CN1236361C - 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 - Google Patents
一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1236361C CN1236361C CN 200310115973 CN200310115973A CN1236361C CN 1236361 C CN1236361 C CN 1236361C CN 200310115973 CN200310115973 CN 200310115973 CN 200310115973 A CN200310115973 A CN 200310115973A CN 1236361 C CN1236361 C CN 1236361C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- exposure
- plate
- detector
- light source
- shutter plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
本发明涉及一种紫外光曝光机曝光量控制装置为冷却罩(1)和(10)、光源(2)和(9)、遮光罩(3)和(8)、快门板(4)和(11)、传送带(5)、电动执行机构(6)和(18)、金属阴极板(7)、上探测器(12)和(13)、漫反射白板(14)和(17)、下探测器(15)和(16)、驱动器(19)、计算机(20)、信号放大变换器(21)和电缆(22)，方法利用对曝光时间和曝光量以数字化的方式进行精确控制，设计具有光照强度测量、曝光量计算和曝光时间自动控制的紫外曝光机。在紫外光源的光照强度随时间发生强弱变化时，可探测结果来增加或减少曝光时间保证足够曝光量，减少光照过强或过弱产生影响，使生产合格率上有很大的提高。
Description
技术领域：
本发明属于自动控制与光电子应用技术领域，尤其是涉及一种控制紫外光曝光的设备。
背景技术：
利用紫外光对一些化学物质进行光照使其固化是一种应用十分广泛的技术，其中在计算机显示器和电视机显像管内部金属阴极栅罩的生产过程中使用广泛。传送带上涂有光刻胶膜的金属阴极板进入紫外光曝光设备并精确定位后，该设备中的上下曝光快门板打开，开始对涂有光刻胶膜的金属阴极板进行紫外光曝光。曝光量的多少取决于光照强弱和曝光时间的长短。在规定的曝光量内，经显影和腐蚀后的金属阴极板可以获得合格的阴极栅罩。增加或减少曝光量都会影响产品的合格率。因此，控制曝光量是紫外光曝光设备的关键。其普通紫外光曝光设备基本的构成如图1。
普通紫外光曝光设备包括上部光源冷却罩1-1、上部紫外光源1-2、上部遮光罩1-3、上部曝光快门板1-4、传送带1-5、秒表1-6、涂有光刻胶膜的金属阴极板1-7、下部遮光罩1-8、下部紫外光源1-9、下部光源冷却罩1-10、下部曝光快门板1-11。
上部紫外光源和下部紫外光源发出很强紫外光线，上部光源冷却罩和下部光源冷却罩保证各自光源的正常使用。传送带将涂有光刻胶膜的金属阴极板输送到设备中并且精确定位后，人工将秒表启动，同时将上部曝光快门板和下部曝光快门板打开，开始对涂有光刻胶膜的金属阴极板的两面进行曝光。当秒表计时结束后，将上部曝光快门板和下部曝光快门板同时关闭。传送带将曝光后的涂有光刻胶膜的金属阴极板移出设备。
控制紫外光曝光设备的曝光量对金属阴极栅罩的产品合格率有直接的影响，增加或减少曝光量都会使产品的合格率下降。利用秒表人工打开和关闭上下部曝光快门板的方法来控制曝光量，势必使曝光量产生很大的偏差。另外上下部紫外光源的光照强度随着使用时间的推移，各自的强弱也将发生变化，若仍延续原有的时间来控制曝光，也会使曝光量产生很大的偏差。目前，一些紫外光曝光设备采用时间继电器和电动执行机构来代替人工秒表与开关上下部曝光快门板。但是，对于上下部紫外光源的光照强度变化的情况下就无能为力了。
本发明的详细内容：
针对以上紫外光曝光设备的缺陷和不足，本发明的目的是解决由于紫外光源的光照强度变化，引起曝光量产生很大的偏差的问题，提供一种具有光照强度测量、曝光量计算和曝光时间自动控制的紫外曝光机及其控制方法。
本发明的方法：在紫外曝光机的遮光罩上安装了多部紫外光强度探测器，在曝光快门板上放置标准漫反射白板；紫外光源在光源冷却罩的保护下发出强紫外光线照射到标准漫反射白板上，探测器感知漫反射白板反射的紫外光线的强度变化；光线强度信号被转换为电信号后被多路同时送入自动控制器中；在自动控制器中，多路电信号经过滤波与放大再由模拟/数字变换器变换为数字信号，数字信号被读入计算机内进行运算和相应的变换成为对应于光线照度的数据；依据该数据和标准曝光量计算出相应的曝光时间，并向电动执行机构发出开启曝光快门板的信号；曝光快门板打开后，紫外光对涂有光刻胶膜的金属阴极板进行曝光；同时，计算机对时间进行倒计时，计时结束后向电动执行机构发出关闭曝光快门板的信号，曝光快门板关闭，完成一次曝光过程，上述自动控制器对紫外曝光机的上下两部分进行分别控制。
本发明的装置包括上部光源冷却罩1、上部光源2、上部遮光罩3、上部曝光快门板4、传送带5、上部电动执行机构6、金属阴极板7、下部遮光罩8、下部光源9、下部光源冷却罩10、下部曝光快门板11、上探测器12和上部探测器13、上部标准漫反射白板14、下探测器15、下部探测器16、下部标准漫反射白板17、下部电动执行机构18、控制驱动器19、计算机20、信号放大变换器21和电缆22，上部光源2被放置在上部光源冷却罩1中，上部遮光罩3安装在光源冷却罩1的下方，金属阴极板7放置于传送带5之上，传送带5在上部曝光快门板4和下部曝光快门板11之间，下部光源9被放置在下部光源冷却罩10中，下部遮光罩8安装在光源冷却罩10的上部，其特征在于还包括：上部电动执行机构6、上探测器12和上部探测器13、上部标准漫反射白板14、下探测器15和下部探测器16、下部标准漫反射白板17、下部电动执行机构18、控制驱动器19、计算机20、信号放大变换器21和电缆22，上探测器12和上部探测器13置于上部遮光罩3内部的罩板上，上部标准漫反射白板14固定在上部曝光快门板4之上，上部曝光快门板4和上部标准漫反射白板14两者用框架连接于上部遮光罩3的下面，上部电动执行机构6位于上部曝光快门板4的上方，下探测器15和下部探测器16置于下部遮光罩8内部的罩板上，下部标准漫反射白板17固定在下部曝光快门板11之下，两者用框连接于下部遮光罩8的上面，下部电动执行机构18位于下部曝光快门板11的下方，上探测器12和上部探测器13与下探测器15和下部探测器16通过电缆22连接到信号放大变换器21的端口上，上部电动执行机构6和下部电动执行机构18通过电缆22连接到控制驱动器19上，控制驱动器19、计算机20和信号放大变换器21以插板方式置于机箱内。
本发明设备电源上电后，计算机通过控制驱动器的控制端子OUTA和OUTB由电缆向上部电动执行机构与下部电动执行机构发出低电平信号，使上部曝光快门板和下部曝光快门板处于关闭状态。安置在上部遮光罩和下部遮光罩内的上部两个紫外光强度探测器与下部两个紫外光强度探测器分别开始感测上部标准漫反射白板和下部标准漫反射白板所反射上部紫外光源和下部紫外光源的光线强度变化，与此同时上部光源冷却罩和下部光源冷却罩保护各自光源正常的工作。光线强度信号被探测器转换为电信号后由电缆多路同时送入信号放大变换器的输入端子INA1、INA2、INB1和INB2中，多路电信号经过滤波与放大再由A/D变换器变换为数字信号，数字信号被读入计算机内。计算机对输入的数字进行运算和相应的变换成为对应于光线照度的数据，依据该数据和标准曝光量计算出相应的曝光时间。计算机通过控制驱动器的控制端子OUTA和OUTB由电缆向上部电动执行机构与下部电动执行机构发出高电平信号，电动执行机构使上部曝光快门板和下部曝光快门板打开。紫外光对涂有光刻胶膜的金属阴极板进行曝光。同时，计算机分别对上部与下部的曝光时间进行倒计时，计时结束后向电动执行机构发出关闭曝光快门板的信号，曝光快门板关闭，完成一次曝光过程。
本发明的优点是：本发明设计具有光照强度测量、曝光量计算和曝光时间自动控制的紫外曝光机，其曝光量的测量与控制精确。改进了紫外曝光机的曝光时间控制方式，使紫外曝光机的曝光量能够得到精确的控制。自动控制曝光量的紫外曝光机与普通紫外曝光机的区别在于它可以以数字化的方式调整曝光量。这不仅能使它与其它数字化的设备相连接，而且能够实现生产线上多台设备联动控制。特别在紫外光源的光照强度随着使用时间的推移强弱发生变化时，通过实时探测的结果来增加或减少曝光时间以保证足够的曝光量，由此减少因光照过强或过弱而产生的不良影响，使其在金属阴极栅罩的生产合格率上有很大的提高。
附图说明：
图1是背景技术紫外光曝光设备构成图
图2是本发明自动控制曝光量的紫外曝光机
具体实施方式：
本发明的实施例：包括上部光源冷却罩1、上部光源2、上部遮光罩3、上部曝光快门板4、传送带5、上部电动执行机构6、金属阴极板7、下部遮光罩8、下部光源9、下部光源冷却罩10、下部曝光快门板11、上探测器12和上部探测器13、上部标准漫反射白板14、下探测器15、下部探测器16、下部标准漫反射白板17、下部电动执行机构18、控制驱动器19、计算机20、信号放大变换器21和电缆22，上探测器12和上部探测器13和下探测器15和下部探测器16采用紫外光强度探测器，其结构是采用紫外光学镜头、滤光片、日本滨松的紫外敏感光电二极管和LM124放大器构成，它们与标准漫反射白板14和标准漫反射白板17测量光强。上部标准漫反射白板14和下部标准漫反射白板17采用氧化镁涂层板；信号放大变换器21采用威达通的ICP A-812多路采集与控制卡；控制驱动器19采用威达通的ICP C-32继电器板；计算机20选用威达通的486工业控制计算机；上部电动执行机构6和下部电动执行机构18采用电磁阀和杠杆机构；上部光源冷却罩1、上部遮光罩3、上部曝光快门板4、下部遮光罩8、下部光源冷却罩10和下部曝光快门板11采用金属钢板制成；传送带5采用不锈钢绞链；电缆22采用多芯屏蔽电缆线；金属阴极板7采用涂有光刻胶膜的金属锌板；上部光源2和下部光源9采用强紫外光源。
Claims (2)
1、一种紫外曝光机曝光量自动控制方法，其特征在于：在紫外曝光机的遮光罩上安装了多部紫外光强度探测器，在曝光快门板上放置标准漫反射白板；紫外光源在光源冷却罩的保护下发出强紫外光线照射到标准漫反射白板上，探测器感知漫反射白板反射的紫外光线的强度变化；光线强度信号被转换为电信号后被多路同时送入自动控制器中；在自动控制器中，多路电信号经过滤波与放大再由模拟/数字变换器变换为数字信号，数字信号被读入计算机内进行运算和相应的变换成为对应于光线照度的数据；依据该数据和标准曝光量计算出相应的曝光时间，并向电动执行机构发出开启曝光快门板的信号；曝光快门板打开后，紫外光对涂有光刻胶膜的金属阴极板进行曝光；同时，计算机对时间进行倒计时，计时结束后向电动执行机构发出关闭曝光快门板的信号，曝光快门板关闭，完成一次曝光过程，上述自动控制器对紫外曝光机的上下两部分进行分别控制。
2、一种紫外曝光机曝光量自动控制装置，包括上部光源冷却罩(1)、上部光源 (2)、上部遮光罩(3)、上部曝光快门板(4)、传送带(5)、金属阴极板(7)、下部遮光罩(8)、下部光源(9)、下部光源冷却罩(10)、下部曝光快门板(11)，上部光源(2)被放置在上部光源冷却罩(1)中，上部遮光罩(3)安装在光源冷却罩(1)的下方，金属阴极板(7)放置于传送带(5)之上，传送带(5)在上部曝光快门板(4)和下部曝光快门板(11)之间，下部光源(9)被放置在下部光源冷却罩(10)中，下部遮光罩(8)安装在光源冷却罩(10)的上部，其特征在于还包括：上部电动执行机构(6)、上探测器(12)和上部探测器(13)、上部标准漫反射白板(14)、下探测器(15)和下部探测器(16)、下部标准漫反射白板(17)、下部电动执行机构(18)、控制驱动器(19)、计算机(20)、信号放大变换器(21)和电缆(22)，上探测器(12)和上部探测器(13)置于上部遮光罩(3)内部的罩板上，上部标准漫反射白板(14)固定在上部曝光快门板(4)之上，上部曝光快门板(4)和上部标准漫反射白板(14)两者用框架连接于上部遮光罩(3)的下面，上部电动执行机构(6)位于上部曝光快门板(4)的上方，下探测器(15)和下部探测器(16)置于下部遮光罩(8)内部的罩板上，下部标准漫反射白板(17)固定在下部曝光快门板(11)之下，两者用框连接于下部遮光罩(8)的上面，下部电动执行机构(18)位于下部曝光快门板(11)的下方，上探测器(12)和上部探测器(13)与下探测器(15)和下部探测器(16)通过电缆(22)连接到信号放大变换器(21)的端口上，上部电动执行机构(6)和下部电动执行机构(18)通过电缆(22)连接到控制驱动器(19)上，控制驱动器(19)、计算机(20)和信号放大变换器(21)以插板方式置于机箱内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200310115973 CN1236361C (zh) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200310115973 CN1236361C (zh) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1554986A CN1554986A (zh) | 2004-12-15 |
| CN1236361C true CN1236361C (zh) | 2006-01-11 |
Family
ID=34337478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200310115973 Expired - Fee Related CN1236361C (zh) | 2003-12-25 | 2003-12-25 | 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN1236361C (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10732507B2 (en) | 2015-10-26 | 2020-08-04 | Esko-Graphics Imaging Gmbh | Process and apparatus for controlled exposure of flexographic printing plates and adjusting the floor thereof |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101435999B (zh) * | 2007-11-15 | 2010-06-09 | 北京京东方光电科技有限公司 | 曝光机照度自动调节装置 |
| CN101221370B (zh) * | 2008-01-24 | 2010-06-02 | 上海微电子装备有限公司 | 硅片边缘曝光系统及其光强控制方法 |
| US20100193674A1 (en) * | 2009-02-03 | 2010-08-05 | Wkk Distribution, Ltd. | Lamp system producing uniform high intensity ultraviolet light for exposure of photolithographic and other light polymerizable materials |
| ITMI20120652A1 (it) | 2012-04-19 | 2013-10-20 | Caria Riccardo De | Metodo ed apparato per la fotopolimerizzazione ed il lavaggio in serie di lastre di stampa digitali per flessografia |
-
2003
- 2003-12-25 CN CN 200310115973 patent/CN1236361C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10732507B2 (en) | 2015-10-26 | 2020-08-04 | Esko-Graphics Imaging Gmbh | Process and apparatus for controlled exposure of flexographic printing plates and adjusting the floor thereof |
| US11333980B2 (en) | 2015-10-26 | 2022-05-17 | Esko-Graphics Imaging Gmbh | Method and apparatus for exposure of flexographic printing plates using light emitting diode (LED) radiation sources |
| US12055856B2 (en) | 2015-10-26 | 2024-08-06 | Esko-Graphics Imaging Gmbh | Method and apparatus for exposure of flexographic printing plates using light emitting diode (LED) radiation sources |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1554986A (zh) | 2004-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1236361C (zh) | 一种紫外曝光机及其曝光量自动控制方法及其装置 | |
| CN201281691Y (zh) | Lcd面板异物检测系统 | |
| JPS5766345A (en) | Inspection device for defect | |
| WO2005015120A3 (en) | Method and arrangement for focusing detection in an optical measurement and method and arrangement for migitating the effect of surface reflection | |
| CN108982539A (zh) | 一种pcb双面三防漆涂覆质量检测系统及方法 | |
| JPS56154605A (en) | Measuring method and device for mesh image density or mesh area rate | |
| JPS613032A (ja) | 水中懸濁物質監視装置 | |
| CN111707333A (zh) | 一种智能视镜液相检测系统 | |
| CN210894021U (zh) | 基于图像的矿井粉尘监测装置 | |
| CN112505067A (zh) | 一种透明玻璃镀膜后缺陷检测的方法 | |
| CN104849240B (zh) | 一种光透过率检测装置和方法 | |
| CN200965517Y (zh) | 一种可靠性高的自动化光谱仪实验室 | |
| CN201910953U (zh) | 照明节能自动控制器 | |
| CN1065336C (zh) | 一种纸厚动态测量装置 | |
| JPS5498238A (en) | Automatic control system of camera | |
| CN201600230U (zh) | 检测六氟化硫的激光检漏装置 | |
| CN205003744U (zh) | 料流检测装置 | |
| UST980001I4 (en) | UV Viewing through sodium coolant | |
| JPH0322936B2 (zh) | ||
| JPS63295946A (ja) | パルプ材の夾雑物検出方法 | |
| JPH10170242A (ja) | シール剤塗布検査方法及びその装置 | |
| CN202433302U (zh) | 离子测量仪及回收金属离子的废水处理设备 | |
| CN203134752U (zh) | 一种侧装光纤耦合透射电镜数字成像装置 | |
| JPH01250044A (ja) | 微生物活性計測装置 | |
| JPS564004A (en) | System for detecting minute defects of body |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |