CN1241040A - 一种非晶硅太阳能电池的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种非晶硅太阳能电池的制造方法,采用丝印碳浆形成弱光型非晶硅太阳能电池结构的碳膜层背电极的制造工艺,可同时适用于大批量工业化生产内联式和外联式弱光型非晶硅太阳能电池。本发明所制造的弱光型非晶硅太阳能电池,具有电性能稳定性良好,电极牢固度、可焊性良好,外观质量良好,生产成本低的特点。

Description

一种非晶硅太阳能电池的制造方法

本发明涉及非晶硅太阳能电池的制造方法属半导体器件制造技术领域，具体地说是一种非晶硅太阳能电池的制造方法。

公知的用于弱光条件下的一种内联式非晶硅太阳能电池的制造工艺流程为：

透明导电膜玻璃基片→丝印正电极保护膜→腐蚀透明导电膜→去除保护膜，清洗干燥→沉积非晶硅薄膜→激光刻划非晶硅层→真空蒸镀铝膜→激光刻划铝膜→印背漆、字符→印可焊电极→切割测试包装入库

另一种用于弱光条件下的外联式非晶硅太阳能电池的制造工艺流程为：

透明导电膜玻璃基片→丝印透明电极抗蚀保护膜→腐蚀透明导电膜→去除抗蚀保护膜→清洗→沉积非晶硅膜层→刻划非晶硅膜层→掩膜法真空蒸镀铝膜背电极→印制保护背漆、字符→印制铜可焊电极→切片→测试

上述两种制造方法生产的内联式与外联式非晶硅太阳能电池，其结构共同为玻璃衬底/透明导电膜电极/PIN型非晶硅层/铝膜层背电极，并在背电极上印有保护漆及铜可焊电极，此结构中采用铝膜层作背电极，由于铝膜的高反射性，使得透明导电膜及非晶硅层厚度的不等、不均表现出明显的色差，在实际工业化大批量生产中导致电池片极差的外观质量，造成严重的经济损失。同时，在实际工业化大批量生产中，在上述内联式和外联式非晶硅太阳能电池的制造方法中，由于使用真空蒸镀铝镀膜机采用冷衬底蒸镀法蒸镀铝膜背电极，而铝膜背电极则通过约0.1mm宽度的极窄的非晶硅层上的激光沟道与透明导电膜电极相接，因冷蒸的结合力不强及铝膜层很薄在非晶硅层上的激光沟道边缘处厚度落差及大造成铝膜部分断裂等因素致使太阳能电池片出现电性能稳定性差的问题，在实际工业化大批量生产中造成极大的经济损失，而且，造价昂贵的真空蒸镀铝镀膜机使此两种非晶硅太阳能电池的生产设备工装投资较大；同时，冷蒸铝膜亦引起铜可焊电极可抗拉力的不足。在另一种外联式非晶硅太阳能电池的制造方法中，除引起电池片具有与上述非晶硅太阳能电池的制造方法中引起的相同质量问题外，同时，具有掩膜成本高或腐蚀的难于控制及化学污染等问题。

本发明的目的在于，其一是提供一种非晶硅太阳能电池的制造方法，此方法的优点在于制造工艺简单，工装设备投资小，可以同时适用于工业化大批量生产内联式和外联式弱光型非晶硅太阳能电池。其二是采用此方法制造的非晶硅太阳能电池，具有电性能稳定性、电极可焊性、牢固性，外观等质量极佳的特点；

本发明的目的是通过以下方式实现的：

本发明一种非晶硅太阳能电池的制造工艺流程为：

透明导电膜玻璃基片→丝印透明电极抗蚀保护膜→腐蚀透明导电膜→去除抗蚀保护膜→清洗→沉积非晶硅膜层→刻划非晶硅膜层→印制碳膜层背电极→印制保护背漆、字符→印制铜可焊电极→切片→测试

采用本发明一种非晶硅太阳能电池的制造方法制造的外联式和内联式非晶硅太阳能电池的结构，是由玻璃基底(1)，透明电极(2)，非晶硅层(3)，碳膜层背电极(4)，保护漆(5)，铜可焊电极(6)构成。

本发明一种非晶硅太阳能电池的具体制造工艺步骤为：

a.在一定尺寸规格的透明导电膜玻璃基片上，按一定数量集成排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形排版设计，将耐酸抗蚀油墨丝印于该玻璃基片的透明导电膜面上形成集成透明电极图形并烘干固化。

b.将丝印好透明电极耐酸抗蚀保护油墨并干燥后的玻璃基片，送入腐蚀透明导电膜设备中，按透明导电膜腐蚀工艺将裸露的透明导电膜腐蚀干净；

c.将已腐蚀过透明导电膜的玻璃基片，送入去除耐酸油墨设备中按去除耐酸油墨工艺将耐酸油墨去除干净；

d.将已去除耐酸油墨的玻璃基片，送入清洗机中，按清洗工艺清洗该玻璃基片：

e.将已经步骤d清洗好的玻璃基片，装入基片玻璃夹具中，按非晶硅沉积工艺要求，预热后送入非晶硅沉积炉中沉积PIN型非晶硅薄膜；

f.在已沉积非晶硅薄膜的玻璃基片上，用激光方法或机械方法，在透明电极与背电极连接区内，按刻划非晶硅薄膜的工艺要求，刻划非晶硅薄膜；

g.在已刻划非晶硅薄膜的玻璃基片上，按与透明电极图形排版设计相对应的碳膜层背电极图形排版设计及丝印碳膜层背电极的工艺要求，印制集成碳膜层背电极；

h.在已印制集成碳膜层背电极的玻璃基片上，按与集成碳膜层背电极图形排版设计相对应的保护漆图形排版设计及丝印保护漆、字符工艺要求，印制电池保护漆、字符。

i.在已印制保护漆、字符的玻璃基片上，按与保护漆、字符图形排版设计相对应的铜铜可焊电极图形排版设计及丝印铜浆可焊电极的工艺要求，印制电池铜可焊电极。

j.将已印制好电池铜可焊电极的玻璃基片，按该种非晶硅太阳能电池的透明电极图形排版设计、尺寸规格及切片的工艺要求，将玻璃基片上的集成排列的该种非晶硅太阳能电池切割为单体非晶硅太阳能电池，并将已切割好的单体非晶硅太阳能电池进行外观质量检查和分类。

k.将已切割为单体的非晶硅太阳能电池按电性能测试的技术要求进行测试。

下面详细描述本发明一种非晶硅太阳能电池的制造工艺过程：

首先，在已准备好的玻璃基片上，采用丝网印刷法将耐酸油墨印于透明导电膜面上形成集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形，并经90℃、两分钟的热烘固化；将此玻璃基片放入透明导电膜腐蚀设备里的腐蚀液中，透明导电膜腐蚀液的体积配比为盐酸(36％)∶水∶硝酸(67％)＝50∶50∶3，在恒温60℃、腐蚀时间2分钟的条件下腐蚀裸露的透明导电膜；将已腐蚀过透明导电膜的玻璃基片，投入配比为5％的氢氧化钠溶液中和纯水中去除耐酸油墨并清洗干净，即得到制好的集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的透明电极玻璃基片；将此玻璃基片在万级净化条件下装入特制的非晶硅沉积夹具中，送入净化环境中的预热炉中，在200至250℃的恒温下预热2至3小时，然后立即送入净化环境中的非晶硅沉积炉中，利用硅烷、磷烷、乙硼烷、甲烷、氢气，采用13.56MHz辉光放电沉积法，在200℃的温度下，在玻璃基片透明导电膜面上沉积P-I-N型非晶硅膜层，其中P-型非晶硅层为掺硼的氢化碳化非晶硅膜，厚度约为100埃，I-型本征非晶硅层为氢化非晶硅膜，厚度约为5000埃，N-型非晶硅层为掺磷的氢化非晶硅膜，厚度约为300埃；将沉积好非晶硅层的玻璃基片放入激光刻划机中，采用波长0.532微米的绿激光，在透明电极与背电极的连接区内的非晶硅膜层上刻出0.1mm宽度的直线型沟槽并且沟槽内裸露出透明导电膜：将此玻璃基片放在丝印机上，用与透明电极图形排版设计相对应的碳膜层背电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的碳浆印于玻璃基片非晶硅层上与透明电极相对应的位置，形成碳膜层背电极图形，放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化碳膜层背电极膜即在此玻璃基片上制得集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的碳膜层背电极，碳膜层背电极通过非晶硅膜层上沟槽与透明电极实现连接；将此玻璃基片放在丝印机上，用与碳膜层背电极图形排版设计相对应的保护漆排版设计的网版，将高附着力、耐酸碱的背漆油墨印于玻璃基片碳膜背电极层上，再放入烘箱中90℃加热1小时固化即得到集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的保护漆玻璃基片；之后，将此基片再放到丝印机上，用与保护漆图形排版设计相对应的可焊铜浆电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的可焊铜浆印于玻璃基片碳膜层背电极的相应正、负电极位置上，再将印好的基片放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化可焊铜浆膜层即在此玻璃基片上制得集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的可焊铜浆电极的玻璃基片；至此，即制得了集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的玻璃基片；将此基片放到切片机上，按单体电池片的规格尺寸，将集成化排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池玻璃基片切割为单体内联式或外联式非晶硅太阳能电池片，即得到非晶硅太阳能电池片成品。将电池片成品进行外观质量分类后即可进行电性能测试，并将电性能合格品包装入库。

本发明外联式非晶硅太阳能电池制造方法的独到之处在于，采用丝印碳膜层背电极工艺代替了公知的真空蒸镀铝膜和激光刻划铝膜形成铝膜背电极及掩膜法真空蒸镀铝膜背电极的工艺，可以方便的用于制造内联式或外联式非晶硅太阳能电池，且制得的非晶硅太阳能电池结构中碳膜层背电极取代了公知的铝膜背电极。

本发明一种非晶硅太阳能电池制造方法产生的极积效果在于：

1.可以方便的同时适用于进行大批量工业化生产内联式和外联式弱光型非晶硅太阳能电池。

2.使得内联式和外联式弱光型非晶硅太阳能电池的生产工艺实现归一化，且工艺步骤得到简化，缩短了生产周期。

3.丝印机代替真空蒸镀铝膜机，大幅度减小了工装设备的投资。

4、高附着力的胶质碳膜层的作用，使背电极与透明电极的及非晶硅层接触、附着牢固，使所制造的非晶硅太阳能电池具有电性能稳定性良好的质量性能：

5.背电极与透明电极的及非晶硅层接触、附着牢固，使所制造的非晶硅太阳能电池具有电极牢固度、可焊性良好的质量性能

6.碳膜层背电极的低反射性，使得所制造的非晶硅太阳能电池的透明导电膜及非晶硅层厚度的不等、不均表现出的色差明显大大减小，具有理想的外观一致性，外观质量较好。

本发明一种非晶硅太阳能电池的制造方法的优点在于：使内联式和外联式弱光型非晶硅太阳能电池的生产工艺实现归一化，生产工艺简单，制造成本低；所制造的非晶硅太阳能电池具有电性能稳定性良好，电极牢固度、可焊性良好，外观质量良好，生产成本低的特点。

本发明制造的非晶硅太阳能电池可以由m个单元电池组成，其中m是除1以外的正整数。

下面结合附图并参照具体实施例进一步描述本发明。

图1为本发明制造的非晶硅太阳能电池结构截面示意图。

1-玻璃基片，2-透明电极，3-非晶硅层，4-碳膜层背电极，5-保护漆，6-可焊铜电极。

图2为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形示意图。图中斜线部分为透明导电膜。

图3为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的非晶硅层示意图。图中斜线部分为非晶硅层。

7-为激光刻化非晶硅层的沟槽。

图4为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的碳膜背电极图形示意图。图中斜线部分为碳膜背电极。

图5为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的保护背漆图形示意图。图中斜线部分为保护背漆。

图6为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的可焊铜浆电极示意图。图中斜线部分为可焊铜浆电极。

图7为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的透明电极与碳膜背电极连接示意图。

图8为本发明制造的由四个电池单元组成的内联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形示意图。图中斜线部分为透明导电膜。

图9为本发明制造的由四个电池单元组成的内联式非晶硅太阳能电池的非晶硅层示意图。图中斜线部分为非晶硅层。

图10为本发明制造的由四个电池单元组成的内联式非晶硅太阳能电池的碳膜背电极图形示意图。图中斜线部分为碳膜背电极。

图11为本发明制造的由四个电池单元组成的内联式非晶硅太阳能电池的保护背漆图形示意图。图中斜线部分为保护背漆。

图12为本发明制造的由四个电池单元组成的内联式非晶硅太阳能电池的可焊铜浆电极示意图。图中斜线部分为可焊铜浆电极。

图13为本发明制造的由四个电池单元组成的外联式非晶硅太阳能电池的透明电极与碳膜背电极连接截面示意图。

下面是实施例。实施例1：

采用本发明方法制造规格尺寸25mm×10mm的型号为2510弱光型外联式非晶硅太阳能电池，该电池片由4个电池单元组成。

投片玻璃基片为规格为305mm×305mm厚度为1mm的ITO与SiO₂复合透明导电膜玻璃，此基片电池排版设计为28排11列共计308片2510型外联式非晶硅太阳能电池片。

a.在玻璃基片上按图2所示的外联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形以28排11列的308片排版设计，用120T丝网制成的透明电极丝印网版，将耐酸抗蚀油墨丝印于该玻璃基片的透明导电膜面上形成集成透明电极图形，然后，送入烘箱中在90℃温度下烘2分钟固化后取出。

b.将此玻璃基片，送入腐蚀透明导电膜设备的的体积配比为盐酸(36％)∶水∶硝酸(67％)＝50∶50∶3的透明导电膜腐蚀液中，在恒温60℃、腐蚀时间2分钟的条件下腐蚀透明导电膜；

c.将此玻璃基片，投入配比为5％的氢氧化钠溶液中和纯水中去除耐酸油墨并清洗干净；

d.将已去除耐酸油墨的玻璃基片，送入清洗机中，按清洗工艺清洗该玻璃基片；

e.将已经步骤d清洗好的玻璃基片，在万级净化条件下装入特制的非晶硅沉积夹具中，送入净化环境中的预热炉中，在250℃的恒温下预热2小时，然后立即送入净化环境中的非晶硅沉积炉中，利用硅烷、磷烷、乙硼烷、甲烷、氢气，采用13.56MHz辉光放电沉积法，在200℃的温度下，在玻璃基片透明导电膜面上沉积P-I-N型非晶硅膜层，其中P-型非晶硅层为掺硼的氢化碳化非晶硅膜，厚度约为100埃，I-型本征非晶硅层为氢化非晶硅膜，厚度约为5000埃，N-型非晶硅层为掺磷的氢化非晶硅膜，厚度约为300埃；

f.将沉积好非晶硅层的玻璃基片放入激光刻划机中，采用波长0.532微米的绿激光束，在透明电极与背电极的连接区内的非晶硅膜层上刻出0.1mm宽度的直线型沟槽并且沟槽内裸露出透明导电膜；如图3所示。

g.将已刻划非晶硅薄膜的玻璃基片放在丝印机上，用90T丝网制成的与透明电极图形排版设计相对应的图4所示的碳膜层背电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的碳浆印于玻璃基片非晶硅层上与透明电极相对应的位置，形成碳膜层背电极图形，再放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化碳膜层背电极膜即在此玻璃基片上制得集成化排版的外联式非晶硅太阳能电池的碳膜层背电极，碳膜层背电极通过非晶硅膜层上沟槽与透明电极实现连接；

h.在已印制集成碳膜层背电极的玻璃基片放在丝印机上，将此玻璃基片上，用与碳膜层背电极图形排版设计相对应的图5所示的保护漆图形排版设计的90T丝网制成的网版，将高附着力、耐酸碱的背漆油墨印于玻璃基片碳膜背电极层上，再放入烘箱中90℃加热1小时固化即得到集成化排版的外联式非晶硅太阳能电池的保护漆玻璃基片；

i.在已印制保护漆玻璃基片上，用68T丝网制成的与保护漆图形排版设计相对应的图6所示的可焊铜浆电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的可焊铜浆印于玻璃基片碳膜层背电极的相应正、负电极位置上，再将印好的基片放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化可焊铜浆膜层即在此玻璃基片上制得集成化排版的2510型外联式非晶硅太阳能电池的可焊铜浆电极的玻璃基片；至此，即制得了集成化排版的2510型外联式非晶硅太阳能电池的玻璃基片；

j.将此基片放到切片机上，按2510型外联式非晶硅太阳能电池片的规格尺寸，将集成化排版的2510型外联式非晶硅太阳能电池玻璃基片切割为单体电池片，即得到2510型外联式非晶硅太阳能电池片成品。然后，将电池片成品进行外观质量分类。

k.将2510型成品外联式非晶硅太阳能电池按2510型号电性能测试的技术要求进行电性能测试，合格品即可包装入库。实施例2：

采用本发明方法制造规格尺寸30mm×12mm的型号为3012型弱光型内联式非晶硅太阳能电池，该电池片由4个电池单元组成。

投片玻璃基片为规格为305mm×305mm厚度为1mm的ITO与SiO₂复合透明导电膜玻璃，此基片电池排版设计为24排9列共计216片3012型弱光型内联式非晶硅太阳能电池片。

a.在玻璃基片上按图8所示的内联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形以24排9列的216片排版设计，用120T丝网制成的透明电极丝印网版，将耐酸抗蚀油墨丝印于该玻璃基片的透明导电膜面上形成集成透明电极图形，然后，送入烘箱中在90℃温度下烘2分钟固化后取出。

制造步骤b～e同实施例1中顺序、过程相同。

f.将沉积好非晶硅层的玻璃基片放入激光刻划机中，采用波长0.532微米的绿激光束，在透明电极与背电极的连接区内的非晶硅膜层上刻出0.1mm宽度的直线型沟槽并且沟槽内裸露出透明导电膜；如图9所示。

g.将已刻划非晶硅薄膜的玻璃基片放在丝印机上，用90T丝网制成的与透明电极图形排版设计相对应的图10所示的碳膜层背电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的碳浆印于玻璃基片非晶硅层上与透明电极相对应的位置，形成碳膜层背电极图形，再放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化碳膜层背电极膜即在此玻璃基片上制得集成化排版的内联式非晶硅太阳能电池的碳膜层背电极，碳膜层背电极通过非晶硅膜层上沟槽与透明电极实现连接；

h.在已印制集成碳膜层背电极的玻璃基片放在丝印机上，将此玻璃基片上，用与碳膜层背电极图形排版设计相对应的图11所示的保护漆图形排版设计的90T丝网制成的网版，将高附着力、耐酸碱的背漆油墨印于玻璃基片碳膜背电极层上，再放入烘箱中90℃加热1小时固化即得到集成化排版的3012型内联式非晶硅太阳能电池的保护漆玻璃基片；

i.在已印制保护漆玻璃基片上，用68T丝网制成的与保护漆图形排版设计相对应的图12所示的可焊铜浆电极图形排版设计的网版，将高电导率、高附着力的可焊铜浆印于玻璃基片碳膜层背电极的相应正、负电极位置上，再将印好的基片放入烘箱中在恒温160℃下，加热半小时固化可焊铜浆膜层即在此玻璃基片上制得集成化排版的3012型内联式非晶硅太阳能电池的可焊铜浆电极的玻璃基片；至此，即制得了集成化排版的3012型内联式非晶硅太阳能电池的玻璃基片；

j.将此基片放到切片机上，按3012型内联式非晶硅太阳能电池片的规格尺寸，将集成化排版的3012型内联式非晶硅太阳能电池玻璃基片切割为单体电池片，即得到3012型内联式非晶硅太阳能电池片成品。然后，将电池片成品进行外观质量分类。

k.将3012型成品内联式非晶硅太阳能电池按3012型号电性能测试的技术要求进行电性能测试，合格品即可包装入库。

Claims (7)

1、一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于，所述弱光型非晶硅太阳能电池的制造工艺过程为：透明导电膜玻璃基片→丝印透明电极抗蚀保护膜→腐蚀透明导电膜→去除抗蚀保护膜→清洗→沉积非晶硅膜层→刻划非晶硅膜层→印制碳膜层背电极→印制保护背漆、字符→印制铜可焊电极→切片→测试；

具体制造工艺步骤为：

a.在一定尺寸规格的透明导电膜玻璃基片上，按一定数量集成排版的内联式或外联式非晶硅太阳能电池的透明电极图形排版设计，将耐酸抗蚀油墨丝印于该玻璃基片的透明导电膜面上形成集成透明电极图形并烘干固化；

b.将经过步骤a制造的玻璃基片，送入腐蚀透明导电膜设备中，按透明导电膜腐蚀工艺将裸露的透明导电膜腐蚀干净；

c.将经过步骤b制造的玻璃基片，送入去除耐酸油墨设备中按去除耐酸油墨工艺将耐酸油墨去除干净；

d.将经过步骤c制造的玻璃基片，送入清洗机中，按清洗工艺清洗该玻璃基片；

e.将已经步骤d清洗好的玻璃基片，装入基片玻璃夹具中，按非晶硅沉积工艺要求，预热后送入非晶硅沉积炉中沉积PIN型非晶硅薄膜；

f.在已沉积非晶硅薄膜的玻璃基片上，用激光方法或机械方法，在透明电极与背电极连接区内，按刻划非晶硅薄膜的工艺要求，刻划非晶硅薄膜；

g.在已刻划非晶硅薄膜的玻璃基片上，按与透明电极图形排版设计相对应的碳膜层背电极图形排版设计及丝印碳膜层背电极的工艺要求，印制集成碳膜层背电极；

h.在经过步骤g制造的玻璃基片上，按与集成碳膜层背电极图形排版设计相对应的保护漆图形排版设计及丝印保护漆、字符工艺要求，印制电池保护漆、字符；

i.在经过步骤h制造的玻璃基片上，按与保护漆、字符图形排版设计相对应的铜可焊电极图形排版设计及丝印铜浆可焊电极的工艺要求，印制电池铜可焊电极；

j.将经过步骤i制造的玻璃基片，按该非晶硅太阳能电池的透明电极图形排版设计、尺寸规格及切片的工艺要求，将玻璃基片上的集成排列的该非晶硅太阳能电池切割为单体非晶硅太阳能电池，并将已切割好的成品非晶硅太阳能电池进行外观质量检查和分类；

k.将已切割好的成品非晶硅太阳能电池按电性能测试的技术要求进行电性能测试。

2、如权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：非晶硅太阳能电池的碳膜背电极制造工艺是采用丝印碳浆于已刻划的非晶硅薄膜上面而形成的制造工艺方法。

3、如权利要求1所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：同时适用于内联式或外联式弱光型非晶硅太阳能电池的大批量工业化生产。

4、如权利要求1或2所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：非晶硅太阳能电池是以一定数量集成化排列在大面积玻璃基片上进行生产的。

5、如权利要求1或2所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：所制造的非晶硅太阳能电池的结构包括玻璃基底，透明导电膜电极，PIN型非晶硅层，碳膜层背电极，保护漆，铜可焊电极。

6、如权利要求1或2所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：所制造的非晶硅太阳能电池可由m个太阳能电池单元组成，其中，m是除1以外的正整数。

7、如权利要求1或5所述的一种非晶硅太阳能电池的制造方法，其特征在于：所制造的非晶硅太阳能电池可由m个太阳能电池单元组成，其中，m是除1以外的正整数。

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