CN1219108C - 制备多层金属镀层复合膜的装置及其制造工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种多层金属镀层复合膜的装置及制造工艺，包括电源，真空蒸发室，真空蒸发室内置有金属材料，真空蒸发室内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料，按蒸发时序进行蒸发。其工艺流程为：a、用真空泵对真空蒸发室进行抽真空；b、对真空蒸发室内的蒸发源通电、并低温预热蒸发材料；c、将低温预热好的蒸发材料用高温使蒸发材料蒸发进行镀膜；d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，第二层材料再蒸发叠加于第一层膜之上，以后各膜蒸发材料依次类推，便形成多层金属镀层复合膜。具有操作简单，节省时间和能源，降低了生产成本，金属镀层互不污染与渗透，提高了产品质量等特点，有一定的经济和社会效益。
Description
一、技术领域
本发明涉及一种多层金属镀层复合膜的装置及制造工艺，特别适用于彩色显像管的多层金属镀膜制造中。
二、背景技术
目前气相生成复合膜技术中，一般采用的方法有两种，一是一个蒸发室只蒸发一种材料，形成一层薄膜，要制造多层复合膜，就需要重复单层膜的制造工艺。其二是在真空蒸发室中放置一种复合材料，蒸发时，是利用各材料的蒸汽压不同，蒸汽压高的先蒸发，蒸汽压低的后蒸发，制造出多层复合膜，上述两种方法分别存在不同的不足，前者虽说工艺简单，制造过程中费时费力，成本较高，后者是复膜层之间存在相互渗透和污染。
三、发明内容
本发明的目的是提供一种结构简单、使用方便的多层金属镀层复合膜的装置。
本发明的另一目的是提供一种多层金属镀层复合膜的制造工艺。
实现本发明目的的技术方案是这样解决的：多层金属镀层复合膜的装置包括一个电源，一个真空蒸发室，真空蒸发室内置有金属材料，其突出的特点在于真空蒸发室内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料，按蒸发时序进行蒸发。
本发明的制造工艺包括下述步骤：其工艺流程为：
a、用真空泵对真空蒸发室进行抽真空；
b、对真空蒸发室内的蒸发源通电、并低温预热蒸发材料；
c、将低温预热好的蒸发材料用高温使蒸发材料蒸发进行镀膜；
d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，第二层材料再蒸发叠加于第一层膜之上，以后各膜蒸发材料依次类推，便形成多层金属镀层复合膜。本发明与现有技术相比，只用一个真空蒸发室，按蒸发时序就能一次完成多层金属镀层复合膜的制造，具有操作简单，节省时间和能源，降低了生产成本，金属镀层互不污染与渗透，提高了产品质量等特点，有一定的经济和社会效益。
四、附图说明
图1为本发明装置的结构示意图；
图2为本发明的工艺流程图。
五、具体实施方式
附图为本发明的具体实施例
下面结合附图对本发明的内容作进一步说明
参照图1所示，包括一个电源1，一个真空蒸发室2，真空蒸发室2内置有金属材料3，真空蒸发室2内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源4、5，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料3，按蒸发时序进行蒸发。
图2所示为本发明的工艺流程图，即抽真空→蒸发材料预热→第一种蒸发材料蒸发形成第一层镀膜→第二种蒸发材料蒸发形成第二层镀膜→其余以此类推→完成多层金属复合膜。
综上所述，在54cm平面直角彩色显像管制造工艺技术的铝膜制造中，真空蒸发室2内同时设有至少有两个蒸发源4、5，一亇真空蒸发源4中放置纯铝材料，另一个真空蒸发源5中放置铝、铁合金材料，这种多层金属镀层复合膜的内层为铝膜，它起反射作用，中层为铝铁膜，外层为铁膜，它吸收管内的热量。本例应用的工艺流程为：抽真空→铝、铝铁合金蒸发材料预热→铝蒸发材料蒸发形成第一层镀膜→第二种铝铁合金蒸发材料蒸发形成第二层镀膜→完成多层金属复合膜。
Claims (3)
1、种制备多层金属镀层复合膜的装置，包括一个电源(1)，一个真空蒸发室(2)，真空蒸发室(2)内置有金属材料(3)，其特征在于真空蒸发室(2)内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源(4、5)，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料(3)，按蒸发时序进行蒸发。
2、根据权利要求所述的制备多层金属镀层复合膜的装置，其特征在于所说的蒸发时序是按膜层要求第一层镀膜材料行蒸发、第二层材料再蒸发依次类推顺序蒸发。
3、一种使用权利要求1所述的多层金属镀层复合膜的制造工艺，其工艺流程为：
a、用真空泵对真空蒸发室(2)进行抽真空；
b、对真空蒸发室(2)内的蒸发源(4、5)通电、并低温预热蒸发材料(3)；
c、将低温预热好的蒸发材料(3)再用高温使蒸发材料(3)蒸发进行镀膜；
d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，第二层材料再蒸发叠加于第一层膜之上，以后各膜蒸发材料依次类推，便形成多层金属复合膜。
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