CN1243213C - 孪生波带片x射线干涉仪 - Google Patents

孪生波带片x射线干涉仪 Download PDF

Info

Publication number
CN1243213C
CN1243213C CN 200410067779 CN200410067779A CN1243213C CN 1243213 C CN1243213 C CN 1243213C CN 200410067779 CN200410067779 CN 200410067779 CN 200410067779 A CN200410067779 A CN 200410067779A CN 1243213 C CN1243213 C CN 1243213C
Authority
CN
China
Prior art keywords
ray
zone plate
zone
interferometer
twin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 200410067779
Other languages
English (en)
Other versions
CN1603737A (zh
Inventor
陈建文
高鸿奕
朱化凤
干慧菁
李儒新
徐至展
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority to CN 200410067779 priority Critical patent/CN1243213C/zh
Publication of CN1603737A publication Critical patent/CN1603737A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1243213C publication Critical patent/CN1243213C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

一种孪生波带片X射线干涉仪,包括一X射线源,其特征是在该X射线源的X射线前进方向上,放置两中心略偏且贴近的第一波带片和第二波带片,在第一波带片或第二波带片的焦点后设有一放置待测样品的样品架,再后设置一探测干涉图形的X射线探测器。本发明孪生波带片X射线干涉仪,结构简单,不要任何分束器和晶体,在生物医学和材料科学中有着广泛的应用前景。

Description

孪生波带片X射线干涉仪
技术领域
本发明涉及X射线干涉仪,特别是一种孪生波带片X射线干涉仪
背景技术
由于X射线波长比可见光短得多,用它来进行精密检测时,在理论上分辨率要比可见光高2~4个量级。因此,利用X射线干涉技术可以进行高分辨率干涉计量研究。
1965年,美国Cornell大学的U.Bonse和M.Hart研制成的第一台X射线干涉仪,它是由三块平行的单晶硅构成的,基于晶体衍射原理,第一块晶体用来作为分束器,第二块晶体将这两束X射线复合,由于X射线波长比可见光的要短得多,它们形成的干涉条纹太密,以致不能用肉眼直接观察,第三块晶体则解决了这个难题,它将两束X射线之间的夹角变得很小,几乎平行,用底片记录下条纹。这种干涉仪几乎是等光程的,因此它成功地应用于硬X射线相衬成像研究。这种干涉仪最大的缺点是:需要三块高质量的晶体,不仅晶面方向要一致,而且三块晶体要相互平行,无疑这给晶体生长和加工带来了困难。
2004年4月,中国科学院上海光机所高鸿奕等人提出了简易X射线干涉仪(参见在先技术:中国专利局专利申请号:200410017870.6),结构非常简单,在生物医学等领域能获得广泛的应用,但这种干涉仪所使用的两块玻璃板需要高精度加工。
发明内容
本发明要解决的技术问题是针对上述在先技术中所存在的缺点,提出一种孪生波带片X射线干涉仪,这种干涉仪只需两块市售波带片,在生物医学材料科学中能获得广泛的应用。
波带片是X射线光学中的重要成像元件。普通透镜无法用来对X射线成像,X射线的折射率是一个小于但又极接近于1的常数,再加上一般材料对X射线的吸收很强,无法加工出可对X射线成像的透镜,而X射线波带片正好填补了这个空缺。
波带片是一种特殊形式的衍射光学元件,可看成一个圆形光栅,其线密度沿径向递增。利用它效率较高的一级衍射,几乎可以对所有波长的辐射成像。最基本的波带片是菲涅耳波带片,它由一系列黑白相间的环带组成。位相波带片是全透明的,但在相邻环带内引入π相移,其理论效率是菲涅耳波带片的4倍。
事实上,菲涅耳波带片的提出,距今已有100多年(1875年)。长时间以来,它没有得到应有的重视。其原因:(1)它的效率太低,入射到环带板上的能量只有1/π2(~10%),聚焦在一级焦点上;(2)成像背景太强,或信噪比太低。有1/4的入射光未被衍射,而在像平面上产生一个连续背景;(3)具有很强的色散(f∝1/λ);(4)制作工艺上的困难。
近几年来,同步辐射加速器的建造、X射线激光器研制所取得的突破性进展,为X射线光学研究提供了高亮度、高相干度的光源。特别是水窗X射线(2.36~4.50nm),在观察生物活细胞、细胞器的超微结构,乃至其内部动态变化上的重要应用,重新唤起人们对X射线光学研究的兴趣,从而促进了波带片的发展。精密加工技术发展,又使X射线波带片的制作成为可能。
效率、分辨率、工作波长和直径是波带片最基本的参数。鉴于现有X射线源的亮度较低,如何提高X射线波带片的效率,一直是有待解决的问题。早在1888年,瑞利就提出位相波带片的设想。10年以后,Wood又论证了这一波带片的优越性。结果表明,位相波带片的理论效率为40%,是菲涅耳波带片的4倍。1990年,Hisao Fijisaki又提出梯度折射率位相波带片的设想,该波带片同一带上的点到焦点等光程,不同带之间的程差为2mπ,m为整数。似乎我们可以这样认为,与普通透镜类似,该波带片同样适用于费马原理,它的理论效率达100%。即使考虑到吸收,其效率也可达34%,是相同材料制成的位相波带片的1.4倍。
分辨率的高低会直接影响波带片成像质量的好坏。X射线波带片的一个重要应用是“显微”,它对分辨率的要求也更为突出。波带片的分辨率由最小波带宽度决定,其解析形式为Δ≈1.22(Δγ)min,加工精度的高低对成像波带片的分辨率影响极大。在全息法、电子束制版法、离子束直写及喷镀法等波带片制作中,以全息法和电子束制版法较为成熟,加工的最小波带宽度已达50nm左右。应用直径极小的场致发射电子束对光刻胶(PMMA)曝光,这一宽度还可以减小。
材料对X射线的吸收随波长而变化,工作波长决定了制作波带片的材料。制作材料选择不当,就会大大降低波带片的效率。工作波长不匹配,还会给波带片带来色差,并有可能引入其它像差(如球差)等。直径是波带片的另一重要参数,它直接影响波带片的空间分辨率。
除了成像、会聚光束外,还可利用波带片的强色散,获取单色X射线。一定带宽的X射线入射到波带片上,波长不同,其焦点位置也不同。将孔径适当的光阑置于波带片的焦平面处,改变光阑在轴上的位置,即可选出所需波长的X射线。
从以上讨论我们可以看出,当把两块结构参数完全相同的波带片略微错开叠加在一起时,将会产生两个衍射焦点,这两个焦点可视为两个点源,它们发出的球面波重叠时,将产生干涉条纹,根据这个原理,本发明的结构如下:
一种孪生波带片X射线干涉仪,包括一X射线源,其特征是在该X射线源的X射线前进方向上,放置两中心略偏且贴近的第一波带片和第二波带片,在第一波带片或第二波带片的焦点后设有一放置待测样品的样品架,再后设置一探测干涉图形的X射线探测器。
在X射线前进方向上,放置中心略偏的两块波带片,产生了波带片的两个焦点。在一个波带片的焦点后置一待测样品,由这两个焦点发射的X射线将相交,并相互干涉,干涉图形用X射线探测器进行探测。
所说的X射线源是一个同步辐射源,或者是一台微聚焦的X射线管。
所说的两块X射线波带片是市售的X射线波带片。
所说的样品是一个待测的生物体,或者其它材料。
所说的探测器是一个能接受和记录X射线干涉条纹的装置。
本发明的技术效果如下:
本发明采用两块结构完全相同的X射线波带片,即所谓的孪生波带片,当它们中心略微错开叠在一起时,经软X射线照射以后,将产生两个错开的焦点,这两个焦点可视为两个新的X射线点源,它们将相交并产生条纹,但结构非常简单。
与在先技术相比:本发明的孪生波带片X射线干涉仪,结构简单,不要任何分束器和晶体,在生物医学和材料科学中有着广泛的应用前景。
附图说明
图1为本发明孪生波带片X射线干涉仪实施例的光路结构图。
具体实施方式
先请参阅图1,图1是本发明的孪生波带片X射线干涉仪实施例的光路结构图,由图可见,本发明孪生波带片X射线干涉仪,其结构包括一X射线源1,是在该X射线源1的X射线前进方向上,放置两中心略偏且贴近的第一波带片2和第二波带片3)在第一波带片2或第二波带片3的焦点后设有一放置待测样品4的样品架,再后设置一探测干涉图形的X射线探测器5。
所说的X射线源1,是一个同步辐射源,它的输出波长用单色器限定在X射线区域,为1.5左右。
所说的第一波带片2和第二波带片3,是一块市售的X射线波带片,直径为5mm,焦距为60mm,波带数N=500,两块波带片中心错开80μm。
所说的样品4是一个位相物体,如老鼠的肝。
所说的探测器5是一个CCD接收器,信号送入到计算机(图中未示)进行数据处理。
本发明的孪生波带片X射线干涉仪的工作原理和基本过程如下:
当X射线入射到第一波带片2和第二波带片3以后,产生两个焦点,即两个X射线点源,其中一点源发出的光束经待测样品4形成含有待测样品讯息的光束和另点源发出的光束相交产生干涉,干涉图形被CCD探测器5接收,干涉条纹的距离取决于两束X射线的交角,调整两块波带片的中心偏角,可以改变干涉条纹的距离,当两块波带片的中心错位趋大时,可以获得X射线全息图。

Claims (5)

1、一种孪生波带片X射线干涉仪,有一X射线源(1),其特征是在该X射线源(1)的X射线前进方向上,放置两中心略偏且贴近的第一波带片(2)和第二波带片(3),在第一波带片(2)或第二波带片(3)的焦点后设有一放置待测样品(4)的样品架,再后设置一探测干涉图形的X射线探测器(5)。
2、根据权利要求1所述的孪生波带片X射线干涉仪,其特征在于所述的X射线源(1)是一个同步辐射源,或者是一台微聚焦的X射线管。
3、根据权利要求1所述的孪生波带片X射线干涉仪,其特征在于所述的波带片是市售的X射线波带片。
4、根据权利要求1所述的孪生波带片X射线干涉仪,其特征在于所述的待测样品(4)是一个待测的生物体。
5、根据权利要求1所述的孪生波带片X射线干涉仪,其特征在于所述的探测器(5)是一个能接受和记录X射线干涉条纹的装置。
CN 200410067779 2004-11-03 2004-11-03 孪生波带片x射线干涉仪 Expired - Fee Related CN1243213C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200410067779 CN1243213C (zh) 2004-11-03 2004-11-03 孪生波带片x射线干涉仪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200410067779 CN1243213C (zh) 2004-11-03 2004-11-03 孪生波带片x射线干涉仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1603737A CN1603737A (zh) 2005-04-06
CN1243213C true CN1243213C (zh) 2006-02-22

Family

ID=34666691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200410067779 Expired - Fee Related CN1243213C (zh) 2004-11-03 2004-11-03 孪生波带片x射线干涉仪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN1243213C (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10106422B2 (en) 2014-01-27 2018-10-23 So Spark Ltd. Rapid high-pressure microwave thermal decomposition system, capsule and method for using same

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105006266B (zh) * 2015-06-13 2017-06-06 复旦大学 自对准双层x射线波带片的制备方法
CN113946008A (zh) * 2020-07-15 2022-01-18 四川大学 一种相位和振幅联合调制的复合波带片

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10106422B2 (en) 2014-01-27 2018-10-23 So Spark Ltd. Rapid high-pressure microwave thermal decomposition system, capsule and method for using same

Also Published As

Publication number Publication date
CN1603737A (zh) 2005-04-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6622154B2 (ja) 波面制御器を用いた3次元屈折率映像撮影および蛍光構造化照明顕微鏡システムと、これを利用した方法
US9477072B2 (en) Systems and methods for illumination phase control in fluorescence microscopy
CN102540446B (zh) 一种基于数字微镜器件的高速结构照明光学显微系统及方法
US20090135486A1 (en) Use of a focusing vortex lens as the objective in spiral phase contrast microscopy
CN102436061B (zh) 高速三维荧光成像显微镜
CN103048272A (zh) 基于倏逝场照明的移频超分辨显微成像方法和装置
CN1632448A (zh) 三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置
CN101893755B (zh) 使用四棱锥镜产生结构照明的荧光显微方法和装置
CN107664648B (zh) 一种x射线微分相位衬度显微镜系统及其二维成像方法
CN217639725U (zh) 基于超表面的暗场显微系统
CN108303402A (zh) 一种大视场无衍射贝塞尔光片显微扫描成像方法及系统
CN107076663A (zh) 双折射测定装置以及双折射测定方法
CN103823353A (zh) 基于微球体的亚波长超分辨率数字全息成像系统
CN104089573A (zh) 基于正交偏振光的多通道白光共路干涉显微层析系统
CN108169790A (zh) 一种掠入射x射线显微镜的强度标定方法
CN1776411A (zh) 聚合物光纤预制棒折射率的细光束扫描测量方法及装置
CN1243213C (zh) 孪生波带片x射线干涉仪
CN112082490B (zh) 一种基于Talbot像和COMS相机结构的位移传感器
KR101888924B1 (ko) 디지털 마이크로미러 소자와 시간 복합 구조화 조명을 이용한 구조화 조명 현미경 시스템 및 그 동작 방법
CN102878930A (zh) 一种位相物体位相分布的定量测量方法和装置及其应用
Noda et al. A new microscope optics for laser dark-field illumination applied to high precision two dimensional measurement of specimen displacement
CN1715870A (zh) 位相物体扫描成像方法及其处理装置
CN1261791C (zh) 整形环形光三差动共焦显微镜
CN1202402C (zh) 宽频白光干涉仪
CN211785168U (zh) 新型微分超分辨系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20060222

Termination date: 20091203