CN1384377A - 一种带有光纤连接通道的密闭装置 - Google Patents

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Abstract

光电器件的密闭装置由两部分包装板,并带有一个通道,通道在用紧固件如螺栓或螺钉装配后可形成一个通道孔,上紧固件可使通道中在被注入液态焊料以封接包装板前通道壁得到预拉伸,制作螺栓的材料的热膨胀系数大于包装板的热膨胀系数。此热膨胀系数差异要至少部分地得到补偿。

Description

一种带有光纤连接通道的密闭装置
技术领域本发明是关于光电器件的密闭封装装置  这一封装装置包括有一个封装箱 一个封装盖和至少可容纳一根光纤的光纤连接通道
背景技术在已知的光电器件  激光器  的封装装置中  至少一根裸光纤  通常是多根  穿过封装箱壁上的开口  并连接到封装装置内部已有的器件上  封装箱和光纤通道都必须封接起来以防止内部器件受到环境  如潮湿  的危害  但由于用以封接的低温焊料的热膨胀系数比光纤中的玻璃的热膨胀系数大的多  所以  长期的剧烈的温度变化使光纤与封装箱间的密封受到损害  从而产生一些问题  即使光纤在与封装装置封接前用可软焊金属包镀过  也会产生类似问题在WO98/01783中  人们提议先将光纤包镀  再将低温焊料置入包装盖的封接表面和包装箱的封接表面之间  然后密封装配整个装置  即同时装配包装装置和排列整齐的光纤  这一方法可避免使用套层和在包装箱壁上开通道孔  而通过加热和压力将光纤压入低温焊料并封接在包装装装置中  在没有剧烈的温度变化时  这一装置可以正常地工作但是  最好还是拥有一个密封装置  它有相对高的抗温度变化性能  换句话说  即此装置可补偿由密封装置组件使用的质料不同而产生的热膨胀系数不相匹配
发明内容本发明一方面提供了一种密闭装置  它包含有一个1号包装板和一个有盖子功能的2号包装板  此装置还有一个对可分离的通道  它或是在1号包装板上  或是在2号包装板上或分布在2个包装板上  通道由两个可分离的部分组成  组装后  在其中间构成一个孔以容纳一根或多根连接此密封装置内外的光纤  此密封装置还有紧固件  用以将通道的两个分离部分固定在一起  1号包装板和2号包装板之间和通道孔中的光纤都同时用低温焊料封接起来通道的某一部分或两部分都呈V形槽状  以放置一根或多根光纤  V形槽状的尺寸大于光纤直径以便低温焊料能沿着光纤流动  使封接效果良好在本发明的一个具体装置中  1号包装板上有一个1号通道部分  2号包装板上有一个与1号通道部分相匹配的2号通道部分  也可是这样一种情形  即只有一个通道部分在1号包装板上或2号包装板上  另一个通道部分是一个独立的部件  用紧固件可将它与第一个通道部分装配在一起作为一种优化选择  对于低温焊料  可选用对玻璃有良好的可沾性和挤压力相对大的质料低温焊料的热膨胀系数也是一个重要的考虑因素另一方面  依据本发明可产生一种制作密闭装置的方法  这一密闭装置包含有一个1号包装板和一个与之相匹配的2号包装板  还有至少可容纳一根裸光纤的通道  这一方法有如下几个步骤
将一根光纤或数根光纤放置入通道
装配1号包装板和2号包装板  将其紧固在一起在其中间形成一个通道孔  光纤就放置在此孔中
将熔化的低温焊料浇在通道孔中
封接通道和1号包装板和2号包装板
其中  在浇入低温焊料和封接前  要先实施紧固这一步骤低温焊料最好在凝固时会膨胀  能封接1号和2号包装板最好将密封装置的要封接的部分加热至通道孔充满低温焊料
附图说明结合图形  下面的描述将详细揭示本发明  这些图形中
图1是依据本发明的密闭装置的透视图
图2是此装置的部分截面图
图3是低温焊料加热系统的简图
图4是显示紧固件功能的简图
具体实施方式如图1所示  典型的密闭装置有一个基座10和一个盖子12  基座和盖子的形状相匹配装配后形成一个密闭装置  基座和盖子各有通道表面11和13  盖子12上的孔14和基座10上的相匹配的孔16用于上紧固件  在具体的装置中  紧固件是如图2中所示的铝质螺栓上在镗孔中  作为一种替代  可用铆钉或其它可松动或不可松动紧固件  事实上  任何紧固件都可用合适的工具卸掉  不可松动紧固件  指像铆钉一类的紧固件  即轻易不去掉或替换的紧固件  我们的意图是一旦基座和盖子被固定在一起  若非因热膨胀或压力要做替换  基座和盖子是固定的基座和盖子的表面紧密配合且有封接狭槽22  通道表面11和13间形成V形槽24  以容纳一定长度的光纤  未显示在图1中  正像可看到的那样  V形槽24和狭槽22在通道表面上相连接  以便于灌注低温焊料  安装后  封接狭槽22在密闭装置壁上形成一个狭道并有由通道中的V形槽24形成的通口  低温焊料灌注孔26钻在盖子上  直通狭槽  形成到狭道的通道V形槽24的尺寸大于裸光纤直径  以使低温焊料能在裸光纤周围流动  与光纤长度相等的夹料紧贴着V形槽壁放着  其直径大于裸光纤直径  夹着裸光纤  使裸光纤被局限而不接触V形槽壁基座和盖子由科瓦铁镍钴合金  一种热膨胀系数小的材料  制成  以便于封接  焊接时建议在其表面镀Ni/An膜此密闭装置装配时  将一光学器件固定在基座内  光纤头正确地在通道中的V形槽中摆放好  然后用螺栓18装配盖子和基座  在图2中可看到  基座上或盖子上的通道面或两个通道面都被修整过  使装配后的通道V形槽构成一个通孔  大小能横向容纳一组光纤  可允许由器件或低温焊料热膨胀引起的盖子和基座的相向变形  另一方面  通孔也不能太宽以防止低温旱料大量地溢出V形槽  这样会减小通孔的收缩度  通孔的宽度应能利用表面张力保留住V形槽中所有低温焊料  在实践中  宽度应在0.3-1毫米之间将盖子和基座用螺栓装配好后  液态Bi/Sn焊料通过盖上的灌注孔26灌注到tunnel填充狭槽22和V形槽24  同时  至少对此装置的一部分加热到高于138C的温度  注意  只要狭槽22被正确地灌注低温焊料  通道孔不必要注满焊料  因为光纤会在狭槽与V形槽的交接处密封好灌注完成后  冷却装置  焊料在凝固点138C变成固态  并膨胀3％  由于tunnel和通道孔30的容积已由螺栓18限定  焊料的膨胀会对tunnel壁和通道V形槽中的光纤的表面产生一定的压力  在图2中  光纤27周围的阴影区32表示焊料光纤表面的压力会促成密闭地封接  就像在传统的Cerocast流程中那样  在金属与焊料的交接面上存在两种封接作用机制  即焊接和压接  所以会产生一个高可靠性的密闭封接效果以下是焊料使用控制中要注意的几个重要因素焊接处的温度熔化Bi/Sn焊料  温度需要高于138C  这一温度是高于光电器件的最大正常操作和存储温度的  这就会产生多余的热膨胀压力  用于固定硅片和光学器件的粘胶可能会退化  所以局部加热的方法通常更可取  图3显示了解决这一问题的加热方法的主要设计  一对方环形的加热器分别与已装配好的装置36的顶面和底面相接触  加热装置的壁  而使中央部分空开  由于盖子和基座的厚度相对很小  如0.5毫米  装置的壁和中央部分的温度差异不会太大  可实施有限元素分析来确定壁和中央部分的温度差异  若此温度差异不够大  可在中央部分使用散热器来增加温度差异空气抗性如果没有空气的出口  空气所占据的空间不能被焊料取代  焊料的流动会减慢甚至停止为缓解这一问题  可在盖子和基座边壁上沿着狭槽开出小气孔  未在图中显示  气孔对于空气的轻易溢出足够大  但对与焊料又小得足以使焊料的表面张力将焊料锁在狭槽中  众所周知  空气可从小孔中轻易地溢出  而焊料却有很大的粘度  合理大小的气孔约为100微米表面抗性表面抗性来自于两方面  即表面的几何特征和物理化学特性  在几何特征上  应避免在tunnel内有尖角  正确的表面镀膜可减小这一影响  要对此问题有更好的分析  需要丰富的表面能量和流体运动知识  然而  我们建议在一开始就使用有良好可沾湿性如Ni/Au膜在本发明的具体装置中  V形槽24是直接在密闭装置体上加工出来的  在截面上呈半圆形装配后  形成圆孔24  当然  其它形状也是可行的  密闭装置体  盖子和基座  的材料用Kovar比较好  其热膨胀系数约为5ppm  而Bi/Sn焊料的热膨胀系数为15ppm  这就产生热膨胀系数10ppm的差异  造成失配  即温度变化时  焊料的膨胀或收缩程度较密封装置体的大  潜在地造成焊料  光纤和密封装置壁间的封接不是很好  依据本发明  这一失配可通过使用紧固装置补偿  紧固装置的材料和装置的各部分的尺寸都是经过选择的  以实现用紧固装置的热膨胀系数补偿密闭装置和焊料的热膨胀系数间的差异现在转向图4  为了简单  只显示了2个V形槽孔  在相匹配的表面间由通道表面11和13围成一个狭小的通道孔30  螺栓18  如图4所示  位于装置的匹配区  在通道孔30内这样当上紧螺栓时  螺栓能起到杠杆功能  克服装置体材料Kovar  的硬度  使盖子和基座相向倾斜  如图箭头38所示螺栓18  最好一开始就上得很紧  使盖子和基座相接触  螺栓的张力会使通道部分得到预拉伸  结果  通道孔的宽度在某种程度上向理论宽度缩减  当焊料被灌注到通道孔和狭槽中并凉却时  它的膨胀会对tunnel壁和光纤表面产生压力  正如上所述  这有利于盖子和基座间良好的封接  紧接着  当周围温度升高时  密封装置体的热膨胀小于焊料和螺栓的热膨胀  预拉伸使螺栓的错位消失  至少在某种程度上能使包装板和焊料间的热膨胀失配和封接效果不受到严重影响  当然  紧固件和焊料的质料及各器件的尺寸都应正确地选择以使补偿效果达到最好  可使用钢质紧固件  热膨胀系数约为12  或铝质紧固件总之  补偿功效和补偿范围取决于所选用的质料和器件的尺寸本发明的一个优势是取消了装置封接前光纤的金属包镀  另一个优势是装置  通过圆形封接槽  和光纤通道的封接在同一步骤内完成  还有一个优势表现在温度变化补偿办法  这一办法可减小或消除封接退化的问题在本发明的精神和范围之内可以设想出许多其它的具体装置

Claims (11)

1一种封装装置，包括
第一个外壳和与第一个外壳相匹配的第二个外壳，
一个固定在第一或第二外壳中的至少一个上的分离的光纤通道。该分离的光纤通道由第一及第二部分组成，其尺寸大小使其装配后在其中间形成一通道孔，通道孔大小能容纳至少一段放置在该封装装置内部及外部之间的光纤，
用来将第一和第二通道固定在一起的紧固装置，及
用于密封该封装装置的密封物。
2一种封装装置，包括
带有第一个光纤通道表面的第一个外壳，
带有第二个光纤通道表面的第二个外壳，该通道表面与第一通道表面相匹配。第一及第二外壳加工成能使两个通道面在装配后形成一个通道孔，该通道孔能容纳至少一根一定长度的放置在该封装装置内外的光纤，及
用于将第一及第二通道部分固定在一起的紧固装置。
3权利要求2中的封装装置，还包括用来密封通道孔及第一和第二外壳的焊接材料。
4权利要求1中的封装装置中的紧固装置是有选择的，使它的热胀冷缩性可补偿焊接材料和外壳的热胀冷缩特性间的差异。
5权利要求4中的封装装置中的紧固装置是铝质的。
6权利要求1中的封装装置中的第一及第二外壳中的至少一个有一密封槽，其位置和尺寸设置能使之能容纳焊接材料，以密封第一及第二外壳。
7权利要求6中的封装装置中的密封槽与通道孔连接，以使灌注到槽中的焊接材料可流入通道孔。
8权利要求1中的封装装置中至少一个通道部分含有尺寸合适的槽，以容纳光纤和焊接材料。
9权利要求1中的封装装置中，该紧固装置预拉伸光纤通道，以使装配后的孔径缩小。
10一种制作密封包装的方法，该包装含有第一个外壳和与该第一外壳相匹配的第二外壳及可容纳至少一根光纤的通道。该方法有如下几个步骤，
将一根或数根光纤放入该通道，
将第一及第二外壳紧固在一起，在其中间形成一个通道孔，
将融化的焊接材料注入通道孔中，
密封通道及第一和第二外壳，
其中在注入焊接材料及密封前，先实施紧固步骤。
11权利要求10中的紧固步骤是在将焊接材料注入通道孔中之前用来预拉伸通道。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI565986B (zh) * 2012-11-13 2017-01-11 鴻海精密工業股份有限公司 光纖固定裝置
CN106999822A (zh) * 2014-09-25 2017-08-01 卡菲尔有限公司 V型过滤器框架
CN113001128A (zh) * 2021-03-11 2021-06-22 杭州祥博传热科技股份有限公司 采用液态焊接热管散热器的加工方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6546796B2 (en) 2001-03-15 2003-04-15 Therm-O-Disc, Incorporated Liquid level sensor
US6796725B2 (en) * 2001-10-05 2004-09-28 Kyocera America, Inc. Opto-electronic package for integrated sealing of optical fibers
US20040047571A1 (en) * 2002-09-06 2004-03-11 Boord Warren Timothy Hermetically sealed ferrule
CA2404093C (en) * 2002-09-18 2009-02-24 Itf Technologies Optiques Inc.- Itf Optical Technologies Inc. Optical component packaging device
US20040140343A1 (en) * 2003-01-22 2004-07-22 Wenlin Jin Vent hole sealing of hermetic packages
US9612409B2 (en) * 2003-09-15 2017-04-04 Intel Corporation Hermetic sealing of optical module
CA2572741C (en) * 2004-06-30 2013-09-17 Xponent Photonics Inc Packaging for a fiber-coupled optical device
US7543993B2 (en) 2006-03-03 2009-06-09 Hoya Corporation Usa Fiber-coupled optical device mounted on a circuit board
US7652892B2 (en) * 2006-03-03 2010-01-26 Kingston Technology Corporation Waterproof USB drives and method of making
US20110200288A1 (en) * 2010-02-12 2011-08-18 Eigenlight Corporation Hermetic package with leaded feedthroughs for in-line fiber optic devices and method of making
US20140086532A1 (en) * 2010-11-19 2014-03-27 Fci Optical Coupling Device, Optical Communication System and Method of Manufacture
US9504177B2 (en) 2011-06-14 2016-11-22 Lawrence Livermore National Security, Llc Hermetic electronics package with dual-sided electrical feedthrough configuration
CN118635674A (zh) * 2024-08-15 2024-09-13 苏州无双医疗设备有限公司 一种医疗器械壳体激光焊接装置和方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5433683A (en) 1977-07-08 1979-03-12 Hitachi Ltd Air seal mounting for light emitting element
CA1102598A (en) 1979-07-24 1981-06-09 Northern Telecom Limited Hermetic optical fibre feedthrough
JPS59176706A (ja) 1983-03-28 1984-10-06 Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> 光海底中継器用フイ−ドスルの光フアイバ気密固定構造
JPS6043889A (ja) * 1983-08-22 1985-03-08 Hitachi Ltd 光ファイバー付レーザーダイオード装置の組立方法
US5102029A (en) * 1990-06-22 1992-04-07 Watkins-Johnson Company Microwave integrated circuit package to eliminate alumina substrate cracking and method
US5280413A (en) * 1992-09-17 1994-01-18 Ceridian Corporation Hermetically sealed circuit modules having conductive cap anchors
US5396573A (en) * 1993-08-03 1995-03-07 International Business Machines Corporation Pluggable connectors for connecting large numbers of electrical and/or optical cables to a module through a seal
JP2684984B2 (ja) 1993-12-28 1997-12-03 日本電気株式会社 導波路型光デバイスの気密封止構造
US5736675A (en) * 1995-09-11 1998-04-07 Rockwell International Corporation Apparatus for providing a hermetically sealed environment
US5692086A (en) * 1995-10-25 1997-11-25 The Boeing Company Optical fiber locking submount and hermetic feedthrough assembly
JPH09318849A (ja) * 1996-05-24 1997-12-12 Fujitsu Ltd 光伝送モジュールおよびその製造方法
JP3457829B2 (ja) 1997-03-12 2003-10-20 京セラ株式会社 光伝送モジュール用パッケージならびに光伝送モジュール
JP2943760B2 (ja) * 1997-04-18 1999-08-30 日本電気株式会社 光ファイバ導入部の気密封止方法及び気密封止構造
US5892872A (en) * 1997-07-17 1999-04-06 Northern Telecom Limited Network unit enclosure
EP0985944A1 (en) 1998-09-07 2000-03-15 Alcatel Package for optoelectronic components
US6521989B2 (en) 1998-10-08 2003-02-18 Honeywell Inc. Methods and apparatus for hermetically sealing electronic packages

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI565986B (zh) * 2012-11-13 2017-01-11 鴻海精密工業股份有限公司 光纖固定裝置
CN106999822A (zh) * 2014-09-25 2017-08-01 卡菲尔有限公司 V型过滤器框架
CN113001128A (zh) * 2021-03-11 2021-06-22 杭州祥博传热科技股份有限公司 采用液态焊接热管散热器的加工方法
CN113001128B (zh) * 2021-03-11 2022-06-24 杭州祥博传热科技股份有限公司 采用液态焊接热管散热器的加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20020110344A1 (en) 2002-08-15
EP1237022A1 (en) 2002-09-04
CA2371412A1 (en) 2002-08-14
CN1207594C (zh) 2005-06-22
US6530701B2 (en) 2003-03-11

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