CN1323052A - 放电灯透光管的洗涤方法与装置及放电灯 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种放电灯用透光管内表面附着的杂质洗涤方法。该法是洗涤具有发光管部10的放电灯透光管100的洗涤方法,它包括由透光管100的一端100a导入洗涤流体50的工序,和使洗涤流体50与透光管100内表面中,至少发光管部10的内表面10a接触并使其流动,由此除去附着在发光发光管部10a内表面上的杂质30的工序。

Description

放电灯透光管的洗涤方法与装置及放电灯

本发明涉及放电灯透光管的洗涤方法及洗涤装置，还涉及利用由这样的洗涤方法所得到的洗涤后的放电灯透光管所制造的放电灯。

近年来，作为实现大画面图像放映而广泛使用液晶放映机或DMD放映机等图像投影装置。作为这样的图像投影装置的光源一般广泛地使用具有高辉度的高压放电灯(例如，超高压水银灯或金属卤化物灯)。这种高压放电灯是通过将钨电极和金属箔相互连接的电极组装体插入放电灯玻璃管中制作的(例如，参照特开平10-321135号公报)。

图11模拟地示出用于制造高压放电灯的放电灯透光管，即放电灯玻璃管100的剖面。玻璃管100具有大致球形的发光管部10和由发光管部10延伸的侧管部20。发光管部10为高压放电灯的发光管部分，侧管部20为高压放电灯的密封部的部分。玻璃管100是由尽量地除去碱成分的石英玻璃构成的。其理由是，若在玻璃管100(尤其在发光管10)中有碱成分(例如Na)，则碱成为石英玻璃结晶的晶种，在灯工作时于高温下由于进行石英玻璃结晶(向结晶方晶石相转移)，所以成了发生石英玻璃白浊化的原因。这种白浊化被称为失去透明的现象，是缩短放电灯寿命原因之一。为了控制失去透明发生并延长放电灯的寿命，将构成放电灯玻璃管的石英玻璃中所含有的碱成分浓度例如定为1ppm以下。

放电灯玻璃管100要注重进行处理，以使其不附着杂质，因此，现在可以认为：由制造业者所述给的玻璃管100中是几乎不含有附着的碱成分。而且，即使在本发明人的测定中，玻璃管100上所附着的碱成分已为检测不到的水平。为此，过去即使在对玻璃管100进行洗涤时，也如图12所示，在通常供给纯水160的容器170内浸渍玻璃管100，洗涤玻璃管100。

然而，根据本申请的发明人的观察可看出，即使使用碱成分浓度为1ppm以下的玻璃管100制造放电灯的情况下，也不可避免碱成分的影响。本申请发明人在惰性气氛(例如氩气)下对玻璃管100进行了处理，以便在放电灯制造中尽管不混入杂质，然而即使这样作也未能排除碱成分的影响。为此，本申请发明人通过实验，对被认为没有附着碱成分的玻璃管100进行洗涤，并分析了该洗涤液中所含有的碱成分杂质浓度，结果发现了：附着在玻璃管100内表面的碱成分浓度超过石英玻璃中的碱成分浓度。也即是说，发现了：由于玻璃管100内附着碱成分，所以与原有的材料(石英玻璃)的碱成分的水平相比，玻璃管100含有的碱成分水平变高了。

为了除去玻璃管100内附着的碱成分而成为原有材料的碱水平(例如碱成分浓度1ppm以下)，只是用流动的纯水浸渍，是不够充分的，还需要特别的洗涤。然而，玻璃管100不是一个简单的形状(例如，半导体圆片这样的圆盘形状)，而具有复杂的形状，所以难于洗涤玻璃管100的内表面，尤其发光管部10的内表面。下面参照图13进一步说明这个问题。

如图13所示，在玻璃管100浸渍到充满纯水的160的容器170中的情况下，通常在玻璃管100内产生气泡32。如图12所示，在将玻璃管100在容器170中横置时，在玻璃管100的发光管部10内部的上方存在着气泡32a。该气泡32a即使在玻璃管100旋转动作时，仍然继续存在。因此，由于气泡32a的作用妨碍了纯水160与发光管10内表面的接触，因此不能除去存在于发光管部10内表面的杂质。此外，还有在发光管部10以外的气泡32b，只要有气泡32b，在该处，纯水160就不能与玻璃管100的内表面相接触，不可能除去杂质。

此外，在存在有能堵塞玻璃管100内部的的大气泡32c的情况下，即使以纯水160向容器170内继续流通，也不能使玻璃管100内部流动纯水160，因此实质上无法进行玻璃管100的内部表面洗涤。其理由是，在停止玻璃管100内部的纯水160流动时，即使存在于玻璃管100内表面上的杂质为纯水160所溶出，但由于杂质不能向玻璃管100以外排出，所以在洗涤后玻璃管100干燥时，杂质就再次附着在玻璃管100的内表面上。因此，在玻璃管100内部不流动纯水160时，即使能在玻璃管100的外面进行洗涤，也不能够进行内表面洗涤。加之，即使在玻璃管100内气泡32一点也没有时，由于玻璃管100的内径没有那么大，所以玻璃管100内的纯水160的流动变差，亦就难于流动。

这样的问题不局限于纯水160在容器170内的流动情况，也是对浸渍在容器170内的玻璃管100进行超声波洗涤时，同样所产生的问题。也就是说，通过加超声波即使杂质容易溶出于纯水之中，但只要是杂质仍在玻璃管100之内，结果在干燥之后仍附着在玻璃管100的内表面。此外，将转动刷插入玻璃管100之内的洗涤方法，由于伤损玻璃管100的内表面而不实用。

本发明就是鉴于上述各种问题而提出的，其主要目的在于，提供一种对附着在放电灯透光管内表面上的杂质的洗涤方法。

本发明的放电灯透光管的洗涤方法，为具有发光管部的放电灯透光管的洗涤方法，包括：由所述透光管一端导入洗涤流体的工序，和使所述洗涤流体与所述透光管内表面中至少所述发光管部的内表面接触并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述发光管部内表面的杂质的工序。

除去所述杂质的工序，在同一工序中进一步地使洗涤流体与所述透光管外部接触，并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述透光管外面的杂质，这是理想的。

在有的实施例中，导入所述洗涤流体的工序包括：在盛有作为所述洗涤流体的洗涤液容器内，管端部沿大致垂直方向的位置配置所述透光管的工序，和向所述容器内注入所述洗涤的工序；除去所述杂质的工序包括：使所述洗涤液的液面上升到超过所述放电灯透光管的所述发光管部的上部的工序，和使所述洗涤液的液面下降到所述发光管部的下部之下的工序。

反复地进行使所述洗涤液液面上升工序和使所述洗涤液液面下降工序，是理想的。

使所述洗涤液液面下降的工序，是使所述洗涤液的液面下降到所述透光管下端以下，是理想的。

使所述洗涤液的液面上升工序，是使所述洗涤的液面上升到超过所述透光管的上端，是理想的。

还包括将所述容器内的洗涤液从所述容器内排出的工序，也是理想的。

在有的实施例中，通过对所述容器内的洗涤液中所含的杂质浓度的监视，决定洗涤终点。

所述透光管使用保持多个所述透光管的夹具，沿着管端部大致垂直方向的位置配置，是理想的。

在有的实施例中，所述洗涤液是从超纯水(电阻值：例如10MΩ以上)、纯水(电阻值：例如1MΩ以上)、脱离子水(电阻值：例如1MΩ-10MΩ以上)、氟酸水溶液及过氧化氢水溶液，以及由它们任一种与洗涤微粒子组合而构成的一组中选择的一种。

在有的实施例中，至少包括：在所述发光管部的内表面附着作为所述杂质的多种杂质，对所述多种杂质中的第1杂质，由所述感光管的一端导入作为洗涤液的第1洗涤液的第1工序，和对所述多种杂质中的第1杂质以外的第2杂质，由所述透光管的一端导入作为所述洗涤液的第1洗涤液以外的第2洗涤液的第2工序。

在有的实施例中，所述洗涤流体是气体、液体或微粒子粉体的任一种，通过实行如下的排除杂质工序，即，将由所述放电灯透光管一端导入的洗涤流体从所述放电灯透光管另一端排除，除去附着在所述发光管内表面上的杂质。

在有的实施例中，所述洗涤流体为惰性气体(例如氩气、氮气等)。

本发明的放电灯透光管的洗涤装置，包括：配置具有发光管部的放电灯的发光管并盛有洗涤液的容器；向所述容器内注入洗涤液的注入管或注入软管；排出所述容器内所述洗涤液的排出管或排出软管；监视附着在所述透光管上的杂质，所述容器内洗涤液所含有的杂质浓度的浓度监视器。

所述浓度监视器具有如下功能，即，将注入所述注入管或注入软管的洗涤液的电导率作为基准值，然后将所述容器内的所述洗涤液或由所述容器内排出的洗涤液示出的电导率与所述基准值进行比较，决定洗涤终结的功能，这是理想的。

在有的实施例中，所述容器具有所述容器内的洗涤液不与所述容器外的空气接触的密闭结构。

本发明的放电灯，具有在密封发光物质的管内对向地配置一对电极的发光管和由所述发光管延伸的密封部的放电灯；所述放电灯是通过具有下列各工序的制造方法制造的：即，准备具有成为所述放电灯发光管的发光管部和由所述发光管部延伸的侧管部的放电灯透光管，并经过洗涤工序的放电灯透光管的工序；将具有金属箔和与所述金属箔连接的电极的电极组合体插入所述侧管部，使所述电极的前端位于所述发光管部内的工序；使所述电极组合体的金属箔与所述侧管部密合，形成密封部的工序；所述洗涤工序包括：从具有成为所述放电灯发光管的发光管部和由所述发光管部延伸的侧管部的放电灯透光管的一端导入洗涤流体的工序(a)；和使所述流体至少与所述透光管内表面中的发光管部内表面接触，并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述发光管部内表面上的杂质工序(b)。所述工序(a)包括：在盛有作为所述洗涤流体的容器内配置所述透光管，使所述透光管的端部位于大致垂直方向的工序(a-1)和将所述洗涤液注入容器内的工序(a-2)。所述工序(b)包括：使所述洗涤液的液面上升到超过所述透光管的透光管部的上部的工序(b-1)；和使所述洗涤液的液面下降到所述发光管部的下降以下的工序(b-2)。

在有的实施例中，所述放电灯至少将作为所述发光物质汞、稀有气体和卤素封入在所述发光管内，所述发光管实质上是由石英玻璃构成，所述电极实质上是由钨构成的；所述卤素的克分子数，比具有与所述卤素结合性质的金属元素存在于所述发光管内的金属元素(但钨元素及汞元素除外)的合计克分子数与灯工作中由所述电极蒸发而存在于所述发光管内的钨克分子数之和，还多。而且，在将所述金属元素(但钨元素及汞元素除外)的各种元素以Mi表示时的金属元素Mi的克分子数用mi表示并且所述金属元素Mi的化学计量系数为ni的情况下，所述卤素的克分子数，比将所述金属元素Mi的克分子数mi乘所述化学计量系数ni的数对所述各种金属Mi的累加的合计数[∑(mi×ni)]和与所述钨克分子数之和，还多。

在有的实施例中，封入所述发光管内的卤素克分子数，为存在于所述发光管内的钠(Na)、钾(K)、锂(Li)、铬(Cr)、铁(Fe)以及镍(Ni)合计的克分子数的5倍以上。

在有的实施例中，其特征在于，所述放电灯为所述发光管的管壁负荷80W/cm²以上的水银灯。

根据本发明，由放电灯透光管(例如放电灯玻璃管或陶瓷管)的一端导入洗涤流体，至少使洗涤流体与发光管内表面接触并使洗涤流体流动。为此，通常通过向发光管的内表面通往新的洗涤流体，可更好地除去附着在发光管部内表面上的杂质。

此外，若使洗涤流体不仅与发光管部内表面，而且也与发光管的外表面接触，并使洗涤流体流动，则可除去附着在发光管的内表面的杂质，并除去附着在发光管外表面的杂质。其结果，由于可除去附着在透光管外表面的杂质(尤其，工作者的指纹或油脂)，所以可防止由于该杂质的作用而在点灯时所产生的发光管失去透明性的问题。

在使用洗涤液作为洗涤流体的情况下，为了使洗涤液与发光管的内表面接触并流动，要灯管端部位置于大致垂直的方面的透光管配设在盛有洗涤液的容器之内，然后可进行使洗涤液面上升到超过发光管的上部的工序，和洗涤液液面下降到透光管下端之下的工序。在这种情况下，最好反复地进行使洗涤液液面上升的工序和使洗涤液液面下降的工序。若实行使洗涤液的液面下降到透光管下端之下，则可将含杂质浓度高的洗涤液向管外排出，所以能够更好地排出附着在透光管内表面上的杂质。此外，通过实行将洗涤液的液面上升到超过透光管上端，也可将含有杂质浓度高的洗涤液排出管外，若进一步这样实行，则洗涤液接触透光管的全部内表面，因此是最好的。若进行由容器内排出容器内的洗涤液工序，则可交换含有杂质的洗涤液和还没有供给洗涤的洗涤液，因此是更为理想的。还有，若为监视洗涤液中所含杂质的浓度边进行洗涤时，则可简单地决定可靠地除去杂质的时刻(洗涤终结)。

在使用保持多个数放电灯透光管的夹具时，能够一次洗涤多个透光管，所以可提高工作效率。作为洗涤液，可使用超纯水、纯水、脱离子水、氟酸水溶液以及过氧化氢水溶液，也可以使这些洗涤液与洗涤微粒子组合使用。例如，若使用超纯水作为洗涤流体，则可很好地除去碱成分。在有多种杂质附着在发光管部的内表面时，可对第1杂质使用第1洗涤液，然后，对第2杂质使用第2洗涤液进行透光管的洗涤。

还有，使用气体、液体或微粒子粉体中的任何一种作为洗涤流体，通过使由放电灯透光管的一端导入的洗涤流体从放电灯透光管的另一端排出，可除去附着在发光管内部的杂质。作为洗涤流体，例如可使用氩气或氮气等惰性气体。

本发明的放电灯透光管的洗涤装置，包括有：向配置放电灯透光管的容器内注入洗涤液的注入管(或者注入软管)；和排出容器内洗涤液的排出管(或者排出软管)；监视容器内洗涤液中含有的杂质浓度监视器，因此可边进行洗涤，边监视杂质浓度。其结果，能可靠地进行放电灯透光管的洗涤。若浓度监视器具有决定洗涤终结的功能，则可很容易地决定洗涤终点。在使用浓度监视器时，例如，也可以将容器内的洗涤液或由容器内排出的洗涤液表示的电导率与基准值大致相等的时刻，作为洗涤的终结点。还有，在将容器作成密闭结构，使容器内的洗涤液与容器外的空气不相接触的情况下，可以防止含有容器外的空气的杂质混入到容器内的洗涤液中。

在利用由本发明的放电灯透光管洗涤方法所洗涤的放电灯透光管所制造的放电灯，由于能很好地除去杂质，所以可实现比过去具有更高性能(例如长寿命)的放电灯。

以下对附图及其符号作简单说明。

图1为说明本发明实施例的放电灯透光管的洗涤方法的剖视图。

图2(a)及(b)为说明实施例1的放电灯透光管的洗涤方法的图。

图3为表示洗涤装置70的构成的透视图。

图4为表示夹具90构成的透视图。

图5为表示洗涤装置70的变形例剖视图。

图6为说明实施例2洗涤方法各工序的流程图。

图7为说明实施例3放电灯制造工序的流程图。

图8(a)-(c)为说明灯制造工序S300的工序剖面图。

图9为模拟表示实施例3放电灯1000构成的剖视图。

图10为模拟表示带反射镜灯1200构成的剖视图。

图11为放电灯玻璃管的剖视图。

图12为说明放电灯玻璃管的洗涤方法的图。

图13为说明放电灯玻璃管的洗涤方法问题的图。

在上述附图中，10-发光管部，20-侧管部，30-杂质，32-气泡，50、60-洗涤流体，70-洗涤装置，72-容器，74-注入管，75-管，76-排出管，77-抽排管，78-盖，80-温度监视器，82-电导率计，84-惰性气体(Ar),86-排液收容部，90-夹具，92-支承棒，94-保持板(上板),95-中板，96-下板，97-座，98-开口部，100-放电灯玻璃管，160-纯水，170-容器，1000-放电灯，1200-带反射镜的灯。

实施例

以下参照附图说明本发明实施例。在以下附图中，为了使说明简明，凡实质上具有相同功能构件用相同符号表示。

图1(a)-(c)为模拟表示本发明的实施例放电灯透光管洗涤方法各工序剖视图。

首先准备具有大致球形的发光管部10和侧管部20的放电灯透光管，即放电灯玻璃管100。本实施例中所准备的玻璃管100的发光管部10的内径及玻璃厚度分别为6mm及3mm，侧管部20的内径及长轴方向长度分别为3.4mm及250mm。玻璃管100例如由碱成分的浓度为1-2ppm，最好为1ppm以下的石英玻璃构成。在已准备好的未洗涤之前的玻璃管100的内表面(例如发光管10的内表面10a)附着杂质30。作为杂质30，例如可举出碱成分(Na、K等)、石英粉和有机物等。再有，在本实施例中，虽然使用了放电灯玻璃管，但可以取代放电灯玻璃管，也可以使用放电灯陶瓷管。

其次，如图1(a)所示，由玻璃管100的一端100a导入洗涤流体50。被导入的洗涤流体50，如图1(b)所示，与发光管部10的内表面10a接触并流动，如图1(c)所示，至少除去附着在发光管部10的内表面10a上的杂质30。接着，洗涤流体50从玻璃管100的另一端100b排出之后，再由玻璃管100a一端导入新的洗涤液50’，洗涤液50’除去杂质30。若反复地导入该洗涤流体并尽可能除去所附着的杂质30，则即可洗涤玻璃管100，使其达到构成该玻璃管100的原料(石英玻璃)所含有的杂质水平。

根据本实施例的洗涤方法，使洗涤流体50边与内表面10a接触边流动，所以通过洗涤流体50流动洗涤杂质30，而且更换玻璃管100内的洗涤流体50，以无限稀释法可除去杂质30。另一方面，图12所示的洗涤方法，临时使玻璃管100多少作些移动而玻璃管100内的纯水几乎不流动，于是，玻璃管100内的纯水转换难于进行。因此，图12所示的洗涤方法实质上成为使杂质向静止的纯水扩散进行除去的方法，因此本实施例的洗涤方法可更好地从管内除去杂质30。

作为本实施例的洗涤流体50可使用气体(氩气等)、液体(洗涤液)、或微粒子粉体(石英玻璃珠)的任一种。再有，由玻璃管100一端100a导入的洗涤液，如图1(c)所示，不仅可由另一端100b排出，而且，例如在洗涤流体为洗涤液的情况下，也可以由一端100a排出。

以下说明使用作为洗涤流体的洗涤液，使用放电灯透光管的放电灯玻璃管时的实施例，但本实施例不受以下实施例的限制，例如也可以使用放电灯陶瓷管代替放电灯玻璃管。

实施例1

参照图2说明作为洗涤流体使用洗涤液时放电灯玻璃管的洗涤方法。图2(a)及(b)模拟地示出实施例1的洗涤方法各工序。

首先，如图2(a)所示，在具有保持洗涤液60的容器72的洗涤装置70的容器72内，配置放电灯玻璃管100。玻璃管100，其端部是以大致垂直的方向配置的，玻璃管100的一端100a位于容器72的下方。

其次，通过洗涤液60注入容器72内的注入管(或注入软管)74，将洗涤液60注入容器72内。洗涤剂60的注入量可由阀75调节。洗涤液60注入容器72内的同时，洗涤液60的液面60a上升，因此由玻璃管100的一端100a导入洗涤液60之后，玻璃管100内的洗涤液60与玻璃管100的内表面接触并向上方流动。继续注入洗涤液60，并使玻璃管100内的洗涤液60与发光管10的内表面10a接触并使之流动，从而进行除去附着在发光管部10的内表面上的杂质(未图示)。

此时，不仅使洗涤液60与玻璃管100的内表面，而且也与玻璃管100的外表面接触并向上方流动，因此不仅附着在玻璃管100的表面(特别是发光管10的外面)的杂质，而且连附着在玻璃管100的外面(特别是发光管10的外面)的杂质均可一起除去。在玻璃管100的外面很容易附着大量含有Na等杂质的工作者的指纹或油脂等，而且这些杂质残留在放电灯的发光管上是导致发光管失去透明的原因，因而是不理想的。也即是说，点灯时，不仅是灯管的内部表面，就连其外面均呈高温，因而指纹或油脂等被烧结，从而有可能导致发光管失去透明。在本实施例中，由于玻璃管100的内表面和其外表均可洗涤所以可有效地防止这样的失去透明。加之，对玻璃管100的内表面与外面可同时洗涤，因而作业效率高。

使洗涤液60的液面60a上升到超过发光管部10的上部时，通过液洗涤液60洗涤了发光管部10的内表面10a的全部。此后，可继续注入来自注入管74的洗涤液60，使其上升到容器72内的一定高度，最好是上升到玻璃管100的上端。使液面60a上升到超过玻璃管100的上端时，可使洗涤液60与玻璃管100的全部内表面接触，除此之外也可以由玻璃管100的上端排出管内的洗涤液60，进行洗涤液60的替换。此外，例如在液面60a上有灰尘时，也可以防止灰尘附着并残留在管内表面上。

其次，如图2(b)所示，通过排出容器72内的洗涤液60的排出管(排出软管76)排出容器72内的洗涤液60，使洗涤液60的液面60a下降。在本实施例中，其构成为，在注入管74的管75以及排出管76的管75均打开的状态下，通过注入管74将洗涤液60注入容器72内，并使洗涤液60的液面60a上升，达到排出管76的最上部76h的高度，当液面60a达到最上部76h时，根据虹吸原理，开始自然排出(排水)。与注入管74相比，若排出管76的内径粗大，侧不停止注入洗涤液60，可使洗涤液60排出完了，因此可无限次反复地使液面60a上升或下降。此外，这种液面60a的上下也可以通过调节注入管74的管75和排出管76的管75来进行。当然，在容器72的下部或容器72的底面设置排出管(抽排管)，也可由该排出管排出洗涤液60。在这种情况下，在停止注入洗涤液60之后，也可以进行排出洗涤液60。

由于洗涤液60的排出，使洗涤液60的液面下降至发光管部10的下降以下，则使洗涤液60与发光管部10的内表面10a接触并使其流动。在本实施例中，使液面60a下降至玻璃管100的下端100a以下，抽排管内的洗涤液60，然后由注入管74通过通常所注入的新洗涤液60，液面60a再次上升。这样作，就可以全部更换玻璃管100内的洗涤液60而进行洗涤。

再有，在使洗涤液60的液面60a下降至发光管部10下部以下之后，也可使液面60a再上升。若这样作，则可边改换玻璃管100内的洗涤液60的一部分和管外的洗涤液60的一部分，边进行玻璃管100的内表面洗涤。此外，这样，将部分更换管内洗涤液60的方法与全部更换管内洗涤液60的手法组合起来，也是可能的。在本实施例中，虽然是通过注入或排出洗涤液60的方法进行液面60a的上升与下降，但是也可以物理方法(例如机械法或手工动作)使玻璃管100上下移动，来进行液面60a的上升与下降。

多次反复地使液面60a上升与下降，来进行玻璃管100的洗涤。在本实施例中，例如以约5分钟进行液面60a的上升与下降1组，通过该1组合计5组进行洗涤。

在确认洗涤是否完了，并想在所需最小限度的时间之内可靠地洗涤玻璃管100时，通过监视容器72内洗涤液60所含有的杂质浓度，可决定洗涤终结。例如，可边用浓度监视器监视注入管74的洗涤液60中的杂质浓度与容器72中的洗涤液60中的杂质浓度是否处于规定范围之内(或者处于大体相同范围之内)，边进行洗涤。再有，也可以不用监视容器72内的洗涤液60中的杂质浓度而采用监视由容器72内排出的洗涤液60中的杂质浓度。

洗涤液60中所含有的杂质浓度，例如可利用电导率计进行测定。具体说来，如图2(a)及(b)所示，可采用测定容器72内洗涤液60示出的电导率的电导率计82、和具有示出电导率计82指示值的监视器84的浓度监视器80，决定洗涤终结。首先，在将玻璃管100配置在容器72内之前，将注入管74中注入的洗涤液(例如，纯水或超纯水)60例如导入容器72内，由电导率计82测定该洗涤液60的电导率，将由测定所得到的指示值作成基准值。然后，玻璃管100洗涤时，将容器72内的洗涤液60所示出的电导率与基准值进行比较，可决定洗涤的终结。此外，将电导率计置于在注入管中注入的洗涤液60的洗涤液供给槽(未图示)之中，也可以将该电导率计示出的指示值作为基准值。

其次，参照图3及图4说明可最佳适用于实施例1洗涤方法的装置及器具。图3为表示图2所示的洗涤装置70构成的透视图；图4为在多个放电灯玻璃管100分别位于大致垂直方向的状态下保持夹具90的透视图。

图3所示的洗涤装置70包括：盛有洗涤液60的容器72、向容器72内注入洗涤液60的注入管74、排出容器72内洗涤液60的排出管76。洗涤装置70还包括有：虽然在图3中未示出的、监视容器72内洗涤液60所含有的杂质(玻璃管100上附着的杂质)浓度的浓度监视计80(参照图2)。洗涤装置70的容器72、注入管(或注入软管)74，以及排出管(或排出软管)76，为了不使由构成上述各构件的材料混入洗涤液60中杂质，由聚氯乙烯(厚度例如约5mm)构成。也可以取代聚氯乙烯，由PTFE例如特氟隆“注册商标”等构成。

容器72的上面敞开口，由上面的敞开口放入玻璃管100，可在容器72内配置玻璃管100之后，最好在容器72的上面安装上盖78，以防尘等混入容器72内。容器72的上面及下面例如一边约为310mm的正方形，容器72的高度例如约为505mm。还有，容器72的形状，其上面及底面即可以是矩形的长方体，也可是圆形的圆柱。

注入管74具有导入洗涤液(例如纯水等)60的一端74a和向容器72内供给洗涤液60的另一端74b；一端74a位于容器72外，另一端74b位于容器72内。在注入洗涤液60时，也可以例如在一端74a上连接聚氯乙烯软管。在本实施例中，注入管74的规定处74c是以贯通容器72侧面的形式构成的，在注入管74一端74a与另一侧74b之间设置有调节洗涤液60的注入量的调节阀75。

排出管76具有位于容器72内的一端76a与位于容器72外的另一端76b；排出管76的一端76a设置在容器72内的下部，最好是设置在比容器72内的玻璃管100下端低的位置。在比设置玻璃管100的下端纸的位置设置排出管76的一端76a时，在进行洗涤液60的排出时，可使洗涤液60的液面60a下降到玻璃管100的下端以下，其结果，可将管内洗涤液60全部排出玻璃管100外。此外，排出管76的最上部76h设置在比配置玻璃管100的发光部10的上部还高的位置时，最适于利用虹吸原理由排出管76排出洗涤液60的情况。若在比玻璃管100的上端更高的位置上设置最上部76h时，是更为合适。由于在排出管76设置阀75，所以通过该阀75可以调节或控制排出。再有，在本实施例中，所谓排出管，尤其以进行洗涤液60的抽排为目的，在容器72的侧面下部设置有带阀75的抽排管77，不使用排出管76，而将抽排管77作为排出管，并使其具有该功能，也可实行本实施例的洗涤方法。

其次，说明保持多个放电灯玻璃管100的夹具90。图4的夹具90包括有保持板94和支承棒92，该保持板94具有贯通玻璃管100的侧管部20而不贯通发光管部10的开口部98；该支承棒92支承保持板94。保持板94以大致水平的方式安装于支承棒92上，通过在保持板94的具有的开口部98中插入玻璃管100，所以可将玻璃管100分别沿大致垂直方向的位置加装。若用夹具90，则一次可洗涤约100支玻璃管100。

在保持板(上板)94的下面有可使玻璃管100的侧管部20自由移动的中板95，和有在中板95之下设置并置于座97上的下板96。除保持板(上板)94之外，中板95及下板96也都由支承棒92支承，在将玻璃管100安装在夹具90上时，玻璃管100的下端位于中板95与下板96之间。再有，在下板96及座97虽然不需要设置贯通玻璃管100用的开口部，但是，为了更好地使洗涤液60的出入，最好在下板96及座97也设置开口部98。此外，若是这样作的话，最好也可使用与上板94及中板95相同的部件制作器具。

在支承棒92上，为了提升夹具90而使用的把持部92a形成于支承棒92的上部，具有把持部92a并可将夹具90配置在洗涤装置70的容器72内。因此，在夹具90上装有多个玻璃管100之后，将座97配置于容器72的底面，然后使具有把持部92a的夹具90向容器72移动，则多数玻璃管100可分别沿大致垂直方向的位置被配置在容器72内。即使在容器72内盛有洗涤液60的情况下，夹具90由于其自身的重量在容器72内也是稳定的，因此，通过夹具90，玻璃管100在容器内可被稳定按位装置。

再有，支承夹具90的座97以比夹具90的下板96还大地构成，在把座97配置容器72的底面时，要在座97上设置切口部97a，以不使排出管76的一端76a附近与座97重合。此外，在座97上配置夹具90的情况下，若使在夹具90的下板96所设置的开口部与在座97上所设置开口部重合，则可使洗涤液60的出入变为良好，这是理想的。

构成夹具90的部件(例如保持板94或支承棒92等)，也与构成洗涤装置70的部件相同，为了不使杂质混入洗涤液之中，例如也由聚氯乙烯构成。在本实施例中，上板94与中板95的间隔h₁例如为约100mm，上板94与下板96的间隔h₂例如约为165mm，上板94与把持部92a之间的长度h₃例如约为200mm。在将多个玻璃管100安装在夹具90上之后，将夹具90配置在容器72内，然后，反复多次地使液为60a上升及下降，就可以洗涤多个玻璃管100。还有，利用浓度监视器80，可以决定洗涤终结。

为了防止洗涤装置70周围的空气含有的杂质(例如碱成分)混入洗涤装置70的容器72内，如图5所示，也可以使容器72制成密封结构。具体地说，在将安装有玻璃管100的夹具90配置在容器72内之后，向容器72内填充惰性气体(例如Ar)84，然后，加装上盖78，以使容器72的上面开口部成为密封状态。为了使周围的空气不会由排出管76浸入时，在排出管76出口(另一端)76b设置排液收容部86，也可以向该排液收容部86填充惰性气体84。在空气中含有若干浓度的碱成分，这种浓度尤其在海边地区变得特别大，所以将容器72作成密闭结构进行玻璃管100的洗涤，在对作成保持原材料(石英玻璃)杂质水平状态的玻璃管100来说，是一种最合适宜的方法。

实施例2

在上述实施例1中已说明了使用一种洗涤液(例如纯水)的放电灯玻璃管的洗涤方法。但是，本发明也适用于使用多种洗涤液除去多种杂质的放电灯玻璃管的洗涤方法。以下参考图6，说明实施例2的洗涤方法。其中，凡与上述实施例1说明相同的内容从略或作简化。

图6为表示说明本实施例洗涤方法各工序的流程图。首先，在图4所示的夹具90上安装放电灯玻璃管100(工序S110)，和将安装了玻璃管100的夹具90配置在第1洗涤装置70(参照图3)的容器72内。向第1洗涤装置70的容器72内供给氟酸水溶液作为洗涤液60，并通过如图2所示的使容器72内的液面60a(氟酸水溶液的液面)上下，除去附着在玻璃管100内的石英粉(工序S120)。

其次，在工序S120之后，由第1洗涤装置70取出安装了玻璃管100的夹具90，进而配置在使用水作为洗涤液60的第2洗涤装置70的容器72内。此后，利用第2洗涤装置70进行玻璃管100的洗涤，进行工序S120中所使用的氟酸的除去(工序S130)。

然后，由第2洗涤装置70取出安装有玻璃管100的夹具90，并配置在使用过氧化氢水溶液(过氧化氢水)作为洗涤液60的第3洗涤装置70的容器72内。此后，利用第3洗涤装置70进行玻璃管100的洗涤，除去有机物(也包括CO₂)与金属杂质(工序S140)。

此后，由第3洗涤装置70取出安装了玻璃管100的夹具90，并配置在使用超纯水作为洗涤液60的第4洗涤装置70的容器72内。然后，用第4洗涤装置70洗涤附着在玻璃管100的内表面上的碱成分(Na、K等)(工序S150)。在工序150之后，例如用真空干燥进行真空干燥。

在工序S150洗涤，为了保持玻璃管100，防止玻璃管100的周围空气中所含有的杂质的污染，由玻璃管100的一端导入氩气，并使氩气与玻璃管100的内表面接触并流动，然后由玻璃管的另一端排出。在进行这样的氩气导入时，可使玻璃管100内的空气的氩气置换，可维持工序S150之后的洗涤状态。

此外，这样若由氩气置换玻璃管100内的空气，即使玻璃管100发生移动，氩气仍然会停留在玻璃管100内，而且玻璃管100内的氩气会较长时间(例如由数十分钟至数十小时)不与周围的空气置换。因此，用氩气置换玻璃管100内的空气，在对容易处理玻璃管100这一点上也是优点。在用氩气置换玻璃管100内空气的情况之外，也可以进行如下的除去方法，即，由玻璃管100的一端导入微粉末粉体(例如石英珠)，使微粉末粉体与玻璃管100的内表面接触，以除去附着在玻璃管的内表面上的杂质或灰尘。

实施例3

由上述实施例的洗涤方法所洗涤的放电灯透光管，用于制造放电灯。以下参照图7-图11，说明由上述实施例的洗涤方法洗涤的放电灯透光管制造的放电灯。再有，凡与上述实施例相同的内容从略，或作简化。

图7为说明本实施例放电灯制造工序的流程图。

首先，作为放电灯透光管，准备了放电灯用石英玻璃管(工序S100)。本实施例所使用的玻璃管与上述实施例1的玻璃管相同(参照图1、图2等)。还有，虽然本实施例中使用放电灯玻璃管，但是取代这种放电灯玻璃管，也可以使用放电灯陶瓷管。

其次，如上述实施例那样，洗涤玻璃管(工序S200)。通过该工序使洗涤的玻璃管达到构成玻璃管的原料(石英玻璃)所含有的杂质水平。

此后，用已洗涤的玻璃管，实行已知的灯制造工序(工序S300)，完成放电灯。灯在制造工序主要由插入电极工序(S310)和密封部形成工序(工序S320)构成。下面边参照图8边简要说明这些工序。

首先，如图8(a)所示，在洗涤后的玻璃管100的侧管部20内插入，具有金属箔(Mo箔)24和与金属箔24连接的电极12的电极组装体50(工序S310)。在这一工序中，插入电极组合体50，在发光管部10内位于电极12的前端，然后，金属箔24位于侧管部20内。在电极12的前端有线圈卷挠，该线圈具有降低灯工作时电极前端温度的功能。再有，在电极组合体50的金属箔24上，在连接电极12一侧相反的一侧连接有外部导线26。

其次，如图8(b)所示，在使玻璃管100内成为减压状态(例如，不足1个气压)之后，通过用烧器54加热玻璃管100的侧管部20并使其熔融，使侧管部20与金属箔24两者密接，由此形成密封部22(密封部形成工序S320)。此后，在发光管部10内封入稀有气体、卤素和汞，而后，对另一方的侧管部20也实行电极插入工序S310和密封部形成工序320，在通过一对密封部22密闭发光管10时，如图8(c)所示，得到放电灯1000。这样所制造的放电灯1000由于与没有洗涤的玻璃管或用图12所示的洗涤法洗涤过的玻璃管所制造的放电灯相比较。能很好地除去杂质，所以可制造出与已有的放电灯相比具有优良特性(例如寿命长)的放电灯。

图9示出了本实施例中的放电灯1000的构成。图9上所示的放电灯1000是水银灯(例如高压水银灯或超高压水银灯)，实质上具有由石英玻璃构成的发光管10，和在发光管10内(放电空间)15配置的、实质上由钨构成的一对电极12及12’。在发光管10的放电空间15内至少封入汞18和稀有气体和卤素。封入这些物质的主要目的在于；汞18是作为发光物质、稀有气体是作为良好启动的气体、卤素是使卤素循环进行的。

在本实施例中，封入发光管10内的卤素克分子数，是比与卤素具有结合性质的金属(但钨元素及汞元素除外)存在于发光管内的金属元素合计克分子数和比灯工作中由电极12及12’蒸发并存在于发光管10内的钨的克分子数的和，还多。具有与卤素结合性质的金属元素的代表例，除钨元素及汞元素之外，还有碱金属元素(Na、K等)。这样，规定卤素克分子数的理由详细地叙述于国际申请号PCT/JP00/04561号说明书(国际申请日为2000年7月6日，申请人为松下电器产业株式会社)。在这里，本申请说明书援引了国际申请号PCT/JP00/04561号说明书作参考。

若简要地说明规定卤素克分子数的理由，则由于通过如上所述规定卤素的克分子数，就能经常地确保对发光管10给予卤素循环的卤素，并可靠地实行卤素循环，因此可防止发光管10所产生的黑化。由于这种防黑化，即使在已有技术很快地达到灯寿命的高输出条件(发光管的壁负荷例如80W/cm²或其以上)使用，也可以谋求灯的长寿命化(例如由500至10000小时以上)。在过去，推测没有规定这样的卤素克分子数的理由时，除了没有探讨根据高输出条件下实际灯工作的现象的黑化机构之外，过去认为放电灯玻璃管100几乎不附着杂质成分。

在本实施例的放电灯中，通上述实施例的洗涤方法很好地除去了存在于发光管内表面上的杂质，通过封入对灯工作无妨碍水平的卤素量，很容易实现卤素的克分子数比所述金属元素的合计克分子数和蒸发钨克分子数之和，还多。另一方面，本申请发明人通过实验确认，在由未经洗涤的玻璃管或由图12所述的洗涤方法所洗涤的玻璃管制造的放电灯的情况下，由于在发光管10内未被除去的杂质大量存在，所以，以封入对灯工作无妨碍水平的卤素量来满足上述卤克分子数的规定条件，事实上是非常困难的。

被封入的卤素的克分子数，若考虑到一个金属原子可能与多数卤素结合的情况，则形成如下情况是比较理想的。即，具有与卤素结合性质的金属元素(但钨元素及汞元素除外)的各种元素以Mi表示时的金属元素Mi的克分子数用mi表示，将金属元素Mi的化学计量系数用ni表示的情况下，所述卤素的克分子数对金属的克分子数Mi乘以化学计算的系数ni的数的和所述各种金属Mi的累加的合计数[∑(mi×ni)]钨克分子数之和，还多，是这理想的。这样的卤素封入的克分子数，通过例如存在于发光管内的钠(Na)、钾(K)、锂(Li)、铬(Cr)、铁(Fe)以及镍(Ni)合计的克分子数的5倍以上是能够实现的。卤素，例如为溴。卤素不只限于以单体的形式被封入，在本实施例中，卤素是以CH₂Br₂的形式被封入的。

若举例示出本实施例放电灯1000的条件，则将如下，发光管10的内容积(放电空间的容量)约为0.2cc(约0.2cm³)，在发光管10的内部，封入有约30mg的汞18(单位发光管内容积的汞量：约150mg/cc、在室温下约20KPa的氩气(未图示)，以及约60Pa的CH₂Br₂(未图示)。再有，发光管10的外径约为13mm，发光管10的玻璃厚度约为3mm。发光管的管壁负荷为80W/cm²或其以上，是电极间距离短的弧形放电灯。电极间距离，例如可约为5mm-1mm，若单一例，电极距离约为1.5mm。在发光管10内配置的电极12的一端，与密封部22内的金属箔(例如钼箔)24焊接，电极12与金属箔24相互电连接。由钼构成的外部导线(Mo棒)26与金属箔24的一端进行了电连接。再有，额定电力为150W(管壁负荷约为85W/cm³)。

上述实施例3的放电灯1000，如图10所示，与反射镜180组合，可组成带反射镜灯1200。带反射镜灯1200，若与支承它的灯架(未图示)相组合，也可组合成灯单元。图10模拟地示出带反射镜灯1200的剖面。

带反射镜灯1200包括：具有大致球形的发光部10与一对密封部22的放电灯1000，和反射由放电灯1000发出的光的反射镜180。

反射镜180，其构成为：以成为例如平行光束、规定的微小区域收束的集光光束、或与由规定的微小区域散发的同等散发光束，反射来自放电灯1000的放射光。作为反射镜180，例如可使用抛物面反射镜或椭球镜。在图10所示的例中，在灯1000的一方密封部22’安装有灯头55，由密封部22延伸的外部导线26与灯头55进行电连接。安装灯头55一侧的密封部22与反射镜180，例如由无机系粘接剂(例如水泥等)固接而成为整体。位于反射镜180的前面开口部一侧的密封部22的外部导线26与导线185进行电连接。导线185由外部导线26通过反射镜180的导线开口部182延伸到到射镜180之外。反射镜180的前面开口部例如可前面安装玻璃。

这样的灯单元例如可作为投影电视的光源，或者作为液晶放映机或用DMD的放映机的光源使用。上述实施例的放电灯及灯单元除了上述用途之外，还可以用作一般照明、紫外线分节器光源或竞赛显示光源或汽车前照灯光源等。

实施例3中虽然示出封入150mg/cc汞的例子，但不只限于该汞量，也可以封入比该量或多或少的汞量。即，在实施例3中虽然是针对汞蒸气压20MPa左右的情况(所谓超高压水银灯的情况)进行了说明，但也可适用于汞蒸气压1MPa左右的高压水银灯。此外，一对电极12间的间隔(弧长)即可以是短弧型的，也可以是长弧型的。实施例3的高压放电灯，可使用交流点灯型及直流点灯型的任何一种点灯的方式。

还有，取代汞，或者与汞一起也可以封入金属卤化物。即，在实施例3中，以发光物质使用汞的水银灯作为高压放电灯的一例说明的，但是，也可适用于封入金属卤化物的金属卤化物灯等的高放电灯。在实施例3的放电灯构成中，汞封入量约为200mg/cc以下是理想的。其理由是若超过上述汞封入量，则工作中的灯管10内的压力过高，在密封部22的钼箔24部分不能保持密封，灯破损几率变高。若能够保持密封，则汞封入量也可大于约200mg/cc。在汞封入量超过200mg/cc时，发光管10内的气体热导性变高。因此，放电等离子热很容易传给电极12或发光管10(石英玻璃)而成为更高温状态，由玻璃或电极渗出的杂质激增。从而，在封入超过这样的200mg/cc的汞时，使用由高纯度材料构成的经过很好洗涤的玻璃管所制造的本实施例3的灯1000，发挥更强的效果。

还有，实施例3虽然是以管壁负荷以约80W/cm²为例进行说明的，但管壁负荷并不只限于此，也可以比该值低，反之，也可以比该值高。在较高负荷的情况下，由于在较高温度状态下工作，所以来自玻璃或电极的杂质渗出颇激烈，因而由高纯材料构成的实施例3的灯1000发挥更强的效果。但是，在实施例3的放电灯构成中，管壁负荷约为100W/cm²以下是理想的。其理由是由于超过该负荷值，发光管10的温度变得过高而产生热变形或热老化问题。在这种情况下，若附加冷却发光管10的其他手段可避免该问题，则管壁负荷也可大于100W/cm²。

再有，在本实施例3中虽然示出以额定电力150W为例，但额定电力不只限于该值，也可为150W以上，或150W以下。但是，实施例3的放电灯构成，特别适合于50W以上较大电力的灯。大电力的灯由于较高温度状态下工作，所以来自玻璃或电极的杂质渗出颇激烈，因此由高纯度材料构成的实施例3的灯1000在这样的状态下工作可发挥较强的效果所致。再有，实施例3的放电灯虽然是封入作为卤素的溴(Br)的灯为例进行说明的，但是，这里的卤素，即可以使用氯(Cl)，也可以使用碘(Ⅰ)。

根据本发明，由放电灯透明管(例如放电灯玻璃管)的一端导入洗涤流体，至少使该洗涤流体与发光管部的内表面接触并使其流动，所以可很好地除去附着在发光管部内表面上的杂质。其结果，可以将附着在发光管内表面上的杂质(例如碱成分)洗涤至达到与构成放电灯玻璃管原料(石英玻璃)同等水平的杂质浓度，从而可制造出防止失去透明等发生的长寿命的放电灯。

Claims (20)

1．一种放电灯透光管的洗涤方法，为具有发光管部的放电灯透光管的洗涤方法，包括：由所述透光管一端导入洗涤流体的工序，和使所述洗涤流体与所述透光管内表面中至少所述发光管部的内表面接触并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述发光管部内表面的杂质的工序。

2．根据权利要求1所述的放电灯透光管的洗涤方法，除去所述杂质的工序，在同一工序中进一步地使洗涤流体与所述透光管外部接触，并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述透光管外面的杂质。

3．根据权利要求1所述的放电灯透光管的洗涤方法，导入所述洗涤流体的工序包括：在盛有作为所述洗涤流体的洗涤液容器内，管端部沿大致垂直方向的位置配置所述透光管的工序，和向所述容器内注入所述洗涤的工序；

除去所述杂质的工序包括：使所述洗涤液的液面上升到超过所述放电灯透光管的所述发光管部上部的工序，和使所述洗涤液的液面下降到所述发光管部的下部之下的工序。

4．根据权利要求3所述的放电灯透光管的洗涤方法，其特征在于，反复地进行使所述洗涤液液面上升的工序和使所述洗涤液液面下降的工序。

5．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，使所述洗涤液液面下降的工序，是使所述洗涤液的液面下降到所述透光管下端以下。

6．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，使所述洗涤液的液面上升的工序，是使所述洗涤的液面上升到超过所述透光管的上端。

7．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，还包括将所述容器内的洗涤液从所述容器内排出的工序。

8．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，通过对所述容器内的洗涤液中所含的杂质浓度的监视，决定洗涤终点。

9．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，所述透光管使用保持多个所述透光管的夹具，沿着管端部大致垂直方向的位置配置。

10．根据权利要求3所述的放电灯透光管的洗涤方法，所述洗涤液是从超纯水、纯水、脱离子水、氟酸水溶液及过氧化氢水溶液，以及由它们任一种与洗涤微粒子组合而构成的一组中选择的一种。

11．根据权利要求3或4所述的放电灯透光管的洗涤方法，至少包括：在所述发光管部的内表面附着作为所述杂质的多种杂质，对所述多种杂质中的第1杂质，由所述感光管的一端导入作为洗涤液的第1洗涤液的第1工序，和对所述多种杂质中的第1杂质以外的第2杂质，由所述透光管的一端导入作为所述洗涤液的第1洗涤剂以外的第2洗涤液的第2工序。

12．根据权利要求1所述的放电灯透光管的洗涤方法，所述洗涤流体是气体、液体或微粒子粉体的任一种，通过实行如下的排除杂质工序，即，将由所述放电灯透光管一端导入的洗涤流体从所述放电灯透光管另一端排除，除去附着在所述发光管内表面上的杂质。

13．根据权利要求12所述的放电灯透光管的洗涤方法，所述洗涤流体为惰性气体。

14．一种放电灯透光管的洗涤装置，包括：配置具有发光管部的放电灯的发光管并盛有洗涤液的容器；向所述容器内注入洗涤剂的注入管或注入软管；排出所述容器内所述洗涤液的排出管或排出软管；监视附着在所述透光管上的杂质，所述容器内洗涤液所含有的杂质浓度的浓度监视器。

15．根据权利要求14所述的放电灯透光管的洗涤装置，所述浓度监视器具有如下功能，即，将注入所述注入管或注入软管的洗涤液的电导率作为基准值，然后将所述容器内的所述洗涤液或由所述容器内排出的洗涤液示出的电导率与所述基准值进行比较，决定洗涤终结的功能。

16．根据权利要求14或15所述的放电灯透光管的洗涤装置，所述容器具有所述容器内的洗涤剂不与所述容器外的空气接触的密闭结构。

17．一种放电灯，具有在封入物质的管内对向地配置一对电极的发光管和由所述发光管延伸的密封部；

所述放电灯是通过具有下列各工序的制造方法制造的：即，准备具有成为所述放电灯发光管的发光管部和由所述发光管部延伸的侧管部的放电灯透光管，并且经过洗涤工序的放电灯透光管的工序；将具有金属箔和与所述金属箔连接的电极的电极组合体插入所述侧管部，使所述电极的前端位于所述发光管部内的工序；使所述电极组合体的金属箔与所述侧管部密合，形成密封的工序；

所述洗涤工序包括：从具有成为所述放电灯发光管的发光管部和由所述发光管部延伸的侧管部的放电灯透光管的一端导入洗涤流体的工序(a)；和使所述流体至少与所述透光管内表面中的发光管部内表面接触，并使所述洗涤流体流动，通过这种方法除去附着在所述发光管部内表面上的杂质工序(b)；

所述工序(a)包括：在盛有作为所述洗涤流体的容器内配置所述透光管，使所述透光管的端部位于大致垂直方向的工序(a-1)和将所述洗涤液注入容器内的工序(a-2)；

所述工序(b)包括：使所述洗涤液的液面上升到超过所述透光管的透光管部的上部的工序(b-1)；和使所述洗涤液的液面下降到所述发光管部的下降以下的工序(b-2)。

18．根据权利要求17所述的放电灯，所述放电灯至少将作为所述发光物质汞、稀有气体和卤素封入在所述发光管内，所述发光管实质上是由石英玻璃构成，所述电极实质上是由钨构成的；

所述卤素的克分子数，比具有与所述卤素结合性质的金属元素存在于所述发光管内的金属元素(但钨元素及汞元素除外)的合计克分子数与灯工作中由所述电极蒸发而存在于所述发光管内的钨克分子数之和，还多。

19．根据权利要求18所述的放电灯，封入所述发光管内的卤素克分子数，为存在于所述发光管内的钠(Na)、钾(K)、锂(Li)、铬(Cr)、铁(Fe)以及镍(Ni)合计的克分子数的五倍以上。

20．根据权利要求17-19任一项所述的放电灯，其特征在于，所述放电灯为所述发光管的管壁负荷80W/cm²以上的水银灯。

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