CN1236660C - 器件制造方法以及器件制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种器件制造方法，是一种具有在基板上设定格子状的多个单位区域(第1位(D1)、第2位(D2))，并向各个单位区域用喷墨装置喷出液滴的工序的器件制造方法，在基板上设定由多个第1位(D1)构成的第1位图和由与第1位(D1)大小不同的多个第2位(D2)构成的第2位图时，计算出第1位(D1)的大小与第2位(D2)的大小的最大公约数，将该最大公约数作为第3位(D3)的大小，并以第3位对第1位图和第2位图作进行再设定，在以第3位图规定的位置上喷出液滴。从而，在利用液滴喷出装置在基板上形成各种不同形状相混合的图形时，能够以所需的精度形成图形，并能够缩短图形形成时间。

Description

器件制造方法以及器件制造装置
技术领域
本发明涉及利用液滴喷出装置在基板上形成图形的器件制造方法、器件制造装置、器件和电子机器。
背景技术
以往，作为制造半导体集成电路等具有微细的布线图形的器件制造方法，多利用光刻法。另一方面，在特开平11-274671号公报和特开2000-216330号公报等中公开的利用液滴喷出方式的器件制造方法倍受瞩目。在所述公报中公开的技术，是在图形形成面上通过将含有图形形成材料的液体材料由液滴喷出头喷出来把材料配置在基板上，从而形成布线图形的技术，从能够对应于生产少量多种的观点来看非常有效。
另外，在器件中形成的布线图形中，一般是直线图形和倾斜于该直线图形的斜线图形的混合，或者是具有不同线宽的布线图形的混合。若要使这些不同状态的布线图形以同一喷出条件通过液滴喷出装置形成，有时不能得到所需精度。例如在形成直线图形时，尽管以粗点进行喷出动作能够以所需的精度形成直线图形，但是若想在以形成直线图形时相同的点形成倾斜线图形时，倾斜线图形的边缘部成为台阶状而不能得到所需的形状，从而产生使器件性能降低之类的问题。
为解决该问题，例如可以考虑使用在形成直线图形区域中以粗的点进行喷出动作，在形成斜线图形的区域中以细的点进行喷出动作的制造方法。
但是，在实施所述制造方法方面，在液滴喷出装置中，由于在以粗的点进行喷出动作的区域，必须形成粗的位图并根据该位图控制喷出位置，在以细的点进行喷出动作的区域，必须形成细的位图并根据该细的位图控制喷出位置，所以存在着布线图形的制造时间长的问题。
发明内容
本发明是鉴于该类问题而形成的，其目的在于提供一种利用液滴喷出装置在基板上形成分别由不同状态的图形所构成的图形时，在能够以所需的精度进行图形形成的同时，缩短制造时间的器件制造方法、器件制造装置、器件和电子机器。
本发明的器件制造方法是，在基板上设定多个单位区域，对于所述各个单位区域从液滴喷出装置喷出液体材料的液滴，在所述基板上形成规定的图形，在所述基板上设定由第1单位区域组成的第1区域、由与所述第1单位区域大小不同的第2单位区域组成的第2区域，计算出所述第1单位区域的大小和所述第2单位区域的大小的最大公约数，将该最大公约数作为第3单位区域的大小，将所述第1区域和所述第2区域作为该第3单位区域的集合再设定，在作为该第3单位区域规定的位置上喷出所述液滴。
根据该方法，由于可以利用液滴喷出装置使在第1区域设定的图形和第2区域设定的图形一并形成，所以在基板上混在一起并形成各个不同形态的图形时，可以在以所需的精度形成图形的同时，能够缩短制造时间。
另外本发明的器件制造方法，所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域，优选为大致正方形的形状。此时，就很容易计算最大公约数，进而能够缩短制造时间。
另外，本发明的器件制造方法，将所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域的形状设为大致正方形，优选将形成各单位区域的正方形的一边的长度作为基准计算出所述最大公约数。此时，最大公约数的计算变得更容易，进而也能够缩短制造时间。
另外，本发明的器件制造方法，在形成第1图形和相对于第1图形在不同方向延伸的第2图形时，在所述第1图形和所述第2图形的连接部位，优选在偏离所述第3单位区域的大致中心的位置上由所述液滴喷出装置喷出液滴。此时，对于以第3单位区域再设定的整个区域，可以使在基板上喷出的液滴相互间隔均匀化，即使在图形的连接部位等容易形成断线等不良现象的部位，也能够形成保持均匀膜厚的良好图形。
另外，本发明的器件制造方法，偏离所述第3单位区域的大致中心的位置，优选为形成所述第1图形以及所述第2图形时的喷出间隔和形成所述连接处时的喷出间隔呈大致相同的位置。此时，对于含有图形连接处的基板上的喷出的整个面可以使液滴的相互间隔均匀化，即使在图形的连接部位等容易形成断线等不良现象的部位，也能够形成保持均匀膜厚的良好图形。
另外，本发明的器件制造方法，优选根据所述第3单位区域的大小控制所述液滴的喷出液量。
另外，本发明的器件制造方法，所述液滴的喷出液量的控制优选进行与第3单位的区域成大小成比例的控制。
此时，能够在使形成可能的线宽进一步变窄的同时而快速地制造图形。
另外，本发明的器件制造方法，优选使形成所述第2图形时的液滴的喷出液量比在形成所述第1图形时的液滴的喷出液量多。此时，与作为第1图形的直线形状图形相比，液滴的喷出间隔容易变宽的作为第2图形的倾斜形状图形的形成中，可以喷出充分量的液滴，即使在图形的连接部位等容易形成断线等不良现象的部位，也能够形成保持均匀膜厚的良好图形。
另外，本发明的器件制造装置，为设有喷出液状材料液滴的液滴喷出装置的器件制造装置，设定由第1单位区域构成的第1区域和由与所述第1单位区域大小不同的第2单位区域构成的第2区域，计算所述第1单位区域大小与所述第2单位区域大小的最大公约数，将该最大公约数作为第3区域的大小，将所述第1区域和所述第2区域作为该第3单位区域进行再设定，设有控制装置以便控制使在以第3单位区域规定的位置上进行所述喷出。此时，由于能够将第1区域设定的图形和第2区域设定图形通过液滴喷出方式一并形成，所以在能够以所需的精度形成各种图形的同时，还可以缩短制造时间。
另外，本发明的器件制造装置，所述控制装置，优选将所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域规定为正方形的形状，以形成各单位区域正方形的一边长度来标记该所述第1单位区域、第2单位区域以及第3单位区域的各个所述大小，利用该长度计算出所述最大公约数。此时，最大公约数的计算变得容易，进而能够缩短制造时间。
另外，本发明的器件，通过所述器件制造装置进行制造。此时，设有具有所需精度的图形，使得不容易产生断线等的不合适的情况。
另外，本发明的电子机器，设有所述器件。此时，具有优良的器件性能，可以提供能够缩短制造时间的电子机器。
附图说明
图1是表示本发明的器件制造装置的一例的简要立体图。
图2是作为适用本发明的器件制造方法的器件的一例的等离子显示装置的方框图。
图3是布线图形的模式图。
图4是说明本发明的器件制造方法的图，是用于说明设定在基板上的位图的图。
图5是说明本发明的器件制造方法的图，是用于说明被设定在基板上的位图的图。
图6是说明本发明的器件制造方法的图，表示位图中各液滴喷出位置的扩大模式图。
图7是表示设有本发明的器件的电子机器的一例的图。
图8是表示设有本发明的器件的电子机器的一例的图。
图9是表示设有本发明的器件的电子机器的一例的图。
图10是表示适用本发明的器件制造方法的等离子型显示装置的俯视图。
图11是表示适用本发明的器件制造方法的液晶显示装置的俯视图。
图12是适用本发明的器件制造方法液晶显示装置的开关元件和信号线等的等效电路图。
图13是表示适用本发明的器件制造方法的液晶显示装置的TFT阵列基板结构的俯视图。
图14是适用本发明的器件制造方法的液晶显示装置的主要部位的剖视图。
图15A～图15E是表示适用本发明的器件制造方法的有机EL装置的制造工序的模式图。
图16A～图16C是表示适用本发明的器件制造方法的有机EL装置的制造工序的模式图。
图17A～图17C是表示适用本发明的器件制造方法的有机EL装置的制造工序的模式图。
图中：1-喷墨头，2-X轴方向驱动马达，3-Y轴方向驱动马达，4-X轴方向驱动轴，5-Y轴方向导向轴，7-载物台，8-清洗机构，9-基座，15-加热器，30-布线图形，31-直线图形(第1图形)，32-斜线图形(第2图形)，BM1-第1位图(第1区域)，BM2-第2位图(第2区域)，C-位的中心，CONT-控制装置，D1-第1位的大小，D2-第2位的大小，D3-第3位的大小，IJ-喷墨装置(液滴喷出装置)，M1、M2-液滴的中心，P-基板。
具体实施方式
以下对本发明的器件制造方法和器件制造装置进行说明。
图1是表示本发明的器件装置的一实施例的示意立体图。本发明的器件制造装置，是通过由液滴喷出头向基板喷出(滴下)液滴来制造器件的喷墨装置(液滴喷出装置)。
在图1中，喷墨装置IJ设有喷墨头1、X轴方向驱动轴4、Y轴驱动方向导向轴5、控制装置CONT、载物台7、清洗机构8、基座9和加热器15。
载物台7用于支撑通过该喷墨装置IJ设置墨水(液体材料)的基板P，具有将基板P固定在基准位置上的未图示的固定机构。
喷墨头1是设有多个喷嘴的多喷嘴型喷墨头，使其长度方向与Y轴方向相一致。把多个喷嘴在Y轴方向上以一定的间隔并列设置在喷墨头1的下面。从喷墨头1的喷嘴向被支撑在载物台7上的基板P喷出例如含有导电性微颗粒的墨水(液体材料)。
在X轴方向驱动轴4上连接X轴方向驱动马达2。X轴方向驱动马达2为步进马达等，一旦从控制装置CONT提供X轴方向的驱动信号，使X轴方向驱动轴4转动。一旦X轴方向驱动轴4转动，喷墨头1向X轴方向移动。
Y轴方向导向轴5，固定为对于基座9不能移动。载物台7设有Y轴方向驱动马达3。Y轴方向驱动马达3为步进马达等，一旦从控制装置CONT提供Y轴方向的驱动信号，使载物台向Y轴方向转动。
控制装置CONT，向喷墨头1提供液滴喷出控制用电压。另外，向X轴方向驱动马达2提供控制喷墨头1在X轴方向上移动的驱动脉冲信号，向Y轴方向驱动马达3提供控制载物台7在Y轴方向上移动的驱动脉冲信号。
清洗机构8，是清洗喷墨头1的机构。在清洗机构8上设有未图示的Y轴方向的驱动马达。通过驱动该Y轴方向的驱动马达，使清洗机构沿着Y轴方向导向轴5移动。清洗机构8的移动也由控制装置CONT控制。
加热器15在这里是通过灯退火对基板进行加热处理的装置，对涂敷于基板P上的液体材料中含有的溶剂进行蒸发和干燥。该加热器15的电源输入和切断也由控制装置CONT控制。另外，作为热处理装置也可以使用热板、热风机、电炉等。
在本实施例中，喷墨装置IJ，在基板P上形成布线图形。所以，在墨水中含有作为布线图形形成用材料的导电性微颗粒(金属微颗粒)。墨水是用一定的溶剂和混合树脂通过混合金属微颗粒而形成的液体材料。作为金属微颗粒，例如可以使用金、银、铜、铁等。金属微颗粒的粒径优选为5～100μm，最好选择尽可能小的粒径(例如5～7μm)。由喷墨头1向基板P喷出的液体材料，通过用加热器15进行热处理，转化为导电性膜(制膜)。另外，作为其它例，除用于布线图形形成的导电性微颗粒外，也可以用于通过液滴喷出装置喷出含有绝缘性微颗粒的液状体形成绝缘图形。
另外，作为形成布线图形的墨水，可以使用含有有机金属化合物、有机金属配位化合物、以及它们的类似物的墨水。作为有机金属化合物，例如可以举出有机银化合物，可以将有机银化合物分散(溶解)在一定溶剂后的溶液作为布线图形形成用的墨水使用。此时，作为溶剂，例如可以使用二乙二醇二乙基醚。作为墨水，在使用有机银化合物(有机金属化合物)的情况下，通过对墨水进行热处理或者光处理，除去有机成分，留下银颗粒(金属颗粒)，使其呈现导电性。
喷墨装置IJ，在喷墨头1在支撑基板P的载物台7上进行相对的扫描移动的同时，向基板P喷出液滴。这里，在以下的说明中，将X轴方向设为扫描方向(规定方向)，将与X轴垂直相交的Y轴方向设为非扫描方向。所以，喷墨头1的喷嘴是在非扫描方向的Y轴方向上以一定的间隔并列设置。
以下，对利用所述喷墨装置IJ形成布线图形的方法进行说明。在以下的说明中，对利用喷墨装置IJ形成等离子显示装置的布线图形的实例进行说明。
图2是表示等离子显示装置的一例的方框图。在图2中，等离子显示装置52由矩阵形式的彩色显示器件的AC型等离子显示面板51和用于选择性地使构成画面(屏幕)多个单元发光的驱动单元53构成。等离子显示面板51是平行配置有一对维持电极Xd、Yd的面放电形式的等离子显示面板，具有在各个单元中具有维持电极Xd、Yd与地址电极A形成对应的3电极结构的电极阵列。维持电极Xd、Yd在画面的行方向(水平方向)上延伸，一方的维持电极Yd被用于在寻址时在行单位上选择单元的扫描电极。地址电极A是在列单位上选择单元的数据电极，在列方向上(垂直方向)延伸。驱动单元53具有控制器54、帧存储器55、X驱动电路56、Y驱动电路57、地址驱动电路58以及未图示的电源电路。驱动单元53用于从外部装置同时输入表示各像素的RGB的辉度电平的多值的图像数据DR、DG、DB和各种同期信号。图像数据DR、DG、DB一旦被存储在帧存储器55内后，通过控制器54对每各色变换为亚帧数据Dsf，然后再储存在帧存储器55中。亚帧数据Dsf是表示在为了进行层次显示而将1帧分割后的各亚帧中的单元是否需要发光的2值数据的集合。X驱动电路56用于向维持电极Xd施加电压，Y驱动电路57用于向维持电极Yd施加电压。地址驱动电路58对应从帧储存器55转送来的亚帧数据Dsf选择性地向地址电极A施加地址电极电压。
图3是表示图2所示的等离子显示装置的布线中一部分的扩大模式图。在图3所示的模式图中，在基板P上，形成有在X轴方向(第1方向)延伸的直线图形(第1图形)31和与该直线图形31连接的并在相对于直线图形31的延伸方向倾斜的方向(第2方向)上延伸的倾斜图形(第2图形)32。倾斜图形32，例如是连接图2中的驱动电路和维持电极的引出线。另一方面，直线图形31例如为维持电极。在以下的说明中，以形成具有图3所示的直线图形31和倾斜线图形32的布线图形30时的顺序为例进行说明。
首先，如图4所示，喷墨装置IJ的控制装置CONT，在基板P上设定由格子状的多个位(单位区域)构成的位图。在这里，控制装置CONT在基板上设定为了形成直线图形31的由具有一定大小D1的第1位(第1单位区域)构成的第1位图(第1区域)BM1，和为了形成倾斜线图形32的由具有与第1位不同大小的D2的第2位(第2单位区域)构成的第2位图(第2区域)BM2。在本实施例中，位被设定为正方形形状。在这里，用于形成倾斜线图形32的第2位的大小D2被设定为比用于形成直线图形31的第1位的大小D1小。通过将第2位设定为比第1位小，可以将倾斜线图形32设定为所需的形状。即，以小的第2位形成倾斜线图形要比以大的第2位形成倾斜线图形更能够缩小倾斜线图形的边缘部产生的台阶形状等的凸凹，对于更小的倾斜线图形也能够形成良好的形状。
但是，当使用上述的第1位图BM1和第2位图BM2形成布线图形时，由于必须首先使用第1位图BM1形成直线图形31，然后使用第2位图BM2形成倾斜线图形32(换言之，由于不能同时形成直线图形31和倾斜线图形32)，所以造成了制造时间长的问题。
即，控制装置CONT，在使用第1位图BM1形成直线图形31后，必须将对于基板P的位图的设定由第1位图BM1向第2位图BM2变换。具体地说，在基板P上形成有未图示的校准标记，在喷墨装置IJ上设置有利用校准标记检出基板P的位置的校准装置。控制装置CONT，必须利用校准装置检出基板P的位置，根据该检出结果，对于直线图形31将第2位图BM2设定在所定位置。为高精度地进行这些位置设定，在由第1位图BM1向第2位图BM2更改设定时需要很长时间。
所以，在本实施例中，为避免产生上述制造时间长的问题，如以下说明的那样，使喷墨装置IJ的控制装置CONT进行如下的动作。
首先，控制装置CONT计算出形成第1位图BM1的第1位(第1单位区域)的大小D1和形成第2位图BM2的第2位(第2单位区域)的大小D2的最大公约数。在这里第1位的大小D1为形成第1位的正方形的一边的长度，例如取值为6μm。第2位的大小D2为形成第2位的正方形的一边的长度，例如取值为4μm。于是控制装置CONT所计算出的“6”和“4”的最大公约数为2。
然后，控制装置CONT将计算出的最大公约数“2”设为新的单位区域(第3单位区域)的第3位的大小D3。并且，控制装置CONT，将图4所示的第1区域和第2区域在设定为将图5所示的第3位图的大小D3作为单位区域的位图。所以，形成第3位图大小D3的正方形的一边的长度作为所述最大公约数2μm。图5是表示重新设定了图4中的直线图形31与倾斜线图形的连接部位的位图后的状态的扩大模式图。
然后，控制装置CONT，根据以第3位的大小D3在基板P上再设定后的位图，在相对基板P在X轴方向上进行扫描的同时，对于在该再设定的位图的多个位中的对应直线图形31和倾斜线图形32的形成位置的位，进行喷出动作。此时，在基板P上同时形成直线图形31和倾斜线图形32。
由此，根据本实施例，在设定由第1位(第1单位区域)构成的第1位图BM1(第1区域)和由与第1位的大小D1不同大小D2的第2位(第2单位区域)构成的第2位图BM2(第2区域)时，将第1位的大小D1和第2位的大小D2的最大公约数作为第3单位区域(第3位)的大小D3，以该第3位的大小D3对第1区域和第2区域进行再设定，由于在以第3位规定的位置上喷出液滴，所以可以使第1区域中设置的图形和第2区域中设定的图形一并同时形成，可以快速制造高精度的图形。所以，可以快速制造抑制断线等的不合适的情况发生的高性能的器件。
在所述实施例中，在以第3位再设定的位图中的各位的大致中心处，使喷出的液滴的中心位于该位置。本发明并不限于这些，对于所需的位，进行喷出时，也可以使液滴喷出在偏离其位的中心的位置。
图6是表示图4或图5中直线图形31和倾斜线图形32的连接处中的各液滴的喷出位置的扩大模式图。作为原则，使液滴的中心M1位于位图中各位的中心C处地喷出。例如在直线图形31和倾斜线图形32的连接处，使液滴的中心M2位于稍微偏离该连接处的位中心C的位置上地喷出。
在这里液滴的中心M2的位置，例如可以设为全部液滴相互间隔大致相同的位置。即，设为形成直线图形31和倾斜线图形32时的喷出间隔与形成连接处时的喷出间隔大致相同的位置。
这样通过控制液滴的喷出位置，即使是在图形连接部位等的容易形成断线的部位，也能够形成具有均匀膜厚的良好的图形。
在所述实施例中，虽然对液滴的喷出量未进行特别控制，但是也可以根据构成被再设定的位图的第3位的大小D3来控制液滴的喷出量。在进行该控制时，最好与第3位的大小D3成比例地控制液滴的喷出量。通过这样的控制，能够使形成可能的线宽变窄，并且能够快速地形成图形。
另外，在控制液滴喷出液量时，优选使形成如倾斜线图形32式的斜线形状图形时的液滴的喷出液量比形成如直线图形31式的直线形状图形时的液滴的喷出液量大。通过这种控制，在形成与直线状图形相比液滴的喷出间隔容易变宽的第2图形的倾斜形状图形的过程中，可以喷出充分量的液滴，即使在斜线形状图形部等容易形成断线等的不良现象的部位，也能够形成保持均匀膜厚的良好图形。
下面，对于具有通过所述实施例的器件制造方法制造的显示装置(器件)的电子机器的实例进行说明。
图7是表示移动电话的一例的立体图。在图7中符号1000表示移动电话主体，符号1101表示用所述显示装置的显示部。
图8是表示手表型电子机器的一例的立体图，在图8中符号1100表示手表主体，符号1101表示利用所述显示装置的显示部。
图9是表示文字处理机、电脑等的移动型信息处理装置的一例的立体图。在图9中符号1200表示信息处理装置，符号1202表示键盘等的输入部，符号1204表示信息处理装置的主体，符号1206表示利用所述显示装置的显示部。
图7至图9所示的电子机器，由于设有所述实施例的显示装置，所以显示品位优良，画面清晰并能够实现设有很少发生不良现象的电子机器，同时能够缩短制造时间。
另外，本发明的技术范围，并不限于所述实施例，在不脱离本发明的宗旨范围内可以有各种变更，实施例中举出的具体材料或构成以及制造方法等只不过是其中一例，可以进行适宜变更。
例如在所述实施例中，对于将本发明的器件制造方法适用于等离子显示装置的制造中的例子进行说明，但是，本发明不限于这些，本发明还可以适用于设置具有多种形态的布线图形的器件、例如作为有机电致发光装置的构成要素的布线图形的制造、或作为液晶显示装置的构成要素的布线图形的制造。另外，作为其它的器件的例子也可以适用于电泳装置的布线图形的形成。以下，对于本发明的制造方法的适用例进行说明。
本发明在制造作为如图10所示的电光学装置的等离子型显示装置时也可以适用。如图10所示的等离子型显示装置500，由相互对向配置的基板(玻璃)501和玻璃基板502、在它们之间形成的放电显示部510简单构成。放电显示部510集合多个放电室516，在多个放电室516中，使红色放电室516(R)、绿色放电室(G)、蓝色放电室516(B)的三个放电室516成为一组配置而形成一个像素。在基板510的上面以规定的间隔带状地形成地址电极，使覆盖这些地址电极511和基板501的上面地形成介质层519，进而在介质层519的上位于地址电极511、511之间并沿着各地址电极511形成隔壁515。另外，在隔壁515中，在其长方向的一定位置中也在与地址电极511垂直的方向上以规定的间隔被隔开(未图示)，基本上形成通过在地址电极511的宽度方向左右两侧邻接的隔壁以及在与地址电极511垂直的方向上延设的隔壁隔开的长方形状的区域，与这些长方形状的区域相对应地形成放电室516，这些长方形状的区域形成3对构成1像素。另外，在以隔壁515隔区划的长方形状的区域内侧配置荧光体517。荧光体517为发出红、绿、蓝的任一荧光的物质，在红色放电室516(R)的底部配置红色荧光体517(R)，在绿色放电室516(G)的底部配置绿色荧光体517(G)，在蓝色放电室516(B)的底部配置蓝色荧光体517(B)。在玻璃基板502侧，在与所述地址电极511垂直的方向上将由多个ITO构成的透明显示电极512以一定的间隔形成为带状，同时，为了修正高电阻的ITO，形成由金属构成的母线电极512a。另外，覆盖这些并形成介质层513，进而形成由MgO等构成的保护膜514。另外，所述基板501和玻璃基板502的基板对向相互粘合以便使所述地址电极511和显示电极512相互垂直，对由基板501的隔壁515和形成于玻璃基板502侧的保护膜514包围的空间部分进行排气通过封入稀的气体形成放电室516。另外，形成于玻璃基板502侧的显示电极512，形成为相对于各放电室516各配置2个。所述地址电极511和显示电极512连接图省略的交流电源，通过给各电极通电，在必要位置的放电显示部510中使荧光体517激发发光并且能够彩色显示。
在本实施例中，显示电极512或母线电极512a是根据本发明的制造方法形成。另外，在形成显示电极512或母线电极512a以外的其它部分例如未图示的两端的引出电极等时也可以适用本发明。
本发明在制造图11所示的液晶显示装置时也可以适用。图11是表示液晶显示装置的第1基板上的信号电极等的平面结构图。该液晶装置由该第1基板、设有扫描电极等的第2基板(未图示)、在第1基板和第2基板之间封入的液晶(未图示)简略构成。如图11所示，在第1基板300上的像素区域303中将多个信号电极310设置为多重矩阵状。尤其各个信号电极310由对应于各像素设置的多个像素电极部分310a和将它们连接为多重矩阵状的信号布线部分310b构成，并在Y方向延伸。另外，符号350是1芯片结构的液晶驱动电路，该液晶驱动电路350和信号布线部分310b的一端侧9(图中下侧)通过第1引出布线331连接。另外，符号340为上下导电端子340和图未示的设置于第2基板上的端子通过上下导通材341连接。另外，上下导通端子340和液晶驱动电路350通过引出布线332连接。
在本实施例中，在所述第1基板300上设置的信号布线部分310b、第1引出布线331、第2引出布线332，分别用本发明的制造方法形成。
本发明可运用于图12～图14所示的液晶显示装置的制造。本实施例的液晶显示装置为，作为开关元件使用TFT(ThinFilm Transistor)元件的有源矩阵型的透射型液晶装置。图12是该液晶透射型液晶装置的配置为矩阵状的多个像素中的开关元件、信号线等的等效电路图。图13是表示形成数据线、扫描线、像素电极等的TFT阵列基板的相邻多个像素组结构的主要部位俯视图。图14是图13A-A’线剖视图。另外，在图14中，图示上侧为入光侧图示下侧为观察侧(观察者侧)。另外，在各图中，为使各层和各部件在图面上设置为能够辨认程度的大小，对各层和各部件进行不同程度的缩小。
在本实施例的液晶显示装置中，如图12所示，在配置为矩阵状的多个像素中，分别形成像素电极109和用于控制向该像素电极109通电的作为开关元件的TFT元件130，供给像素信号的数据线106a电连接在该TFT元件130的源极区域。写入数据线106a中的像素信号S1、S2、…、Sn，在该顺序中以线顺序供给或者对于相邻接的多条数据线106a以每组供给。另外，扫描线103a电联接在TFT元件130的门区，对于多条扫描线130a以一定的定时按照线顺序脉冲地外加扫描信号G1、G2、…、Gm。另外，像素电极109电联接在TFT元件130的漏极区域，通过使作为开关元件的TFT元件130仅开通一定期间，以一定的定时写入由信号线106a供给的像素信号S1、S2、…、Sn。通过像素电极109写入液晶的一定电平的像素信号S1、S2、…、Sn在后述的通用电极之间保持一定时间。液晶，根据外加电压的电平改变分子集合的配向或秩序，从而能够调光并进行层次显示。在这里为了防止保持的像素信号泄漏，与在像素电极109和通用电极之间形成的液晶电容并列地附加蓄积电容170。
然后，参照图13对本实施例的液晶显示装置的主要部位的平面结构进行说明。如图13所示，在TFT阵列基板上，将多个由铟锡氧化物(IndiumTin Oxide，以下略称为ITO)等的透明导电材料构成的矩形状的像素电极109(通过点线部109A表示轮廓)设置为矩阵状，分别沿着像素电极109的纵横交界设置数据线106a、扫描线103a和电容线103b。各像素电极109，电连接于对应于扫描线103a和数据线106a的各交叉部设置的TFT元件上，其构成为在各像素中能够显示。数据线106a，以构成TFT元件130为例，在由聚硅膜构成的半导体层101a中，通过接触孔105电连接在后述的源极区域中，像素电极109，在半导体层101a中，通过接触孔108电连接在后述的漏极区域中。另外，在半导体层101a内，与后述的隧道区域(图中左上斜线的区域)对向地配置扫描线103a，扫描线103a为与隧道区域对向的部分，作为门电极发挥作用。电容线103b具有沿着扫描线103a呈大致直线状延伸的主线部(即俯视看沿着扫描线103a形成的第1区域)和由与数据线106a交叉处沿着数据线106a向前端侧(图中向上)突出的突出部(即俯视看沿着数据线106a延设的第1区域)。
以下，参照图14对本实施例的液晶显示装置的剖面结构进行说明。图14如所述为图13A-A’线剖视图，表示形成TFT元件130的区域的构成的剖视图。在本实施例的液晶显示装置中，在TFT阵列基板110和与其对向设置的对向基板120之间夹持液晶层150。主要由透光性的基板主体110A、形成于其液晶层150侧表面的TFT元件130、像素电极109、配向膜140构成，对向基板120主要由透光性的塑料基板(基板主体)120A、形成于其液晶层150侧表面的通用电极121和配向膜160构成。另外，各基板110，120通过隔板115保持一定的间隔(gap)。在TFT阵列基板110中，在基板主体110A的液晶层150侧表面设置像素电极109，在与各像素电极109邻接的位置上设置开关控制各像素电极109的像素开关用TFT元件130。像素开关用TFT元件130具有LDD(Lightly Doped Drain)结构，设置扫描线103a、通过该扫描线103a的电场形成隧道的半导体层101a的隧道区域101a’、使扫描线103a和半导体层101a绝缘的栅极绝缘膜102、数据线106a、半导体层101a的低浓度源极区域101b和低浓度漏极区域101c、半导体层101a的高浓度源极区域101d和低浓度漏极区域101e。在含有所述扫描线103a上、栅极绝缘膜102上的基板主体110A上形成开孔通向高浓度源极区域101d的接触孔105和通向高浓度漏极区域101e的接触孔108的第2层间绝缘膜104。即，数据线106a，通过贯通第2层间绝缘膜104的接触孔105电连接在高浓度源极区域101d上。进而，在数据线106a上和第2层间绝缘膜104上，形成开孔的通向高浓度漏极区域101e的接触孔108的第3层间绝缘膜107。即，高浓度漏极区域101e通过贯通第2层间绝缘膜104和第3层间绝缘膜107的接触孔108电连接在像素电极109上。
在本实施例中，将栅极绝缘膜102从与扫描线103a对向的位置延设作为介质膜使用，通过延设半导体膜101a作为第1蓄积电容电极101f，进而将与这些对向的电容线103b的一部分作为第2蓄积电容电极，构成蓄积电容170。另外，在TFT阵列基板110A和像素开关用TFT元件130之间，形成用于使构成像素开关用TFT元件130的半导体层101a从TFT阵列基板110A电绝缘的第1层间绝缘膜112。进而在TFT阵列基板110的液晶层150侧的最表面，即液晶层150的夹持面上形成多个凸凹至段差。另一方面在对向基板120上，为基板主体120A的液晶层150侧表面，数据线106a、扫描线103a、像素开关用TFT元件130的形成区域(非像素区域)的对向区域上，设置用于防止入射光向像素开关用TFT元件130的半导体层101a的隧道区域101a’或低浓度源极区域101b、低浓度漏极区域101c侵入的第2折光膜123。进而在形成第2折光膜123的基板主体120A的液晶层150侧上，形成由ITO等组成的大致跨过其整个表面的通用电极121，在其液晶层150侧，形成控制无外加电压时的液晶层150内的液晶分子配向的配向膜160。
在本实施例中，根据本方面的制造方法，形成数据线106a、构成栅极电极的扫描线103a、电容线103b以及像素电极109。
本发明也可以适用于制造有机EL装置。边参照图15A～图15E、图16A～图16C、图17A～图17C边对有机EL装置的制造方法进行说明。另外，在图15A～图15E、图16A～图16C、图17A～图17C中，为了简化说明，仅对单一的像素进行了图示。
首先，准备基板P。这里对于有机EL元件可以是能够从基板侧将由后述的发光层发出的光取出的构成，也可以是能够从与基板相反侧取出的构成。若为从基板侧取出发出的光时，作为基板材料可以使用玻璃、石英、树脂等透明至半透明的材料，但是优选使用廉价的玻璃。在本例中，作为基板如19A所示，使用由玻璃构成的透明基板P。并且在基板P上形成由无定形硅膜构成的半导体膜700。然后，对于该半导体膜700，进行激光退火或固相成长法等的结晶化工序，半导体膜700结晶化形成聚硅膜。然后，如图15B所示对半导体膜(聚硅膜)700进行图形化并形成岛状的半导体膜710，对于其表面形成栅极绝缘膜720。然后如图15C所示形成门电极643A。然后以该状态打入高浓度的磷离子，在半导体膜710上，相对于门电极643A自己整合形成源漏极区域域643a、643b。另外没有导入杂质的部分作为隧道区域643。接着如图15D所示，在形成具有接触孔732、734的层间绝缘膜730后，在这些接触孔732、734内埋入中继电极736、738。然后如图15E所示，在层间绝缘膜730上形成信号线632、通用给电线633和扫描线(图15A～图15E未示)。这里所述中继电极738和各布线也可以以同一工序形成。此时，中继电极736通过后述的ITO膜形成。并且形成层间绝缘膜740以便覆盖各布线的上面，在对应于中继电极736的位置上形成接触孔(未图示)，在该接触孔内也埋入地形成ITO膜，进而该ITO膜图形化，在由信号电极632、通用给电线633和扫描线(未图示)包围的一定位置上形成在源漏极区域域643a中电连接的像素电极641。这里由信号电极632、通用给电线633、进而由扫描线(未图示)夹持的部分作为如后述的形成空穴注入层或发光层的场所。
以下如图16A所示，形成堤岸(bank)650以便包围所述的形成场所。该堤岸650作为隔开部件发挥作用，例如优选由聚亚胺等的绝缘性有机材料形成。另外，堤岸650优选为对于由液滴喷出头喷出的液状体材料组合物显示非亲合性的材料。在堤岸650中为显示非亲合性，例如可以采用通过氟类化合物对堤岸650的表面进行表面处理的方法。作为氟类化合物例如有CF4、SF5、CHF3等，作为表面处理，例如可以举出等离子处理、UV照射处理等。并且，在该构成下，形成空穴注入层或发光层的场所，即在这些形成材料的涂敷位置和其周围的堤岸650之间，形成足够高度的段差611。然后，如图16B所示，以使基板P的上面面向上的状态，含有空穴注入层形成用材料的液状体组合物614A通过液滴喷出头选择性地涂敷在由堤岸650包围的涂敷位置即堤岸650内。然后，如图16C所示，通过加热处理或光照射使液状体组合物614A的溶剂蒸发，并在像素电极641上形成固形的空穴注入层640A。
然后，如图17A所示，以基板P的上面面向上的状态，由液滴喷出头，使含有发光层形成用材料(发光材料)的液状体组合物614B选择性地涂敷在堤岸650内的空穴注入层640A上。一旦使含有发光层形成用材料的液状体组合物614B由喷出头喷出，液状体组合物614B就涂敷在堤岸650内的空穴注入层640A上。这里通过液状体组合物614B的喷出而使发光层的形成，是通过使含有发出红色的发色光的发光层形成用材料的液状体组合物、含有发出绿色的发色光的发光层形成用材料的液状体组合物、含有发出蓝色的发色光的发光层形成用材料的液状体组合物分别喷出在各自对应的像素上并涂敷而进行。另外，对应于各色的像素，可以预先决定以便使这些能够有规则地配置。通过这种方式，若将含有各色的发光层形成用材料的液状体组合物614B喷出并涂敷后，通过蒸发液状体组合物641B中的溶剂，如图17B所示，在空穴层注入层640A上形成固形的发光层640B，由此可以得到由空穴层注入层640A和固形的发光层640B构成的发光部640。之后，如图17C所示，在透明基板P的整个表面上或者形成条状反射电极654(对向电极)。由此制造有机EL元件。
如所述，在本实施例中，空穴注入层640A和发光层640B根据液滴喷出法形成，本发明的制造方法适用。另外信号线632、通用给电线633、扫描线以及像素电极641等也可以根据本发明的制造方法形成。

Claims (9)

1.一种器件制造方法，在基板上设定多个单位区域，由液滴喷出装置向各个所述单位区域喷出液体材料的液滴，在基板上形成规定的图形，
其特征在于：在所述基板上设定由第1单位区域构成的第1区域和由与第1单位区域大小不同的第2单位区域构成的第2区域，
计算出所述第1单位区域的大小与所述第2单位区域的大小的最大公约数，
将该最大公约数作为第3单位区域的大小，将所述第1区域和所述第2区域作为该第3单位区域的集合进行再设定，在被规定为该第3单位区域的位置上喷出所述液滴。
2.根据权利要求1所述的器件制造方法，其特征在于：所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域为正方形。
3.根据权利要求2所述的器件制造方法，其特征在于：将所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域的形状设为正方形，以形成第1单位区域和第2单位区域的正方形的一边的长度作为基准，计算出最大公约数，将所述最大公约数作为第3单位区域的正方形的边长。
4.根据权利要求1所述的器件制造方法，其特征在于：在形成第1图形和相对于所述第1图形在不同方向上延伸的第2图形时，
通过所述液滴喷出装置，使液滴喷出到形成所述第1图形以及第2图形时的喷出间隔与形成所述第1图形和所述第2图形的连接位置时的喷出间隔相同。
5.根据权利要求1所述的器件制造方法，其特征在于：根据所述第3单位区域的大小控制所述液滴的喷出液量。
6.根据权利要求5所述的器件制造方法，其特征在于：与所述第3单位区域的大小成比例地控制所述液滴喷出液量。
7.根据权利要求4所述的器件制造方法，其特征在于：所述第1图形为直线状图形，所述第2图形为斜线状图形，在形成所述第2图形时的液滴喷出量大于在形成所述第1图形时的液滴喷出量。
8.一种器件制造装置，具有喷出液状材料液滴的液滴喷出装置，以及控制装置，用于进行以下的控制：设定由第1单位区域构成的第1区域和由与所述第1单位区域大小不同的第2单位区域构成的第2区域，其特征在于：计算出所述第1单位区域的大小与所述第2单位区域的大小的最大公约数，将该最大公约数作为第3单位区域的大小，将所述第1区域和所述第2区域作为该第3单位区域的集合进行再设定，在该第3单位区域规定的位置上喷出所述液滴。
9.根据权利8所述的器件制造装置，其特征在于：所述控制装置，将所述第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域规定为正方形的形状，以形成各单位区域的正方形的一边的长度分别标记该第1单位区域、第2单位区域和第3单位区域的所述大小，用第1单位区域以及第2单位区域的正方形的长度计算出最大公约数，将该最大公约数作为第3单位区域的正方形的边长。
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