CN2618925Y - 用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，旨在解决现有的蒸镀装置导致的基片蒸镀图案不精确、蒸镀室体积大等问题，包括一个通过管道与各个蒸发器相连通的真空状态的蒸镀室(60)，基片(8)位于蒸镀室(60)内的工作台(9)上，掩模板(7)贴于基片(8)的上表层，蒸镀室(60)的底部与真空抽气系统(61)相通，所述的蒸镀室(60)与各个蒸发器之间还可以进一步设置有混合腔室(4)。采用本实用新型后，可以得到精确的基片蒸镀图案，缩小真空蒸镀室的体积，降低蒸镀装置的成本，此外，本实用新型还具有在不停止蒸镀的情况下可以对不同的蒸镀源单独连续加料等优点。

Description

用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置

                      技术领域

本实用新型涉及一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置。

                      背景技术

目前国内外在有机电致发光显示器的制作过程中，所使用的蒸镀装置采用将待蒸镀的基片与蒸发源置放在同一真空腔室中，蒸发源放置在待蒸镀的基片的下方，所述基片的下表层贴有一层掩模板，所述的掩模板根据不同的蒸镀要求，比如，需要在基片上蒸镀出特定的图形，则事先在掩模板上制作出特定要求的图形小孔；在该真空腔室中用来镀膜的蒸发源中放有固态或粉末态的有机小分子材料，蒸镀时将该蒸发源加热至预定温度，促使置放于其中的有机小分子材料升华或蒸发，最终，沉积在带掩模板的基片上，蒸镀完成后去除该掩模板即可得到所需图形的有机电致发光显示器的发光层。

这种结构的蒸镀装置存在的缺陷主要有：由于与基片处于同一真空腔室中的蒸发源放置在基片的下方，相应地，掩模板则只能贴在基片的下表层并面向蒸发源，因为有机发光显示器的象素精度在微米量级，为保证图形精度，掩模板很薄，这样易造成贴于基片下表层的掩模板受自重影响，产生中部下沉现象，使得掩模板与基片之间间隙不一致，致使蒸镀出来的图形不准确；另外，传统的蒸发源为点状蒸发源，由于点状蒸发源中的材料在升华后，是以蒸发源为中心成圆锥形放射状向基片扩散并沉积的，如图1所示，这样易造成基片各处的膜厚不均匀，为克服此缺点，必须增加点源与基片之间的距离，以便提高膜厚均匀性；由此又带来了其它两个缺陷：1、真空室体积变大，使整个真空系统造价提高；2、更为严重的是造成了有机小分子材料的利用率极低，造成了生产运营成本的大幅度提高。

另外，这种结构的蒸镀装置由于将待蒸镀的基片与蒸发源置于同一真空腔室中，当需要重新添加蒸发源中有机小分子材料的情况时，必须在大气状态下将该真空腔室打开，装入有机小分子材料后再关闭真空室门，重新抽真空，对生产效率影响很大。在生产中，经常需要添加或更换蒸发源中的主材料和掺杂材料，因此，这种结构的蒸镀装置的缺陷就更加明显。

                      发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是旨在提出一种可以得到精确的基片蒸镀图案的蒸镀装置。

本实用新型的另一个目的是提出一种在不停止蒸镀的情况下可以对不同的蒸镀源单独连续加料的蒸镀装置。

根据本实用新型，一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，包括至少一个可以被密封的第一蒸发器，第一蒸发源放置在所述的第一蒸发器内，还包括第一加热器，所述的第一加热器位于所述的第一蒸发器的壁体之中或壁体的外侧；还包括有一个真空状态的蒸镀室，所述的蒸镀室和第一蒸发器通过管道相连通，基片位于所述的蒸镀室内的工作台上，掩模板贴于所述的基片的上表层，所述的蒸镀室与真空抽气系统相通。

本实用新型还可进一步包括有混合腔室和第二蒸发器，所述的混合腔室通过第一管道与所述的第一蒸发器相通、通过第二管道与所述的第二蒸发器相通、通过第三管道与所述的蒸镀室相通，所述的第一管道、第二管道、第三管道上均设有控制管道开合的阀门，第二蒸发源放置在所述的第二蒸发器内，第二加热器位于所述的第二蒸发器的壁体之中或壁体的外侧。

由于本实用新型将待蒸镀的基片与蒸发源分别置放在不同的真空腔室：蒸镀室与蒸发器中，使得掩模板可以贴于所述的基片的上表层，基片则可以位于所述的蒸镀室内的工作台上，相比较现有技术，掩模板因自重下垂而与基片产生的间隙，在本实用新型中将不复存在，由此间隙而致的蒸镀不准确的现象，在本实用新型中得到了彻底的根除，即使使用低成本的掩模板仍然可以得到满足要求的各种精确蒸镀图案。

由于在本实用新型的蒸镀室与蒸发器之间还设有混合腔室，这样不同的蒸发材料在进入蒸镀室前可以得到充分的混合，不需要设置较大空间的蒸镀室，因而可以降低设备成本；并且当需要重新添加某一个蒸发源中有机小分子材料的情况时，只需要关闭相应管道的阀门，并单独打开置放该蒸发源的蒸发器即可，非常方便。

本实用新型的目的，特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

                      附图说明

图1是现有技术中的蒸镀装置在蒸镀时的示意图；

图2是本实用新型用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置一种实施例的结构示意图。

                   具体的实施方式

参照图2，一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，包括至少一个可以被密封的第一蒸发器20，第一蒸发源202放置在所述的第一蒸发器20内，还包括第一加热器201，所述的第一加热器201位于所述的第一蒸发器20的壁体之中或壁体的外侧，还有一个真空状态的蒸镀室60，所述的蒸镀室60和第一蒸发器20通过管道相连通，基片8位于所述的蒸镀室60内的工作台9上，掩模板7贴于所述的基片8的上表层，所述的蒸镀室60可以在底部与真空抽气系统61相通。

由于本实用新型将待蒸镀的基片与蒸发源分别置放在不同的真空腔室：蒸镀室与各个蒸发器中，这样，掩模板就可以贴于所述的基片的上表层，基片则可以位于所述的蒸镀室内的工作台上，通过与蒸镀室60相通的真空抽气管道61，保持蒸镀室60一定的真空度，完成对基片的蒸镀工序，相比较现有技术，掩模板因自重下垂而与基片产生的间隙，在本实用新型中将不复存在，由此间隙而致的蒸镀不准确的现象，在本实用新型中得到了彻底的根除。即使使用厚度达0.2毫米(现有技术一般需要使用0.02毫米的掩模板)的低成本的掩模板仍然可以得到满足要求的各种精确蒸镀图案，减低成本的同时还可以提高蒸镀质量。

本实用新型还可以包括第一进气管10，所述的第一进气管10与所述的第一蒸发器20相通。这样设置的目的是可以进一步加快第一蒸发源202的蒸发速率或控制生产节拍。

本实用新型还可以包括有混合腔室4和第二蒸发器21，所述的混合腔室4通过第一管道30与所述的第一蒸发器20相通、通过第二管道31与所述的第二蒸发器21相通、通过第三管道32与所述的蒸镀室60相通，所述的第一管道30、第二管道31、第三管道32上均设有控制管道开合的阀门5，第二蒸发源212放置在所述的第二蒸发器21内，第二加热器211位于所述的第二蒸发器21的壁体之中或壁体的外侧。同第一蒸发器20一样，在此基础上，还可以进一步包括第二进气管11，所述的第二进气管11与所述的第二蒸发器21相通。这样设置的目的是不同的蒸发材料在蒸发后、进入蒸镀室前，在混合腔室4内可以得到充分、均匀的混合，避免了因不同的蒸发源气体，即不同的气态的有机小分子材料在蒸镀室中的不均匀的分布而影响蒸镀质量，进一步提高了蒸镀的精确度，也不再需要设置较大空间的蒸镀室，因而可以降低设备成本；同时，当需要重新添加某一个蒸发源中有机小分子材料的情况时，只需要关闭相应管道的阀门，并单独打开置放该蒸发源的蒸发器即可，无需停止蒸镀，非常方便，也提高了生产效率。

Claims (4)

1.一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，包括至少一个可以被密封的第一蒸发器(20)，第一蒸发源(202)放置在所述的第一蒸发器(20)内，还包括第一加热器(201)，所述的第一加热器(201)位于所述的第一蒸发器(20)的壁体之中或壁体的外侧，其特征在于：还包括有一个真空状态的蒸镀室(60)，所述的蒸镀室(60)和第一蒸发器(20)通过管道相连通，基片(8)位于所述的蒸镀室(60)内的工作台(9)上，掩模板(7)贴于所述的基片(8)的上表层，所述的蒸镀室(60)与真空抽气系统(61)相通。

2.如权利要求1所述的用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，其特征在于：还包括第一进气管(10)，所述的第一进气管(10)与所述的第一蒸发器(20)相通。

3.如权利要求1或2所述的用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，其特征在于：还包括有混合腔室(4)和第二蒸发器(21)，所述的混合腔室(4)通过第一管道(30)与所述的第一蒸发器(20)相通、通过第二管道(31)与所述的第二蒸发器(21)相通、通过第三管道(32)与所述的蒸镀室(60)相通，所述的第一管道(30)、第二管道(31)、第三管道(32)上均设有控制管道开合的阀门(5)，第二蒸发源(212)放置在所述的第二蒸发器(21)内，第二加热器(211)位于所述的第二蒸发器(21)的壁体之中或壁体的外侧。

4.如权利要求3所述的用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，其特征在于：还包括第二进气管(11)，所述的第二进气管(11)与所述的第二蒸发器(21)相通。

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