CN118159838A - 零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置 - Google Patents

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CN118159838A CN202280071601.4A CN202280071601A CN118159838A CN 118159838 A CN118159838 A CN 118159838A CN 202280071601 A CN202280071601 A CN 202280071601A CN 118159838 A CN118159838 A CN 118159838A
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牧野大志
伊藤竜太
坂田笃哉
德武太郎
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Abstract

零件的检查方法包括：流体供给步骤，向在内部具有冷却流路的零件的该冷却流路供给流体；加热步骤，对所述零件的表面进行加热；及测量步骤，测量通过所述加热步骤被加热的所述零件的所述表面的温度。

Description

零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置
技术领域
本发明涉及一种零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置。
本申请主张基于2021年11月15日于日本申请的日本专利申请2021-185755号的优先权，并将其内容援用于此。
背景技术
例如，专利文献1中公开了一种能够通过对涡轮零件(以下，称为零件)的表面照射光脉冲而对该涡轮零件进行加热且根据由加热引起的温度响应来发现极表面的异常(缺陷)的技术。
以往技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公表2020-518827号公报
发明内容
发明要解决的技术课题
在专利文献1中记载的技术中，存在如下课题：在形成在零件内部的用于冷却零件的流体所流过的冷却流路存在异常的情况下，难以发现该异常。
本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供一种能够发现形成在零件内部的冷却流路内的异常的零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置。
用于解决技术课题的手段
为了解决上述课题，本发明所涉及的零件的检查方法包括：流体供给步骤，向在内部具有冷却流路的零件的该冷却流路供给流体；加热步骤，对所述零件的表面进行加热；及测量步骤，测量通过所述加热步骤被加热的所述零件的所述表面的温度。
并且，本发明所涉及的零件的制造方法包括：制造步骤，制造在内部具有冷却流路的零件；及上述零件的检查方法，检查通过所述制造步骤制造出的所述零件。
并且，本发明所涉及的零件的检查装置具备：流体供给部，向在内部具有冷却流路的零件的该冷却流路供给流体；加热部，对所述零件的表面进行加热；及测量部，测量被所述加热部加热的所述零件的所述表面的温度。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够发现形成在零件内部的冷却流路内的异常的零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的零件的检查装置的结构的示意图。
图2是表示本发明的实施方式所涉及的加热用灯所照射的照射光的波长与光谱发射率(光谱能量)之间的关系的曲线图。
图3是本发明的实施方式所涉及的测量装置的功能框图。
图4是表示本发明的实施方式所涉及的零件的冷却流路存在异常时的零件的表面的温度分布的示意图。
图5是表示本发明的实施方式所涉及的零件的制造方法的流程图。
图6是本发明的实施方式所涉及的计算机的硬件结构图。
具体实施方式
以下，根据附图对本发明的实施方式所涉及的零件的检查装置进行说明。
(检查装置)
检查装置为用于发现形成在零件(样本)上的用于冷却该零件的流体所流通的冷却流路上发生的异常的装置。本实施方式中的零件为构成燃气涡轮机的燃气涡轮机用高温零件。
作为燃气涡轮机用高温零件，可以例示涡轮叶片(固定叶片和转动叶片)、分割环及隔热环等。在本实施方式中，作为燃气涡轮机用高温零件，以分割环为一例进行说明。
如图1所示，检查装置1具备流体供给部10、加热部20及测量部30。
(流体供给部)
流体供给部10向形成在零件W的内部的用于冷却零件W的冷却流路Wp供给流体F。本实施方式中的流体F例如采用空气。
流体供给部10具有腔室11、压缩机12、供给管道13及阀14。
(腔室)
腔室11为用于向零件W供给流体F的处理室。腔室11上载置有零件W，并且该零件W固定于腔室11。即，腔室11从下方(上下方向Dv上的下方侧)支承零件W。腔室11呈不具有顶棚部分的箱形形状。即，腔室11具有朝向上方(上下方向Dv上的上方侧)开口的开口部分。
本实施方式中的上下方向Dv(图1中的上下方向)为与重力方向一致的方向。朝向上下方向Dv上的上方侧的腔室11的上述开口部分为支承零件W的零件支承部11a。通过将零件W载置于该零件支承部11a上，在腔室11与零件W之间形成空间。
在此，零件W具有：表面Ws1(检查面)，载置于腔室11上时朝向上下方向Dv上的上方侧，并且为检查装置1的检查对象；及非检查面Ws2，位于比该表面Ws1更靠上下方向Dv上的下方侧，并且被腔室11的零件支承部11a支承。表面Ws1和非检查面Ws2形成零件W的外壳，并且非检查面Ws2与表面Ws1连接。
通过零件W的非检查面Ws2的一部分与腔室11的零件支承部11a接触，由零件W的非检查面Ws2和腔室11的内表面形成与大气气密隔离的空间。在本实施方式中，将该空间称为供给空间R。供给空间R是为了向零件W的冷却流路Wp供给冷却用流体F而以正压(比大气压高的气压)的状态暂时储存该流体F的空间。
腔室11上形成有从腔室11的外侧贯穿至内侧的孔部11b。冷却用流体F通过该孔部11b从腔室11的外部导入至供给空间R内。
在此，零件W在内部具有冷却用流体F可流通的沿着水平方向延伸的多个冷却流路Wp。本实施方式中的多个冷却流路Wp在水平方向上等间隔排列。冷却流路Wp具有：流体入口部Wp1，向供给空间R内开口；中间部Wp2，供从流体入口部Wp1流入的流体F流通；及流体出口部Wp3，向大气开口，并且能够向大气排出经过中间部Wp2后的流体F。
(压缩机)
压缩机12为压缩从外部吸入的流体F而将该流体F的压力升高至规定的压力且将压力升高的流体F压送至腔室11内的供给空间R内的装置。
(供给管道)
供给管道13为连接腔室11和压缩机12且供流体F流过内部的管。冷却用流体F通过该供给管道13从压缩机12导入至供给空间R内。
(阀)
阀14为用于调整从压缩机12朝向腔室11流过供给管道13的流体F的压力的阀体。阀14设置于供给管道13的中途。
因此，通过供给管道13从压缩机12供给至供给空间R内的流体F经由零件W中的冷却流路Wp的流体入口部Wp1流入中间部Wp2。流入冷却流路Wp的中间部Wp2的流体F在流过中间部Wp2冷却零件W之后经由流体出口部Wp3排出至大气。
(加热部)
加热部20对载置于流体供给部10的腔室11上的零件W的表面Ws1进行加热。
加热部20具有加热用灯21和滤光片22。
(加热用灯)
加热用灯21为能够对零件W的表面Ws1照射具有特定的光谱分布的照射光L的卤素灯。本实施方式中的加热用灯21所照射的照射光L的光谱分布表现出光谱发射率(％)在特定的波长(μm)下达到峰值的性质。如图2所示，本实施方式中的照射光L在1.0扯m附近的波长带下具有光谱发射率(光谱能量)的峰值P。
本实施方式中的加热用灯21配置于比零件W的表面Ws1更靠上下方向Dv上的上方侧。以下，将加热用灯21朝向零件W的表面Ws1照射的方向称为“照射方向Di”。因此，照射方向Di的一侧为从加热用灯21朝向零件W的表面Ws1的方向，照射方向Di的另一侧为从与照射方向Di的一侧相反的一侧的零件W的表面Ws1朝向加热用灯21的方向。本实施方式中的照射方向Di与上下方向Dv一致。
(滤光片)
滤光片22为不使特定的波长带的光透射(截止特定的波长带的光)的石英玻璃(熔融石英)。滤光片22由石英(SiO2)形成。本实施方式中的滤光片22具有不使加热用灯21照射于零件W的表面Ws1的照射光L中3.0μm以上的波长成分的照射光L透射的性质。
滤光片22以从上下方向Dv上的上方侧覆盖零件W的表面Ws1的方式配置于零件W的表面Ws1与加热用灯21之间。即，滤光片22在照射方向Di上介于加热用灯21与零件W之间。滤光片22呈平板状，并且具有朝向上下方向Dv上的上方侧(加热用灯21侧)的第一面22a和朝向与该第一面22a相反的一侧的上下方向Dv上的下方侧(零件W侧)的第二面22b。
滤光片22的第一面22a及第二面22b的面积形成为大于零件W的表面Ws1的面积。滤光片22的上下方向Dv上的厚度为15mm～30mm。由此，滤光片22能够从自第一面22a入射的照射光L仅截止上述波长带的照射光成分，并且从第二面22b向表面Ws1射出截止了上述波长带的照射光成分的照射光L。
(测量部)
测量部30测量被加热部20加热的零件W的表面Ws1的温度。
测量部30具有红外线摄像机31和测量装置32。
(红外线摄像机)
红外线摄像机31拍摄特定的波长带下的光。本实施方式中的红外线摄像机31能够接收并拍摄(图像处理)3.0μm～17μm的波长带下的光。因此，作为本实施方式中的红外线摄像机31的检测对象的波长带大于加热用灯21的照射光L的光谱能量达到峰值的波长。
红外线摄像机31配置成能够将零件W的表面Ws1包含在视角内(拍摄范围内)。因此，红外线摄像机31通过接收从零件W的表面Ws1发射的红外线(光)，能够获取表示表面Ws1的温度分布的温度分布图像作为数据。
(测量装置)
测量装置32为从红外线摄像机31获取通过由红外线摄像机31拍摄零件W的表面Ws1而获取到的温度分布图像且判定该温度分布图像是否存在异常的装置。测量装置32经由缆线等与红外线摄像机31连接。
在此，有时会在零件W的冷却流路Wp内产生凸块状的息肉等，导致一个冷却流路Wp的一部分或全部被该息肉堵塞。本实施方式中的异常表示由该息肉引起的温度分布图像中的温度分布的紊乱的起始点(起点)。换言之，温度分布图像中的异常表示冷却流路Wp中的息肉的产生部位(产生位置)。
如图3所示，测量装置32具有温度分布获取部32a、异常判定部32b及存储部32c。
温度分布获取部32a获取由红外线摄像机31获取到的温度分布图像。
异常判定部32b根据由温度分布获取部32a获取到的温度分布图像来判定零件W的表面Ws1的温度分布是否存在异常。
异常判定部32b例如比较预先存储于存储部32c中的表示零件W的表面Ws1的理想的温度分布的样品图像和获取到的温度分布图像。具体而言，异常判定部32b例如取基于温度分布图像的各像素的辐射亮度的温度与基于样品图像的各像素的辐射亮度的温度的差分。异常判定部32b在该差分超过规定的阈值的情况下判定为存在异常，并且判定为与图像中的超过阈值的像素对应的冷却流路Wp存在异常。
在此，例如，如图4所示，在零件W内部的冷却流路Wp存在异常的情况下，会以温度分布图像中的特定的部位A为起始点产生不自然(不规则)的温度分布。在该情况下，温度分布图像中的特定的部位A的温度与样品图像中的与特定的部位A对应的部位的温度的差分会超过规定的阈值。
(零件的制造方法)
以下，对本实施方式中的零件W的制造方法进行说明。
如图5所示，零件W的制造方法包括制造步骤S0和零件W的检查方法Si。
(制造步骤)
在制造步骤S0中，制造在内部具有冷却流路Wp的零件W。具体而言，零件W通过3D打印机的增材制造(AM；Additive Manufacturing)等制造。
(零件的检查方法)
零件W的检查方法Si包括流体供给步骤S1、加热步骤S2、测量步骤S3及判定步骤S4。
在流体供给步骤S1中，向形成在零件W的内部的冷却流路Wp供给流体F。具体而言，通过驱动压缩机12而使流体F在零件W的冷却流路Wp内持续流通。
在加热步骤S2中，在流体供给步骤S1之后对零件W的表面Ws1进行加热。具体而言，通过驱动加热用灯21，照射光L照射于零件W，从而对零件W的表面Ws1进行加热。
在测量步骤S3中，测量通过加热步骤S2被加热的零件W的表面Ws1的温度。具体而言，由红外线摄像机31获取零件W的表面Ws1的温度分布图像，并由测量装置32根据该温度分布图像来测量零件W的表面Ws1的温度分布。
在判定步骤S4中，根据通过测量步骤S3测得的温度分布图像来判定冷却流路Wp是否存在异常。具体而言，测量装置32使用样品图像来判定温度分布图像是否存在异常。
通过历经上述步骤，可制造完成了冷却流路Wp内是否存在异常的检查的零件W。
(作用效果)
在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，向冷却流路Wp供给流体F，同时测量被加热的零件W的表面Ws1。由此，能够测量被流体F冷却的零件W的表面Ws1的温度，因此在冷却流路Wp内存在异常的情况下，能够发现伴随该异常而产生的零件W的表面Ws1的温度的异常。因此，能够发现形成在零件W内部的冷却流路Wp内的异常。
并且，在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，根据测得的零件W的表面Ws1的温度来判定冷却流路Wp是否存在异常，因此无需直接测量冷却流路Wp内的温度。即，通过测量零件W的表面Ws1的温度，能够间接判定是否存在冷却流路Wp内的异常。因此，在检查零件W的冷却流路Wp内部时不会使用夹具等，因此能够通过简单的方法来进行冷却流路Wp内是否存在异常的检查。
并且，在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，零件W为燃气涡轮机用高温零件，因此能够获得确保了冷却流路Wp没有异常的燃气涡轮机用高温零件。
并且，在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，使用加热用灯21的照射光L对零件W的表面Ws1进行加热，并且使用红外线摄像机31来测量零件W的表面Ws1的温度分布。由此，能够通过具体结构发挥上述作用效果。
并且，在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，作为红外线摄像机31的检测对象的波长带大于照射光L的光谱能量达到峰值的波长，因此能够抑制红外线摄像机31直接受到照射光L的热的影响。因此，在测量零件W的表面Ws1的温度时，能够抑制测量精度劣化。
并且，在上述实施方式所涉及的零件W的检查方法Si中，滤光片22截止照射光L的作为红外线摄像机31的检测对象的波长带的波长，因此能够进一步抑制红外线摄像机31直接受到照射光L的热的影响。因此，在测量零件W的表面Ws1的温度时，能够进一步抑制测量精度劣化。
[其他实施方式]
以上，参考附图对本发明的实施方式进行了详细叙述，但具体结构并不限于实施方式的结构，可以在不脱离本发明的宗旨的范围内进行结构的附加、省略、替换及其他变更。并且，本发明仅受权利要求书的限定，而不受实施方式的限定。
另外，图6是表示本实施方式所涉及的计算机1100的结构的硬件结构图。
计算机1100具备处理器1110、主存储器1120、存储装置1130、接口1140。
上述测量装置32安装于计算机1100。并且，上述各处理部的动作以程序的形式存储于存储装置1130中。处理器1110从存储装置1130读出程序，并在主存储器1120中展开，并且按照该程序执行上述处理。并且，处理器1110根据程序在主存储器1120中确保与上述各存储部32c对应的存储区域。
程序可以用于实现使计算机1100发挥的一部分功能。例如，程序也可以通过与已存储于存储装置1130中的其他程序组合或与安装于其他装置中的其他程序组合来发挥功能。并且，计算机1100也可以除上述结构以外还具备PLD(Programmable Logic Device(可编程逻辑器件))等定制LSI(Large Scale Integrated Circuit(大规模集成电路))，或者具备PLD(Programmable Logic Device(可编程逻辑器件))等定制LSI(Large ScaleIntegrated Circuit(大规模集成电路))来代替上述结构。作为PLD的例子，可举出PAL(Programmable Array Logic(可编程阵列逻辑))、GAL(Generic Array Logic(通用阵列逻辑))、CPLD(Complex Programmable Logic Device(复杂可编程逻辑器件))、FPGA(FieldProgrammable Gate Array(现场可编程门阵列))。在该情况下，由处理器1110实现的功能的一部分或全部可以由该集成电路来实现。
作为存储装置1130的例子，可举出磁盘、光磁盘、半导体存储器等。存储器1130可以为与计算机1100的总线直接连接的内部介质，也可以为经由接口1140或通信线路与计算机1100连接的外部介质。并且，在该程序通过通信线路分发到计算机1100的情况下，可以由接收分发的计算机1100在主存储器1120中展开该程序来执行上述处理。在上述实施方式中，存储装置1130为非临时性的有形存储介质。
并且，该程序也可以用于实现上述功能的一部分。进而，该程序也可以为与已存储于存储装置1130中的其他程序组合来实现上述功能的所谓的差分文件(差分程序)。
并且，上述实施方式的制造步骤S0可以包括在零件W的表面Ws1上形成辐射特性高于该表面Ws1的覆膜(涂层剂)的覆膜形成工艺。具体而言，在覆膜形成工艺中，采用黑色涂料等作为覆膜。
由此，加热部20的加热用灯21能够对零件W的表面Ws1有效地进行加热，因此测量部30的红外线摄像机31能够获取更清晰的温度分布图像。
因此，判定部能够更精确地判定冷却流路Wp是否存在异常。另外，在上述覆膜形成工艺中采用的覆膜也可以不由黑色涂料形成。即，作为覆膜的材料的涂料的颜色并无限定。
并且，在上述实施方式的零件W的检查方法Si中，在流体供给步骤S1之后执行了对零件W的表面Ws1进行加热的加热步骤S2，但并不限定于该顺序，也可以在加热步骤S2之后执行流体供给步骤S1。
并且，上述实施方式中的测量部30的测量装置32还可以包括显示由红外线摄像机31获取到的温度分布图像的温度分布显示部。此时，例如，可以通过作业人员的肉眼来进行温度分布显示部所显示的温度分布图像与限度样本等之间的比较，并由作业人员判定零件W的冷却流路Wp是否存在异常。
并且，在上述实施方式中，零件W以表面Ws1朝向上下方向Dv上的上方侧的方式载置于腔室11，但并不限定于该结构。例如，也可以使零件W以表面Ws1相对于水平方向倾斜的状态或朝向水平方向的状态固定于腔室11。
并且，上述实施方式中的滤光片22也可以不形成为平板状。滤光片22也可以呈圆盘状等。并且，滤光片22的第一面22a及第二面22b的面积也可以形成为与零件W的表面Ws1的面积相同的大小。并且，滤光片22的上下方向Dv上的厚度更优选形成为20mm～30mm。
并且，上述实施方式中的零件W也可以不通过增材制造(AM)形成。零件W例如也可以通过使用模具的铸造等形成。并且，零件W的冷却流路Wp也可以通过放电加工等形成。
并且，上述实施方式中的测量装置32经由缆线等与红外线摄像机31连接，但并不限定于该结构，测量装置32和红外线摄像机31也可以无线连接。
并且，上述实施方式中的异常判定部32b取基于温度分布图像的各像素的辐射亮度的温度与基于样品图像的各像素的辐射亮度的温度的差分，但并不限定于该结构。
也可以将温度分布图像及样品图像分别分割为多个网格(区域)，并由异常判定部32b比较通过针对各网格所具有的多个像素各自的温度的统计处理等得到的数据彼此的差分等。
此时，异常判定部32b比较温度分布图像及样品图像中的相互对应的网格彼此的数据。在该情况下，异常判定部32b在该差分超过规定的阈值的情况下判定为存在异常，并且判定为与图像中的超过阈值的网格对应的冷却流路Wp的区域存在异常即可。
并且，在实施方式中，作为零件，以在内部具有冷却流路Wp的分割环为一例进行了说明，但并不限定于分割环。
零件W也可以为作为燃气涡轮机叶片的固定叶片或转动叶片所具有的叶片体。叶片体截面呈叶片状，并且在内部具有流体F可流通的冷却流路Wp。作为检查对象的表面Ws1例如为作为连接前缘和后缘的凹曲面的正压面(腹面)或作为凸曲面的负压面(背面)。
并且，零件W也可以为作为燃气涡轮机叶片的固定叶片或转动叶片所具有的护罩。护罩在内部具有流体F可流通的冷却流路Wp。并且，零件W也可以为作为燃气涡轮机叶片的转动叶片所具有的平台。平台在内部具有流体F可流通的冷却流路Wp。在护罩或平台为零件W的情况下，作为检查对象的表面Ws1例如为气体通过面。
并且，零件W也可以为在内部具有冷却流路Wp的隔热环。
并且，零件W也可以为在内部具有冷却流路Wp的燃烧器用尾筒。
并且，零件W并不限定于构成燃气涡轮机的燃气涡轮机用高温零件。零件W例如为构成蒸汽涡轮或压缩机等其他旋转机械的零件中在内部具有冷却用流体F可流通的冷却流路Wp的旋转机械用高温零件即可。
[附记]
实施方式中记载的零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置例如可如下理解。
(1)第1方式所涉及的零件W的检查方法Si包括：流体供给步骤S1，向在内部具有冷却流路Wp的零件W的该冷却流路Wp供给流体F；加热步骤S2，对所述零件W的表面Ws1进行加热；及测量步骤S3，测量通过所述加热步骤S2被加热的所述零件W的所述表面Ws1的温度。
由此，能够测量被流体F冷却的零件W的表面Ws1的温度，因此在冷却流路Wp内存在异常的情况下，能够发现伴随该异常而产生的零件W的表面Ws1的温度的异常。
(2)第2方式所涉及的零件W的检查方法Si在(1)的零件W的检查方法Si中，还可以包括判定步骤S4，所述判定步骤S4根据通过所述测量步骤S3测得的所述温度来判定所述冷却流路Wp是否存在异常。
由此，无需直接测量冷却流路Wp内的温度。即，通过测量零件W的表面Ws1的温度，能够间接判定是否存在冷却流路Wp内的异常。
(3)第3方式所涉及的零件W的检查方法Si在(1)或(2)的零件W的检查方法Si中，所述零件W可以为旋转机械用高温零件。
由此，能够获得确保了冷却流路Wp没有异常的旋转机械用高温零件。
(4)第4方式所涉及的零件W的检查方法Si在(3)的零件W的检查方法Si中，所述旋转机械用高温零件可以为燃气涡轮机用高温零件。
由此，能够获得确保了冷却流路Wp没有异常的燃气涡轮机用高温零件。
(5)第5方式所涉及的零件W的检查方法Si在(1)至(4)中任一项的零件W的检查方法Si中，可以在所述加热步骤S2中，使用加热用灯21的照射光L对所述零件W的所述表面Ws1进行加热，在所述测量步骤S3中，使用红外线摄像机31来测量所述表面Ws1的温度分布。
由此，能够通过具体结构发挥上述作用效果。
(6)第6方式所涉及的零件W的检查方法Si在(5)的零件W的检查方法Si中，作为所述红外线摄像机31的检测对象的波长带可以大于所述加热用灯21的所述照射光L的光谱能量达到峰值P的波长。
由此，能够抑制红外线摄像机31直接受到照射光L的热的影响。
(7)第7方式所涉及的零件W的检查方法Si在(6)的零件W的检查方法Si中，可以在所述加热步骤S2中，使用截止所述加热用灯21的所述照射光L的作为所述红外线摄像机31的所述检测对象的波长带的波长的滤光片22。
由此，能够进一步抑制红外线摄像机31直接受到照射光L的热的影响。
(8)第8方式所涉及的零件W的检查方法Si在(5)至(7)中任一项的零件W的检查方法Si中，所述零件W的所述表面Ws1上可以形成有辐射特性高于所述零件W的所述表面Ws1的覆膜。
由此，加热部20的加热用灯21能够对零件W的表面Ws1有效地进行加热，因此测量部30的红外线摄像机31能够获取更清晰的温度分布图像。
(9)第9方式所涉及的零件W的制造方法包括：制造步骤S0，制造在内部具有冷却流路Wp的零件W；及(1)至(8)中任一项的零件W的检查方法Si，检查通过所述制造步骤S0制造出的所述零件W。
(10)第10方式所涉及的零件W的检查装置1具备：流体供给部10，向在内部具有冷却流路Wp的零件W的该冷却流路Wp供给流体F；加热部20，对所述零件W的表面Ws1进行加热；及测量部30，测量被所述加热部20加热的所述零件W的所述表面Ws1的温度。
产业上的可利用性
根据本发明，能够提供一种能够发现形成在零件内部的冷却流路内的异常的零件的检查方法、零件的制造方法及零件的检查装置。
符号说明
1-检查装置，10-流体供给部，11-腔室，11a-零件支承部，11b-孔部，12-压缩机，13-供给管道，14-阀，20-加热部，21-加热用灯，22-滤光片，22a-第一面，22b-第二面，30-测量部，31-红外线摄像机，32-测量装置，32a-温度分布获取部，32b-异常判定部，32c-存储部，1100-计算机，1110-处理器，1120-主存储器，1130-存储装置，1140-接口，A-特定的部位，Di-照射方向，Dv-上下方向，F-流体，L-照射光，P-峰值，R-供给空间，S0-制造步骤，S1-流体供给步骤，S2-加热步骤，S3-测量步骤，S4-判定步骤，Si-检查方法，W-零件，Wp-冷却流路，Wp1-流体入口部，Wp2-中间部，Wp3-流体出口部，Ws1-表面，Ws2-非检查面。

Claims (10)

1.一种零件的检查方法，其包括：
流体供给步骤，向在内部具有冷却流路的零件的该冷却流路供给流体；
加热步骤，对所述零件的表面进行加热；及
测量步骤，测量通过所述加热步骤被加热的所述零件的所述表面的温度。
2.根据权利要求1所述的零件的检查方法，其还包括判定步骤，
所述判定步骤根据通过所述测量步骤测得的所述温度来判定所述冷却流路是否存在异常。
3.根据权利要求1或2所述的零件的检查方法，其中，
所述零件为旋转机械用高温零件。
4.根据权利要求3所述的零件的检查方法，其中，
所述旋转机械用高温零件为燃气涡轮机用高温零件。
5.根据权利要求1或2所述的零件的检查方法，其中，
在所述加热步骤中，使用加热用灯的照射光对所述零件的所述表面进行加热，
在所述测量步骤中，使用红外线摄像机来测量所述表面的温度分布。
6.根据权利要求5所述的零件的检查方法，其中，
作为所述红外线摄像机的检测对象的波长带大于所述加热用灯的所述照射光的光谱能量达到峰值的波长。
7.根据权利要求6所述的零件的检查方法，其中，
在所述加热步骤中，使用截止所述加热用灯的所述照射光的作为所述红外线摄像机的所述检测对象的波长带的波长的滤光片。
8.根据权利要求5所述的零件的检查方法，其中，
所述零件的所述表面上形成有辐射特性高于所述零件的所述表面的覆膜。
9.一种零件的制造方法，其包括：
制造步骤，制造在内部具有冷却流路的零件；及
权利要求1或2所述的零件的检查方法，检查通过所述制造步骤制造出的所述零件。
10.一种零件的检查装置，其具备：
流体供给部，向在内部具有冷却流路的零件的该冷却流路供给流体；
加热部，对所述零件的表面进行加热；及
测量部，测量被所述加热部加热的所述零件的所述表面的温度。
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