CN118008953A - 静压线轨 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种静压线轨，该静压线轨包括：导轨、滑块以及节流器。其中，滑块可滑动地设置在导轨上，且滑块与导轨之间设置有静压腔。节流器设置在滑块上。节流器包括：主体、盖板以及薄膜片。其中，主体具有第一侧面和第二侧面，主体的第一侧面开设有凹槽，凹槽的中央设置有节流凸台，节流凸台上设置有第一通道，第一通道从第一侧面延伸至第二侧面，主体的第二侧面上设置有凹陷部，凹陷部与导轨围设形成供油通道，主体还设置有供油口、第一节流通道和第二节流通道。盖板盖设于主体的第一侧面上。薄膜片设置于盖板与主体之间。本申请解决了现有技术中静压线轨无法根据滑块上的负载自动调节滑块与导轨之间的油膜刚度的问题。

Description

静压线轨

技术领域

本申请涉及超精密加工机床部件技术领域，具体而言，涉及一种静压线轨。

背景技术

静压线轨是一种利用液体静压力提供支承的高精度、高稳定性做直线运动的精密设备核心部件。静压线轨包括滑块与导轨，滑块设置在导轨上，且滑块与导轨之间存在油腔，当对油腔供油时，通过稳定的油液流动在导轨与滑块之间形成油膜，使得滑块在滑移过程中具有极低的摩擦和磨损，从而实现高精度的运动控制。基于液体静压线轨各方面的优越性，其在精密制造、检测与测量、大型科学设备等众多领域发挥着重要作用，为各种高精度直线运动设备提供了可靠的运动控制解决方案。

然而，现有的静压线轨无法根据滑块上的负载自动调节滑块与导轨之间的油膜刚度。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种静压线轨，以至少解决现有技术中静压线轨无法根据滑块上的负载自动调节滑块与导轨之间的油膜刚度的问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种静压线轨，包括：

导轨；

滑块，所述滑块可滑动地设置在所述导轨上，且所述滑块与所述导轨之间设置有静压腔；

节流器，所述节流器设置在所述滑块上，所述节流器包括：

主体，所述主体具有第一侧面和第二侧面，所述主体的第一侧面开设有凹槽，所述凹槽的中央设置有节流凸台，所述节流凸台上设置有第一通道，所述第一通道从所述第一侧面延伸至所述第二侧面，所述主体的第二侧面上设置有凹陷部，所述凹陷部与所述导轨围设形成供油通道，所述主体还设置有供油口、第一节流通道和第二节流通道，所述供油口与所述供油通道连通以及所述第二节流通道连通；

盖板，所述盖板盖设于所述主体的第一侧面上；

薄膜片，所述薄膜片设置于所述盖板与所述主体之间，且所述薄膜片与所述凹槽的位于所述节流凸台外部的空间围设形成稳压腔，所述薄膜片与所述盖板之间围设形成调节腔；

其中，所述第一节流通道的两端分别与所述供油通道和所述稳压腔连通，所述第二节流通道的两端分别与所述调节腔和所述供油通道连通，所述第一通道与所述静压腔以及所述供油通道均连通。

进一步地，所述凹槽内还设置有承载凸台，所述承载凸台的高度与所述节流凸台的高度相同。

进一步地，所述盖板上设置有弧形凸台，所述弧形凸台的端面上设置有螺旋形沟槽，所述螺旋形沟槽的中心位于所述节流凸台的轴线上，所述螺旋形沟槽与所述第二节流通道连通。

进一步地，所述盖板与所述主体之间设置有第一密封凹槽，所述主体与所述滑块之间设置有第二密封凹槽，所述第一密封凹槽和所述第二密封凹槽内均设置有密封件。

进一步地，所述静压腔设置在所述导轨靠近所述滑块的一侧；和/或，

所述静压腔设置在所述滑块靠近所述导轨的一侧。

进一步地，所述导轨相对的两侧均设置有限位凹槽，所述限位凹槽沿所述导轨的宽度方向凹陷，所述滑块上设置有与所述限位凹槽相适配的限位凸起，所述限位凹槽靠近所述导轨的顶面的侧壁面为第一斜面，所述第一斜面倾斜于所述导轨的顶面。

进一步地，所述限位凸起靠近所述限位凹槽的侧壁面为第二斜面，所述滑块靠近所述导轨的顶面的侧壁面为第一表面；

所述静压腔包括上静压腔和下静压腔，所述上静压腔设置在所述第一表面上，并沿所述滑块的长度方向延伸，所述下静压腔至少包括两个，且至少两个所述下静压腔分别设置在两个所述限位凸起的所述第二斜面上，并均沿所述滑块的长度方向延伸。

进一步地，所述上静压腔包括两个，两个上静压腔间隔设置在所述第一表面上，所述下静压腔包括两个，两个所述下静压腔分别设置在两个所述限位凸起的第二斜面上；

所述节流器包括四个，所述滑块的两个相对侧壁面上分别设置有两个所述节流器，且设置在同一侧壁面上的两个所述节流器呈高低布置，设置在较高处的两个所述节流器一一对应地与两个所述上静压腔连通，设置在较低处的两个所述节流器一一对应地与两个所述下静压腔连通。

进一步地，所述滑块内设置有分流通道，所述分流通道与所述供油口连通，所述滑块上开设有进油口，所述进油口与所述分流通道连通。

进一步地，所述进油口开设有多个，且多个进油口分别设置在所述滑块的各侧壁面上，所述滑块还包括多个油塞，多个所述油塞可拆卸且一一对应地安装在多个所述进油口中。

相对于现有技术而言，本申请的静压线轨通过薄膜片能够监测油液的压力，并根据油液压力自动调节稳压腔与静压腔相对的容积变化，来控制由节流器进入静压腔内的油液的流量，以此来动态调节静压腔上油膜的刚性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请公开的静压线轨处于第一视角下的结构示意图；

图2为本申请公开的静压线轨的透视图；

图3为本申请公开的节流器的结构示意图；

图4为本申请公开的节流器的爆炸结构示意图；

图5为本申请公开的节流器的主体第二侧面的结构示意图；

图6为本申请公开的节流器的盖板的结构示意图；

图7为本申请公开的静压线轨处于第二视角下的结构示意图；

图8为本申请公开的静压线轨的一种剖视图；

图9为本申请公开的静压线轨的另一种剖视图；

图10为本申请公开的导轨的结构示意图；

图11为本申请公开的滑块处于第一视角下的结构示意图；

图12为本申请公开的滑块处于第二视角下的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、导轨；11、限位凹槽；12、顶面；13、第一斜面；20、滑块；21、限位凸起；22、第一表面；23、第二斜面；30、静压腔；31、上静压腔；32、下静压腔；40、节流器；41、主体；42、盖板；43、薄膜片；50、分流通道；60、进油口；70、油塞；80、密封件；411、第一侧面；412、第二侧面；413、供油口；414、第一节流通道；415、第二节流通道；421、弧形凸台；422、螺旋形沟槽；423、第一密封凹槽；4111、凹槽；4112、节流凸台；4113、第一通道；4114、承载凸台；4121、凹陷部；4122、第二密封凹槽。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

参见图1至图5所示，根据本申请的实施例，提供了一种静压线轨，包括：导轨10、滑块20以及节流器40。

其中，滑块20可滑动地设置在导轨10上，且滑块20与导轨10之间设置有静压腔30；节流器40设置在滑块20上，节流器40包括：主体41、盖板42以及薄膜片43，主体41具有第一侧面411和第二侧面412，主体41的第一侧面411开设有凹槽4111，凹槽4111的中央设置有节流凸台4112，节流凸台4112上设置有第一通道4113，第一通道4113从第一侧面411延伸至第二侧面412；主体41的第二侧面412上设置有凹陷部4121，凹陷部4121与导轨10围设形成供油通道，主体41还设置有供油口413、第一节流通道414和第二节流通道415，所述供油口413与所述供油通道连通以及所述第二节流通道415连通。盖板42盖设于主体41的第一侧面411上。薄膜片43设置于盖板42与主体41之间，且薄膜片43与凹槽4111的位于节流凸台4112外部的空间围设形成稳压腔，薄膜片43与盖板42之间围设形成调节腔。其中，第一节流通道414的两端分别与供油通道和稳压腔连通，第二节流通道415的两端分别与调节腔和供油通道连通，第一通道4113与静压腔30以及供油通道均连通，供油口413与第二节流通道415连通。

在本实施例中，静压腔30内的油膜的刚度能通过本实施例的节流器40自动调节。具体而言，当滑块20上没有负载时，静压腔30内的油膜不会对供油通道内的油液产生压力。同时，外界油路通过供油口413对供油通道进行供油，供油口413与第二节流通道415连通，使得油液流入调节腔中，导致调节腔中的液压高于稳压腔中的液压。同时，由于调节腔中的液压高于稳压腔中油液的液压，使得薄膜片43贴靠在节流凸台4112的第一通道4113开口上，使得油液无法通过第一通道4113进入稳压腔。此外，油液通过供油通道流至供油通道与第一通道4113衔接处，随后流入静压腔30中。而当滑块20上具有负载时，静压腔30上的油膜受到压力作用，并将压力传递到供油通道内的油液中，导致第一节流通道414流进稳压腔中的油液对薄膜片43施加推力，使得薄膜片43朝调节腔方向弯曲，第一通道4113上的开口打开，稳压腔内的油液通过第一通道4113流出，并与供油通道内的油液一同流入静压腔30内，增大了油液流量，使得油膜厚度变化较小，从而增强油膜刚性。当滑块20上的负载变化时，稳压腔与调节腔通过监测静压腔30内油液的压力，从而控制第一通道4113流入静压腔的油液流量，从而达到对油膜刚性的自动调节。

相对于现有技术而言，本实施例的静压线轨通过薄膜片43能够监测油液的压力，并根据油液压力自动调节稳压腔与静压腔相对的容积变化，来控制由节流器40进入静压腔30内的油液的流量，以此来动态调节静压腔30上油膜的刚性。

在本实施例中，节流器40上开设有固定孔，并通过固定件穿设在固定孔中以将节流器40固定在滑块上。同时，本实施例中薄膜片43选用延展性较好的金属薄膜片，避免油压过大时，薄膜片损坏。

进一步地，凹槽4111内还设置有承载凸台4114，承载凸台4114的高度与节流凸台4112的高度相同。具体来说，承载凸台4114设置在节流凸台4112的外侧，并用于对薄膜片43进行支撑，避免当调节腔内液压过大时，液压将薄膜片43压坏。承载凸台4114的高度与节流凸台4112的高度相同，以使承载凸台4114与节流凸台4112对薄膜片43提供的支撑力更加均匀。

如附图6所示，盖板42上设置有弧形凸台421，弧形凸台421的端面上设置有螺旋形沟槽422，螺旋形沟槽422的中心位于节流凸台4112的轴线上，螺旋形沟槽422与第二节流通道415连通。

具体地，弧形凸台421插入凹槽4111内，并抵顶在薄膜片43上，且薄膜片43与螺旋形沟槽422之间形成调节腔。本实施例中，螺旋形沟槽422的设置使得螺旋形沟槽422内的油液对薄膜片43施加的压力更加均匀，避免薄膜片43各处受力不均导致薄膜片43损坏，从而在一定程度上提升了节流器40的使用寿命。

此外，盖板42与主体41之间设置有第一密封凹槽423，主体41与滑块20之间设置有第二密封凹槽4122，第一密封凹槽423和第二密封凹槽4122内均设置有密封件80。具体来说，盖板42与主体41之间通过第一密封凹槽423密封，防止调节腔内的油液外泄。同样地，主体41与滑块20之间通过第二密封凹槽4122密封，避免供油通道内的油液外泄。在本实施例中，密封件80包括橡胶密封件。

进一步地，静压腔30设置在导轨10靠近滑块20的一侧；和/或，静压腔30设置在滑块20靠近导轨10的一侧。

需要说明的是“静压腔30设置在导轨10靠近滑块20的一侧；和/或，静压腔30设置在滑块20靠近导轨10的一侧”是指，静压腔30设置在导轨10靠近滑块20的一侧、静压腔30设置在滑块20靠近导轨10的一侧以及静压腔30设置在导轨10靠近滑块20的一侧和静压腔30设置在滑块20靠近导轨10的一侧三种情况中的一种。在一个具体地实施例中，静压腔30设置在滑块20靠近导轨10的一侧，该设置方式相比于其他设置方式来说，静压腔30的体积较小，且静压腔30能随滑块20移动而移动，节省制造成本，且泛用性强。

如附图7至附图12所示，导轨10相对的两侧均设置有限位凹槽11，限位凹槽11沿导轨10的宽度方向(如附图10中Y方向)凹陷，滑块20上设置有与限位凹槽11相适配的限位凸起21，限位凹槽11靠近导轨10顶面12的侧壁面为第一斜面13，第一斜面13倾斜于导轨10的顶面12。

具体来说，限位凹槽11与限位凸起21相互配合，使得当滑块20受到的压力不均匀时，限位凹槽11会对限位凸起21施加一个反方向的力，避免滑块20朝负载大的地方偏移。值得一提的是“第一斜面13倾斜于导轨10的顶面12”是指两个限位凹槽11的第一斜面13在导轨10长度方向上的投影边与高度方向(如附图1中X方向)存在一定的角度。在本实施例中，限位凹槽11包括两种设置方式，即沿限位凹槽11的凹陷方向，限位凹槽11的宽度逐渐变小，或沿限位凹槽11的凹陷方向，限位凹槽11的宽度逐渐增大。以上两种方式均能使限位凹槽11能对限位凸起21施加一个与负载压力方向相反的力，以使滑块20保持水平。

进一步地，限位凸起21靠近限位凹槽11的侧壁面为第二斜面23，滑块20靠近导轨10的顶面12的侧壁面为第一表面22。静压腔30包括上静压腔31和下静压腔32，上静压腔31设置在第一表面22上，并沿滑块20的长度方向延伸，下静压腔32至少包括两个，且至少两个下静压腔32分别设置在两个限位凸起21的第二斜面23上，并均沿滑块20的长度方向延伸。

具体来说，在本实施例中，上静压腔31提供预载力，使得油膜初始刚度较高，从而提升静压线轨的运动精度。同时，分别设置在两个第二斜面23上的至少两个下静压腔32，由于是倾斜设置，因此当滑块20上的加工件对滑块20产生倾覆力时，下静压腔32中的油膜会对滑块20提供一个与倾覆力方向相反的支撑力，以提升滑块20的平整度。同时，下静压腔32的设置能够避免导轨10与滑块20直接接触，从而提高静压线轨的使用寿命。此外，当加工件的重量发生变化时，油膜对滑块20产生的支撑力在节流器40自动调节的作用下也会发生相应的改变。

进一步地，上静压腔31包括两个，两个上静压腔31间隔设置在第一表面22上，下静压腔32包括两个，两个下静压腔32分别设置在两个限位凸起21的第二斜面23上。节流器40包括四个，滑块20的两个相对侧壁面上分别设置有两个节流器40，且设置在同一侧壁面上的两个节流器40呈高低布置，设置在较高处的两个节流器40一一对应地与两个上静压腔31连通，设置在较低处的两个节流器40一一对应地与两个下静压腔32连通。

具体来说，两个上静压腔31起到主要支撑作用，下部两个用于平衡倾覆力。同时，同一侧壁面上两个节流器40呈高低设置，以便于缩小节流器40与上静压腔31或下静压腔32之间的距离，降低制造成本。此外，呈高低设置的两个节流器40均不凸出滑块20的上表面或滑块20的下表面，避免节流器40与导轨10发生干涉。设置在滑块20两个侧壁面的两对节流器40对称设置，以使滑块20与节流器40组成的一体结构的重心位于静压导轨10上。同时，四个静压腔30以及四个节流器40的设置以用于时刻调节滑块20各处的受力情况，以使滑块20的上表面始终保持水平。

当然，上静压腔31也可间隔设置为三个、四个，两个限位凸起21的第二斜面23上也可以间隔设置多个下静压腔32。节流器40的个数可设置为对应于上静压腔31以及下静压腔32的个数，以更多的静压腔30与节流器40来保证滑块20的稳定性，只要是在本申请的构思下的其他变形方式，均在本申请的保护范围之内。

进一步地，滑块20内设置有分流通道50，分流通道50与供油口413连通，滑块20上开设有进油口60，进油口60与分流通道50连通。具体来说，滑块20内开设有多个相互连通的通道，多个相互连通的通过之间形成分流通道50。油液通过进油口60进入分流通道50中，再通过各通道与各节流器40的供油口413连接，以对节流器40供油。

此外，进油口60开设有多个，且多个进油口60分别设置在滑块20的各侧壁面上，滑块20还包括多个油塞70，多个油塞70可拆卸且一一对应地安装在多个进油口60中。

本实施例中，各侧壁面上均设置有进油口60，以提高静压线轨的适用性。具体来说，当便于在滑块20顶部接入外部油路时，将其余各进油口60用油塞70堵塞，或当侧壁面便于接入外部油路时，将其余各面上的进油口60堵塞即可。当然，进油口60也可以用于供油，即节流器40的供油口413可与进油口60连接，以使分流通道50内的油液流入节流器40中。

在一个优选的实施例中，上静压腔31和下静压腔32均为两个。两个上静压腔31提供支撑，两个下静压腔32平衡倾覆力矩。在倾覆力矩作用下，上下油膜形状接近于三角形，油膜支反力方向和倾覆力矩相反，再由节流器40自动调节输出，使系统平衡，即通过静压腔30与节流器40的压流特性匹配设计可以调节静压腔30的承载能力，实现静压线轨和静压腔30之间为一种闭式结构，从而大大提高的油膜刚度。同时，节流器40包括四个，且四个节流器40中两个节流器40设置滑块20的一个侧壁面上，另外两个节流器40设置在滑块20的相对侧壁面上，且同一侧壁面上的两个节流器40呈高低设置。两个高处的节流器40分别对两个上静压腔31供油，以保证油膜的刚度。两个低处的节流器40分别对两个下静压腔32供油，以使线轨始终保持水平。

本实施例的静压线轨工作时，油液通过分流通道50进入四个节流器40，再分别流入上静压腔31和下静压腔32，将滑块20浮起，在静压导轨10的高度方向和第二斜面23的倾斜方向上形成0.02mm至0.03mm的油膜。油膜的存在保证滑块20在导轨10上滑移时摩擦阻力极小，摩擦系数约为0.005，同时有极好的抗振性能，而承受负载时，油膜的厚度是否发生变化，直接决定了静压线轨的刚度，进而影响静压线轨的精度。本实施例的静压线轨由于节流器40的自适应补偿特性，可以保证油膜基本不发生变化。通油后，滑块20可以在导轨10上轻松滑动，配合其他动力机构实现静压线轨直线往复运动的控制。

本实施例的静压线轨，利用节流器40流量随外界负载变化而变化的特性，使油膜厚度在工作过程中基本不发生改变，从而使油膜具有较高的刚度。与传统的滚珠线轨相比，本实施例的静压线轨使用液压油作为工作介质，使静压线轨具有较好的抗震性，滑块20在导轨10上滑移时接近无摩擦运动。静压线轨上的各部件之间几乎没有机械接触，因此具有较长的寿命。同时，油膜具有均化作用，也间接提高了线轨的各项精度。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种静压线轨，其特征在于，包括：

导轨(10)；

滑块(20)，所述滑块(20)可滑动地设置在所述导轨(10)上，且所述滑块(20)与所述导轨(10)之间设置有静压腔(30)；

节流器(40)，所述节流器(40)设置在所述滑块(20)上，所述节流器(40)包括：

主体(41)，所述主体(41)具有第一侧面(411)和第二侧面(412)，

所述主体(41)的第一侧面(411)开设有凹槽(4111)，所述凹槽(4111)的中央设置有节流凸台(4112)，所述节流凸台(4112)上设置有第一通道(4113)，

所述第一通道(4113)从所述第一侧面(411)延伸至所述第二侧面(412)，所述主体(41)的第二侧面(412)上设置有凹陷部(4121)，所述凹陷部(4121)与所述导轨(10)围设形成供油通道，所述主体(41)还设置有供油口(413)、第一节流通道(414)和第二节流通道(415)，所述供油口(413)与所述供油通道连通以及所述第二节流通道(415)连通；

盖板(42)，所述盖板(42)盖设于所述主体(41)的第一侧面(411)上；

薄膜片(43)，所述薄膜片(43)设置于所述盖板(42)与所述主体(41)之间，且所述薄膜片(43)与所述凹槽(4111)的位于所述节流凸台(4112)外部的空间围设形成稳压腔，所述薄膜片(43)与所述盖板(42)之间围设形成调节腔；

其中，所述第一节流通道(414)的两端分别与所述供油通道和所述稳压腔连通，所述第二节流通道(415)的两端分别与所述调节腔和所述供油通道连通，

所述第一通道(4113)与所述静压腔(30)以及所述供油通道均连通。

2.根据权利要求1所述的静压线轨，其特征在于，所述凹槽(4111)内还设置有承载凸台(4114)，所述承载凸台(4114)的高度与所述节流凸台(4112)的高度相同。

3.根据权利要求1所述的静压线轨，其特征在于，所述盖板(42)上设置有弧形凸台(421)，所述弧形凸台(421)的端面上设置有螺旋形沟槽(422)，所述螺旋形沟槽(422)的中心位于所述节流凸台(4112)的轴线上，所述螺旋形沟槽(422)与所述第二节流通道(415)连通。

4.根据权利要求1所述的静压线轨，其特征在于，所述盖板(42)与所述主体(41)之间设置有第一密封凹槽(423)，所述主体(41)与所述滑块(20)之间设置有第二密封凹槽(4122)，所述第一密封凹槽(423)和所述第二密封凹槽(4122)内均设置有密封件(80)。

5.根据权利要求1所述的静压线轨，其特征在于，所述静压腔(30)设置在所述导轨(10)靠近所述滑块(20)的一侧；和/或，

所述静压腔(30)设置在所述滑块(20)靠近所述导轨(10)的一侧。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的静压线轨，其特征在于，所述导轨(10)相对的两侧均设置有限位凹槽(11)，所述限位凹槽(11)沿所述导轨(10)的宽度方向凹陷，所述滑块(20)上设置有与所述限位凹槽(11)相适配的限位凸起(21)，所述限位凹槽(11)靠近所述导轨(10)的顶面(12)的侧壁面为第一斜面(13)，所述第一斜面(13)倾斜于所述导轨(10)的顶面(12)。

7.根据权利要求6所述的静压线轨，其特征在于，所述限位凸起(21)靠近所述限位凹槽(11)的侧壁面为第二斜面(23)，所述滑块(20)靠近所述导轨(10)的顶面(12)的侧壁面为第一表面(22)；

所述静压腔(30)包括上静压腔(31)和下静压腔(32)，所述上静压腔(31)设置在所述第一表面(22)上，并沿所述滑块(20)的长度方向延伸，所述下静压腔(32)至少包括两个，且至少两个所述下静压腔(32)分别设置在两个所述限位凸起(21)的所述第二斜面(23)上，并均沿所述滑块(20)的长度方向延伸。

8.根据权利要求7所述的静压线轨，其特征在于，所述上静压腔(31)包括两个，两个所述上静压腔(31)间隔设置在所述第一表面(22)上，所述下静压腔(32)包括两个，两个所述下静压腔(32)分别设置在两个所述限位凸起(21)的第二斜面(23)上；

所述节流器(40)包括四个，所述滑块(20)的两个相对侧壁面上分别设置有两个所述节流器(40)，且设置在同一侧壁面上的两个所述节流器(40)呈高低布置，设置在较高处的两个所述节流器(40)一一对应地与两个所述上静压腔(31)连通，设置在较低处的两个所述节流器(40)一一对应地与两个所述下静压腔(32)连通。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的静压线轨，其特征在于，所述滑块(20)内设置有分流通道(50)，所述分流通道(50)与所述供油口(413)连通，所述滑块(20)上开设有进油口(60)，所述进油口(60)与所述分流通道(50)连通。

10.根据权利要求9所述的静压线轨，其特征在于，所述进油口(60)开设有多个，且多个进油口(60)分别设置在所述滑块(20)的各侧壁面上，所述滑块(20)还包括多个油塞(70)，多个所述油塞(70)可拆卸且一一对应地安装在多个所述进油口(60)中。