CN1532520A - 电子部件安装装置校正方法和使用该方法的装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电子部件安装装置校正方法和使用该方法的装置。用于对基板识别照相机的坐标系与部件识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行校正，该方法包括：使用部件识别照相机(16)对该夹具部件(30)进行摄像的步骤，使用上述基板识别照相机(17)对上述夹具基板上的标记进行摄像的步骤；把上述夹具部件(30)安装到上述夹具基板上的步骤；使用部件识别照相机(16)求出部件中心，计算出与根据上述夹具基板的标记由上述基板识别照相机(17)求出的部件安装中心位置的偏差量的偏差量算出步骤及根据在上述偏差量算出步骤算出的偏差量，对上述基板识别照相机或上述部件识别照相机的坐标系进行校正的校正步骤。

Description

电子部件安装装置校正方法和使用该方法的装置

技术领域

本发明涉及一种用于在电子部件安装装置等中，对部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行校正的照相机位置偏差校正方法及其装置，以及照相机位置校正用的夹具基板和夹具部件。

背景技术

在电子部件安装装置中，使用基板识别照相机对搬入到装置主体内的基板上的基板标记或IC标记进行摄像来对基板进行位置识别。并且，使用部件识别照相机对安装到基板上的电子部件进行摄像来进行位置识别，根据这些识别结果，对电子部件的位置进行校正，之后将电子部件安装到基板上。

在该情况下，如果部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系在X、Y方向和角度θ(以下表示为“θ”)上不完全一致，则即使进行校正，也不能把电子部件正确安装到基板上。

为此，正如在特开平5-10746的段落“0004”记载的那样，在现有电子部件安装装置中，在设置了装置时或者考虑到温度变化等，定期(装置工作时等)对部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行校正。

具体地说，在搬入到装置主体内的夹具基板上按照上述步骤安装夹具部件，使用另行准备好的测量装置对夹具基板上的设计上的安装位置和实际安装位置的偏差量进行测量。然后，把该测量结果输入到电子部件安装装置，对部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系的偏差进行校正(同时也对装置主体的绝对基准坐标系进行校正)。

[专利文献1]

特开平5-10746

这样，在现有电子部件安装装置中，为了校正两个识别照相机的坐标系，需要测量装置。并且，夹具基板的传送和测量等，其校正作业繁杂且花时间。而且，有必要使用多个夹具部件多次进行上述安装和测量，求出偏差量的平均值。

发明内容

本发明可对部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行简单和迅速校正。并且，本发明的目的是提供一种可高精度进行校正的识别照相机位置偏差校正方法及其装置，以及用于照相机的位置校正的夹具部件和夹具基板。

本发明的各照相机位置偏差校正方法对被搬入到图1所示的电子部件安装装置1的基板固定部的夹具基板20上的标记进行位置识别。并且，在对其基板识别照相机17的坐标系和用于对安装到夹具基板20上的夹具部件30进行位置识别的部件识别照相机16的坐标系的相互间的偏差进行校正的照相机位置偏差校正方法中，为了通过摄像求出相对各识别照相机的识别中心的部件中心的坐标系上的偏差量，使用由各识别照相机可识别的夹具部件30。并且，该偏差校正方法具有：在吸附了其夹具部件的状态下，在原坐标系上使用部件识别照相机16对夹具部件30进行摄像的摄像步骤，以及根据在摄像步骤摄像的摄像结果求出夹具部件的部件中心的步骤。

并且，该偏差校正方法包括：使用基板识别照相机17对夹具基板20上的各种标记进行识别，并分别算出与夹具基板的基准位置的偏差量和用于安装夹具部件30的位置的偏差量算出步骤，以及根据在偏差量算出步骤算出的偏差量，把夹具部件30安装到夹具基板20上的安装步骤。并且，该偏差校正方法具有：为了求出所安装的夹具部件30和夹具基板20上的安装偏差量，对使用基板识别照相机17对标记进行了摄像和识别的夹具基板20上的夹具部件的中心位置和根据夹具基板上的标记求出的要安装夹具部件的中心位置的偏差进行计算，根据该偏差量对基板识别照相机17和部件识别照相机16的坐标系进行校正的校正步骤。

根据该构成，首先通过在各自的原坐标系上，使用基板识别照相机17对夹具基板20被搬入到基板固定位置的夹具基板20上的标记进行摄像，对相对基板识别照相机17的识别中心的各标记中心的坐标系上的偏差量进行识别。通过该摄像求出夹具基板的总偏差量和倾斜角。

然后，为了把夹具部件30安装到夹具基板20的规定位置，吸附夹具部件30，根据由部件识别照相机16摄像的结果，求出夹具部件30的部件中心，根据该结果和夹具基板20的总偏差量和倾斜角，把夹具部件30安装到夹具基板的规定位置。

接着，使用基板识别照相机17对附加给该安装的夹具部件30的多个标记进行摄像，根据该结果，求出夹具基板20上的夹具部件30的中心位置。根据夹具基板20的标记求出的夹具部件安装中心位置和根据所安装的夹具部件30求出的夹具基板20上的夹具部件中心位置的偏差量为各识别照相机相互间的偏位。

然后，根据该偏位对基板识别照相机17或部件识别照相机16的坐标系进行校正，基板识别照相机17的坐标系和部件识别照相机16的坐标系一致。即，可校正原坐标系(设计上的坐标系)的偏差，使用各识别照相机对夹具基板20和夹具部件30进行识别，把夹具部件20安装到夹具基板20上，而且，通过使用基板识别照相机17对所安装的夹具部件30进行识别，可对各坐标系进行校正。

根据该构成，相对装置主体的绝对基准坐标系，也能对基于水平面内的基板识别照相机的安装角度和部件识别照相机的安装角度的误差的偏差进行校正。

并且，根据该构成，由于安装头根据绝对基准坐标系被固定在支撑部件上，因而可更高精度地进行电子部件的基板上的安装。

在发明3的夹具部件中，优选被摄像图形由分别可被识别出上述偏差量且为同一中心的部件图形部和部件标记组构成。

附图说明

图1是本发明一实施方式的电子部件安装装置的立体图。

图2是在实施本实施方式的偏差校正方法中使用的夹具部件的俯视图。

图3是在实施本实施方式的偏差校正方法使用的夹具基板的俯视图。

图4是表示电子部件安装装置的控制系统的方框图。

图5是表示在夹具基板上安装夹具部件的状态的示意图。

图6是在考虑了绝对基准坐标系的XY传送部的移动角度偏差的状态下，求出基板识别照相机的坐标系和部件识别照相机的坐标系的偏位的动作流程图。

图中：1…电子部件安装装置；2…X轴；3…Y轴；11…卷轴；11a…送带器；12…部件供给部；13…吸附头部；13a…吸附嘴；14…XY传送部；15…基板搬送路；16…部件识别照相机；17…基板识别照相机；20…夹具基板；20a…基板基准标记；20b，c…标记；21a，b，c，d…安装基准标记；30…夹具部件；32…被摄像图形；33a，b，c，d…部件标记组；34…部件图形部

具体实施方式

以下，参照附图，对根据本发明一实施方式的识别照相机位置的偏差校正方法及其装置，以及采用识别照相机位置校正用的夹具基板和夹具部件的电子部件安装装置进行说明。

该电子部件安装装置1是一般所称的多功能部件安装机，构成为可安装片状电容器和片状电阻等的表面安装部件、以及QFPIC等的多引线部件等的各种电子部件。

图1是电子部件安装装置的概略图，如该图所示，电子部件安装装置1具有：部件供给部12，从中央部稍微在后方左右方向延伸的基板搬送路15，配设在电子部件安装装置1的前部(图示下侧)的部件供给部12，以及配设在电子部件安装装置1的前部且移动自如的XY传送部14。

在XY传送部14，在用于吸附和安装电子部件的吸附头部13装载有吸附嘴13a。吸附嘴13a具有在垂直方向可移动的机构。并且，在吸附头部13上将基板识别照相机17安装到支撑部件上。在该装置上，在部件供给部12的侧部位置配设有部件识别照相机16。

在该电子部件安装装置1中，表面安装部件等的小电子部件由部件供给部12供给，多引线部件等的大电子部件由未图示的托盘形式的部件供给部供给。并且，基板通过基板搬送路15从左方被供给并被搬入到电子部件安装装置1的中央的基板固定部，从右方被排出。例如，在使用XY传送部14的电子部件的安装中，通过XY传送部14，使吸附头部13从部件供给部12吸附所需的电子部件，然后把该电子部件移送到部件识别照相机16的位置，进行位置识别。然后，进一步把吸附头部13a传送到基板的规定位置，使用基板识别照相机17对附加给基板的标记等进行识别，求出基板位置。之后，把电子部件安装到基板上。

此时，根据部件识别照相机16的识别结果，进行设计值A(吸附头部的吸附嘴位置)和所吸附的电子部件之间的位置校正，根据基板识别照相机16的识别结果，进行设计值B(距基板位置的位置)和基板的安装位置之间的位置校正。

基板搬送路15具有：中央的基板固定部，左侧的搬入搬送路，以及右侧的搬出搬送路(图示省略)。基板通过基板搬送路15从左方被供给并被搬入到电子部件安装装置1的中央的基板固定部。然后，将完成电子部件的安装的基板从基板固定部排出到右方。在该情况下，在基板搬送路15的搬入侧具有呈等待供给状态的基板，并且在基板搬送路15的排出侧具有呈等待排出状态的基板(图示省略)，这些基板通过顺次传送被搬送。另外，当在基板固定部的基板上安装电子部件时，装置整体的绝对基准坐标系的原点是在基板前端附近的突起部(图示省略)。

部件供给部12横排配设多个送带器11a。在各送带器11a上，收容有呈被装填在传送带(图示省略)上的状态的电子部件，电子部件从送带器11a的前端被逐一地供给。

XY传送部14具有由配设在装置1的左右两端部的一对轴引导，并在前后方向(Y轴方向)移动的Y轴3。使用XY传送部14的轴右部的圆头螺钉和使其旋转的Y轴电动机(全都图示省略)，在Y轴方向(前后方向)进退。

另一方面，具有X轴2，与上述驱动系统相同，采用圆头螺钉和X轴电动机(全都图示省略)的构成，使上述吸附头部13在X轴方向(左右方向)进退。这样，吸附头部13在X轴方向和Y轴方向，即在水平面内移动自如。

在吸附头部13具有吸附嘴13a和基板识别照相机17。并且，吸附嘴13a具有在垂直方向可移动的机构。基板识别照相机17对各基板的标记等进行识别，标记等的特定部分为电子部件的安装位置的基准标记。并且，在吸附头部13的下端部安装的吸附嘴13a与未图示的真空吸引装置连接。

另外，在吸附头部13安装有通过吸附嘴13a使电子部件在水平面内旋转的电动机(图示省略)。

图2和图3所示的夹具部件30和夹具基板20用于对基板位置识别用的基板识别照相机17的坐标系和电子部件位置识别用的部件识别照相机16的坐标系的相互间的偏差进行校正。该校正使用部件识别照相机16对由吸附头部13传送的夹具部件30进行摄像，并对其进行识别。

接着，使用基板识别照相机17对搬入到基板固定部的夹具基板20的规定部位进行识别，对相对电子部件安装装置1的绝对基准坐标系的基板识别照相机17的坐标系的偏差进行校正。然后，对夹具基板20的规定位置使用部件识别照相机16进行摄像，安装所识别的夹具部件30。

然后，使用基板识别照相机17对夹具基板20上安装的夹具部件30进行摄像，对夹具基板上的夹具部件的中心位置进行识别。然后，求出上述所求出的位置和根据夹具基板上的基准标记求出的位置的相互间的偏差。

夹具部件30，如图2所示，由在方形基板面上描绘的部件图形34和部件标记组33a、33b、33c、33d构成。对于基板，考虑使其具有一定的刚性，采用厚度为1～2mm的玻璃构成，部件图形34是通过在该基板上蒸镀氧化铬而构成。部件图形34由把中心作为同一位置35的部件标记组33a、33b、33c、33d和中空部分构成。

部件标记组33a、33b、33c、33d形成由基板识别照相机17容易识别的4个圆形的图案。并且，部件图形部34形成与由部件识别照相机16容易识别的引线部件近似的图案，在外周部等间隔排列与引线相当的方形的多个图形要素35，作为整体具有方形轮廓。

夹具基板20如图3所示，形成为方形。

在夹具基板20上的表面，为了求出夹具基板固定时的倾斜角和与绝对基准坐标系的原点的校正量，如图3所示，在3角描绘标记20a、20b、20c，其中1个被描绘成夹具基板的基板基准标记20a。并且，描绘有用于在夹具基板20的中央附近安装前期夹具基板30的安装基准标记21a、21b、21c、21d。安装基准标记21a、21b、21c、21d以基板基准标记20a为原点设定了各位置关系。

然后，对在使用夹具部件30和夹具基板20的上述校正方法进行说明之前，参照图4，对该电子部件安装装置1的控制装置100进行简单说明。

如该图所示，控制装置100与以下部分连接：通过XY传送部14使吸附头部13在XY方向移动的X电动机101和Y电动机102，以及装载到吸附头部13上的θ电动机(旋转)103。X电动机101、Y电动机102和θ电动机103各自通过X电动机驱动器104、Y电动机驱动器105和θ电动机驱动器106，与用于对各电动机等进行集中控制的CPU107连接。同样，基板识别照相机16和部件识别照相机17各自通过基板图像处理部108和部件图像处理部109，与CPU107连接。

并且，CPU107与存储器110连接，在存储器110内存储有用于对电动机104、105、106和识别照相机16、17进行控制的设计值数据及其它各种数据，同时存储有下述校正数据。

校正数据通过下述的位置偏差计算被更新，CPU107使用校正数据校正设计值数据，对这些电动机104、105、106和识别照相机16、17进行控制。另外，使用各识别照相机(CCD照相机)16、17对摄像对象物的识别是在各图像处理部108、109对摄像结果执行了各种处理等之后，通过在CPU107进行运算处理来执行。

下面，对基板识别照相机16和部件识别照相机17的偏差校正方法进行说明。

在该偏差校正方法中，通过把图2所示的夹具部件30安装到图3所示的夹具基板20上，求出夹具部件的安装中心位置和夹具基板的规定安装位置的偏差量，对相对绝对基准坐标系的基板识别照相机17的坐标系的偏位进行校正。

然后，也包含对相对绝对基准坐标系的XY传送部14的移动时的坐标系的角度偏差进行校正，还对相对基板识别照相机17的坐标系的部件识别照相机16的坐标系的偏位进行校正。因此，同时，在实际坐标系的校正时，也对吸附嘴13a的中心位置进行校正。

图5是在搬入到基板固定部的夹具基板20上安装了夹具部件30的图像图，夹具基板20在绝对基准坐标系(基板定位坐标系)上定位。

在该情况下，求出用于对从基板定位XY坐标看到的相对XY传送部14的驱动XY坐标的设计尺寸的夹具部件30的位置偏差和角度偏差进行调整的校正数据。然后，根据该校正数据，以XY坐标系为基准进行校正。另外，装载到XY传送部14上的基板识别照相机17的扫描坐标中心与XY传送部14(即吸附头部13)的驱动XY坐标的位置坐标一致。

具体地说，把夹具基板20搬入到基板固定部，在图6的动作流程中求出校正数据。在图6的步骤S1(夹具基板标记识别)，使装载到XY传送部14上的基板识别照相机17按照设计值顺次移动，进行摄像，对其进行识别，以使其中心位置与基板基准标记20a、标记20b、20c的位置一致。然后，在图6的步骤S2(基板误差量“Δx1，Δy1，θ1”的算出)，把要临时保存的该识别结果内基板基准标记20a的偏差量和夹具基板20的倾斜角(从基板识别照相机17的扫描坐标的照相机中心看到的标记中心位置坐标的差)作为“Δx1，Δy1，θ1”临时保存在存储器110内。

“Δx1，Δy1，θ1”通过以下计算求出。

把标记20a、20b、20c的逻辑坐标各自设为A(Xa，Ya)、B(Xb，Yb)、C(Xc，Yc)，把各自坐标的标记识别结果(标记偏差量)设为A1(Xa1，Ya1)、B1(Xb1，Yb1)、C1(Xc1，Yc1)。

绝对坐标的XY轴为正交，基板识别照相机17的XY轴也为正交。假设基板识别照相机17相对于绝对坐标的XY轴倾斜θ(C0)安装，则A1、B1、C1以绝对坐标的XY轴为基准变换如下。

A2[Xa1*cos(C0)-Ya1*sin(C0)，Xa1*sin(C0)+Ya1*cos(C0)]

B2[Xb1*cos(C0)-Yb1*sin(C0)，Xb1*sin(C0)+Yb1*cos(C0)]

C2[Xc1*cos(C0)-Yc1*sin(C0)，Xc1*sin(C0)+Yc1*cos(C0)]

由于计算式繁杂，因而把各自的变换结果设为A2(Xa2，Ya2)、B2(Xb2，Yb2)、C2(Xc2，Yc2)。

基板基准标记20a、标记20b、20c的绝对坐标A0、B0、C0各自如下所示。

A0(Xa+Xa2，Ya+Ya2)

B0(Xb+Xb2，Yb+Yb2)

C0(Xc+Xc2，Yc+Yc2)

然后，逻辑坐标和绝对坐标的角度差，即，基板搬入角度θ1，可按以下求出。

从基板基准标记20a看到的标记20c的逻辑坐标的矢量是VL(Xc-Xa，Yc-Ya)，从基板基准标记20a看到的标记20c的绝对坐标的矢量是VR(Xc+Xc2-Xa-Xa2，Yc+Yc2-Ya-Ya2)。

各自的矢量角度θL、θR可通过以下的公式计算出。

θL＝tan^-1[(Yc-Ya)/(Xc-Xa)]

θR＝tan^-1[(Yc+Yc2-Ya-Ya2)/(Xc+Xc2-Xa-Xa2)]

由于逻辑坐标和绝对坐标的角度差θ1为θ1＝θR-θL以上，因而可算出“Δx1，Δy1，θ1”。

Δx1＝Xa1*cos(C0)-Ya1*sin(C0)

Δy1＝Xa1*sin(C0)+Ya1*cos(C0)

θ1＝θR-θL

然后，在图6的步骤S3(夹具部件识别准备)，为了把夹具部件30安装到夹具基板20上，使吸附头部13移动到部件供给部12。接着，用吸附头部13上的吸附嘴13a吸附夹具部件30，为了使吸附嘴13a的位置与部件识别照相机16的中心位置(视野中心)一致，按照设计值来移动。

此处，在图6的步骤S4(夹具部件识别)，使用部件识别照相机16对夹具部件30进行识别，在图6的步骤S5(部件误差量“Δx2，Δy2，θ2”的算出)，把该识别结果(从部件识别照相机16的扫描坐标的照相机中心看到的夹具部件中心位置坐标的差和倾斜角)作为“Δx2，Δy2，θ2”临时保存在存储器110内。

误差量“Δx2，Δy2，θ2”通过以下计算求出。绝对坐标的XY轴为正交，部件识别照相机16的XY轴也为正交。假设部件识别照相机16相对于绝对坐标的XY轴倾斜θ(C1)安装，把部件识别结果(相对照相机中心的偏移量)设为R1(Xr，Yr，θr)，则R1以绝对坐标的XY轴为基准变换如下。

R2[Xr*cos(C1)-Yr*sin(C1)，Xr*sin(C1)+Yr*cos(C1)，θr+C1]

因此，

Δx2＝Xr*cos(C1)-Yr*sin(C1)

Δy2＝Xr*sin(C1)+Yr*cos(C1)

θ2＝θr+C1

然后，在图6的步骤S6(夹具基板上的夹具部件的安装)，为了使部件安装标记位置与安装在头部13上的基板识别照相机17的中心位置(视野中心)一致，按照设计值来移动。接着，进行识别，根据在步骤S5取得的结果(21a～21d)进行运算，使用在垂直方向可移动的吸附嘴13a安装夹具部件30(驱动部作图示)。

求出安装位置的计算方法的一例如下所述。

对于用于识别21b的基板标记的移动目标坐标，把21b的逻辑坐标设为D(Xd，Yd)，从20a看到的21b的逻辑坐标的矢量VL1为VL1(Xd-Xa，Yd-Ya)。

由于在步骤S2验证为，基板相对于绝对坐标的XY轴倾斜θ1，因而从20a看到的21b的绝对坐标的矢量VR1相对于VL1旋转θ1。

VR1[(Xd-Xa)*cos(θ1)-(Yd-Ya)*sin(θ1)，(Xd-Xa)*sin(θ1)+(Yd-Ya)*cos(θ1)]

另一方面，由于20a的标记相对于绝对坐标形成偏移(Δx1，Δy1)，因而成为标记移动目标的21b的绝对坐标D0(Xd0，Yd0)如下所示。

Xd0＝(Xd-Xa)*cos(θ1)-(Yd-Ya)*sin(θ1)+Δx1

Yd0＝(Xd-Xa)*sin(θ1)+(Yd-Ya)*cos(θ1)+Δy1

把绝对坐标D0(Xd0，Yd0)的标记识别结果设为D01(Xd01，Yd01)。由于基板识别照相机17相对于绝对坐标的XY轴倾斜θ(C0)安装，因而D01以绝对坐标的XY轴为基准变换如下。

D02[Xd01*cos(C0)-Yd01*sin(C0)，Xd01*sin(C0)+Yd01*cos(C0)]

最终的标记的绝对坐标D00(Xd00，Yd00)如下所示。

Xd00＝Xd0+Xd01*cos(C0)-Yd01*sin(C0)

Yd00＝Yd0+Xd01*sin(C0)+Yd01*cos(C0)

由于安装坐标和21b的标记坐标相同，因而位于吸附头部13的吸附嘴13a的旋转轴中心要移动的最终装载绝对坐标P(Xp，Yp)可按如下计算。

从吸附嘴13a的旋转轴中心看到的部件中心的绝对坐标及其倾斜角用步骤S6求出为Δx2、Δy2、θ2。由于部件相对于绝对坐标倾斜θ2，基板相对于绝对坐标倾斜θ1，因而把安装姿势设为θP，把识别姿势设为θR，最终要旋转校正的角度θP0为θP0＝θP+θ1-θR-θ2，从旋转校正后的吸附嘴13a的旋转轴中心看到的部件中心的绝对坐标如下所示。

Δx2z＝Δx2*cos(θP0)-Δy2*sin(θP0)

Δy2z＝Δx2*sin(θP0)+Δy2*cos(θP0)

最终的吸附嘴13a的旋转中心的安装目标绝对坐标如下所示。

Xp＝Xd00-Δx2z

Yp＝Yd00-Δy2z

作为其它方法，也可以不识别安装位置的标记，而是根据在步骤S2取得的结果和步骤S5的结果进行运算，使用在垂直方向可移动的吸附嘴13a安装夹具部件30。

然后，在图6的步骤S7(使用基板识别照相机的IC位置识别)，为了使在夹具基板20上安装的夹具部件30上描绘的IC标记33a、33c的位置与在吸附头部13上安装的基板识别照相机17的中心位置(视野中心)一致，按照设计值顺次移动，进行摄像，对其进行识别。

计算方法的一例如下所示。

假设部件上的标记33a、33c相对部件中心各自处于AA(Xaa，Yaa)、CC(Xcc，Ycc)的相对位置，当基板和部件没有偏差时，求出基板识别照相机17要移动的目标绝对坐标AAC(Xaac，Yaac)、CCC(Xccc，Yccc)。

首先，由于基板相对于绝对坐标倾斜θ1，因而AA(Xaa，Yaa)、CC(Xcc，Ycc)也旋转θ1，进行变换的结果AAz、CCz如下所示。

AAz[Xaa*cos(θ1)-Yaa*sin(θ1)，Xaa*sin(θ1)+Yaa*cos(θ1)]

CCz[Xcc*cos(θ1)-Ycc*sin(θ1)，Xcc*sin(θ1)+Ycc*cos(θ1)]

接着，基板上的部件中心位置是已在步骤S6求出的D00(Xd00，Yd00)，通过下式求出。

Xaac＝Xd00+Xaa*cos(θ1)-Yaa*sin(θ1)

Yaac＝Yd00+Xaa*sin(θ1)+Yaa*cos(θ1)

Xccc＝Xd00+Xcc*cos(θ1)-Ycc*sin(θ1)

Yccc＝Yd00+Xcc*sin(θ1)+Ycc*cos(θ1)

把AAC(Xaac，Yaac)、CCC(Xccc，Yccc)设为逻辑坐标，执行与步骤S2同样的计算过程，求出部件上的标记33a、33c的绝对坐标。

也就是说，在图6的步骤S8(各种安装校正数据的算出)，在步骤S7求出的绝对坐标系(基板定位坐标系)上的定位中心位置和在步骤S6求出的部件安装中心位置的差为相对基板识别照相机17的坐标系的部件识别照相机16的XY坐标系的安装校正数据。然后，角度差为倾斜安装校正数据。

以上所述，根据本实施方式，使用夹具部件30和夹具基板20，对相对绝对基准坐标系的基板识别照相机17的坐标系和部件识别照相机16的坐标系的偏位进行校正。因此，可对基板识别照相机17的坐标系和部件识别照相机16的坐标系之间的偏位，即这些识别照相机16、17的坐标系和绝对基准坐标系之间的偏位进行极正确地校正。

特别是，基板识别照相机17的坐标系和部件识别照相机16之间的偏位可通过使用各自的识别照相机16、17识别夹具部件30来检测。因此，可进行简单和迅速校正。另外，由于使用专用的夹具部件30和夹具基板20，并且制作成容易对其识别，因而可正确执行。

而且，作为整体可高精度地进行校正。因此，可高精度且稳定地把电子部件安装到基板上。

如上所述，根据本发明的照相机位置的偏差校正方法及其装置，使用夹具部件和夹具基板，可对两个识别照相机的各自的原坐标系(设计上的坐标系)进行校正。该校正方法是使用各识别照相机对夹具部件和夹具基板进行识别和安装，并再次使用基板识别照相机进行识别的方法，即使不给装置附加额外机构，也能求出部件识别照相机的坐标系和基板识别照相机的坐标系的相互间的偏差。

因此，即使是已出厂的装置中，可简单和迅速取得校正数据。这样，可高精度进行位置校正。因此，可高精度且稳定地把电子部件安装到基板上，可提高装置的可靠性。

并且，本发明中由照相机位置校正用的夹具部件的厚度引起的影响可在现有技术中充分补偿。也就是说，在本发明中，可正确进行图形识别，可提高电子部件等的位置校正等的可靠性。

Claims (3)

1.一种照相机位置偏差校正方法，是一种对用于对夹具基板上的标记进行位置识别的基板识别照相机的坐标系与用于对安装到夹具基板上的夹具部件进行位置识别的部件识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行校正的位置偏差校正方法，其特征在于，包括：

摄像步骤，使用通过上述各识别照相机能够识别夹具部件的中心位置在坐标系上的偏差量的夹具部件，在保持上述夹具部件的姿势的状态下使用上述部件识别照相机对该夹具部件进行摄像；

摄像步骤，使用上述基板识别照相机对上述夹具基板上的标记进行摄像；

安装步骤，根据由两个识别照相机摄像的摄像结果，把上述夹具部件安装到上述夹具基板上；

偏差量算出步骤，使用上述基板识别照相机对所安装的夹具部件的标记进行摄像，算出所求出的识别中心位置与根据上述夹具基板的标记由上述基板识别照相机求出的部件安装中心位置的偏差量；以及

校正步骤，根据在上述偏差量算出步骤算出的偏差量，对上述基板识别照相机或上述部件识别照相机的坐标系进行校正。

2.一种照相机位置偏差校正装置，对用于对夹具基板上的标记进行位置识别的基板识别照相机的坐标系和用于对安装到夹具基板上的夹具部件进行位置识别的部件识别照相机的坐标系的相互间的偏差进行校正，其特征在于，具有：

摄像单元，使用通过上述各识别照相机能够识别夹具部件的中心位置的坐标系上的偏差量的夹具部件，在保持上述夹具部件的姿势的状态下使用上述部件识别照相机对该夹具部件进行摄像；

摄像单元，使用上述基板识别照相机对上述夹具基板上的标记进行摄像；

安装单元，根据由两个识别照相机摄像的摄像结果，把上述夹具部件安装到上述夹具基板上；

偏差量算出单元，使用上述基板识别照相机对所安装的夹具部件的标记进行摄像，算出所求出的识别中心位置与根据上述夹具基板的标记由上述基板识别照相机求出的部件安装中心位置的偏差量；以及

校正单元，根据由上述偏差量算出单元算出的偏差量，对上述基板识别照相机或上述部件识别照相机的坐标系进行校正。

3.一种照相机位置校正用夹具部件，其特征在于，使用权利要求1所述的位置偏差校正方法进行位置偏差校正，并具有权利要求2所述的位置偏差校正装置，上述夹具部件上的被摄像图形由分别可被识别出上述偏差量且为同一中心的部件图形部和部件标记组构成。

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