CN1354334A - 导流式双孔真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀,具有并列连接腔孔与泵孔的主流道及副流道、打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体,和打开关闭副流道中的副阀座的副阀体,在所述主阀体上,除了提升式地打开关闭主阀座的阀密封部件外,还设置了嵌装在主阀座内孔中的且逐渐变尖细的流量调节部,在打开所述副阀体之后打开主阀体时,使该流量调节部发挥使排气流量逐渐增大的功能。

Description

导流式双孔真空阀
技术领域
本发明涉及接在真空腔与真空泵之间、逐渐把真空腔内压力降低到真空压力的导流式双孔真空阀。
背景技术
通常，在半导体制造工序等中，在真空腔内的压力通过真空泵被减小到真空压力的场合下，当处于大气压和高压状态的真空腔内的气体被急速排出时，瞬间流动着大量的气体，因此在真空腔内产生了气体紊流，存在着附着于真空腔内壁等上的的颗粒上扬并附着在工件上，和工件移动而偏移其安放位置的危险。
因此，在连接上述真空腔与真空泵的流道中，设置了具有流道面积大的主阀体和流道面积小的副阀体的真空阀，如图7所示，首先，在通过气压使流道面积小的副阀体打开地进行初期排气后，通过打开流道面积大的主阀体而使气体吸入量分阶段变化。
不过，由于主阀体的流道面积明显比副阀体的大，所以即便在打开副阀体时进行初期排气后马上打开主阀体，仍然会产生激烈的流量变化，结果，容易在真空腔内发生气体紊流。
发明内容
本发明的目的是提供一种导流式双孔真空阀，它通过逐渐增大主阀体打开时的阀开启度而使流量变化平稳，并且由此能够在真空腔内稳定地进行排气以防止气体紊流。
为实现上述目的，本发明提供了一种导流式双孔真空阀，它具有：用于与真空腔相连的腔孔及用于与真空泵相连的泵孔；具有这些孔的阀壳；并列连接所述腔孔与泵孔的、截面面积大的主流道及截面面积比该主流道小的副流道；打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体及打开关闭所述副流道中的副阀座的副阀体；通过第一阀杆与该主阀体相连的第一活塞及通过第二阀杆与该副阀体相连的第二活塞；使开阀方向上的气压作用在第一活塞上的主压力作用室及使开阀方向上的气压作用在第二阀杆上的副压力作用室；在关阀方向上对所述主阀体施加弹力的第一弹簧件及在关阀方向上对所述副阀体施加弹力的第二弹簧件，所述主阀体具有通过接触和离开所述主阀座而提升地打开关闭该主阀座的阀密封部件、和嵌在该主阀座的内孔中并通过该阀密封部件在该内孔中移动的柱形流量调节部，所述流量调节部具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件打开时使流动于主流道中的空气流量逐渐增大。
具有上述结构的本发明真空阀在排放真空腔内气体的场合下，例如通过气压使副阀体动作以打开流道面积小的副阀座，由此进行初期排气，随后，使主阀体动作以打开流道面积大的主阀座，由此进行以后的排气。此时，由于所述主阀体具有逐渐变尖细的柱形流量调节部，所以，由于该流量调节部发挥了在主阀体打开时逐渐增大流动于主流道中的空气流量的作用，所以防止了由剧烈排气而引发的真空阀内的紊流。
根据本发明的具体实施形式，所述主阀体在与该流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。
所述主阀体的流量调节部在轴线方向上连续地具有多个坡度不同的斜面，或者通过多个平滑曲面而逐渐成尖细的形状。
根据本发明的其它具体实施形式，所述副流道及副阀体被组装到所述主阀体内，所述第二活塞及副压力作用室被组装到第一活塞内，所述第二阀杆被细装到第一阀杆内，所述主阀体在与所述流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。
在这种场合下，可以形成为，所述第一活塞具有连同所述主压力作用室与副压力作用室的通孔，所述阀壳具有一个用于给所述主压力作用室输送压缩空气的操作孔。或者，可以形成为，所述阀壳具有用于单独地给所述主压力作用室和副压力作用室输送压缩空气的第一及第二操作孔，其中第一操作孔通过设置于阀壳上的通孔与主压力作用室连通，第二操作孔能够通过设置于阀壳和第一阀杆内部的通孔与副压力作用室连通
附图说明
图1是表示本发明的真空阀第1实施例的截面图，它分别示出了副阀体的打开状态和关闭状态。
图2是表示本发明的真空阀第2实施例的截面图，它分别示出了副阀体的打开状态和关闭状态。
图3是表示本发明的真空阀第3实施例的截面图，它分别示出了副阀体的打开状态和关闭状态。
图4是表示本发明真空阀的操作压力和排气流量之间关系的特性图。
图5是表示本发明真空阀的主阀体的其它结构的主要部分的截面图。
图6是表示本发明真空阀的主阀体的其它结构的主要部分的截面图。
图7是表示传统真空阀的操作压力与排气流量之间的关系的特性图。
具体实施方式
以下，根据附图来详细说明本发明的实施形式。图1所示的第1实施例的导流式双孔真空阀100具有大致成筒形的阀壳1。阀壳1的轴线方向上的后端部被盖子2堵住，在阀壳1的前端部上，形成了用于与真空腔C连通的腔孔3，在阀壳1的侧面上，垂直于轴线地开设了用于与真空泵P连接的泵孔4。在阀壳1的内部，设置了并列连接腔孔3与泵孔4的流道面积大的主流道A和流道面积小的副流道B，与此同时，分别设置了打开关闭主流道A的主阀机构和打开关闭副流道B的副阀机构。
所述主阀机构具有打开关闭主流道A中的主阀座7的主阀体8、通过气压作用而动作地驱动主阀体8的第一活塞9、把主阀体7与第一活塞9连接起来的第一阀杆10。
主阀体8包括中央开口的圆盘形第一阀座6、安装在所述第一阀座6的周边部上的环形阀密封部件8a，它通过使阀密封部件8a接触离开主阀座7而提升地打开关闭主阀座7。主阀座8还与第一阀座6一体地具有嵌装在主阀座7的内孔7a中的短圆柱形止动部68和流量调节部69。其中，位于第一阀座6的根部侧的止动部68具有一致的直径，从而它在主阀体8关阀时抵靠着内孔7a内周的阶梯部7b，通过这种抵接，限定了主阀体8的关阀位置。流量调节部69被设置在比止动部68更靠近主阀体8前端的附近位置上，通过在轴线方向上连续地具有坡度不同的多个斜面69a、69b，从而逐渐形成了尖细形状。因而，通过随着阀密封部件8a的打开而在内孔7a内移动，使该流量调节部发挥了使流动于主流道A中的空气流量逐渐增大的功能。当主阀体8一直移动到打开行程结束时，该流量调节部69处于从主阀座7的内孔7a中完全抽出的位置上。
所述第一阀座6的中央开口形成了副流道B的一部分，并且它通过设置于第一阀座6中的通道72与泵孔4连通第一阀杆10的前端部嵌装并止动于第一阀座6的中央部内，并且通过止动轮11被固定住而不能被拔出。图中的12是保持第一阀杆10与第一阀座6之间的气密性的密封件。
第一阀杆10的后端部通过导套14及密封件30可自由滑动且不透气地贯通了阀壳1内部的台座13，所述后端部突出到成型于台座13、缸15及上述盖子2之间的第一活塞室16内，并且它通过螺母17与可自由滑动地设置在第一活塞室16中的第一活塞9气密连接。
第一活塞9在其外周上具有气密地滑动于第一活塞室16的内壁上的垫圈18及导杆19，在第一活塞9与台座13之间分段形成的主压力作用室20与开没于汽缸15侧壁上的操作孔21连通。
因此，当通过所述操作孔21给主压力作用室20供应压缩空气时，第一活塞9后退地打开了主阀体8。在这种场合下，在上述操作孔21中供应通过电动气动调节器而控制压力的压缩空气。
在所述阀壳1内部，在装于上述第一阀座6上的弹簧座22与台座13之间，设置了由沿着闭锁方向对主阀体8施加弹力的两个卷簧23a、23b构成的第一弹簧件23，与此同时，在夹在阀壳1与台座13之间的波纹管座25与第一阀座6之间，设置了内藏第一阀杆10与两个弹簧23a、23b的波纹管27。图中的28是保持阀壳1与波纹管座25之间的气密性的密封件。31是连通波纹管27的内侧空间与外界的呼吸孔，32是连接第一活塞9的后面的呼吸室与外界的呼吸孔。
另一方面，所述副阀机构具有打开关闭设置于主阀体8上的副流道B中的副阀座35的副阀体36、通过气压作用而动作地驱动副阀体36的第二活塞37、连接副阀体36和第二活塞37的第二阀杆38，这些部件如下所述地与上述主阀机构组装成一体。
就是说，副阀座35被安装在通过固定螺栓33被同轴固定于第一阀座6中央凹窝内的圆环形第二阀座34上。副阀体36具有通过接触离开副阀座35而提升地打开关闭在副阀座35的凸缘状阀密封部件36a，和嵌在副阀座35内孔35a中的针阀形流量调节部36b，副阀体可前后自由滑动地容放在成型于第一阀杆10的前端上的中空部10a内，并且通过由卷簧构成的第三弹簧件40在关阀方向上承受弹力。图中的42是使副阀体36的后室与外界连通的呼吸孔，43是保持第一阀杆10与副阀体36之间的气密性的密封件。
第二阀杆38气密且可自由滑动地插在第一阀杆10内，其后端部突出在成型于第一活塞室9内的第二活塞室44中，并且与可自由滑动地设置在第二活塞室44中的第二活塞37气密连接。图中的45是保持第二阀杆38与第一阀杆10之间气密性的密封件，46是保持第二阀杆38与第二活塞37之间的气密性的密封件，66是插设在第一阀杆10与第二阀杆38之阀的衬套，通过衬套66而防止了第二阀杆38振动。
第二活塞37在其外周上具有可不透气地滑动于第二活塞室44内壁上的密封部件47，在第二活塞37的前面侧上，在与第一活塞9之阀分段形成了副压力作用室48，副压力作用室48与主压力作用室20通过成型于第一活塞9上的通孔49彼此连通。
第一活塞9在其后端上一体地具有圆盖形活塞帽50，活塞帽50的内径比第一活塞9的内径小，通过活塞帽50的内径端，形成了限定第二活塞37的行程端点的止动面51。在活塞帽50内部的且位于第二活塞37背面的室55内，碟状活动弹簧座53被设置成可相对第二活塞37进退自如。在弹簧座53与第二活塞37背面的环形凹窝52之间，设置了由卷簧构成的第二弹簧件54，通过第二弹簧件54，第二活塞37沿着关闭副阀体36的方向承受弹力。因此，尽管在这个实施例中，副阀体36通过第二弹簧件54和第三弹簧件40而沿着关阀方向承受弹力，但根据场合的不同，也能够省略第三弹簧件40。
在第一活塞室16内，设置了沿着关阀方向对第一活塞9施加弹力的第四弹簧件73，设置第四弹簧件73是为了通过加强由第一弹簧件23产生的主阀体8的关阀力而使阀开启度相对操排压力的变化缓和并减小流量变化，但也并非一定要设置这个弹簧件。
在活塞帽50的顶面中央部上设置了螺纹孔58，在螺纹孔58中，可通过转动而自由进退地拧入了调节棒60。调节棒60的前端在室55内伸出并接触活动弹簧座53，相反一侧的根部穿过盖子2的中央部而伸到阀壳1外。在盖子2的中央部上如此装入了外周经过滚花加工的转盘56，即它可以从阀壳1外面进行自由转动操作并且通过止动轮57而不能被拔出，所述调节棒50穿过转盘56。转盘56和调节棒50可沿着轴线方向相对自由移动，但沿着转动方向，它们之间存在适当相互结合的关系。而且，当转动转盘56以转动操作调节棒60时，调节棒60前进或后退以让活动弹簧座53前后移动，由此一来，第二弹簧件的压缩量变化，其弹力受到调节。
图中的61是连通第二活塞37背面的呼吸室55与第一活塞9背面的呼吸室的呼吸孔，62是防止调节棒60被从活塞帽50中拔出的止动轮。
在上述盖子2上安装了防止转盘56自然转动的针64，针64被插入设置在盖子2中的孔中并且通过设置于止动螺钉65之间的弹簧把前端压在上述转盘56的滚花外周面上。
作为如上所述只在转动方向上结合调节棒60与转盘56的方法，例如存在着这样的方法，即调节棒60与转盘56被制成四角形或六角形等的方轴和轴孔，或者被制成侧面局部变平坦的圆轴和圆孔，或者被制成具有只在转动方向上相互配合的槽和突起的且截面形状适当的轴与孔。但也能采用其它适当的连接机构。
主阀机构与副阀机构之间的关系是这样的，通过设定为决定第一活塞9及第二活塞37直径且对这两个活塞施加弹力的弹簧件的弹力的关系，第二活塞37通过比第一活塞9低的气压动作。
在具有上述结构的真空阀100中，在非操作状态下，主阀体8通过第一弹簧件23及第四弹簧件73的弹力，且副阀体36通过第二弹簧件54及第三弹簧件40的弹力而分别移向关阀位置，通过与主阀座7及副阀座35接触而分别关闭了主流道A和副流道B，由此一来，即便真空泵P在这个状态下运转，真空腔C内的气体也没有从腔孔3中被排向泵孔4。
此时，如果通过未示出的电动气动调节器而受到压力控制的压缩空气从操作孔21中被送往主压力作用室20，则压缩空气也通过通孔49流入副压力作用室48。
随后，当在副压力作用室48内作用于第二活塞37的气压力比第二弹簧件54及第三弹簧件40的弹力大时，第二活塞37动作并通过第二阀杆38按照所设定的开启度打开副阀体36。因此，真空腔C内的气体通过有限开口的副流道B而徐徐流入泵孔4，真空腔C被缓慢地排成真空。
此时，在真空腔C内没有发生象进行急速排气场合那样的气体紊流，没有产生伴随紊流的颗粒上扬。真空泵P也没有因瞬间吸入大量空气而出现过负荷。
随后，当主压力作用室20内的气压上升并且作用于第一活塞9的气压作用力大于第一弹簧件23及第四弹簧件73的弹力时，第一活塞9动作，使第一阀杆10克服第一弹簧件23和第四弹簧件73的弹力地后退到与盖子2接触的位置上，打开了主阀体8。因此，截面面积大的主流道A打开，进行随后的排气。此时，在主阀体8上形成的流量调节部69随着阀密封部件8a打开主阀座7而在主阀座7的内孔7a中变移，通过成逐渐变尖细的形状，使所述流量调节部发挥了使流动于主流道A内的空气流量逐渐增大的功能，由此防止了由急速排气引发的真空腔C内的紊流。
通过在腔孔3、连接腔孔3与真空腔C的配管或真空腔C内部中等的任一处设置传感器来检测真空腔C内的真空压力，为了将真空腔C内的真空压力保持或改变为设定压力，自动调节电动气动调节器的输出压力。
当真空腔C达到所需的真空度时，如果降低来自操作孔21的气压，则首先在作用于第一活塞9上的气压作用力小于第一弹簧件23与第四弹簧件73的弹力以后，主阀体8关闭主流道A，随后，在作用于第二活塞37上的气压作用力小于第二弹簧件54与第三弹簧件40的弹力以后，副阀体36关闭副流道B。
图2表示真空阀的第二实施例，第二实施例的真空阀200与第一实施例的真空阀100的区别在于，在真空阀100中，止动部68与流量调节部69是与第一阀座6成一体的，相反地，在真空阀200中，止动部68与流量调节部69与第一阀座6是分开地形成的，它通过固定螺栓75被安装在第一阀座6上，止动部68与流量调节部69相互成一体并在其上安装了副阀座35。因此，止动部68与流量调节部69同时起到了保持副阀座35的第二阀座的作用。
由于第二实施例的上述以外的结构实质上与第一实施例一样，所以在其主要相同的7结构部上添加相同符号并省略了对其的说明。
图3表示真空阀的第三实施例，第三实施例的真空阀300与第一实施例的真空阀100的区别在于，在真空阀100中，主压力作用室20与副压力作用室48是通过成型于第一活塞9上的通孔49而相互连通的并且由同一个操作孔21给主压力作用室20和副压力作用室48供应压缩空气，相反地，在第三实施例的真空阀300中，分别单独由第一操作孔76和第二操作孔77给主压力作用室20与副压力作用室48供应压缩空气。就是说，在阀壳1的缸15的侧面上设置了第一操作孔76和第二操作孔77，通过设置于缸15中的通孔78将第一操作孔76与主压力作用室20连起来，通过设置于缸15及第一阀杆10内的通孔79将第二操作孔77与副压力作用室48连通起来。因此，主压力作用室20和副压力作用室48没有相互连通。
因而，在真空阀300中，通过单独地使由第一操作孔76及第二操作孔77供应的压缩空气变化来调节第一活塞9及第二活塞37的移动量，由此一来，主阀体8和副阀体36的开阀程度即流量能够分别调节。或者，能够一边使主阀体8打开所需程度地流动定量气体，一边利用副阀体36进行小流量调节。
由于第三实施例的上述以外的结构实质上与第一实施例一样，所以在其主要相同的结构部上添加相同符号并省略了对其的说明。在第三实施例中，也与第二实施例一样地，与第一阀座6分开地形成了止动部68与流量调节部69并且能够使其兼用第二阀座34。
图4表示上述实施例的真空阀的排气流量特性，当在副阀体36的开阀后打开主阀体8时，流量调节部69发挥了使排气流量逐渐增大的功能，因而与图7所示的传统例相比，排气流量变化变得平稳且缓慢了，结果，缓慢地将真空腔C排成真空。结果，能够可靠地防止真空腔C内的气体紊流并且能够可靠地防止伴随紊流的颗粒上扬。
本发明的导流式双孔真空阀不局限于上述实施例的形式，在不超出权利要求书范围所述的本发明精神的范围内，可以进行各种改动。例如，如图5所示，主阀体8的流量调节部69可以连续地具有三个斜面69c、69d、69e或者可以具有四个以上的斜面。此外，如图6所示，流量调节部69也可以取代上述斜面地通过平滑的曲面69f而成尖细的形状。
这样一来，根据本发明，通过在主阀体上形成逐渐变尖细的流量调节部，当在副阀体开阀后打开主阀体时，流量调节部发挥了逐渐使排气流量增大的功能，由此一来，排气流量的变化变得平稳缓和了，并且缓慢地给真空腔C排真空。结果，能够可靠防止真空腔C内的气体紊流并能够可靠地防止伴随紊流的颗粒上扬。

Claims (7)

1.一种导流式双孔真空阀，其特征在于，它具有：用于与真空腔相连的腔孔及用于与真空泵相连的泵孔；具有这些孔的阀壳；并列连接所述腔孔与泵孔的截面面积大的主流道及截面面积比该主流道小的副流道；打开关闭所述主流道中的主阀座的主阀体及打开关闭所述副流道中的副阀座的副阀体；通过第一阀杆与该主阀体相连的第一活塞及通过第二阀杆与该副阀体相连的第二活塞；使开阀方向上的气压作用在第一活塞上的主压力作用室及使开阀方向上的气压作用在第二阀杆上的副压力作用室；在关阀方向上对所述主阀体施加弹力的第一弹簧件及在关阀方向上对所述副阀体施加弹力的第二弹簧件，所述主阀体具有通过接触和离开所述主阀座而提升地打开关闭该主阀座的阀密封部件，和嵌在该主阀座的内孔中并通过打开关闭该阀密封部件而在该内孔中变移的柱形流量调节部，所述流量调节部具有这样的功能，即它通过逐渐变尖细的结构而在所述阀密封部件打开时使流动于主流道中的空气流量逐渐增大。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述主阀体在与该流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。
3.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述主阀体的流量调节部在轴线方向上连续地具有多个坡度不同的斜面。
4.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述主阀体的流量调节部通过平滑曲面而逐渐成尖细形状。
5.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述副流道及副阀体被组装到所述主阀体内，第二活塞及副压力作用室被组装到第一活塞内，第二阀杆被装入第一阀杆内，所述主阀体在与所述流量调节部相连的位置上具有比该流量调节部粗的止动部，在所述主阀座的内孔中形成了嵌接并定位该止动部的阶梯部，通过这些止动部和阶梯部而限定了所述主阀体的关阀位置。
6.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，第一活塞具有连同所述主压力作用室与副压力作用室的通孔，所述阀壳具有一个用于给所述主压力作用室输送压缩空气的操作孔。
7.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，所述阀壳具有用于单独地给所述主压力作用室和副压力作用室输送压缩空气的第一及第二操作孔，其中第一操作孔通过设置于阀壳上的通孔与主压力作用室连通，第二操作孔通过设置于阀壳和第一阀杆内部的通孔与副压力作用室连通。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100365340C (zh) * 2003-05-26 2008-01-30 丹佛斯公司 用于真空系统的伺服阀
CN101320275B (zh) * 2007-06-05 2012-03-28 喜开理株式会社 真空压力控制系统
CN103629369A (zh) * 2012-07-26 2014-03-12 腓特烈斯港齿轮工厂股份公司 具有导流装置的阀装置
CN104204456A (zh) * 2012-01-31 2014-12-10 控制组件公司 防止冷凝物的内部聚集的阀门加热装置
CN111981145A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 Ckd株式会社 真空开闭阀
TWI788508B (zh) * 2018-02-09 2023-01-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 活塞汽缸裝置

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4110512B2 (ja) 2002-04-18 2008-07-02 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧弁
JP4171900B2 (ja) * 2003-05-19 2008-10-29 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
JP2005030459A (ja) * 2003-07-09 2005-02-03 Smc Corp 真空排気弁
US6935616B2 (en) * 2003-07-18 2005-08-30 Hans D. Baumann Balanced plug valve
JP4258806B2 (ja) * 2003-09-02 2009-04-30 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
JP4506437B2 (ja) * 2004-04-30 2010-07-21 Ｓｍｃ株式会社 真空圧用２ポートバルブ
US7409811B2 (en) * 2004-11-05 2008-08-12 Cp Packaging, Inc. Two stage vacuum valve for a vacuum packaging system
DE102005004987B8 (de) * 2005-02-02 2017-12-14 Vat Holding Ag Vakuumventil
US20070007475A1 (en) * 2005-07-07 2007-01-11 Peter Zvokelj Vacuum valve
FR2892793B1 (fr) * 2005-10-28 2008-02-08 Valeo Sys Controle Moteur Sas Vanne a clapet s'etendant en position d'ouverture au voisinage d'une paroi de conduit
FR2892794B1 (fr) * 2005-10-28 2008-02-08 Valeo Sys Controle Moteur Sas Vanne avec conduit de sortie facilitant la circulation de fluide
FR2892792B1 (fr) * 2005-10-28 2010-05-14 Valeo Sys Controle Moteur Sas Vanne a clapet pourvu d'une surface de deviation de flux
US7841578B2 (en) * 2006-03-31 2010-11-30 Smc Corporation Vacuum valve
JP5066724B2 (ja) * 2007-01-17 2012-11-07 Ｓｍｃ株式会社 高真空バルブ
US20080315141A1 (en) * 2007-06-25 2008-12-25 Greene, Tweed Of Delaware, Inc. Slit Valve Door
US8360095B2 (en) * 2008-02-01 2013-01-29 Exxonmobil Chemical Patents Inc. High-pressure valve
JP4633827B2 (ja) * 2008-06-26 2011-02-16 シーケーディ株式会社 真空弁
TWI377307B (en) * 2009-03-26 2012-11-21 Smc Kk Flow rate control valve and assembly method therefor
JP5490435B2 (ja) * 2009-03-31 2014-05-14 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置
US20130037146A1 (en) * 2011-08-11 2013-02-14 Richard James Anagnos Fluid valves having multiple fluid flow control members
CN103629422B (zh) * 2012-08-29 2016-04-06 上海宝信软件股份有限公司 抽真空换气用压差缓冲阀
US9243733B2 (en) * 2012-11-12 2016-01-26 Dresser, Inc. Valve device and fluid coupling comprised thereof
JP5397525B1 (ja) * 2012-11-13 2014-01-22 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧システム
US8678348B1 (en) * 2013-07-02 2014-03-25 Landtec International Holdings, Llc Gas flow control valve
JP6092062B2 (ja) * 2013-09-24 2017-03-08 株式会社東芝 蒸気弁装置及び発電設備
JP6160926B2 (ja) * 2014-06-05 2017-07-12 Smc株式会社 ゲートバルブ
CN105443778B (zh) * 2014-09-28 2018-01-02 新莱应材科技有限公司 两段式角阀
US10619637B2 (en) * 2015-01-15 2020-04-14 Atlas Copco Airpower, Naamloze Vennootschap Inlet valve and vacuum pump provided with such an inlet valve
WO2018073945A1 (ja) * 2016-10-20 2018-04-26 株式会社山本電機製作所 気体混合器
JP7106062B2 (ja) * 2018-06-22 2022-07-26 Smc株式会社 真空バルブ
JP7321201B2 (ja) * 2021-03-18 2023-08-04 三菱重工業株式会社 蒸気弁

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1919232A (en) * 1932-02-08 1933-07-25 Ludlow Valve Mfg Company Valve
DE3167298D1 (en) * 1980-07-24 1985-01-03 British Nuclear Fuels Plc Globe valve with insert seat
JPS61103068A (ja) * 1984-10-25 1986-05-21 Yamatake Honeywell Co Ltd 調節弁
JPH02116070U (zh) * 1989-03-03 1990-09-17
US5172722A (en) * 1990-09-17 1992-12-22 Motoyama Eng. Works, Ltd. Stop valve for a vacuum apparatus
JP2892147B2 (ja) * 1990-11-14 1999-05-17 株式会社不二越 電磁ポペット弁
US5174335A (en) * 1992-04-30 1992-12-29 Kabushiki Kaisha Com. Bidirectional vacuum valve
JPH07260012A (ja) * 1994-03-24 1995-10-13 Tosok Corp 流量制御弁
JPH08303630A (ja) * 1995-05-10 1996-11-22 Fujikin:Kk 制御器
JP3745427B2 (ja) * 1995-11-14 2006-02-15 Ｓｍｃ株式会社 真空圧制御用スロー排気バルブ
EP0780615B1 (en) * 1995-12-21 1999-08-18 Benkan Corporation Vacuum exhaust valve
JPH10160034A (ja) * 1996-11-22 1998-06-16 Nok Corp ニードルバルブ
JPH10227232A (ja) * 1997-02-14 1998-08-25 Hitachi Ltd 内燃機関のアイドル回転数制御弁

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100365340C (zh) * 2003-05-26 2008-01-30 丹佛斯公司 用于真空系统的伺服阀
CN101320275B (zh) * 2007-06-05 2012-03-28 喜开理株式会社 真空压力控制系统
CN104204456A (zh) * 2012-01-31 2014-12-10 控制组件公司 防止冷凝物的内部聚集的阀门加热装置
CN104204456B (zh) * 2012-01-31 2019-10-01 控制组件公司 防止冷凝物的内部聚集的阀门加热装置
CN103629369A (zh) * 2012-07-26 2014-03-12 腓特烈斯港齿轮工厂股份公司 具有导流装置的阀装置
CN103629369B (zh) * 2012-07-26 2017-06-13 腓特烈斯港齿轮工厂股份公司 具有导流装置的阀装置
TWI788508B (zh) * 2018-02-09 2023-01-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 活塞汽缸裝置
CN111981145A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 Ckd株式会社 真空开闭阀

Also Published As

Publication number Publication date
JP3445569B2 (ja) 2003-09-08
US6494229B2 (en) 2002-12-17
JP2002089736A (ja) 2002-03-27
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US20020033461A1 (en) 2002-03-21
CN1227468C (zh) 2005-11-16
KR100516600B1 (ko) 2005-09-22

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