CN1488987A - 色轮形成方法 - Google Patents

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�w����֮
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三桥武文
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Abstract

本发明提供一种在成本、精度、制造容易度方面具有综合优势的色轮形成方法，该色轮在由能透射光的材料构成的盘衬底上设置有能透射希望的波长的光的滤光器，该色轮形成方法的特征在于，包括下述工序，该工序将包含在所述盘衬底表面侧规定区域上形成的颜色透射膜与相邻区域之间的边界线中的至少一条边界线的部分用作从里面曝光的掩模。

Description

色轮形成方法
技术领域
本发明涉及一种在彩色图像显示装置的光学系统中使用的色轮。
背景技术
在彩色图像显示装置的光学系统中，将上述色轮设置在光路上，用来产生周期性颜色变化。即，在盘的圆周方向上设置多种透射来自光源的白光中的特定波长的光的滤光器构成色轮，通过使该色轮在光路上高速旋转，产生周期性颜色变化。将透过色轮的光投射到图像转换装置，通过将其以使连续的彩色图像在观看者眼中能够成一体的方式映在屏幕上，来生成全彩色图像。这样的色轮用于例如具有DLP(数字光处理器)等光学系统的液晶投影仪或DMD(Digital Micromirror Device：数字微镜器件)投影仪等颜色顺序彩色显示装置中。
作为这样的色轮，例如，在特开2001-337390号公报中公开了沿盘的圆周方向分割为多个颜色区域的色轮，该色轮是将扇形的各种颜色滤色段设置在盘上或将各种颜色滤色段设置为盘状而形成的。
但是，由于必须对扇形滤色段进行正确的切断加工，并进行通过将扇形滤色段粘接等来形成1个盘的加工，导致光束通过扇形滤色段的边界处时产生噪声，而且还有旋转强度降低、旋转不平衡、产生摩擦风音等问题，存在调整这些滤色段需要熟练度和时间、成本的缺点。
例如，在美国第5711889号专利说明书中公开了通过光刻法在1个盘上制造3色滤色阵列的方法。
但是，例如，在RGB为1个周期、各区域的圆周角为120的情况下，需要使用将圆周角240的区域遮光的光掩模(使用正性抗蚀剂的情况)，或使用将圆周角120的区域遮光的光掩模(使用负性抗蚀剂的情况)，对每个RGB必须进行3次光掩模对准(alignment)曝光，但是在存在光掩模的对准误差的情况下，还存在各RGB透射膜彼此之间产生重叠或空隙，这些重叠或空隙导致图像不清晰或闪烁的问题。当然，通过尽量减小光掩模的对准误差，可以得到由各透射膜彼此之间的重叠或空隙引起的图像不清晰或闪烁较少的高精度的色轮，但是为此，存在需要用来制造模型的非常昂贵的设备的问题。
在使用反复对准光掩模来制造色轮的一般的光刻法的情况下，由于需要对每个RGB进行3次光掩模对准曝光，因此在色轮制造时需要很大的工作量和能量，存在处理时间长、速度慢的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种色轮形成方法，它可以解决现有的通过粘接等来粘贴扇形滤色段的方法和现有的光刻法中存在的问题，与这些方法相比，该方法在成本、精度、制造容易度方面具有综合优势。
为了实现上述目的，本发明1的色轮形成方法，该色轮在由能透射光的材料构成的盘衬底上设置有能透射希望波长的光的滤光器，其特征在于，
包括下述工序，该工序将包含在所述盘衬底表面侧规定区域上形成的颜色透射膜与相邻区域之间的边界线中的至少一条边界线的部分用作从里面曝光的掩模。
上述发明中，通过包括将包含与在以前工序中已经形成的颜色透射膜与相邻区域之间的边界线中的至少一条边界线的部分用作从里面曝光的掩模的工序，能够在理论上完全避免在用作从里面曝光的掩模的边界线处产生重叠或空隙。此外，在该工序中兼用的光掩模的对准误差仅表现为各RGB透射膜面积的增减，由于各RGB透射膜之间的重叠或空隙对图像不清晰和闪烁的影响远远大于各RGB透射膜面积增减对图像不清晰和闪烁的影响，因此，本发明在防止图像不清晰和闪烁方面非常有利。这样，在理论上不会产生重叠和空隙是本发明最大的特征和优点。
另外，通过使作为从里面曝光的掩模使用的包含边界线的部分具有里面曝光的掩模的作用，能够在与该边界线对应的部分上形成非常清晰的图案边缘。
本发明中，所述边界线除了可以为直线，还可以为曲线。
本发明2的色轮形成方法，该色轮在由能透射光的材料构成的盘衬底上设置有能透射希望波长的光的滤光器，其特征在于，包括下列工序：
(1)在所述盘衬底表面侧的整个面上涂覆光致抗蚀剂，
(2)在所述光致抗蚀剂的第1规定区域之外的区域上采用光掩模，进行曝光显影，去除第1规定区域的光致抗蚀剂，
(3)在工序2之后的衬底表面侧的整个面上形成第1颜色透射膜，
(4)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第1颜色透射膜，在第1规定区域上形成第1颜色透射膜，
(5)在工序4之后的衬底表面侧的整个面上涂覆抗蚀剂，
(6)将遮盖所述第1颜色透射膜的一部分以及第3规定区域的光掩模设置在所述衬底的里面，从所述衬底的里面侧进行曝光、显影，去除第2规定区域的光致抗蚀剂，
(7)在工序6之后的衬底表面侧的整个面上形成第2颜色透射膜，
(8)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第2颜色透射膜，在第2规定区域上形成第2颜色透射膜，
(9)在工序8之后的衬底表面侧的整个面上涂覆抗蚀剂，
(10)从所述衬底的里面对整个面进行曝光、显影，去除第3规定区域的光致抗蚀剂，
(11)在工序10之后的衬底表面侧的整个面上形成第3颜色透射膜，
(12)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第3颜色透射膜，在第3规定区域上形成第3颜色透射膜。
上述发明中，在工序(6)中，通过使包含已经形成的第1颜色透射膜中没有被光掩模遮光的边界线的部分具有里面曝光的掩模的作用，可以在理论上完全避免在用作从里面曝光的掩模的边界线处产生重叠或空隙。同样地，在工序(10)中，通过不使用光掩模，而使已经形成的第1和第2颜色透射膜本身具有里面曝光的掩模的作用，可以在理论上完全避免在各边界线处产生重叠或空隙。
此外，在工序(6)中兼用的光掩模的对准误差仅表现为各RGB透射膜面积的增减，由于各RGB透射膜的重叠或空隙对图像不清晰和闪烁的影响远远大于各RGB透射膜面积增减对图像不清晰和闪烁的影响，因此，本发明在防止图像不清晰和闪烁方面非常有利。在工序(10)中，由于不使用光掩模，因此在理论上不会产生光掩模的对准误差问题。这也是本发明最大的特征和优点。
上述发明中，在工序(10)中，由于不使用光掩模，因此能够将对准光掩模的次数减少1次从而相应地减少该部分的工序时间。而在采用重复对准光掩模制造色轮的一般光刻法的情况下，在对应于工序(10)的工序中必须进行光掩模的对准。
上述发明中，在工序(6)中，通过使包含已经形成的第1颜色透射膜中没有被光掩模遮光的边界线的部分具有里面曝光的掩模的作用，可以形成非常清晰的图案边缘。并且，在工序(10)中，通过不使用光掩模，而使已经形成的第1和第2颜色透射膜本身具有里面曝光的掩模的作用，可以形成非常清晰的图案边缘。
另外，由于工序(4)、(8)、(12)是剥离工序，所以只要在整个衬底上形成各颜色透射膜即可(例如，只要在整个面上进行蒸镀即可)，因此，与采用在被蒸镀的衬底和蒸镀源之间插入掩模并仅在所需位置上进行蒸镀的掩模蒸镀等原始方法的情况相比，由于不需要使用掩模且不需要对准掩模，因此有优势。
在上述发明2所述的发明中，所述边界线除了为直线，还可以为曲线。
在发明1或发明2所述的发明中，各颜色透射膜不局限于多层膜，还可以是单层膜。由于多层膜具有可以仅透射特定波长区域的光、可以将该透射率提高到极限等优点而比较理想，因此，各颜色透射膜最好是通过蒸镀法或溅射法形成的多层膜。通过蒸镀法或溅射法形成的多层膜的耐热性和耐久性比较好，因此比较理想。
在上述发明2所述的发明中，在1个色轮中存在n个周期(n是自然数)的颜色透射区域，形成各颜色透射区域的圆周角为360°/3n的色轮的情况下，最好在所述工序(6)中使用遮盖圆周角θ为360°/3n＜θ＜2×360°/3n的区域的光掩模。
通过使用这样的光掩模，例如，在1个色轮内存在1个周期RGB的情况(RGB的3个区域为1周的情况)(例如图1)下，在1个色轮内存在2个周期的RGB的情况(RGB的6个区域为1周的情况)(例如图3(a))下，在1个色轮内存在3个周期的RGB的情况(RGBRGBRGB的9个区域为1周的情况)(例如图3(b))下，甚至在1个色轮内存在任意个周期的RGB的情况下，发明2所述的所有的工序的次数(包含掩模的对准次数)都不变，仅变化使用的掩模的形状，就可以分别作成上述周期的色轮。具体而言，1个周期的情况下使用矩形掩模等(例如图2的工序6)，2个周期的情况下使用领结型掩模(例如图4(a))，3个周期的情况下使用电风扇的叶片型掩模(例如图4(b))，分别将发明2所述的处理仅执行一遍即可。
例如，在1个色轮内存在1个周期的RGB、各区域的圆周角为120°的情况下，通过使用遮盖大于120°小于240°的区域的掩模，在工序(6)中兼用的光掩模的对准误差仅表现为各RGB透射膜面积的增减，由于各RGB透射膜的重叠或空隙对图像不清晰和闪烁的影响远远大于各RGB透射膜面积增减对图像不清晰和闪烁的影响，因此，本发明在防止图像不清晰和闪烁方面非常有利。与此相反，使用将圆周角240°的区域遮光的光掩模(使用正性抗蚀剂的情况)或将圆周角120°的区域遮光的光掩模(使用负性抗蚀剂的情况)时，由于光掩模的对准误差会在各RGB透射膜之间产生重叠或空隙，因此不会获得本发明的效果。
在1个周期的RGB的情况下，只要是大于120°小于240°的掩模，都可以应用于本发明，但是，从对准操作及掩模操作的容易度的角度考虑，在120°和240°之间的180°附近的掩模是最佳的。尤其是，如果使用180°的掩模，即可以遮盖一半衬底的矩形光掩模等，则可以便宜地制造光掩模，例如，可以代用或利用一边的直线性非常高的不透明衬底，从对准操作非常容易的角度考虑是最佳的。基于同样的考虑，在2个周期的情况下，从操作方面来讲，具有2个可遮盖90°左右的区域的扇形的领结型的掩模最佳，n个周期的情况下，具有n个可遮盖(360°/3n)×1.5左右的区域的扇形的掩模最佳。
由于各透射膜与光掩模相比容易通过曝光用的紫外线，因此，从确保曝光时间精度的余量以进行轻松操作的角度考虑，最好使用在可以进行自由对准操作的范围内，对尽可能大的区域进行遮光的掩模。具体而言，1个周期的情况下，优选能遮盖220°±10°左右的区域的扇形掩模，2个周期的情况下，优选具有2个能遮盖100°±5°左右区域的扇形的领结型掩模，n个周期的情况下，优选具有n个能遮盖(360°/3n)×1.5±10左右的区域的扇形的掩模，更一般地，在1个扇形区域的圆周角为θ的情况下，优选具有多个可遮盖2θ-(5°～10°)左右的区域的扇形的掩模。
通过将本发明这样的掩模设计思想与里面曝光组合起来，与采用反复对准光掩模来制造色轮的现有光刻法的情况相比，在设备投资、工序容易度这两个方面都有绝对优势，并且还可以形成比现有光刻法更高质量的色轮。特别地，在要求投影仪图像质量高的同时，还强烈要求提高RGB重复周期数的情况下，本发明特别有效。
在上述发明2所述的发明中，在工序(10)中，可以在所述衬底的里面的第3规定区域的一部分上施加光掩模之后，从所述衬底的里面侧对整个面进行曝光。
通过这样的结构，想在例如衬底上保留白色区域(透明区域)时，可以容易地保留白色区域。
在上述发明2所述的发明中，在所述工序(11)中，能够形成蓝色透射膜，即最后形成蓝色透射膜(B膜)。
通过这样的结构，在所述工序(6)和工序(10)中，利用红色透射膜(R膜)以及绿色透射膜(G膜)进行里面曝光时，由于通常可以省去仅阻隔特定波长的紫外线的滤光器(这里，仅阻隔来自曝光光源的光之中，透过R膜以及G膜的波长的光的滤光器)，因而比较理想。
在上述发明2所述的发明中，最好在贴有紫外线截止薄膜的小室内进行一系列工序。由此，可以降低设备成本、节省空间等。
在上述发明2所述的发明中，最好使用仅包含光源或得到与光源平行的光线的装置、简单的对准装置的非常简单且价格便宜的曝光装置。由此，可以降低设备成本、节省空间(曝光装置的小型化)等。
附图说明
图1是表示采用本发明的色轮形成方法制成的色轮的一个例子的示意图。
图2是用于说明本发明的色轮形成方法的示意图。
图3(a)和(b)是表示采用本发明的色轮形成方法制成的色轮的其它例子的示意图。
图4(a)和(b)是用来说明在本发明的色轮形成方法中使用的光掩模的其它例子的示意图。
具体实施方式
以下，根据附图详细说明本发明。
首先，说明采用本发明的色轮形成方法制成的色轮的一个实施形式。
图1是表示采用本发明的色轮形成方法制成的色轮的一个例子的示意图。
如图1所示，本发明的色轮1具有在由能透射光的材料构成的盘衬底2上形成红(R)、绿(G)、蓝(B)滤色器R、G、B的结构。
各滤色器R、G、B形成为内角(圆周角)为120°的扇形。入射到这些滤色器R、G、B上的白光分别被调制为红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)光。
这样的色轮可以有效地用于分时顺序颜色方式的彩色显示装置中。
其次，说明本发明的色轮形成方法。
图2是用于说明本发明的色轮形成方法的示意图，以形成图1所示的色轮的情况为例。图中，Z表示抗蚀剂层，R、G、B分别表示红色透射多层膜、绿色透射多层膜以及蓝色透射多层膜，R/Z、Z/R、G/Z/R等标记按照上层/(中间)层/下层的顺序表示多层膜。
首先，利用所属技术领域中公知的方法对图1所示的盘状衬底、例如石英玻璃、硼硅酸玻璃、铝硅酸玻璃、表面涂有二氧化硅的钠石灰玻璃等无机玻璃或透明塑料等构成的盘状衬底进行清洗。
然后，如图2所示，首先通过旋涂法等，在上述清洗过的盘衬底的整个表面上涂覆现有公知的光致抗蚀剂(例如，東京応化工業(株)社制造的OFPR-5000)，使成膜后的厚度为5～7μm左右(工序1)。图2中，Z表示光致抗蚀剂。
之后，涂覆完抗蚀剂之后，等待数分钟直到抗蚀剂干燥，将光致抗蚀剂在热板(例如85℃左右)上预焙数分钟(例如，1分钟)后，等待直到冷却到室温左右。
然后，在涂覆了光致抗蚀剂的面上的除第1规定区域之外的区域上采用光掩模PM，通过紫外线照射(例如，200μW/cm2、3分钟)对光致抗蚀剂进行曝光(工序2)。
之后，使用显影液(例如，東京応化工業(株)社制造的NMD-3)进行显影，去掉第1规定区域上的光致抗蚀剂，之后进行清洗(工序2)。
将显影、清洗后的衬底在热板(例如100℃左右)上进行数分钟的后烘干(例如，3分钟)。
随后，通过蒸镀(对整个面进行蒸镀)，在盘衬底的表面侧的整个面上形成第1颜色透射多层膜(在该实施方式中为红色，在图2中用R表示)(工序3)。该工序3之后，如图2所示，在盘状衬底的表面上具有在衬底上直接形成的红色透射多层膜部分(R)和在光致抗蚀剂上形成的红色透射多层膜部分(R/Z)。
之后，将在衬底上直接形成的红色透射多层膜部分(R)之外的其它部分，即在光致抗蚀剂上形成的红色透射多层膜部分(R/Z)进行剥离(Lift off)，去掉光致抗蚀剂(工序4)。可以适当选择现有的剥离剂(stripper)作为这时使用的剥离剂，例如，可以使用丙酮或2％左右的氢氧化钠水溶液，但是最好使用抗蚀剂剥离液(例如，東京応化工業(株)社制造的106号)。在该工序4之后，如图2所示，成为在衬底表面的规定位置(第1规定区域)上形成红色透射多层膜部分(R)的状态。
去掉上述抗蚀剂之后，进行清洗。
接着，与工序1相同，在衬底整个表面上涂覆光致抗蚀剂，进行预焙(工序5)。该工序5之后，如图2所示，成为在衬底的表面上形成在红色透射多层膜部分(R)上设置了抗蚀剂的部分(Z/R)，以及在衬底上直接设置抗蚀剂的部分(Z)的状态。
以上说明的工序1～工序5是与现有的光刻法基本相同的工序。
然后，在本发明中，在所述衬底的里面上配置遮盖衬底的里面的预定部分，即第1颜色透射多层膜的一部分(在本实施方式中，在红色透射多层膜部分(R)上设置了抗蚀剂的部分(Z/R)的一部分)以及第3规定区域(在本实施方式中，是在后续工序11中形成蓝色B的区域)的光掩模PM，从所述衬底的里面侧进行曝光、显影，去掉第2规定区域(在本实施方式中，是在后续工序7中形成绿色G的区域)的光致抗蚀剂(工序6)。
然后，与工序3相同，通过蒸镀(对整个面进行蒸镀)，在盘衬底的表面侧的整个面上形成第2颜色透射多层膜(在本实施方式中为绿色，图2中用G表示)(工序7)。该工序7之后，如图2所示，在盘状衬底的表面上有：在红色透射多层膜(R)上设置了抗蚀剂(Z)并在其上设置了绿色透射多层膜(G)的部分(G/Z/R)、在衬底上直接形成绿色透射多层膜(G)的部分(G)、以及在抗蚀剂(Z)上设置了绿色透射多层膜(G)的部分(G/Z)。
工序7之后，与工序4相同，将在衬底上直接形成的绿色透射多层膜部分(G)之外的其它部分，即在光致抗蚀剂上形成的绿色透射多层膜部分(G/Z和G/Z/R中的G/Z)剥离，去掉光致抗蚀剂(工序8)。该工序8之后，如图2所示，成为在衬底的表面的预定位置上直接形成红色透射多层膜部分(R)和绿色透射多层膜部分(G)的状态。
本发明中，在工序8之后，与工序1相同，在衬底的表面侧的整个上涂覆抗蚀剂(工序9)，然后不使用光致抗蚀剂，从衬底的里面侧对整个面进行曝光、显影，去掉第3规定区域上的光致抗蚀剂(工序10)。此时，想在衬底上保留白色部分时，只要在对应的位置上采用光掩模进行曝光即可。该工序10之后，如图2所示，在衬底表面上有：在红色透射多层膜部分(R)上形成抗蚀剂(Z)的部分(Z/R)、在绿色透射多层膜部分(G)上形成抗蚀剂(Z)的部分(Z/R)以及什么也没形成的部分。
工序10之后，与工序3相同，通过蒸镀(对整个面进行蒸镀)，在盘衬底的表面侧的整个面上形成第3颜色透射多层膜(在本实施方式中为蓝色，图2中用B表示)(工序11)。该工序11之后，如图2所示，在衬底表面上形成：在红色透射多层膜部分(R)上形成了抗蚀剂(Z)以及蓝色透射多层膜的部分(B/Z/R)、在绿色透射多层膜部分(G)上形成抗蚀剂(Z)以及蓝色透射多层膜的部分(B/Z/G)、在衬底上直接形成蓝色透射多层膜部分(B)的部分(B)。
最后，在工序12中通过去掉不需要的抗蚀剂，可以在衬底表面上形成所希望的多个颜色透射多层膜。
虽然上述图1所示的色轮1中R、G、B的重复为1个周期，但是在上述工序(6)中，通过使用图4(a)以及(b)所示的光掩模PM，也可以形成如图3(a)所示的RGB重复2个周期的色轮以及如图3(b)所示的RGB重复3个周期的色轮等多个周期的色轮。
以上，虽然说明了本发明的特定实施方式，但是本发明不局限于这些实施方式。
例如，在上述实施方式中，在工序3中，在最初形成蓝色透射多层膜(B膜)作为第1颜色透射多层膜的情况下，在工序6的里面曝光时，最好加入阻隔透过B膜的波长的光(例如，波长为不超过420nm的紫外线)而使这些波长之外的紫外线尽可能多地透过的滤光器。这是因为透射蓝色光的蓝色透射多层膜(B膜)具有比在红色透射多层膜部分(R)、绿色透射多层膜部分(G)更容易透射紫外线的倾向，B膜比R膜、G膜作为对紫外线的光掩模的性能差，因此用滤波器来辅助其性能。具体而言，通过加入滤光器，可以显著降低透过没有被光掩模遮盖的B膜的曝光光强度(几乎为零)，通过调整曝光条件，可以确认存在下述条件：在与光掩模对应的区域和与B膜对应的区域上保留抗蚀剂而在其它区域上去掉抗蚀剂(例如，200μW/cm2、15分钟)。如果不加入滤光器，则会去掉与没有用光掩模遮盖的B膜对应的区域的抗蚀剂。
如上述实施方式所示，在最后形成B膜的情况下，在利用R膜或G膜进行里面曝光时，由于通常可以省去仅阻隔特定波长的紫外线的滤光器(这里，是指仅阻隔来自曝光光源的光之中，透过R膜、G膜的波长的光的滤光器)因此比较理想。由于膜组成或膜材料不同，即使是R膜或G膜，有时也能透射紫外线，在这种情况下，根据需要(紫外线透射量)，利用R膜、G膜进行里面曝光时，最好加入仅阻隔透过R膜、G膜的波长的光的滤光器。
在上述发明2所述的发明中，多次重复工序(5)～(8)，可以形成4种颜色以上的色轮(例如，RGBX或RGBY等(X、Y表示包含白色、黑色(不透射)的其它颜色))。
通过这样的结构，可以除了R、G、B之外还可以形成例如黑色等区域。
在上述发明2所述的发明以及上述实施方式中，在上述工序(6)中，遮盖第1颜色透射(多层)膜和与其相邻的第3规定区域，先形成了第2颜色透射(多层)膜，但是，当然也可以遮盖第1颜色透射(多层)膜的一部分以及与其相邻的第2规定区域，先形成第3颜色透射(多层)膜。
虽然上述实施方式中说明了在所有工序中使用正性抗蚀剂的情况，但是，对于使用负性抗蚀剂的情况也同样适用。例如，在上述工序2中，可以使用负性抗蚀剂。
成膜也不局限于蒸镀，可以采用溅射法涂覆法等成膜方法。另外，各颜色透射膜不局限于多层，也可以为单层。由于多层膜具有可以仅透射特定波长区域的光、可以将透射率提高到极限等优点而比较理想，所以，各颜色透射膜最好是通过蒸镀法或溅射法而形成的多层膜。由于由蒸镀法或溅射法形成的多层膜的耐热性和耐久性比较好，因此比较理想。
根据本发明，提供一种色轮形成方法，它解决了现有的通过粘接等来粘贴扇形滤色段的方法和现有的光刻法中存在的问题，并且与这些方法相比，该方法在成本、精度、制造的容易度方面具有综合优势。

Claims (6)

1.一种色轮形成方法，该色轮在由能透射光的材料构成的盘衬底上设置有能透射希望波长的光的滤光器，其特征在于，
包括下述工序，该工序将包含在所述盘衬底表面侧规定区域上形成的颜色透射膜与相邻区域之间的边界线中的至少一条边界线的部分用作从里面曝光的掩模。
2.一种色轮形成方法，该色轮在由能透射光的材料构成的盘衬底上设置有能透射希望波长的光的滤光器，其特征在于，包括下列工序：
(1)在所述盘衬底表面侧的整个面上涂覆光致抗蚀剂，
(2)在所述光致抗蚀剂的第1规定区域之外的区域上采用光掩模，进行曝光显影，去除第1规定区域的光致抗蚀剂，
(3)在工序2之后的衬底表面侧的整个面上形成第1颜色透射膜，
(4)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第1颜色透射膜，在第1规定区域上形成第1颜色透射膜，
(5)在工序4之后的衬底表面侧的整个面上涂覆抗蚀剂，
(6)将遮盖所述第1颜色透射膜的一部分以及第3规定区域的光掩模设置在所述衬底的里面，从所述衬底的里面侧进行曝光、显影，去除第2规定区域的光致抗蚀剂，
(7)在工序6之后的衬底表面侧的整个面上形成第2颜色透射膜，
(8)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第2颜色透射膜，在第2规定区域上形成第2颜色透射膜，
(9)在工序8之后的衬底表面侧的整个面上涂覆抗蚀剂，
(10)从所述衬底的里面对整个面进行曝光、显影，去除第3规定区域的光致抗蚀剂，
(11)在工序10之后的衬底表面侧的整个面上形成第3颜色透射膜，
(12)通过剥离去除光致抗蚀剂上的第3颜色透射膜，在第3规定区域上形成第3颜色透射膜。
3.如权利要求2所述的色轮形成方法，在1个色轮中存在n个周期的颜色透射区域，各颜色透射区域的圆周角为360°/3n，其中n是自然数，其特征在于，
在所述工序(6)中使用遮盖圆周角θ为360°/3n＜θ＜2×360°/3n的区域的光掩模。
4.如权利要求2所述的色轮形成方法，其特征在于，在所述工序(10)中，在所述衬底的里面的第3规定区域的一部分上施加光掩模之后，从所述衬底的里面侧对整个面进行曝光。
5.如权利要求2所述的色轮形成方法，其特征在于，在所述工序(11)中，形成蓝色透射膜。
6.一种色轮，其特征在于，该色轮是由权利要求1～5中任一项所述的色轮形成方法形成的。
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