CN1490674A - 渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法 - Google Patents

Abstract

一种渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法，适于采用渐层遮光板曝光法于一液晶显示器基板上形成面板的图案，于两两相叠的光罩的重合部位中的指针一侧配置相连指针的标记图形，使光罩组合后在指针的两侧各有一个标记图形，并于光罩分别曝光以及显影后，根据形成于液晶显示器基板上的两标记的清晰边缘间的距离来判定光罩接合情况。

Description

渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法

技术领域

本发明是有关于一种应用于液晶显示器(liquid crystal display，简称LCD)曝光制作工艺的光罩接合对准的方法，且特别有关于一种渐层遮光板(hypershot，简称HS)曝光法(exposure mode)的光罩及其侦测方法。

背景技术

液晶显示器具有轻、薄、体积小、低电压驱动、低消耗电功率及应用范围广等优点，而被广泛应用于中、小型可携式电视、移动电话、摄录放影机、笔记型计算机、桌上型显示器、以及投影电视等消费性电子或计算机产品，且将逐渐取代阴极射线管(CRT)成为显示器的主流。

而目前常使用于液晶显示器曝光制作工艺的是渐层遮光板曝光法，其特征如图1A至图1B所示，主要是在设计光罩时，利用渐层遮光板将两两相连的光罩的重合部位以灰度的方式设计图案，因此两边光罩的重合部位将具有相同图案但是遮光度不同的区域，以改善光罩与光罩的接合状况。

图1A与图1B所示为公知一种渐层遮光板曝光法的光罩设计示意图。

请参照图1A与图1B，为曝出一个面板(panel)的图案，需使用至少两个光罩100与110接合成面板的完整图案。而在光罩100与110中分别有一重合部位102与112，其中的图案相同但呈现灰度状态。然后，当两光罩100与110组合后，如图1B所示，其中的重合部位102与112将重叠成同一区域130的相同光罩图案，而且其曝光能量将互补成为完全是100％曝光能量的区域130。

然而，上述渐层遮光板曝光法的接合只是一种理想情况，由于渐层遮光板曝光法只是以模糊重合部位的图案来作为改善光罩与光罩的接合状况的手段，因此完全无法侦测两个光罩实际的接合效果，同时也无法辨识出是许多光罩中的哪一个光罩发生错误。

发明内容

本发明的目的是提供一种渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法，以有效侦测出曝光机台中的光罩接合程度。

本发明的再一目的是提供一种渐层遮光板曝光法的光罩及其侦测方法，以实时了解产品的效能。

根据上述与其它目的，本发明提出一种渐层遮光板曝光法的光罩，包括于两两相接合的光罩的重合部位中的指针一侧配置相连指针的标记图形，使光罩组合后在指针的两侧各有一个相同标记图形，其中标记图形需位于指针靠光罩中央的一侧，才能曝出明显清晰的标记。

本发明另外提出一种侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的方法，适于采用渐层遮光板曝光法于一液晶显示器基板上形成面板的图案，包括提供数个光罩，且于光罩的重合部位中的指针一侧配置相连指针的标记图形，使光罩组合后在指针的两侧各有一个标记图形，并于光罩分别曝光以及显影后，可根据形成于液晶显示器基板上的两标记的清晰边缘间的距离来判定光罩接合情况是否标准。

本发明因为在采用渐层遮光板曝光法的光罩的重合部位中的指针一侧设置标记图形，所以当光罩有偏移时，可以根据曝光显影后形成的两标记间距与其中心点的偏移量来判断光罩间的接合对准是否有偏差，进而改善其接合情况，以实时了解产品的效能。此外，当标记图形是矩形时，不但可以测知光罩左右接合偏移量，还可同时获得光罩的上下接合偏移量。

为让本发明的上述和其它目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明。

附图说明

图1A与图1B所示为公知一种渐层遮光板曝光法的光罩设计示意图；

图2A与图2B所示为依照本发明的一较佳实施例的渐层遮光板曝光法的光罩示意图。

图3所示为依照本发明的一较佳实施例的侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的步骤示意图。

图4是依照图2A与图2B所示的渐层遮光板曝光法的光罩在曝光显影后，形成于基板上的指针与标记图。

标号说明

100，110，200，210：光罩

102，112，202，212：重合部位

204，214：指针

206，206a，216，216a：标记图形

300：提供具有一重合部位的第一部份光罩，且于重合部位的指针靠近光罩中央的一侧设置一标记图形

302：提供具有一重合部位的第二部份光罩，且于重合部位的指针靠近光罩中央的一侧设置另一标记图形

304：利用第一部份光罩与第二部份光罩对一基板进行曝光

306：进行显影，以于基板上形成标记与指针的图案

308：依照两部份图案重叠的光罩所曝出的两标记的清晰边缘间的距离，来判定其接合状况是否标准

400：标记左右间距

402：标记上下间距

404：指针

具体实施方式

图2A与图2B所示依照本发明的一较佳实施例的渐层遮光板曝光法的光罩示意图。

请参照图2A与图2B，假使一液晶显示器面板(panel)的图案需要两个光罩才能曝出来，则设计两个光罩200与210用以分别曝成面板的完整图案。而在光罩200与210中分别有一重合部位202与212，其中的光罩图案相同但呈现灰度状态，愈往外侧其曝光能量愈低，而且在重合部位202、212中具有十字型指针(target)204与214。此外，在指针204靠近光罩200中央的一侧配置有相连指针204的标记图形206；以及在指针214靠近光罩210中央的一侧配置相连指针214的标记图形216，其中指针206与216形状大小皆同，且于本实施例中是一矩形标记，当然也可以是其它形状的标记。然后，当两光罩200与210分别曝光及显影后，其中的重合部位202与212将重叠成同一区域的相同图案，且十字型指针204曝出的图案也会与十字型指针214曝出的图案互相重叠，而标记图形206与216会曝出分别形成于指针两侧的标记。

当利用上述渐层遮光板曝光法的光罩侦测其接合(stitching)对准时，其步骤如图3所示。

图3所示依照本发明的一较佳实施例的侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的步骤示意图。

于步骤300中，提供具有一重合部位的第一部份光罩，且于重合部位的指针靠近光罩中央的一侧设置一标记图形。接着，于步骤302中，提供具有一重合部位的第二部份光罩，且于重合部位的指针靠近光罩中央的一侧设置另一标记图形。接着，于步骤304中，利用第一部份光罩与第二部份光罩对一基板进行曝光。

之后，于步骤306中，进行显影，以于基板上形成标记与指针的图案。随后，于步骤308中，依照两部份图案重叠的光罩所曝出的两标记的清晰边缘间的距离，来判定其接合状况是否标准。虽然于本实施例中仅以两个光罩为例，但是实际上组成一个液晶显示器面板的光罩数目可以是两个或两个以上，而且当标记图形是矩形时，不但可以测知光罩左右接合偏移量，还可同时获得光罩的上下接合偏移量。而下图即是曝光显影后所得到的图案。

图4是依照图2A与图2B所示的渐层遮光板曝光法的光罩在分别曝光与显影后，形成于基板上的指针与标记图案。

请参照图4，当光罩200与210(请见图2A与图2B)的接合对准无误时，则其经过曝光显影后形成于基板上的标记206a与216a将会如本图所示，位于指针404两侧的标记206a与216a因重合部位202与212(请见图2A与图2B)是渐层遮光的，所以其靠外围的边缘明显较接近指针404的中心部位清晰，所以可经由量侧标记左右间距400以及标记上下间距402，而得到其实际间距的中心点与标准的间距中心点位置相同。反之，则会发现实际间距的中心点将与标准的间距中心点位置不同。

综上所述，本发明的特征包括：

1.本发明因为在采用渐层遮光板曝光法的光罩的重合部位中的指针一侧设置标记图形，所以当光罩有偏移时，可以根据曝光显影后形成的两标记间距与其中心点的偏移量来判断光罩间的接合对准是否有偏差。

2.本发明因为能够正确侦测出光罩的接合情况，所以可在改善接合情况下，实时了解产品的效能。

3.当本发明的标记图形是矩形或是其它边缘清晰的图形时，不但可以测知光罩左右接合偏移量，还可同时获得光罩的上下接合偏移量。

虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定为准。

Claims (9)

1、一种渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：包括：

复数个光罩，该些光罩分别具有一重合部位，其中该重合部位愈往外侧的曝光能量愈低，且其具有一指针；

一标记图形，设置于该重合部位的该指针靠近该些光罩中央的一侧。

2、如权利要求1所述的渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：该标记图形包括矩形。

3、如权利要求1所述的渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：该指针包括十字型。

4、一种渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：包括：

一第一部份光罩，包括：

一第一重合部位，其愈往外侧的曝光能量愈低，且其具有一第一指针；

一第一标记图形，设置于该第一重合部位的该第一指针靠近该第一部份光罩中央的一侧；

一第二部份光罩，与该第一部份光罩接合成为一面板的光罩图案，其中该第二部份光罩包括：

一第二重合部位，其愈往外侧的曝光能量愈低，且该第二重合部位与该第一重合部位具有相同图案，且该第二重合部位具有一第二指针，其中该第二指针与该第一指针在曝光后的位置相同；

一第二标记图形，设置于该第二重合部位的该第二指针靠近该第二部份光罩中央的一侧。

5、如权利要求4所述的渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：该第一标记图形与该第二标记图形包括矩形。

6、如权利要求4所述的渐层遮光板曝光法的光罩，其特征在于：该第一指针与该第二指针包括十字型。

7、一种侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的方法，其特征在于：包括：

提供复数个光罩，组成一面板的图案，其中该些光罩均包括一重合部位，于相连的该些光罩部份相叠，且于该重合部位上具有一指针，并于该重合部位的该指针靠近该些光罩中央的一侧设置有一标记图形；

使用该些光罩对一基板分别进行曝光；

进行显影，以于该基板上形成复数个标记；

对照该些标记的间距中心点与标准间距中心点，以判定相连的该些光罩的接合对准状况。

8、如权利要求7所述的侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的方法，其特征在于：该标记图形包括矩形。

9、如权利要求7所述的侦测渐层遮光板曝光法的光罩接合对准的方法，其特征在于：该指针包括十字型。

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