CN1449872A - 一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 - Google Patents
一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1449872A CN1449872A CN 03116276 CN03116276A CN1449872A CN 1449872 A CN1449872 A CN 1449872A CN 03116276 CN03116276 CN 03116276 CN 03116276 A CN03116276 A CN 03116276A CN 1449872 A CN1449872 A CN 1449872A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- microwave
- cleaning
- stainless steel
- steel chassis
- uviol lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本发明是一种利用微波产生紫外线/臭氧或氧等离子体，用以清除材料表面有机物、尘埃和水气污染的方法及其装置。这种方法适用于清洁绝缘体和半导体等材料的表面，特别适用于清洁导电玻璃的表面。本发明可利用普通微波炉，经改造得到微波臭氧/氧等离子体处理的装置。该装置还可以用于消毒、清除有机异味等。
Description
技术领域
本发明属于材料表面清洁方法及其装置，尤其是一种利用微波产生紫外光，臭氧或氧等离子体，以清除材料表面污染的方法及其装置。该方法和装置特别适用于清除导电玻璃表面的各种污染。
背景技术
在半导体以及各类器件的工业生产中，表面清洗是器件制备工艺中一项至为关键的技术。表面清洁处理的好坏直接关系到器件的性能与成品率。例如：在有机发光器件、液晶显示器件，以及传感器等工业中广泛使用一种透明电极，也称为透明导电玻璃或ITO玻璃，是由铟锡氧化物(ITO)沉积在玻璃基片上制成的。ITO透明导电玻璃在作为电极使用时要求其表面具有非常高的清洁度，所以必须经过严格的清洗处理，以清除有机物、尘埃和水汽等污染。虽然利用臭氧或氧等离子体处理样品表面是常规技术，但是，其清洁程度有局限性，适用面也不广泛。
发明内容
本发明的目的在于提出一种清洁效果好，适用范围广，操作使用安全方便的材料表面清洁方法及其装置。该方法及装置尤其适用于清洁工业中被广泛应用的透明电极。
本发明提出的材料表面清洁方法，是把需要清洁的材料置于微波辐射源和紫外光之间，由微波能量转化为紫外光能量，同时由紫外光激励产生臭氧或者由微波产生氧等离子体，实现对材料表面的高效清洁。
对应于本发明的上述材料表面清洁方法，本发明还设计了相应的清洁处理装置。该装置由微波辐射源、紫外灯、密封腔体构成。其中，微波源设置于密封腔体上部，紫外灯设置于腔体底部，腔体下侧设有进气口和出气口，其结构如图1所示。进气口可以接外配的气体流量控制器后接高纯氧气，出气口可以外接真空泵，这样可以控制腔体内的真空度。清洁处理时，将需要的清洁材料置于微波源和紫外灯之间。接上电源，微波辐射源产生微波，由紫外光激励产生臭氧和/或氧等离子体。
上述清洁处理装置可利用通常的微波炉改造而获得。具体如下：先制作一个具有进气口和出气口的不锈钢底盘，不带电极的紫外灯置于不锈钢底盘上，并把不锈钢底盘安装于微波炉的腔体中，通常是安装在底部；把微波炉的配套器具玻璃盘(罩)倒扣在不锈钢底盘上，玻璃盘(罩)下边缘与底盘之间用橡胶密封圈密封。
这样就在微波炉腔体中形成一个具有外接进气口和出气口的腔体。微波能量可以透过玻璃罩深入该密封腔体中，并激发紫外灯产生紫外线，紫外线照射氧气后产生臭氧。如果密封腔体中有一定真空度(1～10Pa)则能产生等离子体。把需要清洁的材料置于密封腔体内。表面的有机污染被臭氧氧化后随气流带走，或使有机污染和其它各种污染被氧等离子体轰击而离开材料表面，随气流被抽走，从而达到清洁材料表面的目的。
本发明清洁效果好，使用方便、安全，适用范围广，可适用于半导体材料和器件的表面清洁处理，尤其适用于ITO玻璃的表面清洗，可提高ITO玻璃的表面功函数，优化电极性能，此外，本发明还可用于卫生器具的消毒处理，或用于环保产品，消除有机异味等。
附图说明
图1为本发明的装置结构图示。
图2为利用微波炉改造的本发明装置结构图示。
图中标号：1为密封外壳，2为微波辐射源，3为紫外灯，4为进气口，5为出气口，6为ITO电极，7为电极基片，8为玻璃罩，9为不锈钢底盘，10为橡胶密封圈，11为微波腔体。
具体实施方式
实施例：
装置结构如图2所示，采用变频微波炉，加工不锈钢底盘9，加工制备不带电极的紫外灯3，放在不锈钢底盘9上，把不锈钢底盘安装在该微波炉腔体底部。用22厘米玻璃盘8倒扣在不锈钢底盘9上作为玻璃罩，玻璃罩边缘用特制橡胶密封圈10垫上。把进、出气口4和5接到微波炉后面板上，并接到外配的气体流量控制器上，气体流量控制器外接高纯氧气，出气口外接机械真空泵。这样可以控制玻璃盘内密封腔体的真空度，通过控制真空度可以让设备进行氧等离子体处理(1～10Pa)。更为方便的是，不必配上机械泵和气体流量控制器，在常压下就可以进行臭氧处理。微波能量可以经过调节，透过玻璃罩深入该密封腔体中，并激发紫外灯产生紫外线，或产生等离子体，使ITO表面的有机污染被臭氧氧化成二氧化碳随气流带走，或使有机污染和其它各种污染被氧等离子体轰击而脱离ITO表面，随气流被抽走，从而使ITO表面清洁。
Claims (4)
1、一种材料表面的清洁方法，其特征在于把需要清洁的材料置于微波辐射源和紫外光之间，由微波能量转化为紫外光能量，同时由紫外光激励产生臭氧或者由微波能量产生氧等离子体，实现对材料表面的高效清洁。
2、一种如权利要求1所述方法的清洁装置，其特征在于由微波辐射源，紫外灯、密封腔体构成，微波辐射源设置于密封腔体上部，紫外灯设置于腔体底部，腔体下侧设有进气口和出气口。
3、根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于进气口接外配的气体流量控制器后接高纯氧气，出气口外接机械真空泵。
4、根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于由微波炉改造而成，先制作一个具有进气口和出气口的不锈钢底盘，不带电极的紫外灯设置于不锈钢底盘上，并把不锈钢底盘安装于微波炉的腔体中，把微波炉的配套器具玻璃盘倒扣在不锈钢底盘上，玻璃盘下边缘与底盘之间用橡胶密封圈密封。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03116276 CN1449872B (zh) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 03116276 CN1449872B (zh) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1449872A true CN1449872A (zh) | 2003-10-22 |
| CN1449872B CN1449872B (zh) | 2010-05-12 |
Family
ID=28684154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 03116276 Expired - Fee Related CN1449872B (zh) | 2003-04-10 | 2003-04-10 | 一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1449872B (zh) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100448057C (zh) * | 2005-01-12 | 2008-12-31 | 友达光电股份有限公司 | 调整导体表面功函数的方法与有机发光元件及其制作方法 |
| CN101837357A (zh) * | 2010-05-04 | 2010-09-22 | 宁波大学 | 一种等离子体清洗装置 |
| CN101284711B (zh) * | 2007-04-11 | 2011-01-26 | 赖中平 | 可携带式常压电浆清洁机 |
| CN101171367B (zh) * | 2005-05-09 | 2011-06-15 | 应用材料公司 | 处理室的高效uv清洁 |
| CN102933907A (zh) * | 2010-07-02 | 2013-02-13 | 伊莱克斯家用产品股份有限公司 | 家用器具和对家用器具的功能子单元进行消毒和/或减小气味的方法 |
| CN102983064A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-03-20 | 上海交通大学 | 集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备 |
| CN103894377A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-07-02 | 韦小凤 | 一种紫外光和等离子体联合清洗器 |
| CN104056290A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-09-24 | 太仓华德石太工业设备有限公司 | 低压等离子体消毒装置 |
| RU2548906C1 (ru) * | 2013-11-22 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Способ очистки внутренних поверхностей диэлектрических изделий |
| WO2016197426A1 (zh) * | 2015-06-12 | 2016-12-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的紫外光清洗装置 |
| CN113413757A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-09-21 | 陕西青朗万城环保科技有限公司 | 一种臭氧去除方法及其控制系统 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106311682B (zh) * | 2016-10-09 | 2018-11-13 | 中国工程物理研究院流体物理研究所 | 基于微波电离的介质膜层表面污染清除系统及其清除方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5166528A (en) * | 1991-10-04 | 1992-11-24 | Le Vay Thurston C | Microwave-actuated ultraviolet sterilizer |
| EP0783327B1 (en) * | 1994-09-27 | 1999-03-17 | The Body Shop International Plc | Cleaning apparatus |
| ES2195651T3 (es) * | 1998-11-28 | 2003-12-01 | Quay Technologies Ltd | Fuente de luz ultravioleta accionada por microondas. |
| US6559460B1 (en) * | 2000-10-31 | 2003-05-06 | Nordson Corporation | Ultraviolet lamp system and methods |
-
2003
- 2003-04-10 CN CN 03116276 patent/CN1449872B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100448057C (zh) * | 2005-01-12 | 2008-12-31 | 友达光电股份有限公司 | 调整导体表面功函数的方法与有机发光元件及其制作方法 |
| CN101171367B (zh) * | 2005-05-09 | 2011-06-15 | 应用材料公司 | 处理室的高效uv清洁 |
| CN101284711B (zh) * | 2007-04-11 | 2011-01-26 | 赖中平 | 可携带式常压电浆清洁机 |
| CN101837357A (zh) * | 2010-05-04 | 2010-09-22 | 宁波大学 | 一种等离子体清洗装置 |
| CN101837357B (zh) * | 2010-05-04 | 2011-10-05 | 宁波大学 | 一种等离子体清洗装置 |
| CN102933907A (zh) * | 2010-07-02 | 2013-02-13 | 伊莱克斯家用产品股份有限公司 | 家用器具和对家用器具的功能子单元进行消毒和/或减小气味的方法 |
| CN102983064A (zh) * | 2012-11-07 | 2013-03-20 | 上海交通大学 | 集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备 |
| CN102983064B (zh) * | 2012-11-07 | 2015-08-19 | 上海交通大学 | 集紫外光/臭氧表面处理与电学性质原位测试的真空设备 |
| RU2548906C1 (ru) * | 2013-11-22 | 2015-04-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Способ очистки внутренних поверхностей диэлектрических изделий |
| CN103894377A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-07-02 | 韦小凤 | 一种紫外光和等离子体联合清洗器 |
| CN104056290A (zh) * | 2014-07-02 | 2014-09-24 | 太仓华德石太工业设备有限公司 | 低压等离子体消毒装置 |
| WO2016197426A1 (zh) * | 2015-06-12 | 2016-12-15 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的紫外光清洗装置 |
| CN113413757A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-09-21 | 陕西青朗万城环保科技有限公司 | 一种臭氧去除方法及其控制系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1449872B (zh) | 2010-05-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1449872B (zh) | 一种利用微波清洁材料表面的方法及其装置 | |
| CN105467777A (zh) | 曝光机及光罩洁净设备 | |
| CN101690936A (zh) | 一种废薄膜晶体管液晶显示器资源化处理方法 | |
| CN2785729Y (zh) | 常压等离子体清洗液晶显示玻璃屏表面设备 | |
| CN2869008Y (zh) | 真空室加工光敏密封真空玻璃制造设备 | |
| CN212998868U (zh) | 一种配套废气消毒过滤处理装置 | |
| WO2022077634A1 (zh) | 一种电子生产用自动排风除尘装置 | |
| CN208711338U (zh) | 一种工业废气的预处理反应塔 | |
| CN205046133U (zh) | 小型常压室温等离子体诱变育种仪 | |
| CN211400571U (zh) | 一种具有清洁功能的鼓风干燥箱 | |
| CN215311409U (zh) | 一种化工品加工废气处理装置 | |
| CN211514595U (zh) | 一种超净工作台 | |
| CN213853631U (zh) | 一种低温等离子除臭净化设备 | |
| CN209425395U (zh) | 一种可升降型洁净工作台 | |
| CN212790393U (zh) | 一种废气收集处理装置 | |
| CN220034649U (zh) | 一种pecvd设备腔体清洁装置 | |
| CN204268546U (zh) | 高效油烟净化反应装置 | |
| CN208513246U (zh) | 一种用于手机玻璃盖板丝印处理的等离子清洗机 | |
| CN108980995B (zh) | 一种便于拆卸的空气净化环保设备 | |
| CN112642506A (zh) | 一种洁净工作台 | |
| CN212818896U (zh) | 真空泵尾气净化装置 | |
| CN216677710U (zh) | 一种方便清理的废气处理装置 | |
| CN209793665U (zh) | 一种可调节自洁净工作台装置 | |
| CN217747500U (zh) | 一种管道式废气处理输送装置 | |
| CN218945784U (zh) | 一种微相清洗机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C17 | Cessation of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100512 Termination date: 20120410 |