CN1192423C - 晶片托架 - Google Patents

Abstract

一种组合式晶片托架，用于在运输、贮存和加工过程中支撑和约束圆形的半导体晶片。组合晶片托架通常包括一用于插入和移走晶片的顶部开口和底部开口，一具有连接部如H形连接杆的竖直的前端件，一竖直的后端件和一对带有竖直侧壁槽的侧壁件，侧壁槽从前端件向后延伸到后端件。所说件的至少一个分离塑成，并且在没有紧固件的情况下通过对应的接合部与晶片托架的其它部件相连。晶片托架可以搭锁在一起。在后端件上提供分离的第二连接件以便允许托架与设备连接使晶片顶边向上或倒转。分离形成的件为了改变静dissaptive性，允许使用不同材料或不同形式的相同基料。

Description

晶片托架

这是1997年4月16日的美国申请08/843,464部分的继续。

技术领域

本发明涉及一种用于集成电路元件生产的半导体晶片的运输、贮存和加工过程的组合的晶片托架。

背景技术

把晶片加工成集成电路片的工艺经常包括几个步骤，在这个过程中，晶片被反复处理、贮存和运输。由于晶片易损的本性和极端的昂贵，所以在这一过程中正确地保护它是很重要的。晶片托架的一个目的是提供这种保护。此外，由于晶片经常被自动地处理，对于晶片的自动移动和插入，晶片需要相对于加工设备准确地定位。晶片托架的第二目的是在运输过程中可靠地支撑晶片。

一般的晶片托架是一个单个的塑模零件，一般包括具有一H形杆连接部分的前端，具有平板形式的后端和带有槽及与晶片的曲线相符的向下弯曲或下降部的侧壁，及一开口顶部和一开口底部。这些设计在通用性和制造上都存在一些问题。当需要对一单个的塑模托架的规格进行一个调整时，旧的塑模或它的一部分被典型地修改或报废，并且一新的塑模或它的一部分被加工。托架的各不更换部分不能被分离地塑成和贮存以便用于将来的装配。此外，大体积和更复杂的塑模零件增加了弯曲或其它结构问题产生的可能性，以致影响产品的质量和稳定性。所以单个塑模整体晶片托架存在本质的缺陷。

晶片托架的特点希望变化包括塑料的类型、装置的连接、静电耗散性、及晶片的定位和间距。

发明内容

本发明利用分离的塑模零件来形成组合的H形杆晶片托架。这个设计减少了与单个塑模H形杆托架相连的结构和通用性问题。首先，通过减少塑模零件的体积尺寸，象弯曲那样的结构问题减少了，而且提高了质量、准确性和晶片托架制造的稳定性。而且本设计通过简单地重新设计侧壁或其它元件而不是整个晶片托架能够获得各种规格提高了通用性。所以本发明比以前的单个塑模设计更有效。

本发明的第一方面提供一种用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸轴线的圆形晶片的H形杆晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一H形杆竖直的前端件，其具有左前部、右前部和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以使第一设备连接件压在设备上，并使排列的晶片轴线定位在一垂直方向的位置上；

一对相对应设置的侧壁插入件从前端件向后延伸，所述一对侧壁插入件中的一个从所述左前部延伸，所述一对侧壁插入件中的另一个从右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部，一朝所述相对应的侧壁插入件向内延伸的收敛下部以及许多从上部到下部延伸的齿，这些齿限定了用于支撑和约束所述晶片的槽，多个所述齿和槽在所述上部是垂直的，并且在收敛下部上向内收敛，所述一对侧壁插入件没有非整体的紧固件也固定到所述晶片托架的其余部分；

一在两侧壁插入件的中间延伸并具有平板的竖直后端件；并且

至少所述竖直的前端件，所述成对的侧壁插入件和所述后端件其中之一分离地形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配进入所述晶片托架之中并在那里被固定，其中，所述至少一个分离地形成的元件是被模注并且具有第一耗散特性的特征，并且另一个竖直前端件，所述成对侧壁插入件和所述晶片托架的所述后端件中的至少之一是具有与所述第一耗散特性不相同的第二耗散特性的特征。

优选的是上述晶片托架还包括一外形为一法兰的第二设备连接件，该第二设备连接件与所述后端件分离并相间隔，由此所述晶片托架可以向后旋转以便使所述第二设备连接件压在设备上。

本发明的第二方面提供一种用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的前端件，其具有一左前部、一右前部和第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以使第一设备连接件压在所述设备上，并且将已排列的晶片的轴线定位在竖直的方向上；

一对侧壁插入件，其中一个从所述左前部向后延伸，其中另一个从所述右前部向后延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部，一收敛下部和许多从上部到下部延伸的竖直的槽，其用于支撑和约束所述晶片；

一在两侧壁插入件之间延伸的并具有平板的竖直后端件；并且

所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件，或所述竖直后端件与另外的所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件，或所述竖直后端件分离地形成，并通过一对锁定相应接合部组装进入所述晶片托架之中，由此所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件或所述竖直后端件不需要紧固件而被固定其中，所述紧固件与被固定的所述元件不是一体形成的；并且，

其中，所述分离地形成的前端件的第一和第二部件，所述一对侧壁插入件，或所述后端件是注塑模制的，并由塑料和碳填充物制成的，由此第一部件具有一第一静电耗散性，而第二部件具有第二静电耗散性；并且其中，所述第一静电耗散性是与所述第二静电耗散性是不同的。

本发明的第三方面提供一种用于支撑许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括：

一竖直的具有第一设备连接件的前端件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以压在第一设备连接件上并定位晶片轴线在垂直的方向，一左前部和一右前部；

一竖直后端件，其偏离且平行于所述竖直的前端件；

一对横跨件，其中之一个所述横跨件从每个所述前端件的左前部和右前部延伸到所述后端件，所述前端件、横跨件和后端件全部整体形成，并且限定了一个晶片托架框架；和

一对侧壁插入件，每一个侧壁插入件插入地与一个所述横跨件相邻，由此每一个侧壁插入件从前端件向后延伸，一个侧壁插入件从左前部延伸，一个侧壁插入件从右前部延伸，每一侧壁插入件具有一垂直的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸到下部用于支撑和约束晶片的竖直的槽，其中，所述侧壁插入件没有非整体紧固件也被固定。

本发明的第四方面提供一种用于连接设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的具有第一设备连接件的前端件，第一设备连接件的结构使所述托架向前旋转以便压在所述第一设备连接件上并定位所述晶片轴线在一垂直的方向，所述前端件还具有一左前部和一右前部；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，其中一个侧壁插入件从每个左前部和右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部和许多从上部延伸到下部用于支撑和约束晶片的竖直的槽，每一个侧壁插入件没有非整体的紧固件被固定到所述晶片托架的其余部分；

一竖直后端件，其具有平板和在两侧壁插入件之间延伸的中部；并且

一第二设备连接件与晶片托架的其余部分分离地形成且在竖直的后端件处被装配进入所述晶片托架之中，并且通过一对对应的锁定接合部被固定到所说的晶片托架上。

本发明的第五方面提供一种用于连接设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一前端H形杆，第一设备连接件，一对侧壁插入件，许多用于支撑所述晶片并且固定到所述晶片托架的其余部分上而没有非整体紧固件的槽，一后端件和一与所述后端件分离开的第二设备连接件，每个所述侧壁件带有垂直的上部和收敛的下部，所述第二设备连接件的结构使托架向后旋转以便压在所述第二设备连接件之上，并且将所述晶片定位在一所述托架压在所述前端H形杆第一设备连接件上的转换位置上。

本发明的第六方面提供一种用于支持圆形半导体晶片的晶片托架，每个所述晶片具有边缘部，所述托架包括：

一托架结构件，其包括：

一具有在一左前部和一右前部之间的设备连接件的前端件，每个所述左和右前部具有一上部和一下部；

与所述前端件相对的一后端件，所述后端件具有位于所述后端件的一左后部和一右后部中间的一面板，每个所述左和右后部具有一上部和一下部；

具有一前端和一后端的第一侧壁支撑件，所述前端连接到所述左前部并与该左前部形成为整体，所述后端连接到所述左后部并与该左后部形成为整体；和

具有一前端和一后端的第二侧壁支撑件，所述前端连接到所述右前部并与所述右前部形成为整体，所述后端连接到所述右后部并与所述右后部形成为整体，由此所述前端件、所述后端件和所述第一和第二侧壁支撑件形成为一整体的结构件；和

第一和第二侧壁插入件，其与所述托架结构件分离地形成，并具有用于限制所述晶片边缘部的槽，每一个所述侧壁插入件位于所述前端件和后端件之中间，并沿着一个侧壁支撑件，每个侧壁插入件通过带有每对位于所述侧壁插入件上的接合部的一对协同接合部不需要非一体形成的紧固件而与所述托架结构件锁定地接合，所述接合部协同地位于所述结构件部分上，并且其中每对相应接合部的至少一个是由一凹槽组成的，并且所述相应接合部分是由一锁定突出部组成的。

本发明的第七方面提供一种用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以便使所述第一设备连接件压在设备上并使排列的晶片轴线定在竖直方向的位置上；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，该对侧壁插入件的一个从每个所述左和右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸到下部，用于支撑和约束晶片的竖直的槽；

一竖直后端件，其具有一平板和在两侧壁插入件之间延伸的中部；

所述竖直的前端件，所述一对侧壁和所述后端件中的至少一个元件与晶片托架的其余部分分离形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配进入晶片托架之中，由此，至少一个所述元件不需要外部紧固件而被固定在其中；和

一第二设备连接件，其具有在所述第二设备连接件上的一对相应接合件的一个接合件和在所述后端件上另一个相应接合件；并且

每个所述侧壁插入件包括许多相应锁定突出部，并且所述后端件包括许多相应的凹槽，其构造用于使所述锁定突出部不需要非一体紧固件而被插入在其中。

本发明的第八方面提供一种用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括：

一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以便使所述第一设备连接件压在所述设备上并使排列的晶片轴线定位在竖直方向的位置上；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，一个侧壁插入件从每个所述前部和所述右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部以及许多从上部到下部延伸用于支撑和约束所述晶片的竖直的槽；

一具有平板和在所述一对侧壁插入件之间延伸的中部的竖直后端件；并且，

所述竖直的前端件，所述一对侧壁和所述后端件中的至少一个元件与晶片托架的其余部分分离地形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配入晶片托架之中，由此，至少一个所述元件不需要外部紧固件而被固定在其中；和

一自动提升把手，其具有在该自动提升把手上的一对相应接合件之一，和在所述后端件上的另一对相应接合件；

每个所述侧壁插入件包括许多从每个侧壁插入件中延伸出来的凸块，和在每个第一和第二上侧壁插入件中用于接收所述凸块的许多相应的凹槽。

本发明的第九方面提供一种用于支持具有边缘部的圆形半导体晶片的晶片托架，所述托架，具有一顶部开口和底部开口，并且包括：

一具有H形设备连接部的前端件，其位于一左前部和一右前部之间；

一具有相对于所述前端件并位于一左后部和一右后部之中间的一面板的后端件；和

第一和第二侧壁插入件，其与所述前和后端件分离地形成，所述侧壁插入件具有一前端部、一后端部、一对应于所述晶片的圆形边缘部的弯曲下部和用于限制所述边缘部的许多槽，所述第一和第二侧壁插入件位于所述前端件和所述后端件之中间并不需要与所述侧壁插入件或前和后端件分离的紧固件而被锁定接合在其中。

本发明的一个实施例是一个H形杆晶片托架，它利用接合侧壁的分离的塑模晶片插入塑模晶片托架框。这个晶片托架框具有一前端件，一相对的后端件和侧支撑件或在前端和后端之间延伸的横跨件，为支持侧壁就位提供固定装置。在托架内每一侧壁有许多用于在运输和贮存过程中支撑和约束晶片的槽。前端元件具有一H形杆用于与加工设备连接来保证与晶片的自动插入和移动精确对准。此外，一第二装置连接件设置在后端件上。

本发明的一个特点是提高了晶片托架的制造效率。不用再设计一个整个的晶片托架和加工一个新的塑模，一个晶片托架的规格可以通过设计新的侧壁和把它们插入一通用的晶片托架框，很容易地获得。

本发明的另一特点是实际上提高晶片托架的通用性来降低成本和材料的浪废。比较贵的材料如聚酮醚(PEEK)，理论上适用于托架的与晶片接合的部分，侧壁可以用其它一般的材料如聚丙烯(PP)、聚对苯二甲酸丁二酯(PBT)，而聚四氟乙烯(PTFE)可用于托架框。总之，一旦一组规格被终止，不会报废整个晶片托架，可以不改变托架框模重新设计侧壁来获得新的规格。

本发明的另一个特点是通过大大地降低与由单模制成的晶片托架而导致的弯曲和其它问题，对托架之间质量的一致性提供了很大的保证。

本发明的另一个特点是在检验新侧壁材料和设计上提供了很大的灵活性。检验只通过更换侧壁来完成不需要重塑一个整个的晶片托架。

本发明的另一个特点是提高了晶片托架的结构准确性。通过分离地塑模侧壁，制造者能够更准确和一致地获得需要的规格。

是对于特定的实施例，本发明的另一个特点是在修理晶片托架过程中提供了更大的便利。通过更换侧壁或其它部分可以修理或重做晶片托架。

本发明的另一个特点是侧壁插入件很容易塑成最小弯曲。在托架框架上有一些弯曲，如在框架周边侧壁上的插孔，由侧壁插孔提供的结构支撑适合所说的弯曲。

本发明的另一个特点是另外的机器连接件或带把手的法兰可以固定或变换到晶片托架的后端。带有第二相对机器连接件的晶片托架可放在设备上用于通过晶片从顶边向上或倒转将晶片取回。

本发明实施例中的其它特点和好处是装配的晶片托架在分离的元件的交界处只有一个接触点或线。此外，对于托架的装配不需要额外的紧固件。

附图说明

图1是装配的组合晶片托架的示意图；

图2是带有与加工设备连接的第一端的晶片托架的正视图；

图3是根据本发明一个通用晶片托架框架的示意图；

图4是根据本发明另一个通用晶片托架框架的示意图；

图5是根据本发明一较佳实施例的侧壁的示意图；

图6是根据本发明另一较佳实施例的侧壁的顶部的前侧示意图；

图7是根据本发明另一较佳实施例的侧壁的底部的前侧示意图；

图8是根据本发明一较佳实施例的侧壁的示意图；

图9是根据本发明另一较佳实施例的侧壁的顶部的后侧示意图；

图10是根据本发明另一较佳实施例的侧壁的底部的示意图；

图11是根据本发明一较佳实施例的侧壁的示意图；

图12是根据本发明一较佳实施例的侧壁的顶部的后侧示意图；

图13是根据本发明一较佳实施例的侧壁的底部的后侧示意图；

图14是沿图15的14-14线的横截面图；

图15是装配的组合晶片托架的侧视图；

图16是沿图17的16-16线的横截面图；

图17是装配的组合晶片托架的侧视图；

图18是根据本发明一较佳实施例的装配的组合晶片托架的示意图；

图19是后端件的示意图；

图20是前端件的示意图；

图21是侧壁的示意图；

图22是一变化的框架的示意图；

图23是另一实施例的示意图；

图24是图23实施例的分解图；

图25是第二设备连接件的前视图；

图26是图27的法兰或机器连接件的示意图；

图27是适于固定到图23和24的晶片托架上的法兰或设备连接件的后视图；

图28是沿图26的线28-28的横截面图。

具体实施方式

参见图1和2，示出了一个组合晶片托架的例子，通常设计为30，用于运输和贮存电路半导体晶片晶片W。装置30有几个一般的特征，它主要包括一具有设备连接部分34的第一或H形杆的直立的前端件32，一具有平板38构造的中部区域的第二或直立的后端件36，和带有用于支撑晶片W的槽46的侧壁40。槽46适于在贮存、输送和组合晶片托架30的自动处理过程中支撑和约束晶片晶片W。托架30具有用于容纳晶片的顶部开口42和底部开口44。

图2示出了与加工设备47连接的组合晶片托架30。晶片晶片W插入第一位置槽46¹和侧壁40的槽46¹。槽的数量n、槽距s、第一位置槽46¹相对于基准面A的位置d和侧壁40的最后的槽46ⁿ的位置必须适应加工设备47和加工设备连接件48的要求。

再参见图1和2，晶片托架30还包括一通用的与侧壁插入件41构成整体的托架框架60，并且通常设计成62固定装置在框架60内锁定接合侧壁插入件41。通用托架框架60最好由注模塑料制成，例如普遍使用的在工业中公知的用于晶片托架的聚丙烯。侧壁插入件41可由不同于用于形成通用托架框架60的材料制成。所以，组合晶片托架30可适合各种类型的加工设备，要求不同的第一槽位置46¹、槽的数量n、槽间距s，简单地通过使用合适的侧壁插入件来获得合适的规格。侧壁插入件的各种组合、托架框架的构造和具体固定装置可用来形成组合晶片托架30。

参见图3，表示了对应图1所示整个托架的通用托架框架60，框架60包括具有H形杆64的前端件32，具有平板38的后端件，第一和第二上侧支撑件66，67，第一和第二下侧支撑件68，69，顶部开口42和底部开口44。框架接合部分经常设计成固定装置62的70′，其为槽形。H形杆64用于连接加工设备。上侧支撑件66，67从前端32的左部50和右部51延伸到后端36的左部52的右部53。下侧支撑件68，69也从前端32的左部和右部50，51延伸到后端36的左部和右部52，53。侧支撑66，67，68，69横跨前端件32和后端件36之间的距离并且通常形成矩形封闭的侧壁插入孔，构成第一和第二窗口73，73.5。对应于图3的框架60和固定装置62的侧壁插入件82，102在图5，8和11中表示并且在下面讨论。

参见图14和15，详细表示在下侧支撑件68上的固定装置62。框架接合部70′和固定装置62的对应的侧壁接合部70″包括许多相应的接合部，使得相应的框架60和侧壁插入件41连接容易。图14是图15的截面图，表示框架接合部70′的一部分对应地接合侧壁接合部70″。在这个实施例中，框架接合部70′和固定装置62的侧壁接合部70″包括一搭锁的接头75和凹槽77，及一用于固定机械连接的止挡79，以便在每一固定装置位置来锁定地接合相应的框架和侧壁接合部。

参见图3和图8，图1实施例的固定装置62还包括许多从侧壁插入件82的上侧水平连接板81.5向下延伸的小块81。小块81与上侧支撑件66，67上的凹槽81.7接合。凹槽可以是贯通所说侧支撑件66，67的凹槽或孔。在这个实施例中，当从侧壁插入件的下部延伸的接头70″锁入下侧支撑件68，69上的凹槽77时，上侧水平连接板81.5穿过侧支撑。为在侧壁窗口与侧壁插入件位置连接的锁定接合提供了一个刚性的组合结构。

图4表示具有带一变化的固定装置72′的框架接合部72的通用托架框架60。参见图6，7，9，10，12，13，表示了适合图4所示的框架60的侧壁插入件的一部分。侧壁插入件具有槽46、齿96、上部84、下弯曲部86、上支撑件92、下支撑件94和经常设计成固定装置62的70″的侧壁接合件。侧壁接合件70″大约位于侧壁的顶部98和底部100。

在延长的彼此平行的齿96之间形成槽46，第一边齿96¹和第n边齿96ⁿ、顶边98和底边100形成侧壁边界，在输送、自动处理和贮存过程中晶片插入槽中可靠地固定。槽46的数量n和间距s及第一槽46¹的位置可以根据晶片的种类和所用的加工设备调整。

延长的齿96在上部84垂直设置而在下部86通常向内弯曲。下部86的一个较佳实施例是弯曲形，适合晶片的周边，如图5，8和11所示。在这个实施例中，上支撑件92和下支撑件94保持齿96定位，其带有冲洗槽并且允许液体从里边88和外边90之间通过。

图5和11分别表示侧壁插入件41的另一实施例102的里边88和外边90。侧壁插入件102与图8所示的侧壁实施例82相同，除了位于后边90上整体的上平面区域104和下弯曲区域106，分别替代了上下支撑件92和94。上平面区域104和下弯曲区域106固定延长的齿96和关闭冲洗槽阻止里边88和外边90之间的液体的通道。

图11表示带有固定装置70的侧壁接合部分70″的侧壁插入件102。图12和13表示带有固定装置72的侧壁接合部分72″的侧壁插入件102。

通用托架框架的另一实施例可以有通用框架60的上支撑件66和下支撑件68的一个或另一个和使用如图24所示的固定装置。侧壁260、262结构适合托架框架，通过使用合适的相应的固定装置在框架中锁定接合侧壁插入件。

组合晶片托架的另一个实施例116如图18所示，带有相应的前端件118、后端件120和侧壁插入件122，分别如图20、19、21所示。在这个实施例中，晶片托架116有如下的分离的塑模件：H形杆前端件118；后端120；镜像的一对侧壁插入件122。前端件118具有位于左前部124和右前部126中间的连接部119。连接部119包括H形杆128。具有端板130的后端件120位于左后端部132和右后端部134中间。

侧壁插入件122位于前端件118和后端件120之间并且具有与侧壁插入件41相同的特点，除了如图21所示的前端136、后端部138和相应的直立连接板140。图21表示侧壁插入件122的一个实施例，包括上整个平面区域104和下整个弯曲区域106来封闭冲洗槽和阻止液体在里边88和外边90之间流动。每一侧壁插入件122的前端部136与前端118相应的左前部124或右前部126相连。每一侧壁122的后端部138与后端部120相应的左后部132或右后部134相连。

图18-21的固定装置62利用连接板140固定到左前部124、右前部126、左后部132、右后部134和侧壁插入件122的前后端。参见图18，连接板140可通过铆钉141、分离的焊接件142、螺母和螺钉143或类似的紧固件连接在一起。用在这里的“固定装置”包括这些和其它传统的紧固件。

参见图1，并特别参见点划线，表示发明的一个变化的实施例，利用通用的包括侧壁40和后端件36的框架和具有可插入框架中的前端件32或连接部34。图1的点划线150表示前端32或连接部34和框架152的剩余部分之间的划分。在这个实施例中，各种特点的加工设备连接件48可以通过简单地使用前端32替换的分离模来调整而保持同样的侧壁。如上面描述的固定装置可以用来将前端件32或连接部34固定到托架框架上。

参见图23-28表示本发明的另一实施例。经常用标号230表示的晶片托架具有附加的横跨件234的特征，横跨件234从在左前部238上的前端件236和右前部240延伸。这个晶片托架还包括一顶部开口246、一底部开口248、作为前端件一部分的设备连接件252、设备连接件和从左前部延伸到右前部的H形杆254。侧壁260、262由侧壁插入件268、270组成，每一侧壁插入件具有一基本上竖直的上部272和一集中的下部274。许多竖直槽276为了支撑和约束晶片竖直地向下延伸。

每一侧壁插入件268、270具有一对向下延伸的接头280，它与凹槽282接合作为成对的对应接合部284的一部分。侧壁插入件268、270还包括竖直的接头288，它滑入框架中的槽或凹槽290并与其接合。侧壁插入件可以通过合适的如在接头280上所示的定位止挡292锁合到位。

这个晶片托架的实施例包括一附加的第二设备连接件或法兰300固定到后端件302。这个连接也通过成对的对应接合部306来完成。这样的对应接合部可以设计成接头308，它在后端件302上伸入凹槽或槽310。包括止挡316的有载弹簧锁接头314可以用来锁定第二设备连接件300。所说的止挡316与凹槽320接合，凹槽320通过在第二设备连接件300上的伸出结构322形成。

参见图26、27和28，表示包括把手330的法兰300的另一实施例。这样的把手使得晶片托架的人工拾起便利，或更适合用来作为自动拾起把手。

图23-28的实施例允许侧壁插入件定位在套槽334中并且由于这种插入有效地增加了托架框架的刚度，由于多横跨结构托架框架已经基本上是刚性的。

注意分离形成件的利用允许在变化量中使用碳纤维填充物来提供静电耗散性的变化水平，像对每一特定独立形成元件所希望的那样。例如，机器连接件可具有高的导电性能来排出托架上的电荷，与此相反侧壁具有低的导电性能来减小晶片周围的静放电电势。碳填充物可以是碳纤维填充物或碳粉末。

在这里使用的相应接合部，在几个实施例中没有外部紧固件的情况下提供了固定装置。这使装置便利和使两面之间不是点接触就是线接触的最小接触容易并且允许装置搭锁在一起。所以这种特殊的构造有助于清洁和干燥已装配的晶片托架。

虽然图中所示的是H形杆机器连接件和自动把手，其它的机器连接件例如利用三个环向间隔设置的槽的一般运动连接或其它合适的设备连接件都可使用。

本发明在不偏离精神和必要特征的情况下可以有其它形式的实施例，并且希望本发明的实施例被全面考虑而不受限定，本发明的范围由下面的权利要求来限定而不是前面的说明书。

Claims (18)

1.用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸轴线的圆形晶片的H形杆晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一H形杆竖直的前端件，其具有左前部、右前部和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以使第一设备连接件压在设备上，并使排列的晶片轴线定位在一垂直方向的位置上；

一对相对应设置的侧壁插入件从前端件向后延伸，所述一对侧壁插入件中的一个从所述左前部延伸，所述一对侧壁插入件中的另一个从右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部，一朝所述相对应的侧壁插入件向内延伸的收敛下部以及许多从上部到下部延伸的齿，这些齿限定了用于支撑和约束所述晶片的槽，多个所述齿和槽在所述上部是垂直的，并且在收敛下部上向内收敛，所述一对侧壁插入件没有非整体的紧固件也固定到所述晶片托架的其余部分；

一在两侧壁插入件的中间延伸并具有平板的竖直后端件；并且

至少所述竖直的前端件，所述成对的侧壁插入件和所述后端件其中之一分离地形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配进入所述晶片托架之中并在那里被固定，其中，所述至少一个分离地形成的元件是被模注并且具有第一耗散特性的特征，并且另一个竖直前端件，所述成对侧壁插入件和所述晶片托架的所述后端件中的至少之一是具有与所述第一耗散特性不相同的第二耗散特性的特征。

2.如权利要求1所述的晶片托架，还包括一对从前端件的左前部和右前部延伸到后端件的横跨件，每一横跨件沿所述侧壁插入件之一延伸。

3.如权利要求2所述的晶片托架，其特征在于每一侧壁插入件具有所述一对对应的接合部之一，每一相应的横跨件具有另外一个所述对应接合部，每一对对应的接合部可以在没有所述非整体紧固件的情况下固定在一起，所述紧固件相对于所述横跨件或所述侧壁插入件并不是一整体的。

4.如权利要求1所述的晶片托架，其特征在于进一步包括一外形为一法兰的第二设备连接件，该第二设备连接件与所述后端件分离并相间隔，由此所述晶片托架可以向后旋转以便使所述第二设备连接件压在设备上。

5.如权利要求1所述的晶片托架，还包括一与所述后端件分离并相间隔的第二设备连接件，它在第二设备连接件上具有一对对应的接合件之一且另一对应的接合件在后端件上。

6.如权利要求5所述的晶片托架，其特征在于所述第二设备连接件是一自动提起的把手。

7.如权利要求1所述的晶片托架，其特征在于所述至少一个分离地形成的元件还包括带有静电耗散性的碳纤维填充物，其中另一个分离地形成的元件具有另外的静电耗散性，并且其中所述至少一个分离地形成的元件的静电耗散性与所述另外的静电耗散性是不同的。

8.用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的前端件，其具有一左前部、一右前部和第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以使第一设备连接件压在所述设备上，并且将已排列的晶片的轴线定位在竖直的方向上；

一对侧壁插入件，其中一个从所述左前部向后延伸，其中另一个从所述右前部向后延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部，一收敛下部和许多从上部到下部延伸的竖直的槽，其用于支撑和约束所述晶片；

一在两侧壁插入件之间延伸的并具有平板的竖直后端件；并且

所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件，或所述竖直后端件与另外的所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件，或所述竖直后端件分离地形成，并通过一对锁定相应接合部组装进入所述晶片托架之中，由此所述竖直前端件，所述一对侧壁插入件或所述竖直后端件不需要紧固件而被固定其中，所述紧固件与被固定的所述元件不是一体形成的；并且，

其中，所述分离地形成的前端件的第一和第二部件，所述一对侧壁插入件，或所述后端件是注塑模制的，并由塑料和碳填充物制成的，由此第一部件具有一第一静电耗散性，而第二部件具有第二静电耗散性；并且其中，所述第一静电耗散性是与所述第二静电耗散性是不同的。

9.用于支撑许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括：

一竖直的具有第一设备连接件的前端件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以压在第一设备连接件上并定位晶片轴线在垂直的方向，一左前部和一右前部；

一竖直后端件，其偏离且平行于所述竖直的前端件；

一对横跨件，其中之一个所述横跨件从每个所述前端件的左前部和右前部延伸到所述后端件，所述前端件、横跨件和后端件全部整体形成，并且限定了一个晶片托架框架；和

一对侧壁插入件，每一个侧壁插入件插入地与一个所述横跨件相邻，由此每一个侧壁插入件从前端件向后延伸，一个侧壁插入件从左前部延伸，一个侧壁插入件从右前部延伸，每一侧壁插入件具有一垂直的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸到下部用于支撑和约束晶片的竖直的槽，其中，所述侧壁插入件没有非整体紧固件也被固定。

10.用于连接设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的具有第一设备连接件的前端件，第一设备连接件的结构使所述托架向前旋转以便压在所述第一设备连接件上并定位所述晶片轴线在一垂直的方向，所述前端件还具有一左前部和一右前部；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，其中一个侧壁插入件从每个左前部和右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部和许多从上部延伸到下部用于支撑和约束晶片的竖直的槽，每一个侧壁插入件没有非整体的紧固件被固定到所述晶片托架的其余部分；

一竖直后端件，其具有平板和在两侧壁插入件之间延伸的中部；并且

一第二设备连接件与晶片托架的其余部分分离地形成且在竖直的后端件处被装配进入所述晶片托架之中，并且通过一对对应的锁定接合部被固定到所说的晶片托架上。

11.如权利要求10所述的晶片托架，其特征在于每对侧壁插入件被组装进入所述晶片托架之中。

12.如权利要求10所述的晶片托架，其特征在于所述第二设备连接件的结构使所述晶片托架向后旋转以便压在第二设备连接件上并定位晶片轴线在垂直方向上，由此当所述晶片压在第一设备连接件上时所述晶片从其位置上被转换。

13.用于连接设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，所述晶片托架具有一前端H形杆，第一设备连接件，一对侧壁插入件，许多用于支撑所述晶片并且固定到所述晶片托架的其余部分上而没有非整体紧固件的槽，一后端件和一与所述后端件分离开的第二设备连接件，每个所述侧壁件带有垂直的上部和收敛的下部，所述第二设备连接件的结构使托架向后旋转以便压在所述第二设备连接件之上，并且将所述晶片定位在一所述托架压在所述前端H形杆第一设备连接件上的转换位置上。

14.如权利要求13所述的晶片托架，其特征在于所述第二设备连接件通过一对锁定接合部装配进入所述托架之中，由此所述第二设备连接件不需要紧固件而被固定到所述晶片托架上，所述紧固件是与所述第二设备连接件和所述后端件非一体形成的并且分离开的。

15.用于支持圆形半导体晶片的晶片托架，每个所述晶片具有边缘部，所述托架包括：

一托架结构件，其包括：

一具有在一左前部和一右前部之间的设备连接件的前端件，每个所述左和右前部具有一上部和一下部；

与所述前端件相对的一后端件，所述后端件具有位于所述后端件的一左后部和一右后部中间的一面板，每个所述左和右后部具有一上部和一下部；

具有一前端和一后端的第一侧壁支撑件，所述前端连接到所述左前部并与该左前部形成为整体，所述后端连接到所述左后部并与该左后部形成为整体；和

具有一前端和一后端的第二侧壁支撑件，所述前端连接到所述右前部并与所述右前部形成为整体，所述后端连接到所述右后部并与所述右后部形成为整体，由此所述前端件、所述后端件和所述第一和第二侧壁支撑件形成为一整体的结构件；和

第一和第二侧壁插入件，其与所述托架结构件分离地形成，并具有用于限制所述晶片边缘部的槽，每一个所述侧壁插入件位于所述前端件和后端件之中间，并沿着一个侧壁支撑件，每个侧壁插入件通过带有每对位于所述侧壁插入件上的接合部的一对协同接合部不需要非一体形成的紧固件而与所述托架结构件锁定地接合，所述接合部协同地位于所述结构件部分上，并且其中每对相应接合部的至少一个是由一凹槽组成的，并且所述相应接合部分是由一锁定突出部组成的。

16.用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口，并且包括：

一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以便使所述第一设备连接件压在设备上并使排列的晶片轴线定在竖直方向的位置上；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，该对侧壁插入件的一个从每个所述左和右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部以及许多从上部延伸到下部，用于支撑和约束晶片的竖直的槽；

一竖直后端件，其具有一平板和在两侧壁插入件之间延伸的中部；

所述竖直的前端件，所述一对侧壁和所述后端件中的至少一个元件与晶片托架的其余部分分离形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配进入晶片托架之中，由此，至少一个所述元件不需要外部紧固件而被固定在其中；和

一第二设备连接件，其具有在所述第二设备连接件上的一对相应接合件的一个接合件和在所述后端件上另一个相应接合件；并且

每个所述侧壁插入件包括许多相应锁定突出部，并且所述后端件包括许多相应的凹槽，其构造用于使所述锁定突出部不需要非一体紧固件而被插入在其中。

17.用于接合设备和容纳许多轴向排列的具有水平延伸的晶片轴线的圆形晶片的晶片托架，排列的晶片托架具有一顶部开口和一底部开口并且包括：

一竖直的具有左前部和右前部的前端件和一第一设备连接件，第一设备连接件的结构使托架向前旋转以便使所述第一设备连接件压在所述设备上并使排列的晶片轴线定位在竖直方向的位置上；

一对侧壁插入件从前端件向后延伸，一个侧壁插入件从每个所述前部和所述右前部延伸，每一侧壁插入件具有一直立的上部和一收敛下部以及许多从上部到下部延伸用于支撑和约束所述晶片的竖直的槽；

一具有平板和在所述一对侧壁插入件之间延伸的中部的竖直后端件；并且，

所述竖直的前端件，所述一对侧壁和所述后端件中的至少一个元件与晶片托架的其余部分分离地形成，并且通过一对相应的锁定接合部装配入晶片托架之中，由此，至少一个所述元件不需要外部紧固件而被固定在其中；和

一自动提升把手，其具有在该自动提升把手上的一对相应接合件之一，和在所述后端件上的另一对相应接合件；

每个所述侧壁插入件包括许多从每个侧壁插入件中延伸出来的凸块，和在每个第一和第二上侧壁插入件中用于接收所述凸块的许多相应的凹槽。

18.用于支持具有边缘部的圆形半导体晶片的晶片托架，所述托架，具有一顶部开口和底部开口，并且包括：

一具有H形设备连接部的前端件，其位于一左前部和一右前部之间；

一具有相对于所述前端件并位于一左后部和一右后部之中间的一面板的后端件；和

第一和第二侧壁插入件，其与所述前和后端件分离地形成，所述侧壁插入件具有一前端部、一后端部、一对应于所述晶片的圆形边缘部的弯曲下部和用于限制所述边缘部的许多槽，所述第一和第二侧壁插入件位于所述前端件和所述后端件之中间并不需要与所述侧壁插入件或前和后端件分离的紧固件而被锁定接合在其中。

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