CN117929109B - 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置 - Google Patents

一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置 Download PDF

Info

Publication number
CN117929109B
CN117929109B CN202410328495.4A CN202410328495A CN117929109B CN 117929109 B CN117929109 B CN 117929109B CN 202410328495 A CN202410328495 A CN 202410328495A CN 117929109 B CN117929109 B CN 117929109B
Authority
CN
China
Prior art keywords
probe
sample
telescopic
laser signal
sample holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202410328495.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN117929109A (zh
Inventor
王超
程慧静
陆阳
刘强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Science and Technology Beijing USTB
Original Assignee
University of Science and Technology Beijing USTB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Science and Technology Beijing USTB filed Critical University of Science and Technology Beijing USTB
Priority to CN202410328495.4A priority Critical patent/CN117929109B/zh
Publication of CN117929109A publication Critical patent/CN117929109A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN117929109B publication Critical patent/CN117929109B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/02—Details
    • G01N3/04—Chucks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N3/02—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
    • G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/04—Chucks, fixtures, jaws, holders or anvils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本发明提供了一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置，所述系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，所述探针夹持装置包括基座、设置于基座上的激光信号发射装置、以及探针容纳腔；所述探针供给装置包括第一旋转装置、可伸缩电磁吸附装置、激光信号接收装置；所述激光信号发射装置、探针容纳腔、可伸缩电磁吸附装置和激光信号接收装置的相对位置满足：当激光信号发射装置发出的激光信号被激光信号接收装置接收时，所述探针容纳腔与所述可伸缩电磁吸附装置的轴线保持重合。本发明解决了样品安装过程中易脱落、样品台周围导线多易损坏、探针安装过程中易损害等问题，降低了对实验操作人员水平要求，提高了样品和探针安装效率。

Description

一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置
技术领域
本发明涉及微纳材料技术领域，具体涉及一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置。
背景技术
原位纳米压痕技术利用扫描电子显微镜（SEM、FIB/SEM）的卓越成像能力，可以在成像的同时进行定量纳米力学测试。可实现包括原位纳米压痕、拉伸、微柱压缩、微球压缩、悬臂弯曲、断裂、疲劳、动态测试和力学性能成像等功能。
原位纳米压痕装置主要由原位纳米压痕样品载台和原位纳米压痕探针基座组成，样品和探针安装过程中对操作人员要求较高，样品安装过程中，要保证样品不脱落，尤其是安装PTP（压转拉模块）样品时，此PTP模块极易损坏，安装过程中一旦受力过大，模块即损坏，对操作人员要求较高；而在探针安装过程中，因探针极为细小，夹取和安装过程中极易脱落，容易损坏，探针价格昂贵，购置周期长，一旦损坏，设备利用率将大大降低。
专利微观分析及纳米力学测试样品的通用样品台及使用方法（专利号CN116718447A）公布了一种微观分析及纳米力学测试样品的通用样品台及使用方法，但该方法主要针对核燃料实验过程中对实验人员伤害较大，对样品表面要求高的需求，而研究设计的专门用于适用于扫描电镜或电子探针固定底座。该专利并未就探针安装进行阐述。
为了解决上述问题，研究设计了专门用于原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置，解决了样品安装过程中易脱落、样品台周围导线多易损坏、探针安装过程中易损害等问题，降低了对实验操作人员水平要求，提高了样品和探针安装效率，减少了探针和样品损坏造成的经济损失。
发明内容
基于上述问题，本发明提出了一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置，旨在通过原位纳米压痕探针夹持及样品安装用载台中的样品安装和探针磁吸附旋转安装，解决样品安装过程中易脱落、样品台周围导线多易损坏、探针安装过程中易损害等问题，提高了样品和探针安装效率，减少了探针和样品损坏造成的经济损失。
本发明的目的之一在于提供一种原位纳米压痕探针夹持系统，所述系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，
所述探针夹持装置包括基座1、设置于基座上的激光信号发射装置2、以及水平设置在所述基座侧壁的探针容纳腔；
所述探针供给装置包括第一旋转装置3、设置于第一旋转装置上的可伸缩电磁吸附装置4、设置在所述可伸缩电磁吸附装置上的激光信号接收装置5；
所述激光信号发射装置、探针容纳腔、可伸缩电磁吸附装置和激光信号接收装置的相对位置满足：当激光信号发射装置发出的激光信号被激光信号接收装置接收时，所述探针容纳腔与所述可伸缩电磁吸附装置的轴线保持重合。
进一步的，所述第一旋转装置上设置有用于控制第一旋转装置旋转的旋转控制器。
进一步的，所述可伸缩电磁吸附装置远离所述第一旋转装置的一端设置有用于吸附探针的电磁吸附腔，所述电磁吸附腔直径与探针6端部直径相同，所述可伸缩电磁吸附装置4还包括用于控制电磁吸附腔进行电磁吸附的第一开关8以及用于控制可伸缩吸附装置伸缩的控制装置7。
进一步的，所述探针的一端设置有螺纹，所述探针容纳腔上设置有与所述探针螺纹配套的螺纹，所述吸附装置可自身旋转，所述吸附装置还包括用于控制所述吸附装置自旋转的旋转控制装置。
进一步的，所述可伸缩电磁吸附装置为L形，其长边端部与所述第一旋转装置连接，短边可伸缩且端部设置有电磁探针吸附腔，所述激光信号接收装置设置在所述电磁探针吸附腔上。
进一步的，所述第一旋转装置的旋转角度为0-180°，所述可伸缩电磁吸附装置的步进速度为0.5~5mm/s。
本发明的目的之二在于提供一种原位纳米压痕样品安装装置，所述装置包括前述的夹持系统、样品载台系统、轨道，其中，所述样品载台系统包括：载台9、样品托放置台10、设置在载台上的激光发射器11、样品托夹取系统、以及水平设置在所述载台侧壁的样品托容纳腔；所述载台与所述基座可移动地设置在所述轨道上，所述样品托容纳腔和所述探针容纳腔轴线重合且相向；所述样品托夹取系统包括第二旋转装置13、设置于第二旋转装置上的可伸缩装置14、设置在所述可伸缩装置远离所述第二旋转装置一端的样品托夹15、以及设置在所述样品托夹上的激光接收器16；所述激光发射器、样品托容纳腔、样品托夹和激光接器的相对位置满足：当激光发射器发出的激光信号被激光接收器接收时，所述样品托容纳腔与所述样品托夹的轴线保持重合。
进一步的，所述可伸缩装置为L形，其长边端部与所述第二旋转装置连接，短边可伸缩且端部连接所述样品托夹。
进一步的，所述第二旋转装置上设置有用于控制第二旋转装置旋转速度的第二旋转控制器。
进一步的，所述可伸缩装置还包括用于控制样品托夹的第二开关以及用于控制伸缩装置伸缩的第二控制装置。
进一步的，所述样品托容纳腔上设置有用于固定样品托的固定螺栓19。
进一步的，所述样品托放置台设置有8处样品托放置孔，放置孔大小为直径Φ3.25mm，高度4mm。
进一步的，样品托上涂抹导电银胶，样品粘在样品托上。
进一步的，所述第二旋转装置的旋转角度为0-180°，所述可伸缩装置的步进速度为0.2~10mm/s。
基于本发明的技术方案，在使用过程中，用银胶将样品粘在样品托上，样品托放置在样品托支架上晾干，开启第二旋转控制器控制样品拖第二旋转装置旋转至样品托盘夹处于样品托处，然后控制样品托夹夹取样品托。开启激光发射器，继续通过第二旋转控制器控制第二旋转装置旋转至激光接收器接收到激光发射器发出的激光信号，停止旋转，此时样品托与样品托容纳腔实现对准，启动可伸缩装置将样品托推进至样品托空腔内，以此完成样品托的放置。类似地，通过开启旋转控制器控制第一旋转装置转至适当位置，开启电磁吸附将探针吸附至电磁探针吸附腔内。开启激光信号发射装置，继续通过旋转控制器控制第一旋转装置旋转至激光信号接收装置接受到激光信号发射装置发出的激光信号，停止旋转，此时探针与探针容纳腔实现对准，启动可旋转伸缩装置将探针缓慢推进至探针容纳腔内然后断开电磁吸附以此完成探针的放置。
本发明的显著效果在于：
该装置可以满足原位纳米压痕样品和探针的稳定、安全、可靠安装，满足后续原位纳米压痕实验要求，装置中的每一个部件独立，结构与连接方式简单，安装使用方便，降低了实验操作人员水平要求，减少了探针和样品损坏造成的经济损失，提高了原位纳米压痕实验设备使用效率。
附图说明
图1为本发明原位纳米压痕样品安装装置结构示意图
图2为本发明原位纳米压痕探针加持系统中的探针供给装置结构示意图
其中：1-基座、2-激光信号发射装置、3-第一旋转装置、4-可伸缩电磁吸附装置、5-激光信号接收装置、6-探针、7-控制装置、8-第一开关、9-载台、10-样品托放置台、11-激光发射器、12-轨道、13-第二旋转装置、14-可伸缩装置、15-样品托夹、16-激光接收器、17-第二开关、18-样品托、19-固定螺栓。
具体实施方式
为了能更加清楚的描述本发明实施方式，下面结合附图和具体实施方式对本方案进行说明，本使用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对发明的限定。
实施例1
参考图1-2，本实施方式中原位纳米压痕样品安装装置包括夹持系统、样品载台系统、轨道，所述夹持系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，
所述探针夹持装置包括基座、设置于基座上的激光信号发射装置、以及水平设置在所述基座侧壁的探针容纳腔，所述探针容纳腔内设置有螺纹结构；所述探针供给装置包括第一旋转装置、设置于第一旋转装置上的可伸缩电磁吸附装置、设置在所述电磁吸附装置上的激光信号接收装置、用于控制第一旋转装置旋转的旋转控制器；所述可伸缩电磁吸附装置远离所述第一旋转装置的一端设置有电磁探针吸附腔，所述电磁吸附腔直径与探针端部直径相同，所述探针的端部设置有与所述探针容纳腔内的螺纹配套的螺纹，所述可伸缩电磁吸附装置包括用于控制电磁吸附的第一开关、用于控制吸附装置伸缩的控制装置和用于控制吸附装置自身旋转的旋转控制装置，所述第一旋转装置可拆卸地设置在靠近所述探针容纳腔一侧的轨道上，且所述第一旋转装置、基座、激光信号发射装置、激光信号接收装置、电磁探针吸附腔和探针容纳腔的位置关系满足当所述电磁吸附腔处于水平状态时，所述激光信号发射装置与所述激光信号接收装置同轴，所述探针容纳腔与所述电磁吸附腔同轴；
所述样品载台系统包括：载台、样品托放置台、设置在载台上的激光发射器、样品托夹取系统、以及水平设置在所述载台侧壁的样品托容纳腔，所述样品托容纳腔上设置有用于固定所述样品托的固定螺栓；所述样品托夹取系统包括第二旋转装置、设置于第二旋转装置上的可伸缩装置、设置在所述可伸缩装置远离所述第二旋转装置一端的样品托夹、设置在第二旋转装置上用于控制第二旋转装置旋转的第二旋转控制器以及设置在所述样品托夹上的激光接收器，所述第二旋转装置可拆卸地设置在所述靠近所述样品托容纳腔一侧的轨道上，所述第二旋转装置、载台、激光发射器、激光接收器、样品托容纳腔和样品托夹的位置关系当所述样品托夹处于水平状态时，所述激光发射器与所述激光接收器同轴，所述样品托容纳腔与所述样品托夹同轴，所述可伸缩装置还包括用于控制样品托夹的第二开关以及用于控制伸缩装置伸缩的第二控制装置。
所述载台与所述基座可移动地设置在所述轨道上，所述样品托容纳腔和所述探针容纳腔轴线重合且相向。
在使用时，采用银胶将PTP（压转拉）样品粘在样品托上，样品托放置在样品托支架上晾干；开启第二旋转控制器控制样品拖第二旋转装置旋转至样品托盘夹处于样品托处，旋转速度为10mm/s，旋转角度为距水平面15°，然后控制样品托夹夹紧样品托；
开启激光发射器，继续通过第二旋转控制器控制第二旋转装置旋转至激光接收器接收到激光发射器发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为0.5mm/s，此时样品托与样品托容纳腔实现对准；
启动可伸缩装置将样品托推进至样品托空腔内，速度为1mm/s,到达样品腔底部，拧紧固定螺栓，完成样品托的放置，然后将第二旋转装置拆卸移除；
开启旋转控制器控制第一旋转装置转至适当位置，旋转速度为5mm/s，距水平面80°，开启电磁吸附将探针远离螺纹的一端吸附至电磁吸附腔内；
开启激光信号发射装置，继续通过旋转控制器控制第一旋转装置旋转至激光信号接收装置接受到激光信号发射装置发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为1mm/s，此时探针与探针容纳腔实现对准；
启动可伸缩装置以及旋转控制装置以步进速度2mm/s将探针推进至探针容纳腔内，然后断开电磁吸附以此完成探针的放置，然后启动收回可伸缩装置，并将第一旋转装置拆卸移除；
在样品和探针安装完成后，放入扫描电镜中即可进行纳米力学性能测试。
实施例2
参考图1-2，本实施方式中原位纳米压痕样品安装装置包括夹持系统、样品载台系统、轨道，所述夹持系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，
所述探针夹持装置包括基座、设置于基座上的激光信号发射装置、以及水平设置在所述基座侧壁的探针容纳腔，所述探针容纳腔内设置有螺纹结构；所述探针供给装置包括第一旋转装置、设置于第一旋转装置上的可伸缩电磁吸附装置、设置在所述电磁吸附装置上的激光信号接收装置、用于控制第一旋转装置旋转的旋转控制器；所述可伸缩电磁吸附装置远离所述第一旋转装置的一端设置有电磁探针吸附腔，所述电磁吸附腔直径与探针端部直径相同，所述探针的一端设置有与所述探针容纳腔内的螺纹配套的螺纹，所述可伸缩电磁吸附装置包括用于控制电磁吸附的第一开关、用于控制吸附装置伸缩的控制装置和用于控制吸附装置自身旋转的旋转控制装置，所述第一旋转装置可拆卸地设置在靠近所述探针容纳腔一侧的轨道上，且所述第一旋转装置、基座、激光信号发射装置、激光信号接收装置、电磁探针吸附腔和探针容纳腔的位置关系满足当所述电磁吸附腔处于水平状态时，所述激光信号发射装置与所述激光信号接收装置同轴，所述探针容纳腔与所述电磁吸附腔同轴；
所述样品载台系统包括：载台、样品托放置台、设置在载台上的激光发射器、样品托夹取系统、以及水平设置在所述载台侧壁的样品托容纳腔，所述样品托容纳腔上设置有用于固定所述样品托的固定螺栓；所述样品托夹取系统包括第二旋转装置、设置于第二旋转装置上的可伸缩装置、设置在所述可伸缩装置远离所述第二旋转装置一端的样品托夹、设置在第二旋转装置上用于控制第二旋转装置旋转的第二旋转控制器以及设置在所述样品托夹上的激光接收器，所述第二旋转装置可拆卸地设置在所述靠近所述样品托容纳腔一侧的轨道上，所述第二旋转装置、载台、激光发射器、激光接收器、样品托容纳腔和样品托夹的位置关系当所述样品托夹处于水平状态时，所述激光发射器与所述激光接收器同轴，所述样品托容纳腔与所述样品托夹同轴，所述可伸缩装置还包括用于控制样品托夹的第二开关以及用于控制伸缩装置伸缩的第二控制装置。
所述载台与所述基座可移动地设置在所述轨道上，所述样品托容纳腔和所述探针容纳腔轴线重合且相向。
在使用时，采用银胶将普通样品粘在样品托上，样品托放置在样品托支架上晾干；
开启第二旋转控制器控制样品拖第二旋转装置旋转至样品托盘夹处于样品托处，旋转速度为10mm/s，旋转角度为距水平面45°，然后控制样品托夹夹紧样品托；
开启激光发射器，继续通过第二旋转控制器控制第二旋转装置旋转至激光接收器接收到激光发射器发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为4mm/s，此时样品托与样品托容纳腔实现对准；
启动可伸缩装置将样品托推进至样品托空腔内，速度为5mm/s,到达样品腔底部，拧紧固定螺栓，完成样品托的放置，然后将第二旋转装置拆卸移除；
开启旋转控制器控制第一旋转装置转至适当位置，旋转速度为5mm/s，距水平面80°，开启电磁吸附将探针吸附至电磁吸附腔内；
开启激光信号发射装置，继续通过旋转控制器控制第一旋转装置旋转至激光信号接收装置接受到激光信号发射装置发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为1mm/s，此时探针与探针容纳腔实现对准；
启动可旋转伸缩装置以步进速度2mm/s将探针推进至探针容纳腔内，然后断开电磁吸附以此完成探针的放置，然后启动收回可伸缩装置，并将第一旋转装置拆卸移除；
在样品和探针安装完成后，放入扫描电镜中即可进行纳米力学性能测试。
实施例3
本实施方式中原位纳米压痕样品安装装置包括夹持系统、样品载台系统、轨道，所述夹持系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，
所述探针夹持系统包括基座、设置于基座上的激光信号发射装置、以及水平设置在所述基座侧壁的探针容纳腔；所述探针供给装置包括第一旋转装置、设置于第一旋转装置上的可伸缩电磁吸附装置、设置在所述电磁吸附装置上的激光信号接收装置、用于控制第一旋转装置旋转的旋转控制器；所述可伸缩电磁吸附装置远离所述第一旋转装置的一端设置有电磁探针吸附腔，所述电磁吸附腔直径与所述探针端部直径相同，所述可伸缩电磁吸附装置为L形，其长边端部与所述第一旋转装置连接，短边可伸缩且端部设置有电磁探针吸附腔，所述激光信号接收装置设置在所述电磁探针吸附腔上，所述可伸缩电磁吸附装置还包括用于控制电磁吸附的第一开关以及用于控制吸附装置伸缩的控制装置，所述第一旋转装置设置在所述基座的一侧，且所述第一旋转装置、基座、激光信号发射装置、激光信号接收装置、电磁探针吸附腔和探针容纳腔的位置关系满足当所述电磁吸附腔处于水平状态时，所述激光信号发射装置与所述激光信号接收装置同轴，所述探针容纳腔与所述电磁吸附腔同轴；
所述样品安装装置包括：载台、样品托放置台、设置在载台上的激光发射器、样品托夹取系统、以及水平设置在所述载台侧壁的样品托容纳腔；所述样品托夹取系统包括第二旋转装置、设置于第二旋转装置上的可伸缩装置、设置在第二旋转装置上用于控制第二旋转装置旋转的第二旋转控制器以及设置在所述样品托夹上的激光接收器，所述可伸缩装置为L形，其长边端部与所述第二旋转装置连接，短边可伸缩且端部连接有样品托夹，所述第二旋转装置设置在所述载台的一侧，所述第二旋转装置、载台、激光发射器、激光接收器、样品托容纳腔和样品托夹的位置关系满足当所述样品托夹处于水平状态时，所述激光发射器与所述激光接收器能够同轴，所述样品托容纳腔与所述样品托夹能够同轴，所述可伸缩装置还包括用于控制样品托夹的第二开关以及用于控制伸缩装置伸缩的第二控制装置。
所述载台与所述基座可移动地设置在所述轨道上，所述样品托容纳腔和所述探针容纳腔轴线重合且相向。
在使用时，采用银胶将PTP（压转拉）样品粘在样品托上，样品托放置在样品托支架上晾干；开启第二旋转控制器控制样品拖第一旋转装置旋转至样品托盘夹处于样品托处，旋转速度为10mm/s，旋转角度为距水平面15°，然后控制样品托夹夹紧样品托；
开启激光发射器，继续通过第二旋转控制器控制第二旋转装置旋转至激光接收器接收到激光发射器发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为0.5mm/s，此时样品托与样品托容纳腔实现对准；
启动可伸缩装置将样品托推进至样品托空腔内，速度为1mm/s,到达样品腔底部，完成样品托的放置；
开启旋转控制器控制第一旋转装置转至适当位置，旋转速度为5mm/s，距水平面80°，开启电磁吸附将探针吸附至电磁吸附腔内；
开启激光信号发射装置，继续通过旋转控制器控制第一旋转装置旋转至激光信号接收装置接受到激光信号发射装置发出的激光信号，停止旋转，旋转过程中速度为1mm/s，此时探针与探针容纳腔实现对准；
启动可伸缩装置以步进速度2mm/s将探针推进至探针容纳腔内，然后断开电磁吸附以此完成探针的放置，然后启动收回可伸缩装置；
在样品和探针安装完成后，放入扫描电镜中即可进行纳米力学性能测试。

Claims (9)

1.一种原位纳米压痕探针夹持系统，其特征在于，所述系统包括探针供给装置和探针夹持装置，其中，
所述探针夹持装置包括基座（1）、设置于基座上的激光信号发射装置（2）、以及水平设置在所述基座侧壁的探针容纳腔；
所述探针供给装置包括第一旋转装置（3）、设置于第一旋转装置上的可伸缩电磁吸附装置（4）、设置在所述可伸缩电磁吸附装置上的激光信号接收装置（5）；
所述激光信号发射装置、探针容纳腔、可伸缩电磁吸附装置和激光信号接收装置的相对位置满足：当激光信号发射装置发出的激光信号被激光信号接收装置接收时，所述探针容纳腔与所述可伸缩电磁吸附装置的轴线保持重合；
所述可伸缩电磁吸附装置远离所述第一旋转装置的一端设置有用于吸附探针的电磁吸附腔，所述电磁吸附腔直径与探针（6）端部直径相同；
所述可伸缩电磁吸附装置为L形，其长边端部与所述第一旋转装置连接，短边可伸缩且端部设置有电磁探针吸附腔，所述激光信号接收装置设置在所述电磁探针吸附腔上。
2.如权利要求1所述的夹持系统，其特征在于，所述第一旋转装置上设置有用于控制第一旋转装置旋转的旋转控制器。
3.如权利要求1-2任一项所述的夹持系统，其特征在于，所述可伸缩电磁吸附装置（4）还包括用于控制电磁吸附腔进行电磁吸附的第一开关(8)以及用于控制可伸缩吸附装置伸缩的控制装置(7)。
4.如权利要求1-2任一项所述的夹持系统，其特征在于，所述第一旋转装置的旋转角度为0-180°，所述可伸缩电磁吸附装置的步进速度为0.5~5mm/s。
5.一种原位纳米压痕样品安装装置，其特征在于，所述装置包括如权利要求1所述的夹持系统、样品载台系统、轨道，其中，
所述样品载台系统包括：载台（9）、样品托放置台（10）、设置在载台上的激光发射器（11）、样品托夹取系统、以及水平设置在所述载台侧壁的样品托容纳腔；
所述载台（9）与所述基座（1）可移动地设置在所述轨道(12)上，所述样品托容纳腔和所述探针容纳腔轴线重合且相向；
所述样品托夹取系统包括第二旋转装置（13）、设置于第二旋转装置上的可伸缩装置（14）、设置在所述可伸缩装置远离所述第二旋转装置一端的样品托夹（15）、以及设置在所述样品托夹上的激光接收器（16）；
所述激光发射器、样品托容纳腔、样品托夹和激光接收器的相对位置满足：当激光发射器发出的激光信号被激光接收器接收时，所述样品托容纳腔与所述样品托夹的轴线保持重合。
6.如权利要求5所述的安装装置，其特征在于，所述第二旋转装置上设置有用于控制第二旋转装置旋转的第二旋转控制器，所述样品托容纳腔上设置有用于固定样品托的固定螺栓（19）。
7.如权利要求5所述的安装装置，其特征在于，所述可伸缩装置还包括用于控制样品托夹的第二开关（17）以及用于控制可伸缩装置伸缩的第二控制装置。
8.如权利要求5-7任一项所述的安装装置，其特征在于，所述可伸缩装置为L形，其长边端部与所述第二旋转装置连接，短边可伸缩且端部连接所述样品托夹。
9.如权利要求5-7任一项所述的安装装置，其特征在于，所述第二旋转装置的旋转角度为0-180°，所述可伸缩装置的步进速度为0.2~10mm/s。
CN202410328495.4A 2024-03-21 2024-03-21 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置 Active CN117929109B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202410328495.4A CN117929109B (zh) 2024-03-21 2024-03-21 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202410328495.4A CN117929109B (zh) 2024-03-21 2024-03-21 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN117929109A CN117929109A (zh) 2024-04-26
CN117929109B true CN117929109B (zh) 2024-05-24

Family

ID=90751042

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202410328495.4A Active CN117929109B (zh) 2024-03-21 2024-03-21 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117929109B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101344468A (zh) * 2008-08-25 2009-01-14 浙江工业大学 纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备
CN111811939A (zh) * 2020-07-21 2020-10-23 上海交通大学 超低温环境下的高精度纳米力学检测系统
CN115420595A (zh) * 2022-05-17 2022-12-02 吉林大学 原位表征压痕区域的微纳米级压痕测试装置及测试方法
CN116718447A (zh) * 2023-06-02 2023-09-08 中国核动力研究设计院 微观分析及纳米力学测试样品的通用样品台及使用方法
CN117030430A (zh) * 2023-08-04 2023-11-10 青岛海洋地质研究所 一种水合物纳米压痕装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111855457B (zh) * 2020-07-14 2024-07-09 吉林大学 变温工况下可溯源的原位微纳米压痕测试仪器及方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101344468A (zh) * 2008-08-25 2009-01-14 浙江工业大学 纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备
CN111811939A (zh) * 2020-07-21 2020-10-23 上海交通大学 超低温环境下的高精度纳米力学检测系统
CN115420595A (zh) * 2022-05-17 2022-12-02 吉林大学 原位表征压痕区域的微纳米级压痕测试装置及测试方法
CN116718447A (zh) * 2023-06-02 2023-09-08 中国核动力研究设计院 微观分析及纳米力学测试样品的通用样品台及使用方法
CN117030430A (zh) * 2023-08-04 2023-11-10 青岛海洋地质研究所 一种水合物纳米压痕装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
A novel and compact nanoindentation device for in situ nanoindentation tests inside the scanning electron microscope;Hu Huang et al.;AIP ADVANCES;20120531;第2卷(第1期);文献号012104 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN117929109A (zh) 2024-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008051880B1 (en) Method and apparatus for sample extraction and handling
US20080063562A1 (en) Parallel gripper for handling multiwell plate.
CN101643195A (zh) 制备胶体探针的方法及装置
JPH0776696B2 (ja) 原子間力顕微鏡
CN117929109B (zh) 一种原位纳米压痕探针夹持系统及样品安装装置
CN201677264U (zh) 三坐标万能夹具
CN110315372B (zh) 夹持装置及夹持设备
CN110996642A (zh) 一种fpc的自动上料设备
CN211466116U (zh) 一种电极夹持器及定位仪
CN219476627U (zh) 芯片耦合系统
CN109352174B (zh) 一种插芯组件自动装配焊接设备
CN109901312B (zh) 一种显示面板cell段的检测设备
KR100625510B1 (ko) 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치 및 이에 사용되는 서브 테이블
CN213956730U (zh) 一种光纤阵列光纤断纤检测装置
US7463414B2 (en) Microscope
CN218646559U (zh) 一种光纤的强磁场传输性能检测设备
CN208334826U (zh) 一种不带fpc液晶屏自动检测流水线
CN214703692U (zh) 一种测试台
CN115030240A (zh) 一种锚具静载试验过程自动监测方法及自动监测设备
CN216421613U (zh) 锁螺丝设备
CN218924724U (zh) 一种用于咽拭子管具有单通道移液器的吸液机械臂
CN221726070U (zh) 扫描探针显微镜换针装置
CN208889636U (zh) 支撑装置及检测设备
CN107290875B (zh) 样品放置治具及样品放置方法
CN111123438B (zh) 尾纤加工装置及尾纤加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant