CN1206115A

CN1206115A - 集成电路测试方法和装置

Info

Publication number: CN1206115A
Application number: CN 97129715
Authority: CN
Inventors: 古田胜信
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1996-12-25
Filing date: 1997-12-25
Publication date: 1999-01-27

Abstract

使用两个接触头在IC器件测试部分E和接触臂工作段ST3之间运送IC器件,把缓冲段ST4插入在接触臂工作段ST3、加载臂工作段ST1和卸载臂工作段ST2之间,并可在X方向上移动。在缓冲段ST2上设置加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器,前者把未测试IC器件从加载臂工作段ST1传送至接触臂工作段ST3,后者把已测试IC器件从接触臂工作段ST3传送到卸载臂工作段ST3。

Description

集成电路测试方法和装置

本发明涉及集成电路(IC)的测试方法和装置，特别是涉及这样的IC测试方法和装置，即加载臂工作段中的输送装置仅运送待测试器件(以下称为未测试器件)，和在卸载臂工作段中的输送装置仅运送已测试器件。

下面，参照图1和图2说明现有技术的实例。图1和图2是原理图，用于解释未测试器件19被从加载臂工作段ST1经加载缓冲工作段ST4、接触臂工作段ST3和卸载缓冲工作段ST5带到卸载臂工作段ST2所经过的路径。图1是平面图，图2是侧视图。

在图1和图2中，把未测试器件19装在托盘11中。置于加载臂工作段ST1的加载臂10在其下端有拾取和放置装置13。参考标号1Z表示被垂直驱动的Z方向加载运送器轨道。拾取和放置装置13通过加载臂10固定在Z方向加载器运送轨道1Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号1Y表示纵向驱动的Y方向加载器运送轨道。Z方向加载器运送轨道1Z滑动地装在Y方向加载器运送轨道1Y上，因此它也可纵向地驱动。参考标号1X表示被横向驱动的X方向加载器运送轨道。Y方向加载器运送轨道1Y装在X方向运送器1X上，因此它被横向地驱动。X、Y和Z方向加载运送器轨道1X、1Y和1Z构成加载臂工作段ST1的输送装置。

置于卸载臂工作段ST2的卸载臂20的下端有拾取和放置装置23。参考标号2Z表示垂直驱动的Z方向卸载运送器轨道。拾取和放置装置23通过卸载臂20滑动地装在Z方向卸载运送器轨道2Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号2Y表示纵向驱动的Y方向卸载运送器轨道。Z方向卸载运送器轨道2Z滑动地装在Y方向卸载运送轨道2Y上，因此它纵向地驱动。参考标号2X表示横向驱动的X方向卸载运送器轨道，Y方向卸载运送器轨道2Y滑动地安装在X方向卸载运送器轨道2X上。X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z构成卸载臂工作段ST2的输送装置。测试器件29装在测试器件容纳托盘29上。

置于接触臂工作段ST3中的接触臂30在其下端有接触头H。参考标号3Z表示的垂直驱动的Z方向头运送器轨道。接触头H通过接触臂20固定在Z方向头运送器轨道3Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号3Y表示被纵向驱动的Y方向头运送器轨道。Z方向头运送器轨道3Z滑动地装在Y方向头运送器轨道3Y上，因此它也被纵向地驱动。参考标号3X表示横向驱动的X方向头运送器轨道。Y方向头运送器轨道3Y滑动地装在X方向头运送器轨道3X上，因此它被横向地驱动。

加载缓冲工作段ST4跨越接触臂工作段ST3和卸载臂工作段ST2。参考标号4Y表示Y方向加载缓冲运送器轨道，在该轨道上，安装并纵向地驱动载有未测试器件19的加载缓冲运送器41。

卸载缓冲工作段ST5跨越接触臂工作段ST3和卸载臂工作段ST2。参考标号5Y表示Y方向卸载缓冲运送器轨道，在该轨道上，安装并纵向地驱动载有已测试器件29的卸载缓冲运送器51。

通过按如下的顺序进行操作①至⑨，IC器件可分别被从ST1段带到ST2段。

①开始，驱动X和Y方向加载运送器轨道1X和1Y，把加载臂10送到未测器件容纳托盘11正上方的位置①。

②驱动Z方向加载运送器轨道1Z，使拾取和放置设备13下降至未测器件19，通过吸附将其拾取。

③驱动X、Y和Z方向加载运送器轨道1X、1Y和1Z，把加载臂10送到加载缓冲器41正上方的位置，同时用拾取和放置装置13保持拾取未测试器件。然后，使拾取和放置装置13松开，以将其上的未测试器件19卸载在加载缓冲41上。随后，驱动Y方向加载缓冲运送轨道4Y，把带有未测试器件19的加载缓冲器41从加载臂工作段ST1运送到接触臂工作段ST3。

④在接触臂工作段ST3中，驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到被传送的加载缓冲运送器41的位置。然后，启动接触头H，通过吸附从加载缓冲运送器41中拾取未测器件19。

⑤驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到器件测试部分E正上方的位置，同时由接触头H保持拾取未测试器件19。然后，使接触头H松开，把未测试器件19放在器件测试部分E中的预定位置以进行测试。

⑥驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30带到测试部分E。然后，启动接触头H，通过吸附从测试部分E拾取已测试器件29。

⑦驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到在卸载缓冲工作段ST5中的卸载缓冲器51正上方的位置，同时用接触头H保持拾取已测试器件29。然后，使接触头H松开，从其上将已测试器件29卸载到卸载缓冲运送器51上。此后，装有已测试器件29的卸载缓冲运送器51由Y方向卸载缓冲运送器轨道5Y向下送入卸载臂工作段ST2。

⑧驱动X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z，把卸载臂20送到卸载缓冲运送器51正上方的位置。然后，启动拾取和放置装置23，通过吸附从卸载缓冲运送器51中拾取已测试器件29。

⑨驱动X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z，把卸载臂20送到接收已测试器件的托盘21的位置⑨，同时对已测试器件分类，然后，使拾取和放置装置松开，将已测试器件卸载到已测试器件容纳托盘21上。

在上述现有技术的实例中，由于只有一个接触臂30用于将未测试器件19传送到器件测试部分E并从该处传递已测试器件29，所以在器件传送中不可能有机械部件相互碰撞和干涉。可是很显然，仅靠一个接触臂30传送的效率比后面说明的使用两个接触臂的传送情况的效率低。

下面，参照图3，说明采用两个接触臂的第2个现有技术的实例。与图1和图2的实例相比，接触臂工作段ST3由两个接触臂工作段ST3₁和ST3₂构成。各个接触臂工作段ST3有移动接触臂30的X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z。接触臂工作段ST3₁和ST3₂均分将加载臂工作段ST1与接触臂工作段的ST3相连的加载缓冲装置工作段ST4和将接触臂工作段ST3同卸载臂工作段ST2相连的卸载缓冲工作段ST5。因此，两个接触臂工作段ST3₁和ST3₂构成位于其重叠之处的接触臂工作干涉段ST3₁₂。

第二个现有技术实施例使用两个接触臂30₁和30₂传送未测试器件和已测试器件19和29。通过适当控制两个接触臂30₁和30₂，与使用一个接触臂的情况相比，能够提高传送效率。可是，必须有一包括电子电路的驱动控制单元，以很好地控制接触臂30₁和30₂工作；此外，接触臂30₁和30₂在接触臂工作段ST3₁₂中很可能相互干扰或碰撞。

图4说明第3个现有技术的实例，该实例装有两个接触臂30₁和30₂，并由公共的X方向头运送器导轨3X驱动。此例中，由于加载和卸载缓冲单元400和500两者都输送未测试器件和已测试器件19和29，所以当测试系统因一个或多个输送器的误差或某些其它原因停止时，有时就不能根据它们的外观判断待传送器件是未测试器件还是已测试器件。

因此，本发明的目的在于提供能够实现高效率IC器件传送并有效地避免接触臂之间出现碰撞的IC测试装置和方法。

根据本发明，用两个接触头在IC器件测试部分和接触臂工作段之间传送器件，并且设置部分地延伸在接触臂工作段、加载臂工作段和卸载臂工作段上的缓冲段以在它们之间传送IC器件。加载臂工作段的输送器仅输送未测试IC器件，卸载臂工作段的输送器仅输送已测试IC器件。

图1是解释常规IC测试装置的原理性平面图；

图2是其侧视图；

图3是解释另一现有技术实例的图；

图4是解释另一现有技术实例的图；

图5是解释本发明第一实施例的图；

图6A是说明图5实施例中IC器件传送路径的图；

图6B是说明图6A中IC器件传送路径的图；

图7是解释加载缓冲运送器、卸载缓冲运送器和各接触头相互之间位置的图；

图8A是解释接触头相互之间运动关系的图；

图8B是另一解释接触头相互之间运动关系的图；

图9A是解释第一状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图9B是解释第二状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图9C是解释第三状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图9D是解释第四状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10A是解释本发明第二实施例的第一状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10B是解释第二状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10C是解释第三状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10D是解释第四状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10E是解释第五状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10F是解释第六状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10G是解释第七状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10H是解释第八状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图10I是解释第九状态中加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图11是解释在与第三实施例比较的第一实施例中缓冲段、加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；

图12是解释第三实施例中缓冲段、加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器的运动的图；和

图13是图12的变型的示意说明图。

下面，参照图5，首先说明本发明的第一实施例。接触臂工作段ST3有两个Y方向头运送器轨道3Y₁和3Y₂，以及一个X方向头运送器轨道3X。与Y方向头运送器轨道3Y₁连接的是其上带有接触头L的Z方向头运送轨道3Z₁，它在Y方向上移动。与Y方向头运送器轨道3Y₂连接的是其上装有接触头R的Z方向头运送器轨道3Z₂，它也在Y方向上移动。缓冲段ST4有两个Y方向缓冲运送器4Y₁和4Y₂。缓冲段ST4的整个结构在X方向缓冲运送器轨道4X上沿X方向移动。加载臂工作段ST1和卸载臂工作段ST2与图1中所示的结构相同。

加载缓冲运送器41和卸载缓冲运送器51利用Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂分别在Y方向上单独地移动，但它们利用公用的X方向缓冲运送器轨道4X在X方向上移动。接触头L和R也利用Y方向头运送器轨道3Y₁和3Y₂在Y方向上分别单独地移动，但它们利用公用的头运送器轨道3X在X方向上移动。图5中的器件传送路线可用图6A和6B简略地表示。器件跟随接触头L如下流动，即①→②→③→L→C→L→⑤→⑥→⑦。器件跟随接触头R如下流动，即①→②→③→R→C→R→⑤→⑥→⑦。

下面，解释图7至图9D中使用的共用参考标号。在该说明中，参照展示加载缓冲运送器41、卸载缓冲运送器51和的接触头L和R的位置关系的图7。

P1：加载点，在该点把从加载臂10接收的未测试IC器件装在加载缓冲运送器41上，并传送至接触头L；

P2：加载点，在该点把从加载臂10接收的未测试IC器件装在加载缓冲运送器41上，并传送至接触头R；

Q1：卸载点，在该点把从接触头L接收的已测试IC器件从卸载缓冲运送器51卸至卸载臂20；

Q2：卸载点，在该点把从接触头R接收的已测试IC器件从卸载缓冲运送器51卸至卸载臂20；

E：IC器件测试部分；

S：传送点，在该点将用加载缓冲运送器41从加载点P1传送来的未测试IC器件传送到接触头L，将来自IC器件测试部分E的已测试IC器件传送到卸载缓冲运送器51；

T：传送点，在该点将用加载缓冲运送器41从加载点P2传送来的未测试IC器件传送到接触头R，将来自IC器件测试部分E的已测试IC器件传送到卸载缓冲运送器51；

三对点P1-P2、Q1-Q2和S-T分别位于固定段ST1、ST2和ST3的预定固定位置。本例中，P1-P2、Q1-Q2和S-T的间距被选定为完全相等。

图8A和8B解释接触头L和R的运动。图8A中，接触头R被从点T带到器件测试部分E，同时与接触头R运动同步地把接触头R从器件测试部分E带到点T。

图9A至9D解释在加载缓冲段ST4中加载缓冲运送器41和卸载缓冲运送器51的运动。图9A至9D中，加载缓冲运送器41的工作位置用小写字母a至d表示，卸载缓冲运送器51的工作位置用大写字母A至D表示。

现在回到图9A，在加载点P1上，当加载缓冲运送器41(位置a)接收来自加载臂10(也可参看图6A)的未测试器件19时，在传送点S上，卸载缓冲运送器51(位置A)接收来自接触头L的已测试器件29。此时，接触头R位于器件测试部分E。

在从图9A状态转到图9B状态的过程中，缓冲段ST4沿X方向从加载点P1移至P2，同时加载缓冲运送器41(位置b)沿Y方向从加载点P1移至位置b。卸载缓冲运送器51沿Y方向从传送点S(位置A)移至位置B。在图9B中的传送点S，未测试器件19从加载缓冲运送器41传送至接触头L(参见图5)。在卸载点Q1，已测试器件29从卸载缓冲运送器51传送至卸载臂20(图6A)。此后，接触头L把未测试器件19传送到器件测试部分E，接触头R把已测试器件29从测试部分E传送到传送点T。缓冲运送器41和51被带到图9C所示的Y方向上的位置c和C。

下面参照图9C，在传送点T把已测试器件29从接触头R传送到卸载运送器51(位置C)。未测试器件19在加载点P2从加载臂10被传送到加载缓冲运送器41(位置c)。此时，接触头L还位于头测试部分E。随后，如图9D所示，缓冲段ST4在X方向上移动，同时把缓冲运送器41和51带到Y方向上的位置d和D。

下面参看图9D，在传送点T未测试器件19从加载缓冲运送器41(位置d)传送至接触头R。在卸载点Q2将已测试器件29从卸载缓冲运送器51(位置D)传送至卸载臂20。此时，接触头R被带到器件测试部分E，同时接触头L被带到传送点S。

之后，从图9D的状态返回到图9A状态。因此，操作返回到初始状态。IC测试按循环顺序重复进行，在各有关位置P1、P2、Q1、Q2上，把器件传送至加载臂、卸载臂和接触头L及R。

图10A至10I表示本发明另一实施例。当上述实施例一个接一个地传送IC器件时，本实施例可一次传送多个器件。参照图10A至10I的透视图，会更容易明白前面所述的缓冲段ST4、加载缓冲运送器41、卸载缓冲运送器51和接触头L及R的运动。

图10A中，当加载缓冲运送器41从加载臂10(参见图6A)接收未测试器件19时，卸载缓冲运送器51就从接触头L接收已测试器件29。

图10B中，缓冲段ST4在+X方向移动一步，同时加载缓冲运送器41在+Y方向上移动，把保持在其上的未测试器件19传送给接触头L。另一方面，卸载缓冲运送器51在-Y方向上移动。

图10C中，缓冲段ST4保持在图10B所示的同一位置，保持未测试器件19的接触头L移动到器件测试部分E。同时，加载缓冲运送器41在-Y方向移到从加载臂10接收未测试器件19的原始位置，并且在此接收下一个未测试器件19。另一方面，卸载缓冲运送器51在+Y方向移动，返回到能够从接触头R接收已测试器件的位置，接触头R从器件测试部分E返回到可把已测试器件传送到卸载缓冲运送器51的位置。此时，由于还未进行第一次测试，所以接触头R不保留已测试器件29。

图10D中，缓冲段ST4在+X方向上再移动一步，加载缓冲运送器41在+Y方向上移动，把未测试器件19传送到接触头R。此时，接触头L在器件测试部分E放置其保存的未测试器件19。另一方面，未装器件的卸载缓冲运送器51沿-Y方向移动。

图10E中，缓冲段ST4在-X方向移动两步，返回到在图10A中指示的原始位置，加载缓冲运送器41在-Y方向上移动，并从加载臂10中接收未测试器件19。另一方面，卸载缓冲运送器51在+Y方向上移动，返回到能够从接触头L接收已测试器件29的位置，接触头L从器件测试部分E取出已测试器件29，并移动到卸载缓冲运送器51的位置，从其上传送已测试器件29。此外，保存未测试器件19的接触头R向前移动到器件测试部分E。

图10F中，缓冲段ST4在+X方向上移动一步，加载缓冲运送器41在+Y方向上移动，把未测试器件19传送到接触头L，同时接触头R把其保留的未测试器件19放在器件测试部分E。带有在图10E中传送的已测试器件29的卸载缓冲运送器51在-Y方向上移动，把已测试器件29传送到卸载臂20。

图10G中，保存未测试器件19的接触头L移到器件测试部分E，加载缓冲运送器41在-Y方向上移动，返回到可从加载臂10接收未测试器件19的原始位置。另一方面，卸载缓冲运送器51在+Y方向上移动，返回到可从接触头R接收已测试器件29的位置，接触头R从器件测试部分E返回到可把已测试器件29传送到卸载缓冲运送器51的位置。

图10I中，缓冲段ST4在-X方向移动两步，回到初始位置。该状态与图10E所示状态相同。其后，重复图10E至10H所示的上述操作。

图11中，以归纳形式说明ST4段的X方向分量和缓冲运送器41和51运行的Y方向分量，这些分量表示缓冲段ST4的运动，和在缓冲段ST4平行地安装的Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂上的加载缓冲运送器41和卸载缓冲运送器51的运动。箭头a₁至a₅表示加载缓冲运送器41的运动，箭头b₁至b₅表示卸载缓冲运送器51的运动。这些箭头表示运动方向和大致的运行距离。如图11所示，在上述实施例中，缓冲运送器41和51在装在缓冲段ST4上的平行的Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂上沿Y方向移动。在由加载点和卸载点P1、P2、Q1和Q2的位置限定的间隔上，段ST4在X方向上移动两步，然后返回到其初始位置(在-X方向)。因此，在这样一个循环中，缓冲段ST4运行的总距离为2(a₂+a₅)。本实施例中，设定a₂=a₅=d，所以缓冲段ST4运行的总距离为4d。缓冲段ST4的最大宽度或运行范围D(中心线Y₀和Y₀’之间的距离)为2d。当缓冲段ST4的运行总距离4d较大时，运行时间相应就较长。为了减少运动时间。就需要增加驱动缓冲段ST4的功率。与图11的实施例相比，图12表示本发明在这方面进行改进的另一实施例。

图12的实施例中，根据缓冲段ST4的Y方向中心线Y₀，斜对称地排列装在缓冲段ST4上的运送加载缓冲运送器41和卸载缓冲运送器51的Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂，随着加载点P1和Q1趋近，其间隔增加。位置S和P2处于中心线Y₀上，位置P1和Q1与中心线Y₀对称。在本实施例中，与图1中的实施例情况一样，把加载点P1和P2之间的距离和卸载点Q1和Q2之间的距离及传送点S和T之间的距离都设定为d。

加载缓冲运送器41在加载点P1接收未测试器件，卸载缓冲运送器51在传送点S接收已测试器件。然后，分别沿缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂在相反方向上(a₁，b₁)驱动缓冲运送器41和51，在X方向上(a₂，b₂)驱动缓冲段ST4，到达位置S和Q1。在位置S，加载缓冲运送器41把未测试器件送到测试部分，同时在位置Q1，卸载缓冲运送器51(参见图6A)把已测试器件送至卸载臂20。之后，分别沿Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂在相反方向上(a₃，b₃)驱动加载和卸载缓冲运送器41和51，在X方向上(a₄，b₄)驱动缓冲段ST4。结果，加载和卸载缓冲运送器41和51分别到达位置P2和T，在该位置，前者接收未测试器件，后者接收刚测试过的器件。然后，加载和卸载缓冲运送器41和51分别沿Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂在相反方向上(a₅，b₅)移动，缓冲段ST4在X方向上移动(a₆，b₆)。因此，加载和卸载缓冲运送器41和51分别到达位置T和Q2，在该位置，前者把未测试器件送至器件测试部分E，后者把刚测试的器件送至卸载臂20。随后，缓冲段ST4返回到初始的未测试器件加载位置，加载和卸载缓冲运送器41和51分别返回到位置P1和S。在其它方面，本实施例与图5中的实施例的结构相同。

按照图12的结构，由于a₄+a₆=d，所以缓冲段ST4运行的总距离为2(a₂+a₄+a₆)=2(a₂+d)。正如图2所明显表示的，a₂小于d，所以缓冲段ST4运行的总距离就短于图11所示的那种情况。因此，缓冲段ST4运行的最大范围D’=(a₂+d)也小于图11所示的情况。因此，能够减小加载和卸载缓冲运送器41和51的一个循环工作周期。

在图12的实施例中假设a₂=b₂=d和a₄=b₄=0，那么缓冲段ST4运行的总距离变为与图11所示的情况一样。这种情况下，点P2和Q1之间的距离大于d，相应地，几乎不会发生在点P2和Q1附近加载臂10和卸载臂20的碰撞的情况，如图5中的那样。

当图12的实施例中的点S和P2在X方向处于相同位置，点T和Q1在X方向也处于相同位置时，就可以使点P2和Q1之间的距离短于点S和T之间的距离，并如图13所示，把点S和P2设定在X方向的不同位置，并把点T和Q1设定在X方向的不同位置。这种结构也能产生与图12实施例相同的效果。在这种情况下，缓冲段ST4运行的总距离也为2(a₂+a₄+a₆)，并假设a₂+a₄=d，距离变为2(d+a₆)。可是，这种情况中，点S和T之间的距离是b₂+d₄=a₄+a₆=a₂+a₄，所以a₂=a₆。假定a₂=a₆＜d，则缓冲段ST4运行的总距离就小于图11所示的情况。

如上所述，根据本发明，使用二个接触头在器件测试部分E和的接触臂工作段ST3之间传送器件，设置缓冲段ST4，使其部分地延伸至接触臂工作段ST3、加载臂工作段ST1和卸载臂工作段ST2之上，以便在它们之间传送器件。加载臂工作段ST1的运送单元仅运送未测试器件，卸载臂工作段ST2的运送单元仅运送已测试器件。因此，即使IC测试器由于运送单元或某些其它部分的其中一个的误差而停止工作，无论待运送的器件是未测试或已测器件，它都能够从运送单元中容易地辨认出来。

控制加载缓冲运送器41和卸载缓冲运送器51，以便在其Y方向的缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂上以相反方向同步移动。也可控制接触头L和R，以便在其Y方向的头运送轨道3Y₁和3Y₂上以相反方向同步移动。因此，不必担心两个接触头L和R具有互相干涉或碰撞、导致系统故障的相同位置。

用于控制加载和卸载缓冲运送器41和51移动的Y方向缓冲运送器轨道4Y₁和4Y₂相对于Y方向斜对称地装配着。由此，能够减小X方向上缓冲段ST4的运行量。

此外，由于加载臂、卸载臂和接触头L和R都适合输送多个器件，所以与使用一个接触臂的情况相比，能够提高传送效率。

显然，在不脱离本发明新原理范围的前提下，可进行许多改进和变更。

Claims

1．一种IC测试装置，其中，IC器件被运送到IC器件测试部分并进行测试，所述装置包括：

具有用于运送未测试IC器件的加载臂的加载臂工作段；

具有用于接收和运送已测试IC器件的卸载臂的卸载臂工作段；

具有用于把IC器件送入和送出所述器件测试部分的第一和第二接触头的接触臂工作段，和用于控制所述第一和第二接触头运动的第一和第二接触头运送装置；

加载缓冲运送器，用于把未测试IC器件从所述加载臂工作段送至所述接触臂工作段；

卸载缓冲运送器，用于把已测试IC器件从所述接触臂工作段送至所述卸载臂工作段；

缓冲段，在该段上使Y方向加载缓冲运送器轨道与Y方向卸载缓冲运送器轨道分离开，前者用于控制所述加载缓冲运送器在所述接触臂工作段和所述加载臂工作段之间移动，后者用于控制所述卸载缓冲运送器在所述接触臂工作段和所述卸载臂工作段之间移动；和

X方向缓冲段轨道，用于控制所述缓冲段，使其在X方向上移动；

其中，所述缓冲段位于所述加载臂工作段、所述卸载臂工作段和所述接触臂工作段之间。

2．如权利要求1所述的装置，其中，按照所述接触臂工作段的限定来固定第一和第二IC器件传送位置，并使其在X方向上分离开，以便所述缓冲段的至少一部分总是保持邻近所述IC器件测试部分的状态；第一和第二加载位置以及第一和第二卸载位置分别在所述加载臂工作段和所述卸载臂工作段沿X方向分离开；其中，所述缓冲段有至少与所述第一IC器件传送位置和所述第一加载位置相对的第一停止位置，至少与所述第一IC器件传送位置和所述第一卸载位置相对的第二停止位置，以及至少与所述第二IC器件传送位置和所述第二卸载位置相对的第三停止位置。

3．如权利要求2所述的装置，其中，控制所述加载缓冲运送器和所述卸载缓冲运送器，以便其分别在所述Y方向加载缓冲运送器轨道和所述Y方向卸载缓冲运送器轨道上沿相反的方向同步地移动；和

控制第一和第二接触头，以便其在所述第一和第二接触头运送器装置上沿相反的方向同步地移动。

4．如权利要求1、2或3所述的装置，其中，用于控制所述加载缓冲运送器的所述Y方向加载缓冲运送器轨道和用于控制所述卸载缓冲运送器的所述Y方向卸载缓冲运送器轨道，在所述缓冲段上相互平行地隔开排列。

5．如权利要求1、2或3所述的装置，其中，用于控制所述加载缓冲运送器的所述Y方向加载缓冲运送器轨道和用于控制所述卸载缓冲运送器的所述Y方向卸载缓冲运送器轨道，相对于所述Y方向斜对称地排列，以便它们在朝向所述IC器件测试部分的一侧相互靠近。

6．如权利要求1、2或3所述的装置，其中，所述加载臂、所述卸载臂、所述第一接触头和所述第二接触头均适合一次处理多个IC器件。

7．一种IC测试方法，在该方法中，把未测试IC器件送到IC器件测试部分，并把已测试IC器件从该处取走，所述方法包括下列步骤：

(a)在加载臂工作段用加载臂运送未测试IC器件；

(b)在卸载臂工作段用卸载臂接收和运送已测试IC器件；

(c)用第一和第二接触头运送装置控制第一和第二接触头，以便用所述第一和第二接触头把IC器件送入和带出所述IC器件测试部分；

(d)把未测试IC器件装在加载缓冲运送器上，并把它从所述加载臂工作段运送至所述接触臂工作段；

(e)把已测试IC器件装在卸载缓冲运送器上，并把它从所述接触臂工作段送至所述卸载臂工作段；

(f)把由Y方向加载缓冲运送器轨道控制的所述加载缓冲运送器设置在缓冲段上，使其在所述接触臂工作段和所述加载臂工作段之间移动，把由Y方向卸载缓冲运送器轨道控制的所述卸载缓冲运送器与所述Y方向加载缓冲运送器轨道相分隔地设置在缓冲段上，使其在所述接触臂工作段和所述卸载臂工作段之间移动；和

(g)用X方向缓冲运送器轨道控制所述缓冲段，使其在X方向上移动。

8．如权利要求7所述的方法，其中，按照所述接触臂工作段来固定第一和第二IC器件传送位置，并使其在X方向分离开，以便所述缓冲段的至少一部分总是保持邻近所述IC器件测试部分的状态；第一和第二加载位置以及第一和第二卸载位置分别在所述加载臂工作段和所述卸载臂工作段沿X方向分离开；其中，所述缓冲段有至少与所述第一IC器件传送位置和所述第一加载位置相对的第一停止位置，至少与所述第一IC器件传送位置和所述第一卸载位置相对的第二停止位置，和至少与所述第二IC器件传送位置和所述第二卸载位置相对的第三停止位置。

9．如权利要求8所述的方法，其中，用所述Y方向加载缓冲运送器轨道和所述Y方向卸载缓冲运送器轨道控制所述加载缓冲运送器和所述卸载缓冲运送器，使其在相反的方向上同步地移动；和

控制第一和第二接触头在所述第一和第二接触头运送器装置上沿相反方向同步移动。

10．如权利要求9所述的方法，其中，所述步骤(f)是指控制所述加载缓冲运送器和所述卸载缓冲运送器，使其沿在所述缓冲段上相互平行并分开设置的所述Y方向加载缓冲运送器轨道和所述卸载缓冲运送器轨道，在相反的方向上移动的步骤。

11．如权利要求7、8或9所述的方法，其中，所述步骤(f)控制所述加载缓冲运送器和所述卸载缓冲运送器，使其沿所述Y方向加载缓冲运送器轨道和所述Y方向卸载缓冲运送器轨道在相反方向上同步地移动，这两个运送器轨道相对于Y方向斜对称地排列在所述缓冲段上，以便它们在所述IC器件测试部分的一侧相互靠近。