CN1312067C - 光纤预制棒的制造方法、光纤预制棒、光纤 - Google Patents

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Abstract

本发明包含制造无水玻璃体(11′)的玻璃体制造工序、加热和延伸无水玻璃体(11′)的杆延伸工序、以及使无水玻璃杆(11)和玻璃管(12)成为一体的一体化工序。在杆延伸工序中，用电炉(4)加热无水玻璃体(11′)的同时，将无水玻璃体(11′)的外表面部分升华除去，并延伸该无水玻璃体。

Description

光纤预制棒的制造方法、光纤预制棒、光纤
技术领域
本发明涉及将玻璃杆插入玻璃管内，通过使上述玻璃管内减压，并加热两者，将上述玻璃管和玻璃杆作成一体的光纤预制棒的制造方法，特别是涉及制造波长为1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态光纤的光纤预制棒的制造方法，和利用该制造方法制造的光纤预制棒和光纤。
背景技术
光纤通过将光纤预制棒拉丝而制造。作为光纤预制棒的制造方法已知有VAD(Vapor-phase Axial Deposition)法，OVD(OutsideVapor-phase Deposition)法和杆在管中(rod in tube)法等。
然而，从光纤的生产性能观点来看，要求将光纤预制棒作得较大。作为制造大型光纤预制棒的方法，已知有用包层部再覆盖由芯子部和包层部构成的玻璃杆(一次母材)的制造方法。
例如已知有在用VAD法或OVD法(以下将它们总称为火焰水解法)制造的玻璃杆(具有芯子部和包层部的一次预制棒)的外周围，再利用火焰水解法(SOOT)堆积疏松体(玻璃微粒子)，通过使它透明而制造大型光纤预制棒的方法。
另外，还知与此不同的，将用上述火焰水解法制造的玻璃杆插入玻璃管内，使该玻璃管直径缩小，通过将该玻璃杆和玻璃管作成一体，而制造大型光纤预制棒的方法。
然而，近年来，用一根光纤(单模态光纤)同时传送波长不同的多个信号光的波长多重(WDM：Wavelength Division Multiplexing)传送方式引人注意。在这种WDM传送方式中，主要使用的信号波长为1550nm带。如图6所示，这个波长带域光纤的损失值最小是其一个理由。
如同图所示，光纤的波长损失特性在1385nm带处具有极大的峰值。光纤中残留的OH-离子造成的吸收损失是主要原因。如果没有这种吸收损失，则WDM传递系统可利用的波长带域可扩大，这样，可以大大增加WDM传递系统的传送容量。
由于这样，需要降低光纤中残留的OH-离子浓度，进而需要OH-离子浓度为低浓度的光纤预制棒。
为了制造这种OH-离子浓度降低的光纤预制棒，主要有以下两种方法。
一种方法是，如上所述，利用火焰水解法的光纤预制棒的制造方法。即：利用火焰水解法制造OH-离子浓度在给定值以下的无水玻璃体(一次预制棒)，同时，将它延伸，制成无水玻璃杆，再利用火焰水解法，在该延伸的无水玻璃杆的外周周围堆积疏松体的方法。利用这种方法，当使堆积在无水玻璃杆上的疏松体变成透明时，需要防止由于疏松体的收缩产生界面偏移。因此，必须使疏松体和无水玻璃杆熔融粘接，在堆积疏松体时，加热无水玻璃杆的表面(例如800℃左右。)这种加热与疏松体的堆积同时进行，因此利用氢氧火焰进行。由于这样，不可避免有OH-离子混入无水玻璃杆的外表面中，这样，光纤预制棒的OH-离子浓度增大。
作为无水玻璃体(无水玻璃杆)，考虑制造包层部对于芯子部的外径比C/C大的玻璃杆(例如C/C≥7)。这样，利用氢氧火焰加热，即使OH-离子混入无水玻璃体的外表面中，该OH-离子也会从芯子部离开。结果，光纤预制棒的芯子部附近的OH-离子浓度保持为低浓度。
然而，在这种情况下，光纤预制棒的生产率降低。另外，制造的无水玻璃体的外径受到制造装置的大小的限制。因此，增大无水玻璃体的C/C时，必须减小芯子部的外径。由于这样，由无水玻璃体制造装置生产的芯子部显著减小，芯子部的生产率降低。当芯子部的生产率降低时，相对地包层部的生产过剩，结果，制造装置的开动率降低，光纤预制棒的生产率降低。
制造OH-离子浓度降低的光纤预制棒的第二种方法为通过杆在管中法而制造光纤预制棒的制造方法(参照特开平11-171575号公报)。即：在利用火焰水解法制造无水玻璃的同时，将它延伸，制成无水玻璃杆，在该延伸的无水玻璃中的外周周围覆盖玻璃管的方法。利用这种方法，当将玻璃管覆盖在无水玻璃杆上时，OH-离子难以混入。由于这样，不需要增大无水玻璃体的C/C，因此，在制造OH-离子浓度降低的光纤预制棒时，从生产率观点来看，杆在管中法比火焰水解法合适。
然而，杆在管中法有以下的问题。
第一个问题是关于无水玻璃体的延伸。即：即使是杆在管中法，也要使加热制成的无水玻璃体延伸，制成无水玻璃杆，作为延伸方法，考虑利用氢氧火焰加热和延伸无水玻璃体。然而，如上所述，使用氢氧火焰的情况下，OH-离子混入无水玻璃体(无水玻璃杆)的外表面中，这样，光纤预制棒的OH-离子浓度增大。因此，在这种情况下，必须在无水玻璃杆和玻璃管成为一体之前，利用等离子体火焰研磨或机械研削，除去延伸的无水玻璃杆的外表面部分(混入OH-离子的部分)。这样，可以降低无水玻璃杆的OH-离子浓度，但重新需要火焰研磨或研削工序，工序数增加，使制造成本提高。
另外，作为第二种方法，利用不产生OH-离子的等离子体火焰加热无水玻璃体，并延伸它。但在这种情况下，与采用氢氧火焰的情况比较，制造成本大幅度提高。
作为第三种方法，使用电炉进行无水玻璃体的加热。在这种情况下，可使OH-离子不混入地延伸无水玻璃体，制成无水玻璃杆，同时成本比使用离子体火焰的情况低。因此，第三种方法是最优的无水玻璃体的延伸方法。
然而，在制造过程中，在所述的无水玻璃杆的外表面上产生损伤，有异物附着。在使用碳电阻加热式电炉作为电炉的情况下，加热时，灰等容易附着在玻璃杆的外表面上。当在上面有伤或异物时，在无水玻璃杆和玻璃管成为一体时，在杆和管的界面上产生气泡等，结果使光纤的损失增加。
实验表明，在利用火焰水解法制造无水玻璃体的情况下，其外表面部分的OH-离子浓度比较高。这是由于以下的原因，即：利用火焰水解法，首先要利用大约1200℃的加热炉，在He气和氯气的环境中对堆积的疏松体进行脱水处理的脱水工序。然后，利用大约1500℃以上的高温加热炉，在He气的环境中，进行透明玻璃化的透明化工序。然而，在脱水工序中，当温度低时，氯气不能很好地激活，脱水反应不充分。另一方面，在脱水工序中，环境气体不是氯气，混合以玻璃透明化为目的He气，该He气使疏松体表面冷却，因此，疏松体的表面部分脱水不充分，结果，利用火焰水解法制造的无水玻璃体的外表面部分的OH-离子浓度高。
这样，延伸无水玻璃体的无水玻璃杆的外表面上存在损伤或异物，由于其外表面部分的OH-离子浓度高，因此在制造较低损失的光纤时，必须研磨和研削无水玻璃杆的外表面。然而，从防止OH-离子混入的观点来看不能采用利用氢氧火焰的研磨，而从制造成本的观点来看，使用等离子体火焰不好。
因此，在制造OH-离子浓度降低的光纤预制棒时，产生制造成本大幅提高的问题。
第二个问题不是防止光纤的OH-离子造成的吸收损失而是散射损失增大。
即：在杆在管中法中，缩小插入玻璃杆的玻璃管的直径，使玻璃杆和玻璃管成为一体。这时，上述玻璃杆在半径方向产生压缩变形。在玻璃杆上产生压缩变形的情况下，在将制造的光纤预制棒拉丝制成的光纤中，产生微波弯曲造成的散射损失，结果，在1550nm附近的长波长侧，损失值增大。由于波长越长的光在光纤中传播的光束的宽度越大，因此，在长波长侧容易接受微小弯曲的损失。即使减少OH-离子引起的吸收损失，但由散射损失造成的光纤的全部损失增加，达不到WDM传送系统可以利用的波长带域扩大的当初的目的。
另外，如上所述，当利用杆在管中的方法制造光纤预制棒时，如果玻璃杆(一次预制棒)的C/C不是比较小的值，则光纤预制棒的生产率降低，作为制造方法没有竞争力。另外，当玻璃杆的C/C小时，在玻璃杆和玻璃管成为一体时，上述玻璃杆在径向容易产生压缩变形，容易使光纤的损失增加。
第三个问题是光纤预制棒的OH-离子浓度容易产生偏差。
即：在无水玻璃杆和玻璃管成为一体以前，当在将无水玻璃杆插入玻璃管内的状态下放置时，空气中的水分使浮在无水玻璃杆的外周面和玻璃管的内周面上产生结露。当在产生结露的状态下，使无水玻璃杆和玻璃管成为一体时，无水玻璃杆和玻璃管之间残留的水分，使得光纤预制棒的OH-离子浓度升高。
另外作为杆在管中法的一种，还有在加热无水玻璃杆和玻璃管，将它们作成一体之前，利用氢氧火焰加热插入无水玻璃杆的玻璃管的两端，封闭其开口的方法，利用这种方法，由于使用氢氧火焰，可产生水，同时在冷却加热的玻璃时，其表面产生结露，在无水玻璃杆和玻璃管之间容易残留水分。
光纤预制棒的OH-离子浓度根据作成一体之前的无水玻璃杆和玻璃管之间的残留水分而变化。
发明内容
本发明是考虑这个问题而提出的，其目的是以低成本可靠地制造在波长1385nm带上损失低，而且可防止散射损失增大的制造光纤的光纤预制棒。
本发明的制造方法，可制造用于制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/cm以下的单模态光纤的光纤预制棒，它包含下列工序：
制造由上述光纤中的成为芯子的芯子部和在该光纤中成为包层的一部分的包层部构成，而在其外表面部分以外的部分的OH-离子浓度在2ppb以下的无水玻璃体的玻璃体制造工序；
利用电炉加热在上述玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体，将其外表面部分升华除去并延伸，作成无水玻璃杆的杆延伸工序；和
将在上述杆工序中延伸的无水玻璃杆插入玻璃管内，同时使该玻璃管内减压，通过从一端向着另一端沿轴向顺序加热该玻璃管和无水玻璃杆二者，顺序地使上述玻璃管和无水玻璃杆成为一体的一体化工序。
在玻璃体制造工序中，在由芯子部和包层部构成的无水玻璃本中，制造其外表面部分以外的部分的OH-离子浓度在2ppb以下的无水玻璃体。例如，可以使用火焰水解法制造无水玻璃体。
在杆延伸工序中，加热和延伸制造的无水玻璃体。这时，用电炉加热无水玻璃杆，电炉可以为高频加热式或电阻加热式的电炉，这样，加热时不产生OH-离子，OH-离子不会混入无水玻璃杆的表面。
另外，在杆延伸工序中，升华和除去无水玻璃体的外表面部分，延伸上述无水玻璃体，由于这样，在无水玻璃体外表面上的损伤和附着在该外表面上的异物可与其外表面部分一起除去。另外，利用火焰水解法制造的无水玻璃体外表面部分的OH-离子浓度比较高，可除去该OH-离子浓度高的外表面部分。结果可得到作为OH-离子浓度为低浓度的无水玻璃杆的、表面光滑的无水玻璃杆。
将这样延伸的无水玻璃杆插入玻璃管内，使玻璃管内减压，并加热管和杆，进行使该玻璃管和无水玻璃杆成为一体的一体化工序。这样，在OH-离子浓度为低浓度的光纤预制棒中，可制造内部不产生气泡的光纤预制棒。通过将该光纤预制棒拉丝，可得到OH-离子的吸收损失小(具体地可得到波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下)的光纤。
这样，本发明的制造方法在延伸OH-离子浓度低的无水玻璃体时，使用不产生OH-离子的电炉除去无水玻璃体外表面部分并进行延伸，这样，可用一个工序延伸无水玻璃体并进行表面的研磨(研削)。因此，可用低成本制造用于制造低损失光纤的光纤预制棒。
在杆延伸工序中，将用电炉加热无水玻璃体的温度设定在2100以上2300℃以下。
即：在延伸无水玻璃体时，可将加热温度设定为1800℃左右，通过使加热温度在2100℃以上，可以升华和除去无水玻璃体的外表面部分，可以将其延伸。这样，可得到与研磨研削无水玻璃杆的外表面部分同样的作用。另外，当过分提高加热温度时，电炉的寿命缩短，因此优选加热温度设定在2300℃以下。另外，无水玻璃体的加热优选为2200～2250℃，这样，可以可靠地去除无水玻璃体的外表面的损伤和异物，同时延长电炉的寿命。
杆延伸工序为通过加热和延伸无水玻璃体，形成外表面的凹凸比0.5μm小的无水玻璃杆的工序。
如上所述，在杆延伸工序中，研磨和研削无水玻璃体的外表面。因此，该外表面光滑，几乎在外表面上不包含0.5μm以上的凹凸。
玻璃体制造工序为利用VAD法制造包层部的外径与芯子部外径的比设定为3.3以上4.5以下的无水玻璃体的工序。
即：本发明的制造方法为杆在管中法，无水玻璃体延伸时，OH-离子不混入无水玻璃体的外表面中，因此，不需要考虑OH-离子混入而增大包层部外径与无水玻璃体芯子部的外径比(C/C)。即：无水玻璃体的C/C较小也可以。通过减小无水玻璃体的C/C，即使利用VAD法制造无水玻璃体，也不降低光纤预制棒的生产率。
玻璃管的OH-离子浓度设定为1ppm以下。
上述一体化工序为使玻璃管和无水玻璃杆作成一体的同时进行该一体化物的延伸的工序。
这样，在玻璃管和无水玻璃体成为一体的过程中，可将轴向张力赋与无水玻璃杆，利用该赋与的张力，可使在玻璃管直径缩小时，在无水玻璃杆上产生的径向压缩变形缓和。
结果，如果对该光纤预制棒拉丝，则可以得到OH-离子吸收损失小，具体地是波长1385nm带的损失在0.4dB/km以下的光纤中，可抑制上述光纤预制棒的压缩变形，防止散射损失增加的光纤；换句话说，可得到在宽的波长带域内低损失的光纤。
另外，当无水玻璃体(无水玻璃杆)的C/C小时，与玻璃管作成一体时，无水玻璃杆上容易产生压缩变形。但通过玻璃管和无水玻璃杆成为一体时延伸该一体化物，可抑制压缩变形。因此，如上所述，可通过减小无水玻璃体的C/C，可提高光纤预制棒的生产率。
光纤预制棒的制造方法，其特证为，它还包含在一体化工序前，在将无水玻璃杆插入玻璃管内的状态下使干燥用气体在上述无水玻璃杆和玻璃管之间流动，干燥上述无水玻璃杆的外周面和玻璃管的内周面的干燥工序。
这样，利用一体化工序前的干燥工序，水分不会残留在无水玻璃杆和玻璃管之间。因此可以可靠地制造OH-离子浓度为低浓度的光纤预制棒。即：光纤预制棒的OH-离子浓度没有偏差。
干燥工序为使作为干燥用气体的不活泼性气体在无水玻璃杆和玻璃管之间流动的工序也可以。
不活泼性气体为在一体化工序中，加热玻璃管和无水玻璃杆的加热炉的密封气体。
干燥用气体只要是使无水玻璃杆的外周面和玻璃管的内周面干燥的气体即可。因此，干燥用气体优选为无水分或水分少的气体。这样可以使用与加热炉的密封气体相同的气体作为干燥用气体。不要准备新的气体可降低制造成本。
干燥工序可为在无水玻璃杆和玻璃管之间使作为干燥用气体的干燥空气流动的工序。
本发明的光纤预制棒，它是芯子部附近的OH-离子浓度在2ppb以下的光纤预制棒。通过对预制棒拉丝可制造波长1385nm带损失在0.4dB/km以下的光纤。
上述光纤预制棒轴向每1m的气泡数量在5以下。光纤预制棒的气泡成为光纤中的气泡，增大散射损失。
本发明的光纤为将根据上述制造方法制造的光纤预制棒拉丝制成的光纤。这种光纤波长1385nm带的损失值低(0.4dB/km以下)，该损失值与波长1310nm带的损失值相同或比它小。
附图说明
图1为表示延伸装置的概略结构的图。
图2为表示延伸装置的电炉的结构的图。
图3为表示预制棒制造装置的概略图。
图4为表示光纤预制棒截面的截面图。
图5为表示封闭插入无水玻璃杆的玻璃管的端部开口的状态的截面图。
图6为表示通常的光纤的波长损失特性的图。
具体实施方式
以下根据附图说明本发明的实施方式。本发明的光纤预制棒的制造方法为利用杆在管中法的方法。该制造方法包含：制造由芯子部11a和包层部11b构成的无水玻璃体11’(参见图1)的玻璃体制造工序；延伸该无水玻璃体11’，制成无水玻璃杆11的杆延伸工序；在将无水玻璃杆11插入玻璃管12内的状态下，干燥无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面的干燥工序；和将延伸的无水玻璃杆11与玻璃管12作成一体的一体化工序。这样，制造由芯子部11a和覆盖该芯子部11a的周围的包层部13构成的光纤预制棒1(参见图4)。
(玻璃体制造工序，管制造工序)
如图4所示，在玻璃体制造工序中，制造由在光纤中作为芯子的芯子部11a，和在光纤中作包层的一部分的包层部11b构成，特别是，在其外表面部分以外的部分的(芯子部11a附近)OH-离子浓度在给定值以下(具体地为浓度在2ppb以下)的无水玻璃体11’。
具体地是，利用VAD法制造堆积玻璃微粒子的玻璃微粒子堆积体，通过使其脱水和烧结，制造无水玻璃体11’。该无水玻璃体11’也可用通常进行的方法制造。例如，首先利用大约1200℃的加热炉，在氦气和氯气的环境中，在进行对堆积的疏松体的脱水处理的脱水工序后，利用大约1500℃以上高温加热炉，在氦气环境中，进行透明玻璃化的透明化工序。制造无水玻璃体11’。
但，如上所述，无水玻璃体11’的外表面部分以外的部分的OH-离子浓度在2ppb以下。上述无水玻璃体11’的C/C(包层部11b的外径D与芯子部11a的外径d的比D/d(参见图4)为3.3～4.5。从光纤预制棒1(无水玻璃体11’)的生产率观点来看，优选该C/C为4左右。
另外，该无水玻璃体11’也可用OVD法制造。
另外，与无水玻璃杆11作成一体的玻璃管12，也可以用OVD法制造。但该玻璃管12的OH-离子浓度在1ppm以下。
(杆延伸工序)
图1表示延伸在玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体11’，制成无水玻璃杆11的延伸装置A。在安装于该延伸装置A上的无水玻璃体11’的两端，安装辅助管21，22，使其与该无水玻璃体11’同轴。
上述延伸装置A分别具有带有夹头23a，24a的上侧夹持部23和下侧夹持部24。利用该上侧夹持部23和下侧夹持部24，将无水玻璃体11’配置为在Z方向(图中的上下方向)延伸的状态。即：上侧夹持部23的夹头23a夹持安装在上述无水玻璃体11’上端的辅助管23的上端部分；另一方面，下侧夹持部24的夹头24a由安装在无水玻璃体11’下端的辅助管22的下端部分握持。
上述上侧夹持部23在夹住无水玻璃体11’(无水玻璃杆11)的两侧位置上，被在Z方向延伸的一对导轨25，25导向，通过第一移动机构31在Z方向上移动。
上述第一移动机构31在Z方向延伸，它由拧紧在上述上侧夹持部23上的滚珠丝杠31a、安装在该滚珠丝杠31a的上端的从动皮带轮31b、由第一电机31c驱动的驱动皮带轮31d和卷绕在该从动皮带轮31b与驱动皮带轮31d之间的皮带31e构成。当上述第一电机31c驱动驱动皮带轮31d时，从动皮带轮31b通过皮带31e转动，这样，滚珠丝杠31a转动。因此，上侧夹持部23由导轨25，25导向，在Z方向移动。在进行无水玻璃体11’的延伸时，上侧夹持部23向下方移动。
上述下侧夹持部24由上述一对导轨25，25导向，通过第二移动机构32在Z方向移动。
上述第二移动机构32，与第一移动机构31同样，在Z方向延伸，它由拧紧在该下侧夹持部24上的滚珠丝杠32a、安装在该滚珠丝杠32a下端的从动皮带轮32b、由第二电机32c驱动的驱动皮带轮32d、以及卷绕在该从动皮带轮32b和驱动皮带轮32d之间的皮带32e构成。利用上述第二电机32c驱动该驱动皮带轮32d，从动皮带轮32b和滚珠丝杠32a通过皮带32e转动。因此下侧夹持部24由导轨25，25导向，在Z方向移动。在延伸无水玻璃体11’时，下侧夹持部24向下方移动。
在该装置A中，上侧夹持部23通过第一电机31c移动。而下侧夹持部24通过第二电机32c移动。由于这样，通过使第一和第二电机31c，32c的旋转速度互不相同，可使上侧夹持部23的移动速度和下侧夹持部24的移动速度互相不同(参见图中的空白箭头)。当延伸无水玻璃体11’时，下侧夹持部24的移动速度比上侧夹持部23的移动速度高，这样可向下拉伸无水玻璃体11’。
上述上侧和下侧夹持部23，24的夹头23a，24a分别通过第一旋转机构71和第二旋转机构72，在沿Z方向延伸的轴(Z轴)周围转动(参见图中的箭头)。
上述第一旋转机构71由与上述上侧夹持部23的夹头23a作成一体的从动皮带轮71a、由第三电机71b驱动的驱动皮带轮71c，和卷绕在该从动皮带轮71a和驱动皮带轮71c之间的皮带71d构成。当上述第三电机71b驱动该驱动皮带轮71c时，上侧夹持部23的夹头23a通过皮带71d和从动皮带轮71a，围绕z轴转动。
上述第二旋转机构72也与上述第一旋转机构71相同，由从动皮带轮72a、第四电机72b、驱动皮带轮72c和皮带72d构成。通过第四电机73b驱动该驱动皮带轮72c，下侧夹持部24的夹头24a通过皮带72和从动皮带轮72a，围绕z轴转动。
另外，上述第一和第二旋转机构71，72以互相相同的转数，使各个夹头23a，24a转动。
上述延伸装置A还具有加热无水玻璃体11’的电炉4。该电炉4配置在上述上侧夹持部23和下侧夹持部24的中间位置上。如2图所示，该电炉4由中心轴向着Z方向延伸配置的大致环形的碳加热器41；嵌在该碳加热器41内，在Z方向延伸的炉心管42；包围该碳炉心管42的外周围的隔热部件43；以及收容该碳加热器41、碳炉心管42和隔热部件43的壳体45构成。在上述壳体45的上端和下端形成无水玻璃体11’可通过的开口。
上述碳炉心管42配置在与沿Z方向延伸的无水玻璃11’大致同轴的位置上。另外，该碳炉心管42具有比无水玻璃体11’的外径大的内径，这样，上述无水玻璃体11’可在轴向通过上述电炉4内。通过使无水玻璃体11’在上述电炉4内通过，可以利用碳加热器41，顺序地从下端向上端加热该无水玻璃体11’。
电炉4具有配置在加热器41附近的红外线温度计44。在无水玻璃体11’延伸的最中间，利用该温度计44，检测碳加热器41的加热温度。
另外，上述电炉4也可以具有高频加热式的加热器。
其次，说明利用该延伸装置1的无水玻璃体11’的延伸方法。
首先，在电炉4的上方位置，利用上侧夹持部23的夹头夹持安装在无水玻璃体11’的上侧的辅助管21的上端。与此同时，在电炉4的下方位置，利用下侧夹持部24的夹头夹持安装在无水玻璃体11’的下侧的辅助管22的下侧。这样，上述无水玻璃体11’(辅助管22)在电炉4内贯通的状态下，在Z方向延伸。
在这个状态下，分别以给定的转数，驱动上述第一和第二移动机构31，32的第一和第二电机31c，32c。这样，将上述无水玻璃体11’向下方移动。这时，分别以给定转动驱动第一和第二旋转机构71，72的第3和第4电机71b，72b。这样，无水玻璃体11’围绕Z轴转动。在上述无水玻璃体11’转动时，用电炉4从下端向着上端加热。这样，设定下侧夹持部24的移动速度比上侧夹持部23的移动速度高。这样，将由电炉4加热的无水玻璃体11’向下方拉伸。因此，可将上述无水玻璃体11’延伸至规定的外径，成为无水玻璃杆11。
当延伸无水玻璃体11’时，上述电炉4对无水玻璃体11’的加热温度设定为该无水玻璃体11’的外表面部分升华的温度。具体是，将加热温度设定为2100℃～2300℃。这样，在玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体11’的外表面上产生损伤，另外，当在上述电炉4内通过时，即使在灰等异物附着在无水玻璃体11’的外表面上，也可与无水玻璃体11’的外表面部分一起，将上述损伤和异物除去。另外，利用火焰水解法制造的无水玻璃体11’的外表面部分OH-离子浓度比较高，但也可以除去该OH-离子浓度高的外表面部分。由于这样，不需要改动和研磨研削延伸的无水玻璃杆11的外表面。
上述无水玻璃体11’的加热温度优选为2200～2250℃。这样，能可靠地除去无水玻璃体11’的外表面部分。同时由于不将加热温度升高至必要以上的温度，可使电炉4的寿命延长。
这样，上述延伸装置A为用电炉4加热无水玻璃体11’的装置。因此，在该无水玻璃体11’的外表面上不会混入OH-离子。另外，无水玻璃体11’的外表面部分，OH-离子浓度容易比较高，通过除去该外表面部分，可以降低无水玻璃杆11的OH-离子浓度。另外，由于除去无水玻璃体11’的外表面部分，可使无水玻璃杆11的外表面光滑，具体是，在该外表面上几乎不含有0.5μm以上的凹凸。
(一体化工序)
图3表示将在杆延伸工序中延伸的无水玻璃杆11和在管制造工序中制造的玻璃管12作成一体的预制棒制造装置B。该预制棒制造装置B为利用杆在管中法制造光纤预制棒1的装置。
上述预制棒制造装置B具有第一夹持部51和第二夹持部52。第一夹持部51通过夹持在Z方向(图的上下方向)延伸的上述玻璃管12的上端部分，使该玻璃管12处在吊下状态。第二夹持部52通过夹持同样在Z方向延伸的上述无水玻璃杆11的上端部分，使该无水玻璃杆11处在吊下状态。该第一和第二夹持部51，52可以分别在X方向(图中纸面的横方向)和Y方向(沿纸面直行的方向)移动玻璃管12和无水玻璃杆11的位置。与此同时，上述第一和第二夹持部51，52可以分别调整上述玻璃管12和无水玻璃杆11相对于Z方向的倾斜。由于这种结构上述玻璃管12和无水玻璃杆11分别位于垂直而且互相同轴的位置。
另外，上述各个夹持部51，52可以在Z方向移动。随着各个夹持部51，52向下移动，上述玻璃管12和无水玻璃杆11分别向下移动。上述第一轴和第二夹持部51，52的移动速度可以改变。这样，可以调整上述玻璃管12和无水玻璃杆11的移动速度(向后述的加热器6的送进速度)。与此同时，可以在第一夹持部51和第二夹持部52上设置互不相同的速度。这样，上述玻璃管12的送进速度和无水玻璃杆11的送进速度可以互不相同。
在上述第一夹持部51的下方位置上配置加热上述玻璃管12和无水玻璃杆11的大致为环形的加热器6。该加热器6配置在图中省略的加热炉内，配置在与上述玻璃管12和无水玻璃杆11大致同轴的位置上。加热器6的内径比上述玻璃管12的外径大。因此，上述玻璃管12和无水玻璃杆11可在其轴向，通过上述加热器6内。
利用这种结构，当通过上述第一和第二夹持部51，52使玻璃管12和无水玻璃杆11向下移动时，该玻璃管12和无水玻璃杆11从其一端(下端)顺序地在上述加热器6内通过。这样，可以从一端向着另一端顺序加热玻璃管12和无水玻璃杆11。
作为具有该加热器6的加热炉，例举有碳电阻加热炉或高频感应加热炉。在该加热炉内流入不活泼性气体(氮气、氩气等)作为外界气体和密封气体。
在夹住上述加热器6的下方位置的、该加热器6的中心轴的两侧位置上配置两个滚子53、53。各个滚子53可以转动。通过在上述加热器6中通过，作成一体的玻璃管12和无水玻璃杆11的一体物(光纤预制棒1)，由相对的二对滚子53，53夹住向下方退出。该各个滚子53，53的旋转速度可以变更，这样，可以调整一体化物从加热管6退出的速度。通过调整一体化物的退出速度，延伸该一体物形成外径为给定直径的光纤预制棒1。
在由上述第一夹持部51夹持的玻璃管12的上端面上安装封闭其上端开口的封闭盖7。图中省略的真空泵和干燥用气体供给装置与该封闭盖7连接。上述封闭盖7可以有选择地与真空泵和干燥用的气体供给装置连接。在将上述封闭盖7与真空泵连接的状态下，驱动真空泵时，可使上述玻璃管12内减压。另一方面，在将上述封闭盖7与干燥用气体供给装置连接的状态下，驱动该干燥用气体供给装置时，可将干燥用空气供给插入无水玻璃杆11的玻璃管12内。作为干燥用气体，可供给与加热炉的密封气体相同的气体。
其次，说明利用该预制棒制造装置B的光纤预制棒1的制造方法。
--玻璃管和无水玻璃杆的安装--
首先，利用第一夹持部51夹持玻璃管12的上端部分。利用该第一夹持部51分别调整上述玻璃管12的X，Y方向位置，使上述玻璃管12与加热器6同轴；同时，调整上述玻璃管12的倾斜，使上述玻璃管12垂直地配置。
其次，利用第二夹持部52夹持无水玻璃杆11的上端部分。另外，利用该第二夹持部52分别调整上述无水玻璃杆11的X，Y方向位置，使上述无水玻璃杆11与玻璃管12同轴；同时，调整上述无水玻璃杆11的倾斜，使上述无水玻璃杆11垂直地配置。这样，将无水玻璃杆11插入玻璃管12内。
另外，图中省略，将辅助管安装在玻璃管12的上端，与该玻璃管12同轴；也可以通过上述第一夹持部51夹持该辅助管的上端部分。另外，将辅助杆安装在无水玻璃杆11的上端，与该无水玻璃杆11同轴；也可以利用上述第二夹持部52夹持该辅助杆的上端部分。
--玻璃管和无水玻璃杆的干燥--
利用封闭盖7封闭上述玻璃管12的上端开口，将该封闭盖7与干燥用气体供给装置连接。通过驱动该干燥用气体供给装置，将干燥用气体供给玻璃管12内。这时，由于玻璃管12的下端开口封闭，干燥用气体在无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面之间的空间16中流动，从玻璃管12的下端开口排出。图3表示开始将玻璃管12和无水玻璃杆11作成一体后的状态。因此，玻璃管12的下端开口图中没有示出。这样，可干燥无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面。
该干燥用气体供给玻璃管12内，直至无水玻璃杆11和玻璃管12之间干燥为止。例如，可以将干燥用气体供给玻璃管12内二小时。
--玻璃管和无水玻璃杆的一体化--
如果只在给定时间将干燥用气体供给玻璃管12内，则继续供给干燥用气体(加热炉的密封气体)，则可使上述第一和第二夹持部51，52以给定速度向下移动。这样，可将上述玻璃管12和无水玻璃杆11送入加热器6内。采用干燥气体作为清洁气体，可以防止灰等异物从玻璃管12的下端开口流入玻璃管12内。
如果利用加热器6加热上述玻璃管12的下端，则该下端的直径缩小，下端开口闭塞，在该下端开口闭塞前，使封闭盖7与真空泵连接，这样，使玻璃管12内减压。
在这种状态下，继续将玻璃管12和无水玻璃杆11送入加热器6。这样，玻璃管12和无水玻璃杆11在轴向在上述加热器6内通过。因此，可从下端向着上端，顺序地用上述加热器6加热上述玻璃管12和无水玻璃杆11，并且从下端向着上端，顺序地使上述玻璃管12和无水玻璃杆11熔融。这时，由于玻璃管12内减压，利用该玻璃管12内外的压力差使熔融的玻璃管12直径缩小。结果玻璃管12和无水玻璃杆11在其长度方向上依次作成一体。
通过利用滚子53，53将这样作成一体的玻璃管12和无水玻璃杆11的一体化物退出，延伸至给定的外径，可制造光纤预制棒1。
另外，可以通过利用拉丝装置(图中省略)将在一体化工序中制造的光纤预制棒1拉丝制造光纤。
当采用这种光纤预制棒1的制造方法时，当在杆延伸工序中延伸无水玻璃体11’时，利用电炉4加热该无水玻璃体11’。这样，由于加热时不产生OH-离子，因此OH-离子不会混入该无水玻璃体11’的表面中。
另外，通过在延伸无水玻璃体11’时，将电炉4的加热温度设定为2100℃～2300℃，可使该无水玻璃体11’的外表面部分升华除去，可以延伸上述无水玻璃体11’。这样，可除去无水玻璃体11’的外表面的损伤和异物，同时，可以除去用火焰水解法制造的无水玻璃体11’中的、OH-离子浓度容易比较高的外表面部分。结果，通过将该无水玻璃杆11和玻璃管12作成一体，可以制造OH-离子浓度低的光纤预制棒1，具体地说是芯子部11a附近的OH-离子浓度在2ppb以下的大型光纤预制棒1。另外，由于玻璃体11的表面光滑，即使不研磨研削其外表面部分，也可以容易地制造没有气泡混入的光纤预制棒1，具体的是可制造轴向长度每1m的气泡数在5以下的光纤预制棒1。
由于将这样制造的光纤预制棒1拉丝制成的光纤的OH-离子的吸收损失低，可以制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下，波长1385nm带的损失值在波长1310nm带的损失值以下的光纤。
这样，由于当延伸无水玻璃体11’时，使用电炉4除去无水玻璃体11’的外表面部分，并延伸该玻璃体，因此在杆延伸工序中，一次进行无水玻璃体的延伸和其表面研磨(研削)，可以廉价地制造能制造低损失光纤的光纤预制棒。
另外，当采用这种光纤预制棒的制造方法时，在使无水玻璃杆11和玻璃管12成为一体时，可在使杆11和管12成为一体的同时，延伸该一体化物。这样，在作成一体的过程中，可赋于上述无水玻璃杆11轴向(Z方向)的张力。例如，在只将玻璃杆11和玻璃管12作成一体，不进行该一体化物延伸的情况下，在上述无水玻璃杆11上产生径向压缩变形，这样，在将光纤预制棒1拉丝制成的光纤中，产生因压缩变形引起的损失(特别是在长波长侧，损失增大的微小弯曲引起的散射损失)。但是，通过在将玻璃管12和无水玻璃杆11作成一体的同时进行延伸，则可防止这种损失的产生。即：当将无水玻璃杆11和玻璃管12作成一体时，通过赋与无水玻璃杆11轴向张力，则可在相对于无水玻璃杆11的径向压缩变形缓和的状态下，使无水玻璃杆11和玻璃管12成为一体。当将这样制造的光纤预制棒1拉丝制成光纤时，压缩变形引起的损失不增加，与OH-离子的吸收损失减小相辅相成，可在大约1200～1600nm的宽波长带域的区域上，得到低损失的光纤。
因此，制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态光纤用的光纤预制棒的制造方法，包含下列工序：制造由在上述光纤中成为芯子的芯子部，和在该光纤中成为金属色层的一部分的包层部构成，而且OH-离子浓度在2ppb以下的无水玻璃体的玻璃体制造工序；使在上述玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体加热延伸，作成无水玻璃杆的延伸工序；将上述杆延伸工序中延伸的无水玻璃杆插入玻璃管内，使该玻璃内减压，并通过从一端向着另一端沿轴向顺序加热该玻璃管和无水玻璃杆二者，依次使上述玻璃管和无水玻璃杆成为一体，同时，延伸该一体化物的一体化工序。
当采用这种光纤预制棒的制造方法时，在将无水玻璃杆11和玻璃管12作成一体之前，将干燥用气体供给玻璃管12内，干燥无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面。这样，在玻璃管12和无水玻璃杆11之间没有水分残留。因此，可防止产生光纤预制棒1的OH-离子浓度的偏差，可以可靠地制造OH-离子浓度为低浓度的光纤预制棒。
因此，制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态光纤用的光纤预制棒的制造方法，包含下列工序：制造由在上述光纤中成为芯子的芯子部和在该光纤中成为金属色层的一部分的包层部构成，而且OH-离子浓度在2ppb以下的无水玻璃体的玻璃体制造工序；使在上述玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体加热延伸，作成无水玻璃杆的杆延伸工序；将上述杆延伸工序中延伸的无水玻璃杆插入玻璃管内的状态下，使干燥用气体流入上述无水玻璃杆和玻璃管之间，干燥上述无水玻璃杆的外周面和玻璃管的内周面的干燥工序；以及在上述干燥工序后，使该玻璃内减压，并通过从一端向着另一端沿轴向顺序加热该玻璃管和无水玻璃杆二者，依次使上述玻璃管和无水玻璃杆成为一体的一体化工序。
玻璃管12和无水玻璃杆11的干燥优选在该玻璃管12和无水玻璃11成为一体之前进行。
另外，干燥用气体不是仅限于与加热炉的气体(氮气或氩气)相同的气体。只要能干燥无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面，什么气体都可以。作为干燥用气体优选为水分少或没有水分的气体。例如干燥的空气，作为干燥用气体很好。
另外，不活泼性气体也不需要是与加热炉的密封气体相同的气体。如果利用加热炉的密封气体作为干燥用气体，则可降低制造成本。
另外，在上述预制棒制造装置B中，在玻璃管12的上端开口上安装封闭盖7，另一方面，在上述玻璃管12的下端开口开放的状态下，将该玻璃管12和无水玻璃杆11作成一体。
与此不同，在插入无水玻璃杆11的状态下，封闭上述玻璃管12的端部开口也可以。
即如图5所示，使辅助杆(也可以为管状)14相互同轴地与无水玻璃杆11的一端(开始与玻璃管12作成一体的端)接合，使与真空泵连接的辅助管15相互同轴地与无水玻璃杆11的另一端(结束与玻璃管12作成一体的端)接合。在辅助管15上形成从内周面向着外周面，在径向贯通的通孔15a，在无水玻璃杆11插入玻璃管12内的状态下，该通孔15a位于玻璃管12内。
另外，利用氢氧火焰加热，将上述玻璃管12的一端(开始与玻璃杆11成为一体的端)与玻璃杆11的外周面熔融粘接。这样，封闭上述玻璃管12的一端开口。另一方面，通过用氢氧火焰加热上述玻璃管12的另一端(结束与玻璃杆11成为一体的端)的周边方向的2～3个地方，形成向内部突出的突起部12a。这样，使各个突出部12a的前端与上述无水玻璃杆11的外周面点接触。
在这种状态下，将上述辅助管15与干燥用气体供给装置连接，从通孔15a，将干燥用气体供给玻璃管12内。干燥用气体在玻璃管12内向着一端沿轴向流动，在封闭的一端折返，向着另一端沿轴向在玻璃管12内流动。再从玻璃管12的另一端开口排出(参照图中箭头)。这样，可以干燥玻璃管12的内周面和无水玻璃杆11的外周面，可以防止水分残留在玻璃管12和无水玻璃杆11之间。
如上所述，干燥结束后，利用预制棒制造装置B，将玻璃管12和无水玻璃杆11作成一体。这时，上述辅助管15与真空泵连接，这样，使玻璃管12内减压并使玻璃管12和无水玻璃体11成为一体。
由于加工玻璃管12的端部时使用氢氧火焰，产生水分，因此当加热的玻璃冷却时，其表面上产生结露，由于这样，水分容易残留在玻璃管12和无水玻璃杆11之间。然而，在使无水玻璃杆11和玻璃管12作成一体之前，通过干燥无水玻璃杆11的外周面和玻璃管12的内周面，可以抑制制造的光纤预制棒1的OH-离子浓度产生偏差。
其次，具体地说明本发明的实施例。首先关于电炉温度和包层的形成，分别制造实施例1-1，1-2和比较例1-1，1-2的无水玻璃杆。利用火焰水解法制成外径为100mm的无水玻璃体，使用图1所示的延伸装置A延伸，可以制成外径为50mm的无水玻璃杆。
表1
实施例1-1  实施例1-2  比较例1-1  比较例1-2
延伸前的杆(mm)延伸后的杆(mm) 100.050.0  100.050.0  100.050.0  100.050.0
加热器温度杆的表面研磨表面凹凸(个/300mm) 2250无0  2100无约2  2000无约50  2250无0
包层形成方法管外径(mm)管内径(mm)预制棒直径(mm)预制棒中的泡(个/1m) 管覆盖182.054.060.0约1  管覆盖182.054.060.0约5  管覆盖182.054.060.0约100  管覆盖60.0约1
1310nm带的损失(dB/km)1385nm带的损失(dB/km) 0.330.30  0.330.33  0.330.68  0.330.58
延伸条件如表1所示，在实施例1-1，1-2中，将加热器温度(加热温度)分别设定为2250℃，2100℃。与此相对，在比较例1-1中，设定加热器温度比各个实施例低的温度2000℃。比较例1-2的加热器温度设定成与实施例1-1相同的2250℃。
当比较这样制造的无水玻璃杆时，加热温度比较高的实施例1-1，1-2和比较例1-2的无水玻璃杆外表面的凹凸(0.5μm以上)的个数为0或约2(个/300mm)，极少，外表面光滑。而与此相对，加热温度比较低的比较例1-1的无水玻璃杆的外表面的凹凸个数约为50(个/300mm)极多。
其次，使用上述各例子的无水玻璃杆制造光纤预制棒，其中，实施例1-1，1-2和比较例1-1，利用图3所示的预制棒制造装置B，将玻璃管覆盖在无水玻璃杆1上，利用一体化的杆在管中法，制造预制棒。玻璃管的外径为182mm，内径为54mm。另外，在无水玻璃杆和玻璃管作成一体的同时，通过延伸，将光纤预制棒的外径制成60mm。
与此相对，比较例1-2利用在无水玻璃杆11的外表面上堆积疏松体的火焰水解法制造光纤预制棒。该预制棒的外径为60mm。
当比较这样制造的各个光纤预制棒时，在要用杆在管中法的实施例1-1，1-2和比较例1-1中，无水玻璃杆外表面光滑的实施例1-1，1-2的预制棒中含有的气泡个数约为1或5(个/1m)，极少；而比较例1-1的预制棒中所含的气泡个数约为100(个/1m)极多。
另一方面，采用火焰水解法的比较例1-2的预制棒中含有的气泡个数约为1(个/1m)极少。
其次，将上述各例子的光纤预制棒拉丝，制成光纤，分别测定1310nm带的损失值和1385nm带的损失值。结果，各个例子的光纤1310nm带的损失值为0.33dB/km相同。
另外，实施例1-1，1-2的光纤，1385nm带的损失值分别为0.30，0.33dB/km，较低。与1310nm带的损失值相同或比它低。
与此相对，比较例1-1的光纤，1385nm带的损失值为0.68dB/km，较多，比较例1-2的光纤也同样，1385nm带的损失值为0.58dB/km也较高。
从以上结果可看出，在采用作为光纤预制棒制造方法的杆在管中法的同时，通过将延伸无水玻璃体的加热温度设定得比较高(2100℃以上)。则在用于制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态光纤的光纤预制棒中，可以制造防止产生气泡的光纤预制棒。
其次，分别制造与有无干燥工序有关的、实施例2-1～2-10和比较例2-1～2-10的光纤预制棒。实施例2-1～2-10的光纤预制棒为经过玻璃体制造工序，杆延伸工序，干燥工序和一体化工序各个工序制造的光纤预制棒。其中，如图3所示，实施例2-1～2-5的光纤预制棒是在玻璃管的上端开口上安装封闭盖，另一方面，在上述玻璃管的下端开口开放的状态下，使玻璃管和无水玻璃杆成为一体制造的。另一方面，如图5所示，实施例2-6～2-10的预制棒，是在插入无水玻璃杆11的状态下，封闭玻璃管的端部开口，使该玻璃管和无水玻璃杆成为一体制造的。
与此相对，比较例2-1～2-10的光纤预制棒为经过玻璃体制造工序，杆延伸工序和一体化工序的各个工序制造的光纤预制棒。即，比较例2-1～2-10的光纤预制棒是省略干燥工程制造的。如图5所示，比较例2-1～2-10的光纤预制棒是在插入无水玻璃杆11的状态下封闭玻璃管的端部开口，使玻璃管和无水玻璃杆成为一体制造的。
另外，在各个实施例和比较例中，玻璃体制造工序，杆延伸工序和一体化工序各个工序的条件是彼此相同的。
表2
1385nm带的损失(dB/km) 1385nm带的损失(dB/km)
实施例2-1  0.282 比较例2-1  0.469
实施例2-2  0.282 比较例2-2  0.445
实施例2-3  0.283 比较例2-3  0.41
实施例2-4  0.288 比较例2-4  0.382
实施例2-5  0.29 比较例2-5  0.379
实施例2-6  0.355 比较例2-6  0.35
实施例2-7  0.38 比较例2-7  0.34
实施例2-8  0.386 比较例2-8  0.34
实施例2-9  0.373 比较例2-9  0.369
实施例2-10  0.377 比较例2-10  0.34
将上述各个例子的光纤预制棒拉丝，制成光纤，分别测定1385nm带的损失值。结果，各个实施例的光纤，1385nm带的损失值都在0.4dB/km以下，偏差小，与此相对，比较例的光纤损失值偏差比较大，存在1385nm带的损失值比0.4dB/km大的光纤。
从以上结果可看出，通过在一体化工序前进行干燥工序，可以可靠地制造用于制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态的光纤的光纤预制棒。

Claims (13)

1.一种光纤预制棒的制造方法，该光纤预制棒用于制造波长1385nm带的损失值在0.4dB/km以下的单模态光纤，该制造方法包含下列工序：
玻璃体制造工序，该工序制造由在所述光纤中成为芯子的芯子部和在该光纤中成为包层的一部分的包层部构成，且在其外表面部分以外的部分的OH-离子浓度在2ppb以下的无水玻璃体；
杆延伸工序，该工序利用电炉对在所述玻璃体制造工序中制造的无水玻璃体加热，一边将其外表面部分除去一边延伸，制成无水玻璃杆；以及
一体化工序，该工序将在所述杆延伸工序中延伸的无水玻璃杆插入玻璃管内的同时，一边将该玻璃管内减压，一边从一端向着另一端沿轴向顺序加热该玻璃管和无水玻璃杆双方，从而顺序地使所述玻璃管和无水玻璃杆成为一体，
所述玻璃管的OH-离子浓度被设定为1ppm以下。
2.如权利要求1所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，在杆延伸工序中，将用电炉加热无水玻璃体的温度设定在2100℃以上2300℃以下。
3.如权利要求1所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，杆延伸工序为通过加热和延伸无水玻璃体，形成外表面的凹凸小于0.5μm的无水玻璃杆的工序。
4.如权利要求1所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，玻璃体制造工序为利用VAD法制造包层部的外径与芯子部外径的比设定为3.3以上4.5以下的无水玻璃体的工序。
5.如权利要求1所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，一体化工序为使玻璃管和无水玻璃杆作成一体的同时将该一体化物延伸的工序。
6.如权利要求1所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，在一体化工序前还包含干燥工序，所述干燥工序在将无水玻璃杆插入玻璃管内的状态下，使干燥用气体在所述无水玻璃杆和玻璃管之间流动，干燥所述无水玻璃杆的外表面和玻璃管的内表面。
7.如权利要求6所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，干燥工序为使作为干燥用气体的不活泼性气体在无水玻璃杆和玻璃管之间流动的工序。
8.如权利要求7所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，不活泼性气体为在一体化工序中，加热玻璃管和无水玻璃杆的加热炉的密封气体。
9.如权利要求6所述的光纤预制棒的制造方法，其特征为，干燥工序为使作为干燥用气体的干燥空气在无水玻璃杆和玻璃管之间流动的工序。
10.一种通过权利要求1所述的制造方法制造的光纤预制棒，它是芯子部附近的OH-离子浓度在2ppb以下的光纤预制棒。
11.如权利要求10所述的光纤预制棒，其特征为，轴向长度每1m的气泡数5个以下。
12.一种将用权利要求1所述的制造方法制造的光纤预制棒抽丝制成的光纤。
13.如权利要求12所述的光纤，其特征为，波长1385nm带的损失值在波长1310nm带的损失值以下。
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