CN117902786B - 一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，涉及晶圆生产废水处理设备技术领域。该基于晶圆封测的废水自适应处理装置包括：底架、废水存储机构、药液分散机构、上药机构和一级过滤机构。废水存储机构包括存储罐、罐盖和液位传感器，存储罐安装在底架上方，罐盖设置在存储罐内部，液位传感器安装在存储罐内壁。转动的支座、导流板和底罩壳在离心力的作用下将下落至底罩壳内底部中的絮凝药液通过导流腔沿着导流板向外快速甩出，实现存储罐中废液内部的晶硅碎屑颗粒能够被快速且充分地絮凝。一级泵体运行抽取存储罐内部底部的絮凝废液经过一级过滤罐将废水中絮凝的杂质颗粒过滤后可以进行再利用清洗。

Description

一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置

技术领域

本申请涉及晶圆生产废水处理设备技术领域，具体而言，涉及一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置。

背景技术

晶圆封测过程中生产加工的晶圆切片一般都是批量生产，单晶硅经过切片、研磨、抛光等工序形成晶圆。晶圆在研磨、抛光生产加工中采用流水直接预清洗的方式将导致用水量太高过于浪费。目前预清洗的方式为采用清水喷淋将研磨、抛光加工后晶圆表面的碎屑进行清洗作业，清洗后的废水采用沉淀池进行沉淀回收清洗废水中的晶硅碎屑颗粒。

目前采用的沉淀池需要配套管路安装沉淀设备，沉淀池等配套管路设备不仅占用较大的面积，且沉淀静置的方式也使得水渍清理速度较慢，不能够根据废水量进行自适应快速过滤清理等缺陷。

发明内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，以解决沉淀池等配套管路设备不仅占用较大的面积，沉淀静置的方式也使得水渍清理速度较慢，不能够根据废水量进行自适应快速过滤清理等问题。

根据本申请实施例的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，包括：底架、废水存储机构、药液分散机构、上药机构和一级过滤机构。

所述废水存储机构包括存储罐、罐盖和液位传感器，所述存储罐安装在所述底架上方，所述罐盖设置在所述存储罐内部，所述液位传感器安装在所述存储罐内壁，所述存储罐外部分别设置有进液口和出液口；

所述药液分散机构包括电机、顶部为封口设置的传动管、倒锥状结构的支座以及底罩壳，所述电机安装在所述存储罐顶部，且所述电机输出轴端转动贯穿于所述罐盖，所述传动管位于所述存储罐内部，且所述传动管顶端的封口端与所述电机输出轴端连接，所述传动管上段外侧设置有进药孔，所述支座内部设置有竖向的通口，所述传动管底端与所述支座连接，且所述传动管与所述通口连通设置，所述底罩壳位于所述支座下方，且所述底罩壳与所述支座之间设置有呈环状阵列分布的导流板若干个，所述导流板呈弧形结构，且相邻导流板与所述底罩壳和所述支座之间构成弧形结构的导流腔，导流腔沿着锥形结构的所述支座外壁从下至上等比例逐渐扩大设置；

所述上药机构包括上药仓、上药管和套壳，所述套壳转动设置在位于所述进药孔处的所述传动管外侧，所述上药仓通过支架固定在所述罐盖上方，所述上药管顶端与所述上药仓底部连通设置，且所述上药管底端贯穿于所述罐盖与所述套壳固定连通；

所述一级过滤机构包括均安装在底架上的一级过滤罐和一级泵体，所述一级泵体进水端口通过第一连接管与所述存储罐一侧的所述出液口连通，所述一级泵体的出水端口通过第二连接管与所述一级过滤罐对接连通。

在本申请的一些实施例中，所述一级过滤罐包括罐体和滤网，所述滤网安装在所述罐体内部，且所述滤网两侧的所述罐体两侧分别设置有进水口和出水口，所述进水口与第二连接管一端连通设置。

在本申请的一些实施例中，位于所述进水口一侧的所述罐体底端设置有排污端口，所述排污端口上设置有第一阀门。

在本申请的一些实施例中，所述罐体内壁对称设置有卡座，所述滤网安装在两组所述卡座之间。

该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括二级过滤机构，所述二级过滤机构包括二级过滤罐和二级泵体，所述二级过滤罐和所述二级泵体均安装在底架上方，所述二级泵体进水端口通过第三连接管与所述出水口连通设置，所述二级泵体出水端口与所述二级过滤罐进水端连通设置，所述二级过滤罐出水端连通有出水管。

在本申请的一些实施例中，所述二级过滤罐排污端连通有排污管。

在本申请的一些实施例中，所述二级过滤机构还包括排污泵，所述排污泵进水端与所述排污管连通设置。

在本申请的一些实施例中，所述上药机构还包括计量阀和电磁阀，所述计量阀和所述电磁阀均安装在所述上药管上。

在本申请的一些实施例中，所述上药仓顶部铰接设置有盖板，且所述盖板上方安装有把手。

在本申请的一些实施例中，所述套壳与所述传动管之间设置有密封环。

该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括混合调压机构，所述混合调压机构包括上段为外螺纹设置且底部为封口设置的内套筒、搅拌叶和设置有内螺纹的外套筒，倒锥形结构的所述底罩壳底部设置有通孔，所述外套筒固定嵌设在通孔内部，两组所述搅拌叶对称固定设置在所述内套筒下端外侧，且所述内套筒上段螺接贯穿于所述外套筒，所述内套筒顶端外沿固定有限位块，所述内套筒的外螺纹段处设置有与筒体内部相连通的补液孔。

该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括辅助混合机构，所述括辅助混合机构位于所述支座上方，所述辅助混合机构包括套环、支撑杆、筒管和圆台状壳体结构的喷头，所述套环固定套设在所述传动管外部，所述支撑杆两端分别与所述套环和所述筒管固定连接，所述筒管由下至上倾斜向所述存储罐内壁倾斜设置，且两组所述筒管底端反向倾斜设置，所述喷头连通设置在所述筒管顶端。

本申请的有益效果是：本申请通过上述设计得到的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，存储罐内部的废水通过上药仓和上药管进入至套壳内部，然后通过进药孔进入至传动管内部。转动的支座、导流板和底罩壳在离心力的作用下将下落至底罩壳内底部中的絮凝药液通过导流腔沿着一侧弧形结构的导流板向外快速甩出，实现存储罐中废液内部的晶硅碎屑颗粒能够被快速且充分地絮凝。当存储罐内部的废液水位达到一定高度后，液位传感器通过控制系统控制一级泵体运行抽取存储罐内部底部的絮凝废液经过一级过滤罐将废水中絮凝的杂质颗粒过滤后可以进行再利用清洗。相比传统的沉淀池处理废水的方式，不仅处理速度较快，且处理装置整体占地面积相对更小。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是根据本申请实施例的基于晶圆封测的废水自适应处理装置结构示意图；

图2是根据本申请实施例的废水存储机构和一级过滤机构结构示意图；

图3是根据本申请实施例的一级过滤罐结构示意图；

图4是根据本申请实施例的二级过滤机构结构示意图；

图5是根据本申请实施例的废水存储机构、上药机构、药液分散机构、混合调压机构和辅助混合机构结构示意图；

图6是根据本申请实施例的上药机构结构示意图；

图7是根据本申请实施例的药液分散机构、混合调压机构和辅助混合机构结构示意图；

图8是根据本申请实施例的套壳和传动管安装结构示意图；

图9是根据本申请实施例的支座和导流板结构示意图；

图10是根据本申请实施例的混合调压机构结构示意图；

图11是根据本申请实施例的内套筒和外套筒配合结构示意图；

图12是根据本申请实施例的筒管和喷头内部结构示意图。

图标：

10-底架；20-废水存储机构；210-存储罐；220-罐盖；230-液位传感器；240-进液口；250-出液口；30-一级过滤机构；310-一级过滤罐；311-罐体；312-滤网；313-进水口；314-出水口；316-卡座；320-一级泵体；40-上药机构；410-上药仓；430-上药管；440-套壳；450-密封环；460-电磁阀；470-计量阀；480-盖板；490-把手；50-药液分散机构；510-电机；520-传动管；530-支座；540-导流板；550-底罩壳；560-进药孔；570-通口；60-二级过滤机构；610-二级过滤罐；620-二级泵体；630-出水管；640-排污泵；650-排污管；70-混合调压机构；710-内套筒；720-搅拌叶；730-补液孔；740-外套筒；750-限位块；80-辅助混合机构；810-套环；820-支撑杆；830-筒管；840-喷头。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

为使本申请实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

下面参考附图描述根据本申请实施例的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置。

实施例1

请参阅图1-图9，根据本申请实施例的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，包括：底架10、废水存储机构20、药液分散机构50、上药机构40和一级过滤机构30。

其中，底架10用于支撑安装废水存储机构20和一级过滤机构30，药液分散机构50和上药机构40相配合将药液快速分散至废水存储机构20中将废液中的晶硅碎屑进行快速处理，处理装置相比传统的沉淀池不仅对废液中的杂质处理速度快，且能够对排入的废液进行自适应处理，同时该处理装置整体占地面积也将更小，安装更节约使用面积。

请参阅图1、图2、图5-图9，废水存储机构20包括存储罐210、罐盖220和液位传感器230。存储罐210安装在底架10上方，罐盖220通过螺栓设置在存储罐210内部，液位传感器230安装在存储罐210内壁，存储罐210外部分别设置有进液口240和出液口250。药液分散机构50包括电机510、顶部为封口设置的传动管520、倒锥状结构的支座530以及底罩壳550。电机510安装在存储罐210顶部，且电机510输出轴端转动贯穿于罐盖220，传动管520位于存储罐210内部，且传动管520顶端的封口端通过联轴器与电机510输出轴端连接。传动管520上段外侧设置有进药孔560，支座530内部设置有竖向的通口570，传动管520底端与支座530连接，且传动管520与通口570连通设置。底罩壳550位于支座530下方，且底罩壳550与支座530之间设置有呈环状阵列分布的导流板540若干个。其中，支座530与导流板540之间采用一体成型设置，导流板540和底罩壳550之间通过焊接固定。导流板540呈弧形结构，且相邻导流板540与底罩壳550和支座530之间构成弧形结构的导流腔，导流腔沿着锥形结构的支座530外壁从下至上等比例逐渐扩大设置。上药机构40包括上药仓410、上药管430和套壳440。套壳440转动设置在位于进药孔560处的传动管520外侧，上药仓410通过支架固定在罐盖220上方，上药管430顶端与上药仓410底部连通设置，且上药管430底端贯穿于罐盖220与套壳440通过焊接的方式固定连通。一级过滤机构30包括均安装在底架10上的一级过滤罐310和一级泵体320，一级泵体320进水端口通过第一连接管与存储罐210一侧的出液口250连通，一级泵体320的出水端口通过第二连接管与一级过滤罐310对接连通。

该基于晶圆封测的废水自适应处理装置的工作原理为：晶圆研磨、抛光产生的废水收集后通过存储罐210一侧的进液口240进入至存储罐210内部。同时添加至上药仓410内部的药液通过上药管430进入至套壳440内部，套壳440中的药液通过传动管520上段的进药孔560进入至传动管520内部。同时电机510通过传动管520带动底端的支座530、导流板540和底罩壳550同时转动。进入至传动管520内部的絮凝药液在重力作用下通过支座530内部的通口570落在底部倒锥形结构的底罩壳550内底部，转动的支座530、导流板540和底罩壳550在离心力的作用下将下落至底罩壳550内底部中的絮凝药液通过导流腔沿着一侧弧形结构的导流板540向外快速甩出。呈环状阵列结构的多组弧形结构导流板540设置，使得添加至存储罐210内部的絮凝药液快速分散至存储罐210中的废液中。由内部快速分散至存储罐210中的絮凝药液与存储罐210中的废液也可更为快速且均匀地混合，实现存储罐210中废液内部的晶硅碎屑颗粒能够被快速且充分地絮凝。同时，电机510通过传动管520带动支座530、导流板540和底罩壳550转动，在分散絮凝药液的同时也造成存储罐210内部的废液与絮凝药液旋转快速混合，进一步提升废液中晶硅杂质颗粒快速絮凝。

当存储罐210内部的废液水位达到一定高度后，液位传感器230通过控制系统控制一级泵体320运行，一级泵体320抽取存储罐210内部底部的絮凝废液经过第一连接管以及第二连接管进入至一级过滤罐310，一级过滤罐310将废水中絮凝的杂质颗粒过滤后可以进行再利用清洗。该基于晶圆封测的废水自适应处理装置能够实现自适应处理存储罐210内部的清洗废水，相比传统的沉淀池处理废水的方式，不仅处理速度较快，且处理装置整体占地面积相对更小。

在具体设置时，请参阅图3，一级过滤罐310包括罐体311和滤网312。滤网312安装在罐体311内部，且滤网312两侧的罐体311两侧分别设置有进水口313和出水口314，进水口313与第二连接管一端连通设置。位于进水口313一侧的罐体311底端设置有排污端口，排污端口上设置有第一阀门。一级过滤罐310中的滤网312用于过滤絮凝的杂质，将废水进行以及过滤处理，过滤的絮凝杂质可以通过排污端口向外排出。罐体311内壁对称设置有卡座316，滤网312通过螺栓安装在两组卡座316之间，卡座316的设置增强对滤网312的支撑作用。

请参阅图4，该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括二级过滤机构60，二级过滤机构60包括二级过滤罐610和二级泵体620。二级过滤罐610和二级泵体620均安装在底架10上方，二级泵体620进水端口通过第三连接管与出水口314连通设置，二级泵体620出水端口与二级过滤罐610进水端连通设置，二级过滤罐610出水端连通有出水管630。二级过滤罐610排污端连通有排污管650。二级过滤机构60还包括排污泵640，排污泵640进水端与排污管650连通设置。

经过一级过滤罐310中滤网312一级过滤后，为了提升过滤后的水质，可以通过二级泵体620经过第三连接管排入至二级过滤罐610内部，二级过滤罐610对废水进行再过滤处理，进一步提升清理废水的水源质量。其中，二级过滤罐610可采用反渗透过滤器，用于进一步提升过滤水质。

在上述具体实施方式中，请参阅图6，上药机构40还包括计量阀470和电磁阀460，计量阀470和电磁阀460均安装在上药管430上。计量阀470用于计量从上药仓410上料的药液，电磁阀460可根据计量阀470相配合调整开关配合下药量，即可根据进入至存储罐210内部的废水进行药液量自适应添加。

具体地，请参阅图6和图8，上药仓410顶部铰接设置有盖板480，且盖板480上方安装有把手490，打开把手490带动上药仓410顶部的盖板480转动，可以向上药仓410内部添加絮凝药液。套壳440与传动管520之间设置有密封环450，密封环450的设置用于密封套壳440与传动管520之间的缝隙。

实施例2

上述基于晶圆封测的废水自适应处理装置在传动管520带动支座530、导流板540和底罩壳550旋转将落在底罩壳550内底部的药液靠着离心力甩出至存储罐210内部的废液中，若是能够在底罩壳550旋转的同时已经与废水混合甩出，则能够进一步提升药液在存储罐210内部与废液的混合效率。

在上述实施例1的基础上，请参阅图7、图10和图11，该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括混合调压机构70，混合调压机构70包括上段为外螺纹设置且底部为封口设置的内套筒710、搅拌叶720和设置有内螺纹的外套筒740。倒锥形结构的底罩壳550底部设置有通孔，外套筒740通过焊接的方式固定嵌设在通孔内部。两组搅拌叶720对称通过焊接的方式固定设置在内套筒710下端外侧，且内套筒710上段螺接贯穿于外套筒740，内套筒710顶端外沿固定有限位块750，内套筒710的外螺纹段处设置有与筒体内部相连通的补液孔730。

在电机510输出轴端驱动传动管520转动时，转动的传动管520同步带动下方的支座530、导流板540和底罩壳550一同转动，且转动的底罩壳550带动下方的外套筒740、内套筒710以及搅拌叶720同步转动，此时内套筒710上的补液孔730位于外套筒740下方。当支座530、导流板540和底罩壳550转动将落在底罩壳550内底部的药液旋转从导流腔内部沿着导流板540在离心力作用下甩出的同时，底罩壳550内底部处于负压状态，此时存储罐210内底部的废液将通过补液孔730进入至内套筒710内部直至底罩壳550内底部区域与从传动管520落下的药液相互融合，融合后的废液与药液一同顺着导流腔在离心力作用下向外甩出至存储罐210中，此方式能够进一步提升药液与存储罐210内部废液的混合效率。

当存储罐210内部的废水不需要与药液混合时，电机510驱动传动管520反向转动，即传动管520带动底部的支座530、导流板540和底罩壳550以及外套筒740一同转动。在外套筒740与内套筒710的螺接配合下，转动的内套筒710逐渐上移，使得内套筒710外侧的补液孔730上移至外套筒740内侧，避免存储罐210内部的絮凝颗粒堵塞补液孔730。当需要再次向存储罐210内部添加药液时，电机510再次驱动传动管520再次正转，使得内套筒710先下移，即使得内套筒710外侧的补液孔730暴露在外部，实现废液可通过补液孔730进入至底罩壳550内底部。内套筒710底部外侧的搅拌叶720不仅能够搅拌存储罐210内部的废液，提升废液与药液之间的混合效率，且搅拌叶720的设置增加了外套筒740与内套筒710之间旋转时的扭矩，实现外套筒740与内套筒710螺纹配合移动时更为稳定。

实施例3

上述基于晶圆封测的废水自适应处理装置主要是预先对存储罐210内部下方的废液与药液进行混合，若是能够将存储罐210下方与上方的废液同步进行混合，则能够进一步提升药液与废液的混合效率。

在上述实施例2的基础上，请参阅图7和图12，该基于晶圆封测的废水自适应处理装置还包括辅助混合机构80，括辅助混合机构80位于支座530上方，辅助混合机构80包括套环810、支撑杆820、筒管830和圆台状壳体结构的喷头840。套环810通过螺栓固定套设在传动管520外部，支撑杆820两端分别与套环810和筒管830通过焊接的方式固定连接，筒管830由下至上倾斜向存储罐210内壁倾斜设置，且两组筒管830底端反向倾斜设置，喷头840采用一体成型的方式连通设置在筒管830顶端。

当电机510通过传动管520带动支座530、导流板540和底罩壳550转动将废液和药液一同离心甩出至底罩壳550顶部外围区域。且同时转动的传动管520也将带动外部的套环810转动，转动的套环810通过支撑杆820带动筒管830以及筒管830顶部的圆台壳状结构的喷头840一起转动。倾斜的筒管830在转动时，筒管830底部的端口在与废水之间的阻力下将顺着倾斜的筒管830底端进入至筒管830内部，筒管830底端靠近底罩壳550顶部外围区域；即转动的筒管830底部将从底罩壳550上导流腔中甩出的废水与药液的部分混合液体，再次通过筒管830转动离心的作用下从筒管830顶部的喷头840喷出至废液上方，使得存储罐210内部上方的废液也能够同步与加入的药液快速混合，再次提升存储罐210中废液的混合效率。

且在筒管830转动将存储罐210内部底罩壳550上方外围的部分混合液体从喷头840喷出提升存储罐210内部上方废液与药液的混合效率的同时，转动的筒管830对存储罐210内部上方的废液也起到搅拌混合的作用，即可进一步提升存储罐210内部上废液与药液的混合效率，使得废液中的晶硅碎屑和杂质能够被迅速絮凝，有效提升后续废液过滤效率，即使得处理装置整体对废液絮凝处理时有着更高效的性能。

需要说明的是，上述一级泵体320、二级泵体620、排污泵640、电机510、液位传感器230具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述。一级泵体320、二级泵体620、排污泵640、电机510、液位传感器230的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，包括：

底架（10）；

废水存储机构（20），所述废水存储机构（20）包括存储罐（210）、罐盖（220）和液位传感器（230），所述存储罐（210）安装在所述底架（10）上方，所述罐盖（220）设置在所述存储罐（210）内部，所述液位传感器（230）安装在所述存储罐（210）内壁，所述存储罐（210）外部分别设置有进液口（240）和出液口（250）；

药液分散机构（50），所述药液分散机构（50）包括电机（510）、顶部为封口设置的传动管（520）、倒锥状结构的支座（530）以及底罩壳（550），所述电机（510）安装在所述存储罐（210）顶部，且所述电机（510）输出轴端转动贯穿于所述罐盖（220），所述传动管（520）位于所述存储罐（210）内部，且所述传动管（520）顶端的封口端与所述电机（510）输出轴端连接，所述传动管（520）上段外侧设置有进药孔（560），所述支座（530）内部设置有竖向的通口（570），所述传动管（520）底端与所述支座（530）连接，且所述传动管（520）与所述通口（570）连通设置，所述底罩壳（550）位于所述支座（530）下方，且所述底罩壳（550）与所述支座（530）之间设置有呈环状阵列分布的导流板（540）若干个，所述导流板（540）呈弧形结构，且相邻导流板（540）与所述底罩壳（550）和所述支座（530）之间构成弧形结构的导流腔，导流腔沿着锥形结构的所述支座（530）外壁从下至上等比例逐渐扩大设置；

上药机构（40），所述上药机构（40）包括上药仓（410）、上药管（430）和套壳（440），所述套壳（440）转动设置在位于所述进药孔（560）处的所述传动管（520）外侧，所述上药仓（410）通过支架固定在所述罐盖（220）上方，所述上药管（430）顶端与所述上药仓（410）底部连通设置，且所述上药管（430）底端贯穿于所述罐盖（220）与所述套壳（440）固定连通；

一级过滤机构（30），所述一级过滤机构（30）包括均安装在底架（10）上的一级过滤罐（310）和一级泵体（320），所述一级泵体（320）进水端口通过第一连接管与所述存储罐（210）一侧的所述出液口（250）连通，所述一级泵体（320）的出水端口通过第二连接管与所述一级过滤罐（310）对接连通。

2.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述一级过滤罐（310）包括罐体（311）和滤网（312），所述滤网（312）安装在所述罐体（311）内部，且所述滤网（312）两侧的所述罐体（311）两侧分别设置有进水口（313）和出水口（314），所述进水口（313）与第二连接管一端连通设置。

3.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，位于所述进水口（313）一侧的所述罐体（311）底端设置有排污端口，所述排污端口上设置有第一阀门。

4.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述罐体（311）内壁对称设置有卡座（316），所述滤网（312）安装在两组所述卡座（316）之间。

5.根据权利要求2所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，还包括二级过滤机构（60），所述二级过滤机构（60）包括二级过滤罐（610）和二级泵体（620），所述二级过滤罐（610）和所述二级泵体（620）均安装在底架（10）上方，所述二级泵体（620）进水端口通过第三连接管与所述出水口（314）连通设置，所述二级泵体（620）出水端口与所述二级过滤罐（610）进水端连通设置，所述二级过滤罐（610）出水端连通有出水管（630）。

6.根据权利要求5所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述二级过滤罐（610）排污端连通有排污管（650）。

7.根据权利要求6所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述二级过滤机构（60）还包括排污泵（640），所述排污泵（640）进水端与所述排污管（650）连通设置。

8.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述上药机构（40）还包括计量阀（470）和电磁阀（460），所述计量阀（470）和所述电磁阀（460）均安装在所述上药管（430）上。

9.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述上药仓（410）顶部铰接设置有盖板（480），且所述盖板（480）上方安装有把手（490）。

10.根据权利要求1所述的一种基于晶圆封测的废水自适应处理装置，其特征在于，所述套壳（440）与所述传动管（520）之间设置有密封环（450）。