(连续平板层)，使得横跨打印头主体70内的每个喷墨区域内所形成多个压力室10而进行配置。作为连续平板层横跨多个压力室10而配置压电片41～44，从而可以利用例如丝网印刷技术将单个电极35高密度地配置在压电片41上。因此，还可以高密度地配置在与单个电极35对应的位置上所形成的压力室10，从而可以印刷出高析像度的图像。压电片41～44是由具有强介电性的钛锆酸铅(PZT)类陶瓷材料构成的。

如图6所示，在最上层的压电片41上所形成的单个电极35的主电极区域35a，具有基本与压力室10相同的略呈菱形的平面形状。略呈菱形的主电极区域35a上的下方锐角部延伸出来，和与压力室10外侧相对的辅助电极区域35b相连。在辅助电极区域35b的前端，设有与单个电极35电连接起来的圆形焊盘部36。如图7所示，焊盘部36与空腔板22上未形成压力室10的区域相对。焊盘部36例如由含有玻璃粉的金构成，如图6所示，接合在与辅助电极区域35b的延伸出来部分的表面上。虽然在图7中省略了FPC50的图示，但是焊盘部36与设在FPC50上的接点电接合。进行此接合时，必须将FPC50的接点挤压在焊盘部36上。由于在与焊盘部36相对的空腔板22的区域未形成压力室10，所以可以通过充分的挤压进行可靠的接合。

使外形与压电片41相同并且厚度约为2μm的共用电极34介于最上层的压电片41及其下侧的压电片42之间。单个电极35和共用电极34例如都是由Ag-Pd类等金属材料构成的。

共用电极34，在未图示的区域进行接地。由此，共用电极34可以在与所有的压力室10对应的区域内保持规定的电位，在本实施方式中保持为接地电位。此外，单个电极35通过含有在各个单个电极35上独立的其他导线的FPC50和焊盘部36连接在驱动器IC80上，使得可以控制每个与各压力室10对应的区域上的电位。

(执行单元的驱动方法)

接着，对执行单元21的驱动方法进行叙述。执行单元21上的压电片41的极化方向是其厚度方向。即，执行单元21，将上侧(即，远离压力室10)的一块压电片41做成存在活性部的层并且将下侧(即，接近压力室10)的三块压电片42～44做成非活性层，形成所谓的单一形态类型的结构。因此，将单个电极35作为正的或负的规定电位时，例如如果电场方向和极化方向相同，则压电片41中的被电极夹住的外加电场部分作为活性部工作，因横向压电效应而向与极化方向成直角的方向收缩。

在本实施方式中，压电片41上的被主电极区域35a和共用电极34夹住的部分，作为当外加电场时因压电效应而产生变形的活性部工作。另一方面，压电片41下方的3块压电片42～44，并未从外部附加电场，因此基本上不作为活性部发挥作用。因此，在压电片41上的被主电极区域35a和共用电极34夹住的部分，因横向压电效应而向与极化方向成直角的方向收缩。

另一方面，由于压电片42～44不受电场影响而不会自动变位，所以在上层的压电片41和下层的压电片42～44之间，向与极化方向垂直的方向的变形产生差值，从而使压电片41～44整体向非活性侧凸出地变形(单一形态变形)。这时，如图7所示，由压电片41～44所构成的执行单元21的下表面，由于固定在划分压力室的隔板(空腔板)22的上表面上，所以，结果是，压电片41～44向压力室一侧突出地变形。因此，压力室10的容积下降，墨水的压力上升，由喷嘴8喷出墨水。之后，使单个电极35返回到与共用电极34相同的电位时，由于压电片41～44变成原来的形状而使压力室10的容积恢复为原来的容积，所以由副歧管流路5a一侧吸入墨水。

另外，作为其他的驱动方法，预先将单个电极35设定为不同于共用电极34的电位，每次有喷出要求时，暂时使单个电极35和共用电极34的电位相同，之后，可以以规定的计时再次使单个电极35的电位不同于共用电极34。这时，在单个电极35和共用电极34电位相同的计时内，压电片41～44恢复为原来的形状，从而使压力室10的容积与初始状态(两电极的电位不同的状态)相比增加，墨水由副歧管流路5a一侧吸入到压力室10内。之后，在再次使单个电极35的电位不同于共用电极34的计时内，压电片41～44向压力室10一侧凸出地变形，压力室10的容积下降而使对墨水的压力上升，从而喷出墨水。

(喷墨头的制造方法)

接着参照图8对喷墨头1的制造方法进行说明。图8是表示喷墨头1的制造方法的方框图。如图8所示，喷墨头1包括流路单元制作工序、执行单元制作工序、打印头主体(接合体)制作工序、测定工序、判定工序、FPC(供电部件)接合工序以及等级分类工序。

流路单元制作工序，是用于制作图5所示的流路单元4的工序。在流路单元制作工序中，通过粘接剂在相互对位的状态下接合空腔板22、底板23、缝隙板24、供给板25、歧管板26、27、28、盖板29以及喷嘴板30的各平板22～30，使得在内部形成单个墨水流路7。

执行单元制作工序，是用于制作执行单元21的工序。在执行单元制作工序中，通过焙烧依次烧结多个单个电极35、压电片41、共用电极34和压电片42～44。

打印头主体制作工序，是用于制作打印头主体70的工序。在打印头主体制作工序中，通过粘接剂接合流路单元制作工序中所制作的流路单元4和执行单元制作工序中所制作的执行单元21。这时，在打印头主体70内制作多个接合体，其接合含有与各单个电极35对应的活性部的执行单元21的部分区域和用于构成与单个电极35对应的单个墨水流路7的流路单元4的部分区域。

测定工序，是用于测定打印头主体制作工序中所制作的打印头主体70上的各接合体的活性部的阻抗的频率特性的工序。活性部的阻抗的频率特性，如后述，根据与该活性部对应的接合体的接合状态进行变化。参照图9对测定工序中的阻抗的频率特性的测定方法进行说明。图9是表示活性部的阻抗的频率特性的测定方法的图。如图9所示，利用网络分析器200来测定活性部上的阻抗的频率特性。并且，利用机器人等使网络分析器200的探针依次接触与测定对象的活性部对应的单个电极35，来进行阻抗的频率特性的测定。

图10表示活性部上的阻抗的频率特性的一例。另外，纵轴表示阻抗，横轴表示频率。如图10所示，活性部上的阻抗的频率特性的特征在于，具有作为阻抗极小的频率的共振频率Fr和作为阻抗极大的频率的反共振频率Fa，并且反共振频率Fa高于共振频率Fr。另外，将共振频率Fr上的阻抗值作为共振阻抗Zr。

判定工序，是根据测定工序中所测定的各接合体的活性部的阻抗的频率特性来判定打印头主体70是否为合格品的工序。打印头70是否为合格品，是通过是否满足以下三个判定基准(a)～(c)来判定的。

判定基准(a)

(a-1)在所有执行单元21上，与各单个电极35对应的活性部的反共振频率Fa和共振频率Fr的差值的偏差(以下称作Fa-Fr的偏差)在反共振频率Fa和共振频率Fr的差值的平均值A_difference的30％(第1规定值)以内，并且(a-2)在各打印头主体70上，各执行单元21上的Fa-Fr的偏差的平均值A_individual，在进一步在所有单元上对各执行单元21上的Fa-Fr的偏差的平均值A_individual进行平均而得到的平均值的15％以内。

参照图3所示的喷墨头的具体结构，对判定基准(a)进行更为详细的说明。为便于说明，如图3所示，对执行单元21标注标号21a、21b、21c、21d。设各活性部上的反共振频率Fa和共振频率Fr的差分为x_i(＝Fa-Fr)，设所有的执行单元21(21a～21d)上的差分x_i的平均值A_difference为 $\stackrel{\‾}{x}(=\underset{21a,21b,21c,21d}{\mathrm{\Σ}{x}_i}).$ 这时，各活性部上的Fa-Fr偏差可以表示为：

x_i- x                     (1)

此外，判定条件(a-1)可以表示为：

-0.3× x＜x_i- x＜0.3× x    (2)

参照式(1)，执行单元21a上的Fa-Fr偏差的平均值A_individual可以表示为：

$\underset{21a}{\mathrm{\Σ}}\left(\frac{x_i-\stackrel{\‾}{x}}{n}\right)----\left(3\right)$

(n表示执行单元21a内的活性部的个数)。因此，所有的执行单元21a～21d上的Fa-Fr偏差的平均值A_individual的平均值可以表示为：

$\frac{\underset{21a}{\mathrm{\Σ}}\left(\frac{x_i-\stackrel{\‾}{x}}{n}\right)+\underset{21b}{\mathrm{\Σ}}\left(\frac{x_i-\stackrel{\‾}{x}}{n}\right)+\underset{21c}{\mathrm{\Σ}}\left(\frac{x_i-\stackrel{\‾}{x}}{n}\right)+\underset{21d}{\mathrm{\Σ}}\left(\frac{x_i-\stackrel{\‾}{x}}{n}\right)}{4}----\left(4\right)$

以上，当执行单元21a满足判定条件(a-2)时，下式(5)成立。

判定条件(b)

(b-1)在所有执行单元21上，与各单个电极35对应的活性部的共振频率Fr的偏差(以下称作Fr偏差)在共振频率Fr的平均值B_Fr的10％(第2规定值)以内，并且(b-2)在各打印头主体70上，各执行单元21上的Fr偏差的平均值B_individual，在进一步在所有执行单元上对各执行单元21的Fr偏差的平均值B_individual进行平均而得到的平均值的5％以内。

判定条件(c)

(c-1)在所有的执行单元21上，与各单个电极35对应的活性部的共振阻抗Zr的偏差(以下称作Zr偏差)在共振阻抗Zr的平均值C_Zr的30％(第3规定值)以内，并且(c-2)在各打印头主体70上，各执行单元21的Zr偏差的平均值C_individual，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Zr偏差的平均值C_individual进行平均而得到的平均值的15％以内。

只有在判定工序中判定为合格品的打印头主体70才进入到下一个FPC接合工序。

FPC接合工序，是通过焊锡接合与判定工序中判定为合格品的打印头主体70的执行单元21的各单个电极35对应的FPC50的端子的工序。

等级分类工序，是根据由测定工序所得出的测定结果将通过FPC接合工序接合有FPC50的打印头主体70定出等级，从而进行分类的工序。在每个喷墨打印机上，使用定为相同等级的打印头主体70所装配的喷墨头1。

(判定工序中的判定基准)

接着，对判定工序中的判定基准(a)～(c)依次进行详细说明。

(关于判定基准(a))

如上所述，当由单个电极35外加电位时，活性部因横向压电效应向与极化方向成直角的方向，即，向单个电极35的长边方向变形收缩。在这样的薄板状的压电部件上，作为压电常数d₃₁以下式表示相对于外加在压电部件上的电压的伸缩量。

(数学式1)

$d_{31}=k_{31}\sqrt{S_{11}^E{\mathrm{\ϵ}}_{33}^T}$

在此，机电耦合常数k₃₁是表示外加在活性部上的电能转化为关于活性部的长边方向的机械能的效率的常数(k₃₁＜1)，表示活性部的压电性的活性度。介电常数ε₃₃是表示极化的难易程度的常数。柔量S是表示对于应力的失真率的常数。因此，通过把握机电耦合常数k₃₁，可以把握与各单个电极35对应的活性部的驱动状态，即，由各喷嘴8喷出的墨水的喷出速度、体积等的喷出状态。并且，机电耦合常数k₃₁与共振频率Fr和反共振频率Fa具有下式所示的关系。

(数学式2)

$\frac{k_{31}^2}{1-k_{31}^2}=-\frac{\mathrm{\π}}{2}\·\frac{\mathrm{Fa}}{\mathrm{Fr}}\cot (\frac{\mathrm{\π}}{2}\·\frac{\mathrm{Fa}}{\mathrm{Fr}})$

这样，在上述压电部件中，存在如下关系：机电耦合常数k₃₁变大，则反共振频率Fa/共振频率Fr的值变大，相反，机电耦合常数k₃₁变小，则反共振频率Fa/共振频率Fr的值变小。反共振频率Fa/共振频率Fr的值变大时，多是反共振频率Fa和共振频率Fr的差值变大。因此，反共振频率Fa和共振频率Fr的差值变大时，由于压电常数d₃₁变大，所以墨水的喷出速度提高，并且所喷出的墨水的体积变大。相反，反共振频率Fa/共振频率Fr的值变小时，多是反共振频率Fa和共振频率Fr的差值变小。反共振频率Fa和共振频率Fr的差值变小时，由于压电常数d₃₁变小，所以墨水的喷出速度降低，并且所喷出的墨水的体积变小。这样，由于通过比较执行单元21上的各活性部之间的反共振频率Fa和共振频率Fr的差值可以知道压电特性，所以可以把握由各喷嘴8喷出的墨水的喷出速度、体积等喷出状态的趋势。由此，可以判定各接合体是否为合格品，并进一步判定打印头主体70是否为合格品。

作为多个接合体的测定结果，在表1中表示每个Fa-Fr偏差(参照判定基准(a))的墨水的喷出速度的平均值、墨水的喷出速度的3σ值、所喷出的墨水的体积的平均值以及“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值。

表1

Fa-Fr偏差	喷出速度(m/s)	喷出速度3σ	液滴体积(pl)	液滴体积3σ/平均
					-40％	8.2	0.52	5.7	13.3％
-35％	8.3	0.44	5.8	11.1％
					-30％	8.5	0.31	6.0	9.4％
-25％	8.7	0.27	6.1	8.3％
					-20％	8.8	0.25	6.2	7.2％
-15％	9.0	0.23	6.3	6.3％
					-10％	9.2	0.21	6.4	6.1％
-5％	9.3	0.19	6.6	5.0％
					0％	9.5	0.21	6.7	3.8％
5％	9.7	0.22	6.8	3.9％
					10％	9.8	0.23	6.8	4.2％
15％	10.0	0.24	6.9	4.8％
					20％	10.2	0.23	7.1	6.2％
25％	10.3	0.25	7.2	8.0％
					30％	10.5	0.27	7.4	9.8％
35％	11.3	0.41	5.3	31.1％
					40％	12.4	0.5	5.1	45.3％

在打印头主体70上，墨水的喷出速度和墨水的液滴的体积的标准离差越少被判定为喷出状态越良好。在此，在墨水的喷出速度中，虽然通过比较墨水的喷出速度的3σ值来判定标准离差，但是在墨水的体积中，考虑到由于随着体积增大喷出时伴随墨水的液滴所产生的小滴墨水的体积的量增加，所以墨水的体积越大，其标准离差绝对量越大，通过比较“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值进行判定。在图11中进一步表示该测定结果。横轴表示Fa-Fr偏差(％)，纵轴左侧表示墨水的喷出速度(m/s)，纵轴右侧表示所喷出的墨水的体积(pl)。在此，通过下式给出Fa-Fr偏差(％)。

图中的菱形标记表示由与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的喷出速度的平均值，方形标记表示来自与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的体积的平均值。此外，墨水的喷出速度的标准离差在±3σ值的范围内，墨水的体积的标准离差表示3σ值相对于平均值的比例(％)。如图11所示，同样在执行单元21上，反共振频率Fa和共振频率Fr的差值的偏差-Fa-Fr偏差变大时，则墨水的喷出速度也提高，所喷出的墨水的体积也变大。相反，Fa-Fr偏差变小时，则墨水的喷出速度降低，所喷出的墨水的体积变小。在此，Fa-Fr偏差(％)沿+方向增大到35％以上时，墨水的喷出速度急剧提高，同时所喷出的墨水的体积急剧变小并且标准离差变大。这是因为用于喷出墨水的压力过高，所喷出的墨水的液滴分离。相反，当Fa-Fr偏差(％)沿-方向增大到35％以上时，则墨水的喷出速度和体积的标准离差急剧变大。

因此，在活性部上Fa-Fr偏差(％)处于-30％～30％的范围之外的所有打印头主体70被判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准以外，优选各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的15％以内。

另外，墨水的喷出速度和体积稳定的Fa-Fr偏差(％)的范围为20％以内。因此，当要求更优质的打印头主体70时，优选将在活性部上Fa-Fr偏差(％)在-20％～20％范围之外的所有打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准以外，优选，各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的10％以内。

而且，墨水的喷出速度和体积稳定的Fa-Fr偏差(％)的范围为10％以内。因此，当要求更优质的打印头主体70时，优选将在活性部上Fa-Fr偏差(％)在-10％～10％范围之外的所有打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准以外，优选，各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fa-Fr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的5％以内。

(关于判定基准(b))

共振频率Fr受活性部的限制状态，即，各接合体上的各层的接合状态、流路单元4内的各平板的接合状态和各接合体及流路单元4的接合状态影响。当活性部的限制状态强时，活性部的共振频率Fr升高。这时，具有所喷出的墨水的速度降低并且体积变小的趋势。这是因为各接合状态下的层叠方向的厚度变厚。相反，当活性部的限制状态弱时，活性部的共振频率Fr降低。这时，具有所喷出的墨水的速度提高并且体积变大的趋势。这是因为各接合状态下的层叠方向的厚度变薄。于是，可以通过比较活性部之间的共振频率Fr来判定干预各活性部的部件的接合状态。由此，可以判定各接合体是否为合格品，并进一步判定打印头主体70是否为合格品。

作为多个接合体的测定结果，以表2表示每个Fr偏差(参照判定基准(b))的墨水的喷出速度的平均值、墨水的喷出速度的3σ值、所喷出的墨水的体积的平均值以及“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值。

表2

Fr偏差	喷出速度(m/s)	喷出速度3σ	液滴体积(pl)	液滴体积3σ/平均
					-15％	7.8	1.17	4.5	15.0％
-12％	10.8	0.92	7.7	11.2％
					-10％	10.3	0.34	7.4	9.5％
-8％	10	0.27	7.2	8.3％
					-6％	9.8	0.25	7	7.2％
-3％	9.6	0.24	6.8	6.0％
					0％	9.5	0.22	6.7	3.8％
3％	9.4	0.23	6.6	4.8％
					6％	9.2	0.25	6.5	7.6％
8％	9.1	0.26	6.4	8.9％
					10％	8.8	0.28	6.2	9.9％
12％	8.3	0.40	5.7	19.0％
					15％	7.1	0.78	3.8	42.0％

在图12中进一步表示该测定结果。横轴表示Fr偏差(％)，纵轴左侧表示墨水的喷出速度(m/s)，纵轴右侧表示所喷出的墨水的体积(pl)。在此，以下式给出Fr偏差(％)。

图中的菱形标记表示由与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的喷出速度的平均值，方形标记表示由与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的体积的平均值。此外，墨水的喷出速度的标准离差在±3σ值的范围内，墨水的体积的标准离差表示“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值(％)。如图12所示，同样在执行单元21上，作为共振频率Fr偏差的Fr偏差变大，则墨水的喷出速度降低，所喷出的墨水的体积变小。相反，Fr偏差变小时，则墨水的喷出速度提高，所喷出的墨水的体积升高。并且，当Fr偏差(％)沿着+方向增大至12％以上时，墨水的喷出速度急剧降低，并且所喷出的墨水的体积急剧变小，并且标准离差变大。这是因为由于过多填充粘接剂而使各接合状态的层叠方向的厚度一部分变得极厚。相反，当Fr偏差(％)沿着-方向增大至12％以上时，则墨水的喷出速度和体积的标准离差变大。尤其是，当Fr偏差(％)沿-方向增大至12％以上时，相反墨水的喷出速度降低，所喷出的墨水的体积也变小。这是因为各接合状态的至少任意一个不合格。

因此，将在活性部上Fr偏差(％)在-10％～10％范围之外的所有打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀化，因此，除了上述的判定基准以外，各执行单元21的Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fr偏差的平均值进行平均所得出的平均值的5％以内。

另外，墨水的喷出速度和体积稳定的Fr偏差(％)的范围为6％以内。因此，当要求更为优质的打印头主体70时，优选将所有的在活性部上Fr偏差(％)在-6％～6％的范围之外的所有打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准之外，优选各执行单元21的Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的3％以内。

此外，墨水的喷出速度和体积稳定的Fr偏差(％)的范围为3％以内。因此，当要求更为优质的打印头主体70时，优选将在活性部上Fr偏差(％)在-3％～3％的范围之外的打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准之外，优选各执行单元21的Fr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Fr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的1.5％以内。

(关于判定基准(c))

共振阻抗Zr受活性部的极化率影响。当活性部的极化率低时，活性部的共振阻抗Zr升高。这时，存在所喷出的墨水的速度降低并且体积变小的趋势。相反，当活性部的极化率高时，活性部的共振阻抗Zr降低。这时，存在所喷出的墨水的速度提高并且体积变大的趋势。于是，可以通过比较活性部之间的共振阻抗Zr来判定压电片41上的材料特性的均匀性。

作为多个接合体的测定结果，以表3表示每个Zr偏差(参照判定基准(c))的墨水的喷出速度的平均值、墨水的喷出速度的3σ值、所喷出的墨水的体积的平均值以及“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值。

表3

Zr偏差	喷出速度(m/s)	喷出速度3σ	液滴体积(pl)	液滴体积3σ/平均
					-40％	12.6	0.53	4.8	39.1％
-35％	11.1	0.41	5.7	32.4％
					-30％	10.4	0.32	7.2	9.8％
-25％	10.1	0.31	7	8.4％
					-20％	9.9	0.29	6.9	7.9％
-10％	9.6	0.24	6.8	6.7％
					0％	9.5	0.22	6.7	3.8％
10％	9.4	0.25	6.6	4.0％
					20％	9	0.27	6.4	6.8％
25％	8.7	0.30	6.3	8.0％
					30％	8.3	0.34	6.2	9.7％
35％	8.1	0.57	5.6	11.0％
					40％	7.2	1.10	5	14.8％

在图13中进一步表示该测定结果。横轴表示Zr偏差(％)，纵轴左侧表示墨水的喷出速度(m/s)，纵轴右侧表示所喷出的墨水的体积(pl)。在此，以下式表示Zr偏差(％)。

图中的菱形标记表示由与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的平均速度的平均值，方形标记表示由与每个偏差上所分类的活性部对应的喷嘴8所喷出的墨水的体积的平均值。此外，墨水的喷出速度的标准离差为±3σ值的范围内，并以3σ值相对于平均值的比例(％)表示“所喷出的墨水的体积÷所喷出的墨水的体积的平均值”的3σ值。如图13所示，同样在执行单元21上，存在当作为共振阻抗Zr的偏差的Zr偏差增大时，墨水的喷出速度降低，并且所喷出的墨水的体积变小的趋势。相反，存在当Zr偏差变小时，墨水的喷出速度提高，并且所喷出的墨水的体积变大的趋势。并且，当Zr偏差(％)沿+方向增大至35％以上时，墨水的喷出速度急剧下降，同时所喷出的墨水的体积急剧变小并且标准离差变大。相反，当Zr偏差(％)沿-方向增大至35％以上时，墨水的喷出速度急剧升高，同时所喷出的墨水的体积急剧变小并且标准离差变大。这是因为用于喷出墨水的压力过高，所喷出的墨水分离。

因此，将在活性部上Zr偏差(％)在-30％～30％的范围之外的打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上界个多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述判定基准之外，优选各执行单元21的Zr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元的Zr偏差的平均值进行平均所得出的平均值的15％以内。

另外，墨水的喷出速度和体积稳定的Zr偏差(％)的范围为20％以内。因此，当要求更为优质的打印头主体70时，优选将所有的在活性部上Zr偏差(％)在-20％～20％的范围之外的打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准之外，优选各执行单元21的Zr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Zr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的10％以内。

此外，墨水的喷出速度和体积稳定的Zr偏差(％)的范围为10％以内。因此，当要求更为优质的打印头主体70时，优选将所有的在活性部上Zr偏差(％)在-10％～10％的范围之外的打印头主体70判定为不合格品。另外，当在打印头主体70上接合多个执行单元21时，优选也使各执行单元21之间的喷出特性均匀，因此，除了上述的判定基准之外，优选各执行单元21的Zr偏差的平均值，在进一步在所有的执行单元21上对各执行单元21的Zr偏差的平均值进行平均而得出的平均值的5％以内。

在以上说明的优选实施方式中，由于判定工序仅将所有的Fa-Fr偏差、Fr偏差以及Zr偏差都在合格品范围内的打印头主体70判定为合格品，所以能够高精度地判定各部件的接合状态的不合格和执行单元21的不合格。由此可以削减对于不合格的打印头主体70的浪费的零件成本和制造成本。

此外，由于在未接合FPC50的状态下进行判定工序，所以可以高精度地判定打印头主体70上的接合体是否为合格品，而不受FPC自身的电阻和杂散电容等影响。因此，可以削减浪费的零件成本和制造成本。此外，由于仅对在判定工序中判定所有的接合体都为合格品的打印头主体70接合FPC50，所以，即使打印头主体70不合格，也不会浪费FPC50和用于连接FPC50的制造成本。

另外，在本实施方式中，由于根据喷出特性将在判定工序中判定为合格品的打印头主体70定出等级，所以可以使多个打印头主体70上的喷出特性均匀。

此外，在本实施方式中，由于通过网络分析器200来测定活性部上的阻抗的频率特性，所以与利用阻抗分析器来进行测定的情形相比，可以迅速进行测定。

另外，在本实施方式中，虽然是在判定工序中只有当打印头主体70满足所有的判断基准(a)～(c)时才判定打印头主体70为合格品而构成的，但是并不限于这种结构，还可以只满足判断基准(a)～(c)中的任意一个或两个，即，满足判断基准(a)、判断基准(b)、判断基准(c)、判断基准(a)和判断基准(b)、判断基准(a)和判断基准(c)、以及判断基准(b)和判断基准(c)时，判定打印头主体70为合格品而构成。这时，与判断所有的判断基准(a)～(c)的情形相比，可以迅速进行打印头主体70是否为合格品的判定。

此外，在本实施方式中，虽然是通过网络分析器200来测定活性部上的阻抗的频率特性而构成的，但是并不限于这样的结构，还可以通过阻抗分析器进行测定而构成。这时，与通过网络分析器200进行测定的情形相比，可以得到更为精确的测定结果。

此外，在本实施方式中，虽然是在未接合FPC50的状态下进行测定工序和判定工序而构成的，但是并不限于这样的结构，还可以在FPC50的接合工序之后进行测定工序和判定工序。例如，可以在FPC50的接合工序之后，测定Fa-Fr偏差，进行基于判断基准(a)的判定，或，可以在FPC50的接合工序之后进行测定工序，进行至少包含判断基准(a)的判定。即使接合FPC50之后，由于本发明的发明者所发现的Fa-Fr和喷墨头的喷出特性的相互关系不变，所以可以充分判定喷墨头为合格品。

以上虽然对本发明的优选实施方式进行了说明，但是本发明并不限于上述的实施方式，可以在本发明技术方案的范围内进行各种设计变更。例如，虽然在本实施方式中，是通过对共振频率Fr、反共振频率Fa以及共振阻抗Zr设定规定的基准来判定打印头主体70是否为合格品而构成的，但是并不限于这样的结构，还可以由活性部上的阻抗的频率特性的波形模式直接进行判定而构成。

Claims (13)

1.一种喷墨头的制造方法，其特征在于，包括：

流路单元制作工序，用于制作形成有多个经过压力室而到达喷出墨水的喷嘴的多个单个墨水流路的流路单元；

执行单元制作工序，用于制作含有压电体的执行单元；

接合体制作工序，通过接合所述流路单元和所述执行单元，来制作所述流路单元和所述执行单元的接合体；

测定工序，对于所述接合体所含有的所述压电体，在与至少一个所述压力室相对的每个区域上，测定阻抗的频率特性；以及

判定工序，根据关于多个所述区域的作为阻抗极大的频率的反共振频率Fa与作为阻抗极小的频率的共振频率Fr的差值Fa-Fr的分布、共振频率Fr的分布以及共振频率Fr上的阻抗Zr的分布中的至少一种，来判定所述接合体是否为合格品。

2.如权利要求1所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，还包括供电部件接合工序，将用于向所述执行单元供应驱动信号的供电部件接合在通过所述判定工序判定为合格品的所述接合体的所述执行单元上。

3.如权利要求1或2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述判定工序中，当与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差都在规定值以下时，判定该接合体为合格品。

4.如权利要求3所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，当与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差都大于所有区域上的Fa-Fr的平均值的70％并且小于该平均值的130％时，在所述判定工序中，判定该接合体为合格品。

5.如权利要求1或2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述接合体制作工序中，接合所述流路单元和多个所述执行单元；

当(x)与执行单元的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr偏差都在对该执行单元所设定的单个规定值以下，并且(y)各执行单元上的多个差值Fa-Fr的偏差的平均值都在对所述接合体所设定的整体规定值以下时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品。

6.如权利要求1或2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述判定工序中，根据关于多个所述区域的差值Fa-Fr的分布和共振频率Fr的分布来判定所述接合体是否为合格品。

7.如权利要求6所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

当满足(p)-α＜与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的所有偏差＜α，并且(q)-β＜与所述接合体内的多个所述区域对应的多个共振频率Fr的所有偏差＜β时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品，

并且α为第1规定值，β为第2规定值。

8.如权利要求1或2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述判定工序中，根据关于多个所述区域的差值Fa-Fr的分布、共振频率Fr的分布以及共振频率Fr上的阻抗的分布，来判定所述接合体是否为合格品。

9.如权利要求8所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

当满足(p)-α＜与所述接合体内的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的所有偏差＜α，(q)-β＜与所述接合体内的多个多个区域对应的多个共振频率Fr的所有偏差＜β，并且(r)-γ＜多个共振频率Fr上的阻抗的所有偏差＜γ时，在所述判定工序中判定该接合体为合格品；

并且α为第1规定值，β为第2规定值，γ为第3规定值。

10.如权利要求1或2所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述接合体制作工序中，接合所述流路单元和多个所述执行单元；

当满足(p′)-α＜所有与所述接合体内的各执行单元上的多个所述区域对应的多个差值Fa-Fr的偏差＜α，并且-δ＜与各执行单元上的多个差值Fa-Fr的偏差的平均值＜δ；

(q′)-β＜所有与所述接合体内的各执行单元上的多个所述区域对应的多个共振频率Fr的偏差＜β，并且-ε＜各执行单元上的多个共振频率Fr的偏差的平均值＜ε；以及

(r′)-γ＜所有与所述接合体内的各执行单元上的多个所述区域对应的多个共振频率Fr上的阻抗Zr的偏差＜γ，并且-ζ＜各执行单元上的阻抗Zr的偏差的平均值＜ζ中的至少一种时，在所述判定工序中，判定该接合体为合格品；

并且α为第1规定值，β为第2规定值，γ为第3规定值，δ为对接合体设定的第4规定值，ε为对接合体设定的第5规定值，ζ为对接合体设定的第6规定值。

11.如权利要求1～9的任意一项所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

还包括分类工序，根据通过所述测定工序所得出的测定结果，将通过所述判定工序判定为合格品的所述接合体定为多个等级中的任一级。

12.如权利要求1～10的任意一项所述的喷墨头的制造方法，其特征在于，

在所述测定工序中，利用网络分析器进行测定。

13.一种喷墨头，其特征在于，

包括：流路单元，在平面内以矩阵状相互邻接配置与喷出墨水的喷嘴连通的多个压力室，并且形成经过所述压力室而到达喷嘴的多个单个墨水流路；和

执行单元，接合在所述流路单元上，并且改变所述压力室的容积；

在所述执行单元上，在形成有被与各压力室相对地配置的多个单个电极和保持规定电位的共用电极所夹持的多个活性部的压电片上，以非对称性配置的方式将横跨多个所述压力室而延伸的一个或多个含有活性部的层和未形成所述活性部并横跨多个所述压力室而延伸的一个或多个非活性层层叠起来；

分别与所述执行单元上的一个或多个压力室相对的多个区域所对应的、作为阻抗极大的频率的反共振频率Fa和作为阻抗极小的共振频率Fr的多个差值Fa-Fr都在差值Fa-Fr的平均值的±30％的范围内。

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