CN1285038A

CN1285038A - 可变孔流量传感器

Info

Publication number: CN1285038A
Application number: CN98813682.1A
Authority: CN
Inventors: C·I·乔巴努; D·谢弗
Original assignee: Bear Medical Systems Inc
Current assignee: Bode Products
Priority date: 1997-12-30
Filing date: 1998-12-14
Publication date: 2001-02-21
Anticipated expiration: 2018-12-14
Also published as: EP1047919A1; EP2275783A2; CN1188666C; JP2002500345A; US5970801A; WO1999034173A1; EP1047919B1; EP1047919A4; EP2275783A3; BR9814569A; JP4253125B2

Abstract

一种可变孔流量传感器(10),它包括一个流量管件,该流量管件限定了一个流量孔道并与第一和第二流体流动孔口(12,16)流体连接,一个可磁化金属板舌门,该舌门通过一个铰链部分安装在管件内,因此响应经过管件的流体流量,舌门有角度地偏转出孔道(18)的平面,以与经过管件的流体的流率成比例地改变孔道的有效流体流量横截面积,和在舌门任一侧上的压力感应旋塞。在靠近铰链部分的管件内包括一个限制偏转表面,当舌门经历一次至少等于预定角度的角偏转时,铰链部分抵靠该限制偏转表面,该预定角响应于至少等于预定值的流体流率。固此,铰链部分的过应力减至最小。

Description

可变孔流量传感器

发明背景

本发明通常涉及流体流量传感器的领域。特别是，它涉及对可变孔或可变阻塞面积类型的流体流量传感器的改进，它通常与压力转换器结合使用，以便从管道中的流体(特别是气体)流产生一压差信号，其中压差信号的值与流率值有关。可依次把流率值对时间积分来求出容积。

上述种类的流量传感器已经通用于医疗用途，特别是用来测量医疗呼吸器中的呼吸气体的流率。这种流量传感器的特殊例子参见下面的美国专利：Stupecky 4989456，Guillaume等的4993269；和Stupecky的5038621。这些专利涉及的可变孔流量传感器采用铰接阻塞物或舌门，它们安装在公知区域的流量孔道内。舌门经安装，因此孔道的总面积的对流体流敞开的部分与穿过孔道的流率成正比。横过孔道的压降与穿过孔道的开口面积成正比。这样，横过孔道的压差与经过孔道的流率直接相关。该压差由孔道上游和下游的压力孔感应。感应的上游和下游的压力直接传到压差传感器，该压差传感器产生模拟电信号，其值表示压差值。模拟信号转换成数字并输入到微处理器，该微处理器经编程以计算表示穿过孔道的瞬时容积流体流率的值。

尽管上述类型的流量传感器已经达到可接受的精度和可靠度水平。但人们仍试图寻求更进一步的改进。特别是，用于呼吸性治疗仪器特别是医疗呼吸器中的流量传感器，由例如不锈钢材料制造，它可以在高压灭菌器中灭菌。然而，由于在长期使用过程中重复的偏转，并由于响应高流率受到的过应力，由不锈钢制成的舌门容易疲劳和出现故障(特别是在碰撞铰接连接点)。通过使舌门的铰接连接部分加强并通过增加舌门的面积，因此在高流率下它不会承受过应力，这样可解决这个问题，但是这个解决办法导致在低流率下分辨能力的损失。

而且，已经发现使用不锈钢舌门本身会导致低端分辨能力损失。这是因为，在制造过程中，不锈钢板具有残留形变，这与实际平面构造背离。换句话说，舌门经常略微弯曲，因此，当它安装在孔道内时，在舌门的周边和限定孔道的环形表面之间存在间隙。这导致在零流率下的非零孔道面积，并依次导致在低流率下分辨能力损失。而且，为避免由于暴露在高压灭菌器的高温下导致精度变差，舌门有利的需要退火。然而，退火处理使不锈钢变软，硬度或刚度的最终损失导致舌门在低流率下最显而易见的可测量的响应度损失。这样，尽管它是不精确的一个原因(暴露在高温下)，退火处理还是另一个原因(舌门刚度的损失)。

这样，需要可变孔流量传感器，它具有金属(最好是不锈钢)舌门，在长期使用过程中即使重复暴露在高流率下，该舌门能够承受重复的偏转而不会发生疲劳或破坏。而且还需要这种流量传感器，它还具有好的低端敏感度和分辨能力。还需要这样的一种流量传感器，它能承受重复的高压灭菌而不会在一段时间精度变差，而且不会牺牲响应度。

发明概述

广义上说，本发明是一种可变孔流量传感器，它包括一个第一流体流动孔口，一个第二流体流动孔口，一个流量管件，该流量管件限定了一个流量孔道并将第一和第二流体流动孔口流体连接，一个可磁化金属板的舌门，该舌门通过一个铰链部分安装在管件内，这样响应经过管件的流体流量，舌门有角度地偏转出孔道的平面，以与经过管件的流体流率成比例地改变孔道的有效流体流量横截面积，和在舌门任一侧上的压力感应旋塞，其中改变包括在靠近铰链部分的管件内的一个限制偏转表面，当舌门响应流体流率经历一次至少等于一预选限定角度的角偏转时铰链部分抵靠该限制偏转表面，该流体流率至少等于一预定值，因此使铰链部分的过应力最小。其改进还包括靠近舌门的管件内的至少一个磁铁，因此，该磁铁产生作用在舌门上的一磁场，以便迫使其到一个位置，该位置倾向于使舌门和管件的该部分之间存在的零流量间隙最小，管件的该部分当没有流体流过孔道时限定了流体流量孔道。

在一个特定的优选实施例中，舌门的铰链部分与一枢轴部件，例如销，铆钉，或等效部件连接。枢轴部件具有基本上平行于管件轴线的轴线。从枢轴部件径向向内伸进管道内的是一对由一成度的槽口分隔开的支承板。该槽口沿垂直于枢轴部件的轴线的一条线具有一个顶点，这样在相应的支承板上，槽口限定了一对相对的限制偏转表面，当它们从枢轴部件径向向内延伸时，支承板相互有角度地分开。这样，板的限制偏转表面确定了舌门的铰链部分的移动的角极限。

而且，在该特定的实施例中，第一和第二盘形磁铁分别容纳在第一和第二凹槽内，该第一和第二凹槽形成在靠近舌门的管件的外壁内。舌门由一块不锈钢板切割，压制或化学蚀刻，该不锈钢板经冷轧以获得良好的磁性。磁铁的位置和场强经选择，使得其产生的磁场迫使或牵引舌门进入一个位置，在该位置，舌门的边缘和管件的限定孔道部分之间存在的间隙在零流量条件下最小化。该场强足够强以模拟并因此补偿在退火处理(如上所述)期间损失的刚度或硬度，然而，其强度不应强到在高流率下造成舌门的显著偏转。这样，低端响应度改进的同时不会牺牲高端的精确度。

从下面的详细描述中可以更好的理解，本发明具有比已有技术显著的优点。特别是，限制偏转表面限制舌门的铰链部分的有角度的弯折，因此，一旦达到移动的角极限，铰链部分承受的应力很少或不增加。而且，在高流率下，舌门绕支承板的边缘弹性弯曲，因此在不显著导致铰链部分内的应力引发疲劳的前提下，产生测值。这增加了传感器的使用寿命，即使当它承受高的流率时，也不会显著影响低流率下的分辨能力或敏感度。而且，由一个或多个磁铁产生的间隙最小化增加了在低流率下的分辨能力。这样，在测量的流率范围的高极限值和低极限值，本发明的传感器具有较高的寿命，和好的分辨能力。

附图简要描述

图1是根据本发明的一个优选实施例的流体流量传感器的透视图；

图2是沿图1的线2-2截取的轴向横截面视图；

图3是图2的虚线轮廓3内所限定的区域内的详图，它表示处于零流量位置的舌门；

图4是类似于图3的视图，但它表示位于移动的一个角极限的舌门，该角极限响应于高流体流率；

图5是沿图2的线5-5截取的横截面视图；

图6是沿图2的线6-6截取的横截面视图；

图7是沿图6的线7-7截取的横截面视图；

图8是沿图7的线8-8截取的横截面视图；

图9是作为流率函数的流量孔道的压降的图表，其中对比了具有和不具有本发明的一个磁铁或多个磁铁所带来的改进的条件下在低流速下的传感器的性能；和

图10是采用本发明的流量传感器的流率测量系统的示意图。

优选实施例的详细描述

现在参见图1至8，它们表示本发明的一个优选实施例的可变孔流体流量传感器10。如图1和2最佳所示，传感器10包括确定了第一流体流动孔口14的第一管件12，和确定了第二流体流动孔口18的第二管件16。第二管件16具有与第二流体流动孔口18相对的一个内螺纹开口20，该内螺纹开口20容纳第一管件12的外螺纹端22。这样，通过螺纹开口20和螺纹端22的相配合的螺纹，第一和第二管件12，16可拆卸的相互结合。因为传感器10是一个双向传感器，每个流体流动孔口14，18可或者用作输入口，或者用作输出口。

一个环形肩24位于第二管件16内部并从螺纹开口20向内延伸一个较短距离。肩24形成短管状管件26的支座，下面将对其进行完整的描述。环形垫片27可有利的设置在肩24和管件26之间。第二管件16设有刚好在螺纹开口20内部的第一内螺纹径向孔28。在与第一径向孔28相对侧，第二内螺纹径向孔30设置在第二管件16内并从肩24向里一个较短距离处。第一和第二径向孔28，30分别容纳第一和第二压力传感旋塞32，34，每个压力传感旋塞32，34具有与其各径向孔的内螺纹配合的外螺旋部分。压力传感旋塞32，34分别通过软管35与电子组件36的输入端连接，该电子组件36包含电子可擦写程序只读存储器(EEPROM)芯片39(图10)。组件36由热压塑料制成，EEPROM 39装在耐热环氧树脂内，因此整个组件36可与传感器10一起在高压灭菌器内灭菌。如图1所示，组件36包括许多导电插头41，该导电插头41与EEPROM 39内的适当的输入和输出端子(未表示)电连接，因此，如下所述，数据可存放在EEPROM 39内和从EEPROM 39内读取。

管件26最好由防腐蚀，无磁材料，例如铝或热压塑料制成。它在第一和第二流体流动孔口14，18之间提供流体连通。管件26具有略小于螺纹开口的内径的外径，因此，它可经过螺纹开口20插入第二管件16内，直到它顶住垫片27。面向第一管件12的管件26的边缘包括一个槽口或切口37，该槽口或切口37与第二管件16内的第一径向孔28对齐，而且容纳第一压力传感旋塞32。为了安装或去掉管件26，第一压力传感旋塞32必须至少部分从第一径向孔28部分牵出一段足够的距离，以提供管件26的间隙。

管件26由一对环26a，26b形成，该对环分别通过第一和第二连接销38a，38b在对称相对点一前一后地相对称地连接。或者，可使用铆钉，杆，螺钉，或等效连接装置(例如粘合剂)以便使环26a，26b连接在一起，以形成管件26。在环26a，26b之间设有薄隔板40，该薄隔板由一张不锈钢板切割，压制或化学蚀刻得到，该不锈钢板经冷轧以获得良好的磁性。如图6最佳所示，隔板40包括一个固定的外环部分42，该外环部分42位于环26a，26b之间，并通过销38a，38b固定在其上。这样，环形部分42成为确定传感器10的流体流量孔道的管件26的一部分。隔板40的中心部分形成流量响应舌门44，该流量响应舌门44可变的阻塞由隔板40的外环形部分42确定的流体流量孔道。舌门44通过铰链部分46与外环部分42连接，因此舌门44可在任一方向相对于流体流量孔道的平面，即由外环部分42确定的平面进行角偏转。流体流量孔道的有效的流体流量横截面积与舌门44的角偏转成正比，对此下面将详细描述。

如图3和4所示，舌门44的铰链部分46通过第一连接销38a与管件26连接，这样第一连接销38a用作枢轴部件。在第一连接销38a之下，每个环26a，26b设有一个向下悬垂的板48，它包括限制偏转表面50。该限制偏转表面50相互有角度的分开以形成一个成角的槽口52，该成角的槽口52沿垂直于第一连接销38a的轴线的一条线具有一个顶点。在一个特定的实施例中，槽口成一个近似30度的角。下面解释限制偏转表面50的目的。

参见图6，7和8，管件26的外壁表面在下连接销38b的任一侧设有一对浅室54。室54位于环26a，26b之间的交界处，隔板40的外环部分42插入其中。因此，隔板40的环形部分42包括一对凹槽，该凹槽与室54对齐，因此室54位于环26a，26b内，并在隔板40的环形部分42内。每个室54容纳盘形永磁铁56。磁铁56吸引隔板40，并且它们通过液体硅橡胶粘合密封剂57密封就位(图8)，该液体硅橡胶粘合密封剂57在室温下暴露在环境大气中可迅速硬化。如果传感器用于医疗用途(例如医疗呼吸器)，密封剂应符合在21CFR177.2600中提出的FDA规则。与该规则符合的适当的材料由纽约Waterford的通用电气公司以所有权名称“RTV110”销售。密封剂57不仅使磁铁56保持在室54内，它还保护它们不受腐蚀。

现在可描述传感器10的操作。经过管件26的零流体流率(在任一方向)，确定了静流状态。舌门44的平面基本上垂直于流体流动路径，该流体流动路径沿管形构件12，16和管件26的纵轴伸展。舌门44和隔板40的外环部分42之间的间隙最小(例如，在成熟的医疗呼吸器用途中小于1mm)，因此，由环形部分42确定的流量孔道的有效流体流量横截面积最小。因为不存在横过流体流动孔道的流量，在压力旋塞32，34之间的压降为零。

在非零流体流率下，舌门44离开流体流量孔道的平面有角度地偏转。偏转角与流体流率成比例，流体流量孔道的有效流体流量横截面积与偏转角成比例。这样，流体流量孔道的有效流体流量横截面积随穿过孔道的流率成比例地增加。

流过固定孔道的流体的压降与流率的平方成比例。在本发明中，由于孔道的横截面积随流率基本上线形增加，压降是流率的更接近线性的函数。该现象的一个后果是与流经固定孔道的相比在低流率下的压降增加，与此同时，与固定孔道流量传感器相比，在高流率下的压降降低。

如图10所示，穿过孔道的压降由压力旋塞32，34感应，并经过软管35与组件36的输入端连通。组件36包括一对内部通道(未表示)，该内部通道将感应的压降传送到对应的一对出口58(图1)，该出口58借助软管(未表示)与已有技术中任何公知的适当类型的压差传感器60连接。压差传感器60产生具有可表示压降的值的模拟电信号。该模拟信号由模数转换器62(已有技术中公知的任何适当类型)转换为数字信号，并输入到微处理器64，该微处理器64经过编程以产生表示穿过孔道的瞬间容量流率的值。执行该功能所需要的程序对本领域的普通技术人员来说是一项常规的事务。例如，经验获得的流率与压力值之比的查阅表可存在EEPROM 39内，并以预定的间隔由微处理器64定地址。然后微处理器64产生的瞬间容积流率值输出到显示装置66，该显示装置可以是仪表或字母显示器(例如LED，LCD或气体放电显示器)。

在EEPROM 39内存储的查阅表可利用公知的校准技术由流量传感器的预先校准产生。例如，可变气流源可用来产生公知的穿过传感器10的预期范围的精确值的流率。

低流率分辨能力和灵敏度取决于舌门44和限定孔道的环形部分42之间的最小化的间隙。典型的，最好，间隙不超过约1毫米(最好略小)。由于制造不锈钢隔板40的限制，包括舌门44的隔板40常与严格平面的构造背离。这种背离产生一个间隙，该间隙随传感器而变化，而且显然大于理想的1毫米的最大值。

为了解决这个问题，使用磁铁56。磁铁56结构和位置使得其产生的磁场将舌门44拉进一个位置，在该位置，舌门44和环形部分42之间的间距最小。磁场强度足够强以便模拟并因此补偿在退火处理期间损失的硬度和刚度，然而，不会强到在高流率下产生舌门上显著的偏转。在这些限制下，选择场强，因此使舌门44偏转所需要的阈值流率保持为一个可接受的最小值(通常小于1LPM)。

图9表示与已有技术的缺少磁铁56的流量传感器相比具有上述改进的流量传感器的改进的低端性能。图9是在-7LPM至+7LPM(表示双向流动)的范围内测量的压降与流率之比的图表。在图9中，由方块数据点限定的曲线A表示作为已有技术的缺少磁铁56的流量传感器的流率的函数的压降测值，而由钻石形数据点确定的曲线B表示作为采用磁铁56的改进流量传感器的流率的函数的压降测值。曲线A和B的比较表示根据本发明的改进的传感器在低流率下增强的敏感度(即作为流率的函数的压降的较大的绝对值)。由此，对于改进的带磁铁56的流量传感器来说，在低流率下，改进的敏感度带来了改进的分辨能力。

在本发明的特定的原型中，经过与本发明相同但缺乏磁铁56的流量传感器的类似的流率相比较，采用低至±0.7升/分(LPM)的校准流率。在本发明的原型中，在-0.7LPM下的压降几乎是-0.026厘米的水(cmH₂O)，在+0.7LPM下的压降几乎是0.0188厘米的水(cmH₂O)。这与未改进的传感器对比，该未改进的传感器在-0.7LPM下的压降几乎是-0.008厘米的水(cmH₂O)，在+0.7LPM下的压降几乎是0.002厘米的水(cmH₂O)。

与此同时，已经发现与第二连接销38b(如图6所示)等距离布置的两个盘形磁铁56产生最佳值，并且便于装配(因为第二连接销38b的位置不一定要改变)，其它磁铁结构和位置可产生可接受的结果。例如，通过移动(或取消)第二连接销38b，单独的一个磁铁可产生更好的效果。

图4表示在高流率下舌门44的动作。至多到预定的流率，整个舌门44以均匀的角度偏转，并借助铰链部分46绕上连接销38a旋转。在该点，铰链部分46的进一步旋转受其与如图4的实线轮廓所示的其中一个限制偏转表面50抵靠限制。在流率大于预定的流率时，舌门44绕图4的虚线所示的相邻的抵靠板48的底面弹性弯曲。这种弯曲动作允许舌门持续其增加孔道的有效流体流量横截面积的功能，而不会在较精致的铰链部分46上施加附加的应力。与迄今可能的相比，这允许测量较高的流率而不会使铰链部分46变形或破坏，与此同时，还增加传感器的寿命周期。

如上所述，在本发明的一个特定的实施例中的槽口52构成的角度为30度。这样，对于所述的典型实施例，在任一方向上槽口52构成的角度的一半即15度是铰链部分46的最大角偏转。对于由传感器10测定的任何给定的流体流量范围，和/或对于任何给定的由舌门44堵塞的孔道的任何给定的流体流量横截面积(它可与待测量的流体流量范围相关)，存在一个很小范围的槽口角，以提供可接受的性能。如果槽口角太大，铰链部分46承受过分的弯折，导致潜在的过早损坏。如果角度太小，由于对铰链部分46移动的限制，在较高流率下，舌门44的阻力可产生过高的压降。过高的压降应避免应用在例如医疗呼吸器，因为它们可能经受反压，因而影响病人的呼吸。在本发明的原型中，设计成测量至多约100LPM的流率，流体流量孔道直径(舌门直径)约为16mm，上面特定的30度角产生最佳角度。如果测量或者较高的最大流率(例如至多约900LPM)或较低的最大流率(例如至少约30LPM)，该角度可能需要变化。

这样，可以理解本发明具有比已有技术显著的优点。特别是，限制角偏转表面50限制舌门44的铰链部分46的有角度的偏转，因此一旦达到移动的角极限，铰链部分46承受很少或不增加的应力。而且，在高流率下，舌门44绕支承板48的边缘弹性弯曲，因此在不显著导致铰链部分46内的的应力引发疲劳的前提下，产生测值。这增加了传感器的使用寿命，即使当它承受高的流率时，也不会显著影响低流率分辨能力或敏感度。而且，由磁铁56产生间隙最小化增加了在低流率下的分辨能力。这样，在测量的流率范围的高限和低限，本发明的传感器具有较高的寿命，和好的分辨能力。

尽管这里已经描述了本发明的一个优选实施例，可以理解对于本领域的普通技术人员来说，可进行许多修改和变化。例如，隔板部件40的结构，包括限定孔道的环形部分42，铰链部分46和舌门44可具有许多结构，一些结构如上述美国专利4993269中所述。隔板部件40的结构和尺寸由传感器40的用途确定，包括考虑到例如测量的期望流率范围，敏感度和理想的分辨能力，和理想的寿命(根据舌门的期望的整体或接近整体的角偏转)。这样，所述的实施例应考虑为仅用来解释，在不超出如下面的权利要求书所限定的本发明的实质和范围的前提下，可包括他们所建议的各种修改和变化。

Claims

1．一种可变孔流量传感器，它包括一个流量管件，该流量管件限定了一个流量孔道并将第一和第二流体流动孔口流体连接，一个舌门，该舌门通过一个铰链部分安装在管件内，这样响应经过管件的流体流量，舌门有角度地偏转出孔道的平面，以与经过管件的流体的流率成比例地改变孔道的有效流体流量横截面积，和在舌门任一侧上的压力感应旋塞，其中改进包括：

在靠近铰链部分的管件内的一个限制偏转表面，当舌门响应流体流率经历一次至少等于预先限定的角度的角偏转时，铰链部分抵靠该限制偏转表面，该流体流率至少等于一预定值。

2．如权利要求1所述的流量传感器，其特征在于限制偏转表面由一支承板限定，该支承板靠近铰链部分从管件上悬垂。

3．如权利要求2所述的流量传感器，其特征在于限制偏转表面包括一对限制偏转表面，这对限制偏转表面由一对支承板限定，该对支承板靠近铰链部分从管件上悬垂，限制偏转表面由一个成角度的槽口分隔开。

4．如权利要求3所述的流量传感器，其特征在于铰链部分通过具有一轴向尺寸的枢轴部件与管件连接，其中槽口沿垂直于枢轴部件的轴向尺寸的一条线具有一个顶点。

5．如权利要求1，2，3或4所述的流量传感器，其中当没有流体流过孔道时，在舌门和管件之间限定了一零流量间隙，该舌门由可磁化金属制成，其改进还包括：

靠近舌门的管件内的一磁性元件，该磁性元件被设置和构造成可产生一磁场，该磁场迫使舌门进入一个位置，该位置倾向于使零流量间隙最小。

6．如权利要求5所述的流量传感器，其特征在于选择磁场，以便使舌门偏转所需要的阈值流率小于一预定的最小流率。

7．如权利要求5所述的流量传感器，其特征在于磁性元件包括一对永磁铁。

8．如权利要求5所述的流量传感器，其特征在于管件包括一个外壁表面，该外壁表面内形成一个室，而且磁性元件包括容纳在该室内的一个永磁铁。

9．如权利要求5所述的流量传感器，其特征在于管件包括一个外壁表面，该外壁表面内形成一对室，而且磁性元件包括容纳在每个室内的一个永磁铁。

10．一种可变孔流量传感器，它包括一个流量管件，该流量管件限定了一个流量孔道并将第一和第二流体流动孔口流体连接，一个可磁化金属舌门，该舌门通过一个铰链部分安装在管件内，这样当没有流体流过孔道时，在舌门和管件之间限定了一零流量间隙，并响应经过管件的流体流量，舌门有角度地偏转出孔道的平面，以与经过管件的流体的流率成比例地改变孔道的有效流体流量横截面积，和在舌门任一侧上的压力感应旋塞，其中改进包括：

靠近舌门的管件内的一个磁性元件，该磁性元件被设置和构造成可产生一磁场，该磁场迫使舌门进入一个位置，该位置倾向于使零流量间隙最小。

11．如权利要求10所述的流量传感器，其特征在于选择磁场，使得舌门偏转所需要的阈值流率小于预定的最小流率。

12．如权利要求10所述的流量传感器，其特征在于磁性元件包括一对永磁铁。

13．如权利要求10所述的流量传感器，其特征在于管件包括一个外壁表面，该外壁表面内形成一个室，而且磁性元件包括容纳在该室内的一个永磁铁。

14．如权利要求10所述的流量传感器，其特征在于管件包括一个外壁表面，该外壁表面内形成一对室，而且磁性元件包括容纳在每个室内的一个永磁铁。

15．如权利要求10，11，12，13或14所述的流量传感器，其改进还包括：

在靠近铰链部分的管件内的一个限制偏转表面，当舌门响应一流体流率经历一次至少等于预先限定的角度的角偏转时，铰链部分抵靠该限制偏转表面，该流体流率至少等于一预定值。

16．如权利要求15所述的流量传感器，其特征在于限制偏转表面由一支承板限定，该支承板靠近铰链部分从管件上悬垂。

17．如权利要求16所述的流量传感器，其特征在于限制偏转表面包括一对支承板，该支承板靠近铰链部分从管件上悬垂，限制偏转表面由一个成角度的槽口分隔开。

18．如权利要求17所述的流量传感器，其特征在于铰链部分通过具有一轴向尺寸的枢轴部件与管件连接，其中槽口沿垂直于枢轴部件的轴向尺寸的一条线具有一个顶点。