CN1377327A - 用于在长形基体上气相沉积的装置和方法 - Google Patents

用于在长形基体上气相沉积的装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1377327A
CN1377327A CN00813589A CN00813589A CN1377327A CN 1377327 A CN1377327 A CN 1377327A CN 00813589 A CN00813589 A CN 00813589A CN 00813589 A CN00813589 A CN 00813589A CN 1377327 A CN1377327 A CN 1377327A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
rotation
long element
supporting
supporting member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN00813589A
Other languages
English (en)
Inventor
亚历山德罗·罗西
佛朗哥·科基尼
斯特凡诺·格里科
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
-Fos
Original Assignee
-Fos
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by -Fos filed Critical -Fos
Publication of CN1377327A publication Critical patent/CN1377327A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01884—Means for supporting, rotating and translating tubes or rods being formed, e.g. lathes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B19/00—Other methods of shaping glass
    • C03B19/14—Other methods of shaping glass by gas- or vapour- phase reaction processes
    • C03B19/1484—Means for supporting, rotating or translating the article being formed

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

一种用于在用玻璃态材料做的长形构件(2)上化学沉积的装置和方法,其中,一旋转抓握构件(5)使长形构件(2)的第一端部(2b)旋转(20)。长形构件(2)的第二端部(2b)用一对支承构件(34、35)支承,它们沿轴向隔开(L1)并能允许第二端部作角度旋转和轴向滑动。每个支承构件(34、35)还作用一径向约束,防止第二端部(2b)离开旋转轴线移动,从而迫使第二部分(2b)和长形构件(2)以其纵向轴线与旋转轴线(18)共轴线。这样,就校正并补偿了长形构件(2)的任何弯度。

Description

用于在长形基体上气相沉积的装置和方法
本发明涉及用于在长形基体构件上化学沉积合成材料的装置和方法。
众所周知，光纤维通过拉拔一玻璃态材料的预成形件而得到。特别还知道，将预成形件按垂直位置放置在一炉子中，使上述预成型件的下部熔化。以后将熔融的材料通过一牵引装置向下拉拔，得到一形成光纤维的丝状构件。
在Corning glass Works的名下的专利EP 367871描述了一种用于得到一步长指数(a step index)光纤维的方法，该光纤维在芯部与涂层之间具有快速的折射率跃迁。此方法起初包括这样的步骤，即在芯棒上沉积包含基础玻璃和增加折射率的掺杂物的玻璃粒子。以后取出芯棒并凝固所得到的碳黑预成形件，以便形成一具有无掺杂物表面区的芯部预成形件。芯部预成形件被伸长，其中的空穴被封闭，以形成一芯部铒棒。以后以至少0.5g/cc的密度将涂层的玻璃碳黑沉积在芯部铒棒上。这可以通过在将涂层的玻璃碳黑沉积在其上之前将辅助烧嘴的火焰立即对着芯部铒棒。这样就得到最终的预成形件，它以后被凝固并被拉拔，以便得到一光纤维。
刚才描述的生产最终的预成形件的工艺通常称为OVD(外部气相沉积)工艺。
再次按照专利EP367871，采用一牵引装置拉拔出芯部预成形件，该装置包括一对牵引驱动轮(在专利EP367871的图3中用52代表)，它们在上述芯部预成形件的两相反侧作用一向下的牵引力，将芯部预成形件拔出。
本申请人已经注意到，当进行后一步骤时，有可能由于牵引轮的不正确的定位和/或操作，芯部预成形件的两相反侧受到不同的力，该力在其成形过程中造成芯部预成型件的弯曲；由于这一原因，可能生产出不完全直的或有形状缺陷的芯部预成型件。
再次按照专利EP367871，在往芯部预成形件(它在此阶段包括基体的长形构件)上沉积包覆的玻璃碳黑以前，将芯部预成形件的一端固定在一抓握装置(在专利EP367871的图4中用56代表)上，该装置安装在一车床上。本申请人已经注意到，当进行此步骤时，能产生芯部预成形件的定位误差，其结果将使芯部成形件的轴线不与预期的旋转轴线重合。
本申请人已经注意到，上述定位误差和上述形状缺陷能在化学沉积的最后步骤中在芯部预成形件中引起不可忽视的平直度误差。
因此，本申请人已经注意到，这种定位误差和其形状缺陷能组合起来，形成一不均质的最终预成形件(以该预成形件拔光纤维)，该预成形件是一个中心部分弯曲并有一距离上述预成形件的外表面的径向距离不恒定的预成形件；换句话说，如果取一横过预成形件的横截面，就可以看到，与芯部预成形件的截面对应的中心圆部分相对于最终的预成形件的圆形截面并不同心。
这种同心度误差在拉拔步骤中被保持，因此，所生产的光纤维有一相对于涂层不同心的芯部。
因此，芯部/涂层同心度提供了衡量芯部轴线与涂层轴线的对齐的好坏的尺度，因此是光纤维的基本参数。更具体一些，同心度定义为芯部与涂层的轴线之间的距离。通常，同心度应当有小的值(例如小于0.5μm，最好小于0.3μm)，以便当两个不同的光纤维的端部结合在一起时，所传导的光的衰减较小。实际上，光纤维通常通过对齐相应的涂层的外表面而连接，因此，如果芯部不完全沿相应的纤维的轴线放置，则两个芯部之间的结合可能是局部的，将产生具有高损耗的结合。
本发明涉及一种装置和一种方法，它们可以在一OVD工艺中提供一最终的预成形件，特别是，它们可在芯部预成形件上化学沉积的阶段使用，以便补偿在芯部预成形件中的任何形状缺陷和/或在将芯部预成形件放置在抓握装置上时的误差。
一般地说，按照本发明的装置和方法可以用在任何工艺中，在该工艺中，合成材料被化学沉积至长的基体构件上，以便补偿上述长形构件中的任何形状误差和/或定位误差。在一般情况下，长形基体构件可以有各种不同的成份，例如，可以是用玻璃态材料、陶瓷材料或石墨材料做的构件，而上述形状误差可以有各种不同的原因，例如，可以是在长形构件放在水平位置上以便进行合成材料的沉积之后，由于重力产生的弯曲而引起。
由本申请人提出的装置包括一旋转的抓握构件和一对支承构件，抓握构件使长形构件的第一端部能进入旋转状态，该支承构件沿轴向彼此隔开，并用于支承长形构件的第二端部，以允许上述第二端部作旋转运动和轴向滑动。每个支承构件还对在旋转轴线上的第二端部设置一径向约束，从而使第二部分和长形构件位于其与旋转轴线共轴线的纵向轴线位置。本申请人有这样的意见，即有可能有这种方法在轴向平面(即在一包括旋转轴线的平面)中限制长形构件的任何旋转，因而校正并补偿上述长形构件中的任何弯度。对于本发明的目的来说，“限制长形构件的旋转”指的是在上述长形构件上作用一径向约束，它保持上述长形构件足够直，以将可从其得到的光纤维的偏心度减小至产生不能接收的永久缺陷的值以下。
因此，按照本发明的装置使之能构造一均质的最终的预成形件，该预成形件有可能通过一拉拔工艺得到一光纤维，其芯部的轴线与涂层的轴线对齐。
在其第一个方面中，本发明涉及一种用于在具有纵向轴线的长形基体构件上化学沉积合成材料的方法，该方法包括下列步骤
-将上述长形构件的一端固定在一抓握构件中
-通过上述抓握构件赋予上述长形构件以绕上述纵向轴线的旋转。以及
-在上述长形构件上沉积合成材料，
该方法还包括这样的步骤，即进一步限制上述长形构件的一端在一轴向平面中的角度旋转。
有利的是，上述进一步限制角度旋转的步骤包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端。
上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤最好在上述长形构件的两相对端进行。
另一种方案为，上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤在上述长形构件的同一端进行。
此进一步限制角度旋转的步骤可以包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向隔开的位置沿径向约束上述长形构件的每一端。
按照另一个方面，本发明涉及一种用于在长形基体构件上化学沉积合成材料的装置，该装置包括：一旋转的用电动机驱动的抓握构件，它可以结合至长形构件的第一端部上；一支承装置，它能支承上述长形构件的第二端部；和一烧嘴装置；上述长形构件能绕一在上述旋转抓握构件与上述支承装置之间延伸的旋转轴线作旋转运动，其中，上述支承装置包括：一第一支承构件，它能与上述第二端部结合，以允许第二端部相对于第一支承构件作旋转运动和轴向滑动，上述第一支承构件还在上述旋转轴线上对第二端部提供一径向约束；一第二支承构件，它能与上述第二端部结合，允许第二端部相对于第二支承构件作旋转运动和轴向滑动，上述第二支承构件还在上述旋转轴线上对第二端部提供一径向约束；上述第一支承构件和上述第二支承构件沿上述旋转轴线彼此隔开。
第一支承构件和上述第二支承构件最好各自包括支承外壳和许多旋转构件，该旋转构件被支承外壳支承并可相对于支承外壳绕平行于上述旋转轴线的相应轴线旋转，上述旋转构件允许上述长形构件作上述角度旋转运动，并共同提供上述径向约束。
按照第一实施例，每个旋转构件为一椭球形
按照第一实施例的代替实施例，每个旋转构件为球形。
按照本发明的装置最好包括一辅助的支承构件，它可以结合至上述第一端部上，以允许第一端部相对于辅助支承构件作旋转运动和轴向滑动；上述辅助支承构件还在上述旋转轴线上对第一端部提供一径向约束；上述辅助支承构件和上述旋转抓握构件沿上述旋转轴线彼此隔开。
进一步的细节可在下列说明中找到，该说明参考了此处所列的附图：
图1用示意的侧视图示出了按照本发明提供的一种用于在玻璃态材料的长形构件上化学沉积的装置；
图2从上面看去，示出了图1的装置；
图3用正视图和放大的比例示出图1的装置的组成构件；
图4从上面看去，示出了图3的构件；
图5从上面看出，示出了按不同的工作位置的图4的组成构件；
图6用侧视图示出了图1的装置的变型；
图7从上面看去，示出了图6的变型；
图8示意地示出了图1的装置的操作原理；以及
图9示出图1的装置的另一个变型。
用于提供一可从其拉拔一光纤维的预成形件的OVD工艺概括地包括下列步骤：
I、第一步骤，其中，用一烧嘴借助一化学沉积工艺将许多化学物质沉积在一例如用一陶瓷材料做的直的圆柱形基体上。沉积在基体上的物质通常包括二氧化硅(SiO2)，二氧化硅一般掺杂以作为掺杂剂起作用的其它物质例如二氧化锗(GeO2)。此第一阶段的产品为一圆柱形预成形件，它接着形成光纤维的芯部；
II、第二步骤，其中，从预成形件中取出直的陶瓷基体，在预成形件中留下一中心孔；
III、第三步骤，其中，前面得到的预成形件在一炉子中受到干燥并固化，以便去掉在预成形件中所存在的氢氧离子(-OH)和水原子；这样就得到仍然有中心孔的玻璃态的预成形件；
IV、第四步骤，其中，在预成形件中的中心孔已经封闭(例如用一塞子)并在其中已经产生真空以后，将玻璃态的预成形件放在一炉子中，其中，使预成形件的一个下端熔化。下端的熔化使孔壁由于其中所产生的真空而塌陷。由于重力而流动的熔融的玻璃材料冷却，形成一具有预定直径的直的圆柱形构件，它被一牵引装置往下拉拔。此直的构件于是继续冷却并在几个等距离隔开的点被横向切断，以便形成许多长的圆柱形构件，它们也以术语“玻璃棒”著称；
V、第五步骤，其中，每个长形构件进行一采用一烧嘴的化学沉积工艺，以将许多接着形成光纤维的涂层的化学物质沉积在长形构件上。用于生产涂层的物质通常是二氧化硅(SiO2)。第五步骤的产品是一最终的低密度圆柱形预成形件。第五步骤可用一装置进行，该装置通常包括一用电动机驱动的旋转抓握构件(芯棒)、一用于支承长的圆柱形构件的第二端部的单元和一烧嘴，该抓握构件可以结合至长的圆柱形构件的第一端部上，该单元作用在该第二端部的一个点上，该烧嘴可在旋转抓握构件与支承装置之间移动；以及
VI、第六步骤，其中，最终的低密度预成形件用为第二步骤设计的同样的程序干燥并凝固。这样，就得到一最终的玻璃态的预成形件，它接着受到与在第四步骤所描述的工艺相似的拉拔工艺，以得到用形成光纤维的玻璃态材料做的丝状构件。
图1作为整体示出装置1，它用于在玻璃态材料的长形构件2上化学沉积，它适于用在上述工艺的第五步骤中。
长形构件2(玻璃棒)最好通过在上述OVD工艺中的第四步骤得到；不过，很显然，长形构件2也可以通过其它装置得到，并且一般包括一用玻璃态材料形成的长的圆柱体，该玻璃材料主要包括二氧化硅(SiO2)的材料，并且以较小的量包括其它能决定玻璃态材料的物理性能(例如折射率)的物质(掺杂物)。
装置1包括一旋转抓握构件5、一支承装置8和一烧嘴装置11，该抓握构件可结合至长形构件2的(基本为圆柱形)的第一端部2a上，该支承构件能支承长形构件2的第二端部2b，该烧嘴装置能在旋转抓握构件5与支承装置8之间移动。
旋转抓握构件5与支承装置8之间的距离可在安装装置1的步骤中调节。
更具体一些，装置1包括一平直的支承底座13，它支承一第一垂直结构15，从该结构上伸出与其上端15a靠近的旋转抓握构件5。旋转抓握构件5可绕一由一电动机20(示意地示出)驱动的水平旋转轴线18旋转，该电动机装在第一垂直结构15中并通过一机械传动(未示出)与旋转抓握构件5连接。旋转抓握构件5最好包括一芯棒，它可以稳定地结合至第一端部2a上。水平旋转轴线18在旋转构件5与支承装置8之间延伸。
平直的矩形支承底座13支承一第二垂直结构22，该结构放置在离开结构15一段距离的位置上并有一比后者小的高度。第二垂直结构22在顶部用一平直的壁24限定，在壁上用一将在下面说明的装置固定支承装置8。
烧嘴装置11(其类型为众所周知的，并示意地示出)包括一滑块26，从其上朝预成形件2伸出一喷嘴28(或许多喷嘴)，该喷嘴能发出一火焰29，以便加热预成形件2。更具体一些，滑块26可沿一直的、由支承底座13支承的导轨27滑动并备有一纵向的带螺纹的座26a，该座与一沿平行于轴线18的导轨27延伸的丝杠31结合。丝杠31可以被一电动机32驱动，以这样的方式作旋转运动，以使烧嘴装置11可沿一平行于旋转轴线18的直线方向D实现可逆的直线运动。
另一种方案为，烧嘴11可以处于固定位置，而结构15和22则可在底座13上(以一未示出的方式)移动。例如，可以用一与图1相似的螺旋机构，沿平行于轴线18的方向同步移动结构15和22。
如同已经知道的那样，烧嘴11能在火焰29中发射许多化学物质，它们沉积在预成形件2上；适于此用途的烧嘴的一个例子在专利US-A-5203897中作了描述。
按照本发明，支承装置8包括：
-一第一支承构件34，它可结合至预成形件的第二端部2b上，以允许第二端部2b相对于第一支承构件34作旋转运动和轴向滑动；第一支承构件34还在旋转轴线18上对第二端部2b提供径向约束；以及
-一第二支承构件35，它可结合至第二端部2b上，以允许第二端部相对于第二支承构件35作旋转运动和轴向滑动；第二支承构件35还在旋转轴线18上对第二端部2b提供径向约束。
第一和第二支承构件34、35都固定在平直的壁24上，并与旋转抓握构件5一起形成一用于沿一基本直线的方向可旋转地支承长形构件2的设备。第一和第二支承构件34、35在两个位置相对于轴线18径向地约束长形构件2的第二端部2b，这两个位置沿轴向隔开一预定的距离L1。由第一和第二支承构件34、35施加的双径向约束的存在使之有可能减少长形构件的任何弯度，或者，换句话说，使之有可能限制上述长形构件2在一轴向平面中的旋转。
距离L1通常在1～20cm之间，特别是，它最好在3～10cm之间，距离L1是根据长形构件2的物理特性选择的，因为，它取决于：
-长形构件2的直径，以及
-作为E×I定义的长形构件2的弯曲刚度，其中，E为构件2的材料的杨氏模量，I为构件2的截面的惯性弯矩(弯曲转动惯量)。
特别是，当长形构件2的直径和弯曲刚度加大时，距离L1加大，以防止作用在支承构件34或35上的力变得过大。
所示实施例中的支承构件34、35也有同样的结构。特别是，每个支承构件34、35包括(图3～5)：
-一矩形底座板40，它备有四个孔41，该孔位于矩形壁40的角上并用螺钉(未示出)将板40固定在壁24上，
-一第一金属框架43，它稳定地固定在底座40的矩形壁上，以及
-一第二金属框架44，它铰接在第一金属框架43上并位于其上，处于一依次在图3和5中限定的并示出的闭合的位置。
特别是，第一金属框架43有一在平面中为矩形的周边并包括一第一对平直的垂直的壁46，和一第二对平直的壁47，壁46彼此相向并垂直于板40延伸，壁47彼此相向，垂直于板40延伸，并与壁46成一体。每个壁46在其上缘上还有一半圆形的切口48，其功能将在下面说明。
第一框架43还设有一侧面的附属部分49，它垂直于一个壁47朝上述框架43的外侧延伸并与壁47成一体。
第二金属框架44在平面中有基本为矩形的周边并包括一第一对平直的垂直壁53和一第二对平直的垂直壁54，壁53彼此相向，壁54彼此相向并与壁53成一体。每个矩形壁54也有一半圆形切口55，其功能将在下面说明。
第二框架44也设有一对附属部分57，它垂直地从一个壁54朝框架44的外侧延伸并与壁54成一体，它有一用销54铰接至附属部分49的一个端部上的端部。第一和第二支承构件34、35的销58的位置也平行于旋转轴线18。
第一和第二框架43、44也可以在所述的闭合位置(在图3和图5中用实线表示)和打开位置(在图3中用点划线表示，和图4)之间运动。
在闭合位置，第一框架43的第一对壁46和第二对壁47的上缘平行于第二框架44的相应的第一对壁53和第二对壁54的上缘并与之相邻，而且第一框架43中的每个半圆形切口48与第二框架44中的相应的半圆形切口55一起限定一与轴线18共轴线的圆形开口60。开口60还有一直径，它大于长形体2的第二圆柱形端部2b的直径。
在打开位置，第一框架43和第二框架44彼此隔开，第一框架43的第一对壁46的上缘与第二框架44的第一对壁53的相应的边缘之间形成一钝角。
第一框架43有一对最好为椭球形的旋转构件62，它们安装在第一对壁46之间，并形成支承第二端部2b的旋转体；特别是，每个旋转构件62有一贯穿的中心孔64，其轴线与上述旋转构件62的主轴线重合，贯穿的中心孔64用销66接合，该销66平行于轴线18延伸，并有一稳定地固定在壁46上的端部。
相似地，第二框架44有一对最好为椭球形的旋转构件68，它们安装在第一对壁53之间，并形成支承第二端部2b的旋转体；特别是，每个旋转构件68有一贯穿的中心孔69，其轴线与上述旋转构件68的主轴线重合。中心通孔69与一销70接合，该销平行于轴线18延伸，并有一稳定地固定在壁53上的端部。这样，每个旋转构件62、68就可绕一平行于轴线18的相应的旋转轴线相对于相应的框架43、44作旋转运动。
按照一个实施例变型(未示出)，旋转构件62和68有与上面所说的不同的形状，特别是一球形。
在上述闭合位置，每个销66和70与旋转轴线18离开一预定的距离。旋转构件62和68最好有相同的形状和相同的尺寸，以使每个旋转构件62和68与旋转轴线18之间的最小径向距离R(在图3中示出)基本恒定。
旋转构件62和68最好用同样的具有小的动摩擦系数的材料例如含氟聚合物(RulonJ或Valflon F107)制造。特别是，对应于50～350℃之间的优选的操作温度，材料的动摩擦系数在0.05～0.20之间，而弹性模量则在1200～3000N/m2之间。
旋转构件62和68还用耐酸(例如盐酸)的材料制造。
按照图3、4和5示出的优选的构形，每个旋转构件62、64有一环形槽72，该槽沿最大径向尺寸的横截面延伸并装有一弹性环73，特别是用弹胶物材料做的环(例如用以商品名Viton和Karlets著称的弹胶物材料制造的环)，该环限定了相应的旋转构件和端部2b之间的单一的接触点。也可以没有弹性环73。
弹性环73从旋转构件62、68的表面突出，每个弹性环73与轴线18之间的最小径向距离基本不变，并略小于上述径向距离R。
每个支承构件34、35还设有锁紧装置75，它能稳定地保持金属框架43和44处于上述闭合位置。特别是，锁紧装置75包括一具有第一端部77a和第二端部77b的长形构件77，该第一端部铰接在一附属部分78上，该附属部分从对应于与其相反的壁47的壁40延伸，从该相反的壁47伸出附属部分49，从第二端部77b沿轴向伸出一滚花的圆柱形捏手79。
长形构件77有一螺旋弹簧81，它与构件77共轴线地安装并有一固定在捏手79上的第一端部和一第二端部，在第二端部上固定一与构件77共轴线地配合的环82。在上述闭合位置，环82靠在一从一个壁54上伸出的U字形构件83上。用这种方式，当环82通过弹簧81压靠在U字形构件83上时，金属框架43和44就稳定地保持在上述闭合位置；还有，在此位置，长形构件77与在U字形构件83上的座接合。
为了使框架43、44彼此松开，朝底座壁40旋转长形构件77，使长形构件77从U字形构件83中出来，同时又使环82与U字形构件脱开，这就足够了。
按照图6中所示的第一变型，用于化学沉积的装置，除去上述支承装置8以外，还包括一辅助支承装置8a，它位于旋转抓握构件5的附近并能支承长形构件2的第一端部2a。辅助支承装置8a是支承长形构件2的设备的一部分。辅助支承装置8a和旋转抓握构件5在沿轴向互相隔开的两个位置相对于轴线18沿径向约束长形构件的第一端2a。
辅助支承装置8a包括一在顶部支承一支承构件85的垂直结构22a，该支承构件85有一与支承构件34、35相似的结构。特别是，支承构件85可以组合至第一端部2a上，以允许第一端部2a相对于支承构件85作角度旋转运动和轴向滑动；支承构件85还在旋转轴线18上对端部2a提供一径向约束。
因此，支承构件85包括两个金属框架(与框架43、44相似)，它们铰接在一起并支承旋转构件，该旋转构件有与旋转构件62和68相同的结构和相同的功能。
支承构件85与旋转抓握构件5之间的距离L2(沿轴线18测量)通常在1～20cm之间；特别是，距离L2最好在3～10cm之间。
与距离L1一样，距离L2取决于长形构件2的物理特性。
在使用时，为了放置长形构件2，支承构件34、35(还有支承构件85，如果有的话)放置在打开位置，以允许装入长形构件2。
具有基本为圆柱形的第一端部2a放置成与轴线18共轴线，并稳定地(按已知的方式)结合至旋转抓握构件5上。
第二端部2b被放置在支承构件34、35上，与芯棒5(打开)共轴线，并且特别被支承在支承构件34、35的旋转构件62上。更具体一些，端部2b与旋转构件62的弹性环73接触。
这样(图8)，端部2b有两个沿轴向分开一段距离L1的环形接触区Z1、Z2；每个接触区Z1、Z2都在下方与旋转构件62的弹性环73接触，该旋转构件62装在相应的支承构件34、35的第一框架43中。
接着用手使每个支承构件34、35(还有辅助支承构件85，如果有的话)的第二框架44旋转至闭合位置，并用锁紧装置75固定在该位置上。
这样，每个环形接触区Z1、Z2与所有属于相应的支承构件34、35的旋转构件62、68的弹性环73一起作用。
如果还有辅助支承装置8a，则在长形构件2的端部2a也限定另一接触区Z3(未示出)；当支承构件85处于闭合位置时，接触区Z3与上述支承构件85的旋转构件的弹性环在上面和下面都接触。
当支承构件34、35处于闭合位置时，端部2b穿过开口60，不会碰到上述开口的边缘，并且具有一基本等于距离R的半径，其沿径向被四个旋转构件62、68(尤其是被相应的弹性环73)夹成不能动。
沉积工艺是通过启动使长形构件2旋转的电动机20和启动用于使烧嘴装置11沿方向D作交替的直线移动的电动机32开始的。另一种方案为，如果烧嘴11固定在应有的位置上，则工艺从启动使移动结构15和22的螺旋机构(未示出)旋转的电动机开始。
在此工艺中，由于由烧嘴装置11产生的温度，由上述烧嘴装置11发射的各物质一起反应，而反应产物则沉积在长的圆柱构件2的外表面上。同时进行的圆柱形构件2的旋转和烧嘴装置11的平移运动在长形构件2上产生基本均匀的基体(SiO2和任何掺杂物)的沉积。
在上述沉积工艺中，每个支承构件34、35允许：
-端部2b相对于支承构件34、35的自由旋转，端部2b的旋转运动向其传递的旋转构件62和68是绕它们自己的轴线自由旋转的，以及
-端部2b相对于相应的支承构件34、35的轴向滑动，端部2b的相对于支承构件8的轴向运动是通过与相应的环73和端部2b表面的接触而传递的，此接触由于长形构件2的旋转而在轴向位移时限定一螺旋形轨迹。
端部2b的轴向滑动可在烧嘴装置11已经点燃以后，在长形构件2的不断加热时产生。
如果没有弹性环73，则端部2b与旋转构件62、68的表面直接接触，而轴向滑动则由于上述旋转构件62、68的小的动摩擦系数而产生。
如果有支承构件85，同样的考虑也适用于端部2a。
弹性环73也与接触区Z1、Z2接触，从而形成一径向约束，使部分2b放置成以其纵向轴线与轴线18共轴线。这样，就防止接触区Z1和Z2移离旋转轴线18。
这样，长形构件2在一轴向平面中的旋转就受到限制，长形构件2中的任何由端部2a在旋转抓握构件5上的定位误差引起的、和/或由在OVD工艺的第四步骤中引入的形状缺陷(弯曲的长形构件)引起的对中误差都被校正。
部分2b实际上是由一对支承构件34、35强迫保持与旋转轴线18共轴线，该对支承构件以这样的方式对部分2b施加上述径向约束，以致部分2b沿长度L1的段非常直地延伸，该长度L1位于一对支承构件34、35之间。平直度约束也作用于在支承装置8与旋转抓握构件5之间延伸的长形构件2的其余部分上。
当有辅助支承装置85时，在端部2a上得到一附加的校正作用。辅助支承构件实际上使第一端部2a完全与旋转轴线18共轴线。
因此，沉积工艺在一长形构件上进行，该构件做成基本直的，其纵向轴线与旋转轴线重合；这样，就生产出一最终的预成形件，它基本没有形状缺陷，也就是说预成形件有一中心部分(相当于玻璃棒)，该中心部分是直的并有一相对于预成形件的外表面为恒定的径向距离，以便在由该方法和装置得到的光纤维中提供一小于0.3的同心度。换句话说，如果横过预成形件取一横截面，就可以看到，对应于圆柱形玻璃棒的横截面的圆形中心部分相对于对应于最终的预成形件的横截面的圆形横截面是同心的。
当此预成形件受到拉拔工艺时，得到一光纤维，它有一与涂层同心的芯部。
继续沉积工艺，直至得到一具有预定尺寸的预成形件，它立即受到进一步的处理步骤，特别是已知类型的干燥步骤和凝固步骤
当沉积工艺完成时，断开电动机20和32，打开支承构件34、35(述有支承构件85，如果有的话)，以允许取下预成形件。将旋转抓握构件5和第一端部2a也脱开。
专门参看图9，它示出了一装置1a，它与前面描述的装置1的区别在于支承构件34、35的结构。在下面的说明中，同样的部分用与前面相同的数字代表，而不同的部分则用新的数字代表。特别是如同对装置1的相同方式的描述，装置1a包括一对支承构件34a、35a，它们沿旋转轴线18沿轴向相互隔开，并能支承长形构件2的第二端部2b的不同部分。
特别是，每个支承构件34a，35a包括一装有一管状套筒91的金属支承外壳90，该套筒相对于支承外壳90固定地安装并与旋转轴线18共轴线。支承外壳90布置在壁24的相反的端部上并稳定地固定在其上，以便在支承构件34a、35a之间提供上述轴向间距。
管状套筒91有一内径R，它基本等于圆柱部分2b的半径，以便在圆柱部分2b插入上述套筒91中时在部分2b上作用一径向约束。套筒91用具有小的动摩擦系数的材料制造，以便允许端部2b相对于套筒91旋转和轴向位移，特别是，套筒91有一在50～300℃之间的操作温度下最好在0.05～0.20之间的动摩擦系数，和一最好在1200～3000N/m2之间的弹性模量。
当有辅助支承构件85时，此构件可以有与支承构件34a、35a相同的结构。
在使用时，长形体布置成与旋转轴线18共轴线并插入支承构件34a、35a的套筒91中，以使端部2b位于支承构件34a、35a之间，该构件对端部2b的沿轴向隔开的区域施加上述径向约束。第一端部2a连至旋转抓握构件上并重复前面描述的化学沉积工序。
如同在装置1的情况所描述的那样，端部2b受到一对套筒91作用，使自己的轴线与旋转轴线1共轴线。实际上，套筒91在部分2b上加此作用上述径向约束，以致部分2b沿长度L1的段完全是直的该长度在一对支承构件34a、35a之间延伸。矫直约束也作用于在支承装置8和旋转抓握构件5之间延伸的长形构件2的其余部分上。
在有辅助支承构件85的情况下，也使之有可能进一步校正长形构件2的平直度。
装置1也可以有利地用于进行OVD工艺的第一步骤，在此情况下由于直的构件基本没有形状缺陷，故上述平直度的问题不太重要。
支承长形构件2的构件可以按不同方式制造，例如它们可以包括一个或更多的长形套筒(其中一个可以代替一对前述类型的支承构件)或其它技术上相似的装置，该装置适于按前述方式使用，以限制长形构件2在轴向平面中的旋转。
下面描述实验测量的结果。为了进行这些测量，本申请人提供第一组十个长形构件(玻璃棒)C1～C10，它们按照前面描述的OVD工艺的I～IV步骤制造。按此方式制造的长形构件(玻璃棒)C1～C10为1130mm长，并有10.1mm的直径。
长形构件C1～C10并不完全直，并且在放置在一用于进行化学沉积工艺的装置上时，有一纵向轴线，该轴线局部地从原先规定的旋转轴线偏移一不能忽略的距离。偏心一词将在下面用于代表这一距离。
附表1示出从第一组长形构件C1～C10得到的实验数据；这些实验数据包括每个长形构件的轴线距离旋转轴线的最大偏心的测量值，以及最大偏心的平均值和标准偏差。
                  表1
长形构件 最大偏心(mm)
 C1  0.22
 C2  0.23
 C3  0.26
 C4  0.30
 C5  0.33
 C6  0.34
 C7  0.44
 C8  0.61
 C9  0.71
 C10  0.80
 平均值  0.42
 标准偏差  0.21
本申请人还提供了第二组十个长形构件(玻璃棒)C11～C20，它们按与构件C1～C10相同的方式制造。按此方式制造的长形构件(玻璃棒)C11～C20为1130mm长，并有10.1mm的直径。
附表2示出从第二组长形构件C11～C20得到的实验数据；这些实验数据包括每个长形构件的纵向轴线距离旋转轴线的最大偏心的测量值，以及最大偏心的平均值和标准偏差。
                  表2
长形构件 最大偏心(mm)
 C11  0.22
 C12  0.23
 C13  0.27
 C14  0.30
 C15  0.33
 C16  0.37
 C17  0.41
 C18  0.63
 C19  0.73
 C20  0.81
 平均值  0.45
 标准偏差  0.22
偏心是用专门的装置(未示出)测量的，其中，第一旋转抓握构件能支承长形构件的第一端，一支承装置能自由旋转地支承长形构件的第二端。旋转构件是电动机驱动型的，并能使长形构件绕一基本水平的旋转轴线旋转。还设置一光电装置，它在上述长形构件旋转时能测量长形构件的纵向轴线与旋转轴线之间的偏心。光电装置包括一激光源，它能产生一光束，该光束沿横向对着长形构件并有一比长形构件的直径大的直径。测量装置还包括一光传感器，它相对于旋转轴线位于激光源的对面，能接收不被长形旋转构件隔断的那部分光束；这样，光传感器就接收一个光信号，它被长形构件相对于旋转轴线的位置调制并产生一电信号，该电信号包括有关长形构件相对于旋转轴线的位置的信息。在经过处理以后，电信号提供长形构件的纵向轴线与旋转轴线之间的偏心的瞬时指示。
为了允许沿长形构件的整个长度测量偏心，激光源和光传感器可沿旋转轴线同步地滑动。这样，可以确定偏心的最大值和偏心的平均值。
第一组长形构件C1-C10用于生产第一组用P1～P10代表的预成形件，在生产时采用了按照本发明制造并在图1和2中示出的装置。
第二组长形构件C11-C20用于生产第二组用P11～P20代表的预成形件，在生产时采用了与装置1不同的装置(未示出)。
此装置可包括一旋转抓握构件和一支承装置，该抓握构件与构件5相似，能抓住长形构件2的第一端部2a，该支承装置与支承装置8相似，但是没有能支承长形构件2的第二端部2b的支承构件34。此装置与装置1的区别在于，它能在单个地点支承长形构件2的每一端，因而可看作是单约束支承装置(对构件2的每一端)，以便将其与本发明所涉及的双约束支承装置区别开来。
本申请人决定采用这种类型的装置，以便在用按照本发明的装置得到的缺陷校正效果与通过在单个地点约束长形构件的每一端而得到的缺陷校正效果之间作一比较。
以后使预成形件P1～P10和P11～P20经受干燥和凝固工艺，并最后经受拉拔工艺，以得到相应的光纤维组F1～F10和F11～F20。在此特定的例子中，工艺如此进行，以使构成单模式光纤维F1～F10和F11～F20。
第一组中的光纤维F1～F10和那些在第二组中的光纤维F11～F20受到同心度的测量，采用的是Photonkinetics公司生产的“PK2400”装置。
此装置可用于确定芯部的中心和光纤维的中心，并测量这些中心之间的距离。
特别是，“PK2400”装置能将激光束照入接受试验的光纤维的第一端中，检测纤维的第二端的图象并在该图象上鉴别光纤维的几何中心和对应于离开上述光纤维的激光束的激光点。“PK2400”装置还能测量激光点与几何中心之间的距离；此测量代表光纤维在纤维的第二端的同心度。
下面的表3和4分别示出了所测量的第一组的光纤维F1～F10和第二组的光纤维F11～F20的每一个的最大同心度数据。还示出了最大同心度的平均值和相应的标准偏差。
                  表3
光纤维 最大偏心(mm)
 F1  0.06
 F2  0.13
 F3  0.20
 F4  0.16
 F5  0.13
 F6  0.25
 F7  0.24
 F8  0.32
 F9  0.23
 F10  0.32
 平均值  0.22
 标准偏差  0.07
                表4
光纤维 最大偏心(mm)
 F11  0.33
 F12  0.16
 F13  0.32
 F14  0.25
 F15  0.22
 F16  0.29
 F17  0.25
 F18  0.33
 F19  0.38
 F20  0.43
 平均值  0.30
标准偏差     0.08
考察表3和4所示的结果后可以看出，通过拉拔用按照本发明的工艺装置制造的预成形件生产的光纤维有比通过拉拔用单约束支承装置得到的预成形件生产的光纤维小的同心度。
特别是，标准偏差的改进特别重要，因为它们使纤维的生产者能保证特别小的同心度的变化范围。
本申请人还希望评定，当原来弯曲的长形构件(玻璃棒)用在按照本发明的装置中时，此长形构件的变形是如何被校正的。
表5、6、7和8示出，在沿旋转轴线以100mm的间距隔开时，用在按照本发明制造的装置中的长形构件的偏心值。
在0mm处的位置对应于旋转抓握构件5的位置，位置1000mm对应于支承构件34的位置。在表5、6、7和8中，第一支承构件34和第二支承构件35之间的距离L1分别为50mm、100mm、150mm和200mm。
                      表5距离L1等于50mm
抓握构件5的位置(mm) 偏心(mm)
 0 0
 100 -0.03
 200 -0.10
 300 -0.19
 400 -0.27
 500 -0.30
 600 -0.27
 700 -0.20
 800 -0.12
 900 -0.04
 1000 0
 1050 0
                     表6距离L1等于100mm
抓握构件5的位置(mm) 偏心(mm)
 0 0
 100 -0.03
 200 -0.11
 300 -0.20
 400 -0.28
 500 -0.31
 600 -0.29
 700 -0.22
 800 -0.13
 900 -0.05
 1000 0
 1100 0
                        表7距离L1等于150mm
抓握构件5的位置(mm) 偏心(mm)
 0 0
 100 -0.03
 200 -0.11
 300 -0.20
 400 -0.28
 500 -0.32
 600 -0.30
 700 -0.23
 800 -0.14
 900 -0.05
 1000 0
 1150 0
                      表8距离L1等于200mm
抓握构件5的位置(mm) 偏心(mm)
 0 0
 100 -0.03
 200 -0.11
 300 -0.21
 400 -0.29
 500 -0.33
 600 -0.31
 700 -0.24
 800 -0.15
 900 -0.06
 1000 0
 1200 0
表9示出采用(上述类型的)单约束支承装置得到的偏心，该装置用单支承构件支承长形构件的每一端。
                        表9
抓握构件5的位置(mm) 偏心(mm)
 0 0
 100 -0.05
 200 -0.16
 300 -0.29
 400 -0.42
 500 -0.50
 600 -0.50
 700 -0.44
 800 -0.32
 900 -0.17
 1000 0
考察表5、6、7、8和9中所示的结果后可以看出，按照本发明的装置使之有可能大大减小长形构件与旋转轴线之间的偏心。

Claims (16)

1.一种用于在具有纵向轴线的长形基体构件上化学沉积合成材料的方法，该方法包括下列步骤：
—将上述长形构件的一端固定在一抓握构件中，
—通过上述抓握构件赋予上述长形构件绕上述纵向轴线的旋转，以及
—在上述长形构件上沉积合成材料，其特征为，它包括这样的步骤，即进一步限制上述长形构件的一端在一轴向平面中的角度旋转。
2.如权利要求1的方法，其特征为，上述进一步限制角度旋转的步骤包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端。
3.如权利要求2的方法，其特征为，上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤在上述长形构件的两相对端进行。
4.如权利要求2的方法，其特征为，上述将上述长形构件的一端固定至一抓握构件上的步骤，以及上述相对于上述纵向轴线在两个沿轴向互相隔开的位置沿径向约束上述长形构件的至少一端的步骤在上述长形构件的同一端进行。
5.如权利要求1的方法，其特征为，上述进一步限制角度旋转的步骤可以包括这样的步骤，即相对于上述纵向轴线在两个沿轴向隔开的位置沿径向约束上述长形构件的每一端。
6.一种用于在长形基体构件(2)上化学沉积合成材料的装置，该装置包括：
—旋转的用电动机(20)驱动的抓握构件(5)，它可以结合至长形构件(2)的第一端部(2a)上；
—一支承装置(8)，它能支承上述长形构件(2)的第二端部(2b)；和
—一烧嘴装置(11)；上述长形构件(2)能绕一在上述旋转抓握构件(5)与上述支承装置(8)之间延伸的旋转轴线(18)作旋转运动，
其特征为，上述支承构件(8)包括：
—一第一支承构件(34)，它能与上述第二端部(2b)结合，以允许第二端部相对于第一支承构件(34)作旋转运动和轴向滑动，上述第一支承构件(34)还在上述旋转轴线(18)上对第二端部(2b)提供一径向约束；
—第二支承构件(35)，它能与上述第二端部(2b)结合，以允许第二端部相对于第二支承构件(35)作旋转运动和轴向滑动，第二支承构件(35)还在上述旋转轴线(18)上对第二端部(2b)提供一径向约束；
上述第一支承构件(34)和上述第二支承构件(35)沿上述旋转轴线(18)彼此隔开一预定的距离(L1)。
7.如权利要求6的装置，其特征为，上述第一支承构件(34)和上述第二支承构件(35)各自包括一支承外壳(43、44)和许多旋转构件(62、68)，该旋转构件被支承外壳(43、44)支承并可相对于支承外壳(43、44)绕平行于上述旋转轴线(18)的相应轴线旋转，上述旋转构件(62、68)允许上述长形构件(2)作上述角度旋转运动，并共同提供上述径向约束。
8.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件(62、68)是椭球形。
9.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件(62、68)是球形。
10.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件有一弹性环(73)，该环限定一对应于其环形区(72)的上述第二端部(2b)的外表面的支承，它沿最大径向尺寸的横截面延伸。
11.如权利要求7的装置，其特征为，上述支承外壳(43、44)包括至少一第一外壳部分(43)和一第二外壳部分(44)，该第一外壳部分支承上述第一许多旋转构件(62)，该第二外壳部分支承上述第二许多旋转构件(68)；至少上述第一和第二外壳部分(43)能在一打开位置和一闭合位置之间移动，在打开位置，上述第二端部(2b)可放置在上述支承装置(8)中，在闭合位置，上述旋转构件(62、68)允许上述长形构件(2)作上述角度旋转并提供径向约束。
12.如权利要求11的装置，其特征为，上述第一许多旋转构件(62)包括两个旋转构件，上述第二许多旋转构件(68)包括两个旋转构件。
13.如权利要求11的装置，其特征为，上述第一外壳部分(43)和上述第二外壳部分(44)是铰接(58)在一起的。
14.如权利要求7的装置，其特征为，每个旋转构件(62、68)有一中心通孔(64、69)，其轴线与上述旋转构件(62、68)的主轴线重合，此中心通孔(64、69)被一销(66、70)接合，该销平行于上述旋转轴线(18)延伸，并有稳定地固定在上述支承外壳(43、44)的相对的壁(46、53)上的端部。
15.如权利要求6的装置，其特征为，它包括一辅助支承构件(85)，它可结合至上述第一端部(2a)上，以允许第一端部相对于辅助支承构件(85)作角度旋转和轴向滑动，上述辅助支承构件(85)还作用一径向约束，以防止第一端部(2b)离开上述旋转轴线移动；上述辅助支承构件(85)和上述旋转抓握构件(5)沿上述旋转轴线(18)隔开(L2)。
16.如权利要求6的装置，其特征为，上述第一支承构件(34a)和上述第二支承构件(35b)各自包括一支承外壳(90)和一固定地安装在支承外壳(90)上的套筒(91)，每个套筒装有相应长度的上述第二端部，该端部有角度旋转和轴向滑动的自由度，每个套筒还对上述第二端部(2b)提供上述径向约束。
CN00813589A 1999-09-29 2000-09-26 用于在长形基体上气相沉积的装置和方法 Pending CN1377327A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP99119320.2 1999-09-29
EP99119320 1999-09-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1377327A true CN1377327A (zh) 2002-10-30

Family

ID=8239086

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN00813589A Pending CN1377327A (zh) 1999-09-29 2000-09-26 用于在长形基体上气相沉积的装置和方法

Country Status (9)

Country Link
EP (1) EP1218301B1 (zh)
CN (1) CN1377327A (zh)
AR (1) AR027864A1 (zh)
AT (1) ATE240275T1 (zh)
AU (1) AU7421600A (zh)
BR (1) BR0014418A (zh)
DE (1) DE60002740T2 (zh)
ES (1) ES2199859T3 (zh)
WO (1) WO2001023311A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101428964B (zh) * 2008-09-23 2011-01-12 富通集团有限公司 一种大尺寸光纤预制棒包层的制备方法
CN103630216B (zh) * 2012-08-27 2015-09-16 浙江富通光纤技术有限公司 一种用于粉末横向沉积的动态称重系统
CN110426988A (zh) * 2019-08-12 2019-11-08 江苏亨通光导新材料有限公司 一种激光微振动传感记录调节装置及其调节方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE60239504D1 (de) * 2001-05-08 2011-05-05 Shinetsu Chemical Co Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von einer Vorform für optische Fasern durch Abscheidung
US6789401B1 (en) 2001-06-28 2004-09-14 Asi/Silica Machinery, Llc Particle deposition system and method
ATE291563T1 (de) * 2001-11-29 2005-04-15 Pirelli & C Spa Vorrichtung und verfahren zur chemischen abscheidung auf einem stabelement bei einem lichtleitfaserherstellungsverfahren
CN108585469B (zh) * 2018-07-26 2021-02-12 杭州富通通信技术股份有限公司 光纤的制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4310339A (en) * 1980-06-02 1982-01-12 Corning Glass Works Method and apparatus for forming an optical waveguide preform having a continuously removable starting member
JPH01242433A (ja) * 1988-03-22 1989-09-27 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造装置
JPH06329432A (ja) * 1993-05-25 1994-11-29 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバスート製造装置
CA2121704A1 (en) * 1993-06-21 1994-12-22 Paul Andrew Chludzinski Apparatus and method for making an optical fiber preform
JPH0717736A (ja) * 1993-06-30 1995-01-20 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の延伸方法
JP3191548B2 (ja) * 1994-02-04 2001-07-23 日立電線株式会社 プリフォームロッドの製造装置
JP3318156B2 (ja) * 1995-07-17 2002-08-26 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101428964B (zh) * 2008-09-23 2011-01-12 富通集团有限公司 一种大尺寸光纤预制棒包层的制备方法
CN103630216B (zh) * 2012-08-27 2015-09-16 浙江富通光纤技术有限公司 一种用于粉末横向沉积的动态称重系统
CN110426988A (zh) * 2019-08-12 2019-11-08 江苏亨通光导新材料有限公司 一种激光微振动传感记录调节装置及其调节方法
CN110426988B (zh) * 2019-08-12 2021-11-16 江苏亨通光导新材料有限公司 一种激光微振动传感记录调节装置及其调节方法

Also Published As

Publication number Publication date
ATE240275T1 (de) 2003-05-15
ES2199859T3 (es) 2004-03-01
DE60002740D1 (de) 2003-06-18
DE60002740T2 (de) 2004-03-25
BR0014418A (pt) 2002-06-11
AU7421600A (en) 2001-04-30
EP1218301B1 (en) 2003-05-14
AR027864A1 (es) 2003-04-16
WO2001023311A1 (en) 2001-04-05
EP1218301A1 (en) 2002-07-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1276283C (zh) 光收发机及其制造方法
CN1126965C (zh) 色散补偿光纤
CN1582261A (zh) 用于在光纤制造中确定拉制张力的方法
CN1377327A (zh) 用于在长形基体上气相沉积的装置和方法
CN1293822A (zh) 投影光学系统、投影光学系统的制造方法和使用该光学系统的投影曝光装置
CN1105088C (zh) 石英玻璃及其制造方法
CN101052596A (zh) 具有高带宽的光纤及其制造方法
CN1148590C (zh) 光纤及其制造方法
CN1532159A (zh) 制造多孔玻璃粒子沉积体的方法和用于合成玻璃粒子的燃烧器
CN1976879A (zh) 由石英玻璃制造光学元件的方法
CN1890187A (zh) 制造柱形玻璃体的垂直拉制方法及实施该方法的设备
CN1314317A (zh) 光纤母材悬挂支承装置及光纤母材处理装置
CN1199026A (zh) 光学纤维用玻璃母材的电炉延伸方法和延伸装置
CN1291933C (zh) 生产光导纤维的方法和光导纤维
CN113740964A (zh) 一种激光辅助大模场保偏光纤切割装置及方法
CN1120155A (zh) 检测压水核反应堆内上部中导管之导向件的装置与方法
CN1524135A (zh) 光纤金属接头的制造方法及装置
CN1337365A (zh) 精密元件成形装置及其成形方法
JP5454609B2 (ja) 合成石英ガラス製造用治具
CN1286751C (zh) 使用外部气相沉积法制造光纤预制棒的方法和设备
EP3279155B1 (en) Method for manufacturing porous glass base material for optical fiber
JP4236090B2 (ja) 石英ガラスから中空円筒を製造する方法、及びその製造方法を行うための装置
JP4495070B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
CN112188999B (zh) 多孔质玻璃微粒子体的制造方法以及光纤母材的制造方法
KR102545711B1 (ko) 다공질 유리 모재의 제조 장치 및 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication