CN117847866A - 半导体温控方法、装置及半导体温控设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体生产技术领域，提供一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备。该方法包括：获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；获取温控设备的压缩机的实时回油量；基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机的回油量。根据本申请实施例的半导体温控方法，可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

Description

半导体温控方法、装置及半导体温控设备

技术领域

本申请涉及半导体生产技术领域，尤其涉及半导体温控方法、装置及半导体温控设备。

背景技术

在半导体的生产加工过程中，通常采取专用的温控设备来获取恒温载冷剂的方式带走加工过程中的热量，维持所需的温度。在低温工况时，为了保证压缩机的正常运转，会利用油分离器将分离出来的油输送回压缩机。

相关技术中的温控设备，当油分离器和压缩机之间的回油管路发生泄露时，仍会继续工作，容易导致压缩机因缺油磨损而发生故障，造成压缩机的损坏，且突然的故障停机也会对用户造成损失。

发明内容

本申请旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种半导体温控方法、装置及半导体温控设备，可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

根据本申请第一方面实施例的半导体温控方法，包括：

获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；

基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；

基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；

其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。

根据本申请的一个实施例，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述实际回油量低于所述目标回油量，控制所述温控设备停止工作。

根据本申请的一个实施例，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述实时回油量低于所述目标回油量；

在预设时长内，重新获取所述压缩机的实时回油量；

基于所述实时回油量和重新获取的所述压缩机的实时回油量，控制所述温控设备的工作。

根据本申请的一个实施例，所述控制所述温控设备的工作，包括：

获取所述温控设备的负载信息；

基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作。

根据本申请的一个实施例，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述温控设备处于空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。

根据本申请的一个实施例，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述温控设备处于带载状态，控制所述温控设备继续工作；

确定所述温控设备从所述带载状态切换为空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。

根据本申请的一个实施例，所述获取所述温控设备的负载信息，包括：

获取所述温控设备的出口温度和所述温控设备的回口温度；

基于所述出口温度和所述回口温度，确定所述温控设备的负载信息。

根据本申请第二方面实施例的半导体温控装置，包括：

第一获取模块，用于获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；

确定模块，用于基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

第二获取模块，用于获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；

控制模块，用于基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；

其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。

根据本申请第三方面实施例的半导体温控设备，包括制冷系统，所述制冷系统包括压缩机和油分离器，所述压缩机的第一连接口与所述油分离器的进气口连通，所述压缩机的第二连接口通过回油管路与所述油分离器的出油口连通，所述油分离器适于将分离出来的油输送至所述压缩机，所述回油管路处设有流量检测件。

根据本申请第四方面实施例的电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的所述半导体温控方法。

根据本申请第五方面实施例的非暂态计算机可读存储介质，所述非暂态计算机可读存储介质包括计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述的所述半导体温控方法。

根据本申请第六方面实施例的计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述的所述半导体温控方法。

根据本申请实施例的半导体温控方法、装置及半导体温控设备，服务器端先获取温控设备的实时出口设定温度和实时制冷量，然后从数据库中确定得到与实时出口设定温度和实时制冷量相对应的目标回油量，然后服务器端获取压缩机的实时回油量，并将实时回油量和目标回油量进行比对，进而判断是否发生了油泄露的情况，当确定发生油泄露时，则控制温控设备立刻停机或完成当前工作任务后停机，并发出相应的警报，以避免压缩机损坏。进而可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请提供的半导体温控方法的流程示意图；

图2是本申请提供的半导体温控装置的结构示意图；

图3是本申请提供的电子设备的结构示意图；

图4是本申请提供的半导体温控设备的结构示意图之一；

图5是本申请提供的半导体温控设备的结构示意图之二。

附图标记：

1、制冷系统；2、内循环系统；3、载冷剂循环管路系统；4、三通阀；

5、连接管路；11、压缩机；12、板式换热器；13、干燥过滤器；

14、电子膨胀阀；15、视液镜；16、油分离器；17、回油管路；

18、流量检测件；21、换热部件；22、载冷剂存储件；23、驱动泵；

24、第一温度传感器；25、第二温度传感器；31、出液管路；32、回液管路；

33、加热器；34、第三温度传感器；35、压力传感器；36、流量计；

51、第四温度传感器。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例提供了半导体温控方法的实施例，需要说明的是，虽然在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些数据下，可以以不同于此处的顺序完成所示出或描述的步骤。

下面结合图1至图5描述本申请的半导体温控方法、装置及半导体温控设备。

在对本申请实施例的半导体温控方法进行介绍之前，首先对半导体温控方法的应用场景进行解释说明，本申请的半导体温控方法可以应用于和半导体温控设备连接的如智能手机、平板和电脑等智能终端，还可以应用于连接半导体温控设备的服务器，还可以应用于半导体温控设备的控制部件，本申请在此不做特殊限定，只要可以承载并实现本申请的半导体温控方法即可。

下面以半导体温控方法应用于服务器端进行说明，但是应当了解，并不限定半导体温控方法仅能应用于服务器端。

根据本申请第一方面的实施例，如图1所示，半导体温控方法，包括：

步骤101，获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量。

具体的，服务器端会先获取温控设备的实时出口设定温度和温控设备的实时制冷量，以便于后续根据实时出口设定温度和实时制冷量判断回油量是否正常。

可以理解的是，温控设备一般通过电子膨胀阀控制制冷量，服务器端通过获取电子膨胀阀的开度值即可得知温控设备的实时制冷量。

步骤102，基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量，其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机11的回油量。

具体的，由于数据库中存储有温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下对应的压缩机11的回油量，服务器端将实时出口设定温度和实时制冷量输入数据库，即可得到与实时出口设定温度以及实时制冷量相对应的目标回油量，即在实时出口设定温度和实时制冷量的条件下，压缩机11的正常回油量为目标回油量。

步骤103，获取温控设备的压缩机11的实时回油量。

具体的，服务器端获取压缩机11的实时回油量，以便于后续和目标回油量进行比对。

可以理解的是，制冷系统一般安装有油分离器16保障压缩机11的回油，则可以在回油管路17中设置相应的检测元件，通过检测元件检测压缩机11的实时回油量，服务器端通过获取检测元件的检测数据即可获取得到压缩机11的实时回油量。

步骤104，基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作。

具体的，服务器端根据实时回油量和目标回油量，控制温控设备停机或继续工作或工作一定时长后停机。

可以理解的是，服务器端可以将实时回油量和目标回油量进行比对，当确定实时回油量低于目标回油量时，则说明此时可能出现了油泄露的情况，则服务器端可以控制温控设备立刻停机或完成当前工作后停机，以避免压缩机11发生损坏。

可以理解的是，服务器端在确定实时回油量低于目标回油量时，还可以继续检测压缩机11的实时回油量，当确定压缩机11的实时回油量一直在降低时，则确定此时出现了油泄露的情况，避免误判。

根据本申请实施例的半导体温控方法，服务器端先获取温控设备的实时出口设定温度和实时制冷量，然后从数据库中确定得到与实时出口设定温度和实时制冷量相对应的目标回油量，然后服务器端获取压缩机11的实时回油量，并将实时回油量和目标回油量进行比对，进而判断是否发生了油泄露的情况，当确定发生油泄露时，则控制温控设备立刻停机或完成当前工作任务后停机，并发出相应的警报，以避免压缩机11损坏。进而可以对回油量的进行实时检测，实现了对油泄露的实时检测，并在发生油泄露后及时的发出警报并关停温控设备，可以有效的避免压缩机11的损坏，可以避免温控设备突然停机而对用户造成损失。

可以理解的是，控制温控设备的工作，可以仅是控制压缩机11的工作，也可以是控制包括压缩机11在内的温控设备的其他部件的工作。

在本申请的一个实施例中，基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作，包括：

确定实际回油量低于目标回油量，控制温控设备停止工作。

可以理解的是，服务器端在确定实际回油量低于目标回油量时，向温控设备发出相应的控制指令，以控制温控设备停止工作，避免压缩机11在油量不足的情况下继续工作，避免压缩机11损坏。

可以理解的是，在控制温控设备停止工作的同时，还会发出警报信息，使得工作人员可以第一时间得知出现了漏油情况，以便于做出相应的应对措施。

在本申请的一个实施例中，基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作，包括：

确定实时回油量低于目标回油量；

在预设时长内，重新获取压缩机11的实时回油量；

基于实时回油量和重新获取的压缩机11的实时回油量，控制温控设备的工作。

可以理解的是，服务器端在确定实时回油量低于目标回油量后，会在预设时长内继续重新获取压缩机11的实时回油量，并对预设时长内重新获取的压缩机11的实时回油量进行分析。当确定预设时长内，压缩机11的实时回油量不断减小，则说明确实出现了漏油的情况，需要控制温控设备立刻停机或完成当前任务后停机；当确定预设时长内，压缩机11的实时回油量没有减小，则说明并没有出现漏油的情况，则控制温控设备继续正常工作。

在本申请的一个实施例中，控制温控设备的工作，包括：

获取温控设备的负载信息；

基于负载信息，控制温控设备的工作。

可以理解的是，服务器端在控制温控设备的工作时，会先获取温控设备的负载信息，并根据负载信息控制温控设备的工作，提高了半导体温控方法的智能化程度。

在本申请的实施例中，基于负载信息，控制温控设备的工作，包括：

确定温控设备处于空载状态，控制发出报警信息并控制温控设备停止工作。

可以理解的是，服务器端根据负载信息，可以判断温控设备是否处于空载状态，当确定温控设备处于空载状态时，说明此时关停温控设备也不会对生产造成影响，则服务器端控制温控设备立刻停止工作，同时，服务器端还会控制发出报警信息，使得工作人员可以及时得知温控设备的情况，便于及时进行维修。

可以理解的是，服务器端可以控制蜂鸣器发出声音，以实现发出报警信息的目的；服务器端还可以将报警信息发送至人机交互界面，使得工作人员可以观察到温控设备出现了故障。

在本申请的实施例中，基于负载信息，控制温控设备的工作，包括：

确定温控设备处于带载状态，控制温控设备继续工作；

确定温控设备从带载状态切换为空载状态，控制发出报警信息并控制温控设备停止工作。

可以理解的是，服务器端可以根据负载信息确定温控设备是否处于带载状态，当确定温控设备处于带载状态时，说明此时用户处有热负荷正常工作，温控设备正常使用过程中，则服务器端先控制温控设备继续工作，避免温控设备突然停机对生产造成影响。然后服务器端会继续获取温控设备的负载信息，并根据负载信息判断温控设备处于带载状态还是空载状态，当确定温控设备从带载状态切换为空载状态时，说明用户处已经完成了当前的生产工作，则服务器端控制温控设备停止工作，避免压缩机11损坏，服务器端同时还会发出报警信息，以提醒用户温控设备存在故障，使得用户可以及时的对温控设备进行维修。

在本申请的实施例中，获取温控设备的负载信息，包括：

获取温控设备的出口温度和温控设备的回口温度；

基于出口温度和回口温度，确定温控设备的负载信息。

可以理解的是，服务器端可以获取温控设备的出口温度和回口温度，并将出口温度和回口温度进行比对，进而确定温控设备的负载信息。

可以理解的是，获取设备初始运行时，温控设备的初始回口温度和初始出口温度之间的初始差值，当出口温度和回口温度的差值，大于初始差值时，说明此时用户处正常使用温控设备，即温控设备是带载状态的。

根据本申请第二方面的实施例，半导体温控装置与半导体温控方法互对应参照。如图2所示，半导体温控装置包括：

第一获取模块201，用于获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；

确定模块202，用于基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

第二获取模块203，用于获取温控设备的压缩机11的实时回油量；

控制模块204，用于基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；

其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机11的回油量。

根据本申请第三方面的实施例，如图4和图5所示，半导体温控设备包括制冷系统，制冷系统包括压缩机11和油分离器16，压缩机11的第一连接口与油分离器16的进气口连通，压缩机11的第二连接口通过回油管路17与油分离器16的出油口连通，油分离器16适于将分离出来的油输送至压缩机11，回油管路17处设有流量检测件18。

根据本申请实施例的半导体温控设备，油分离器16可以将分离出来的油输送至压缩机11，同时流量检测件18可以对油分离器16输送至压缩机11的油量进行检测，将流量检测件18设在回油管路17处，使得流量检测件18可以对回油量进行检测，以便于后续根据回油量判断是否发生漏油。当确定发生漏油时，则控制温控设备停机或完成当前任务后停机，避免压缩机11缺油磨损。

根据本申请的一个实施例，如图5所示，半导体温控装置包括：

制冷系统1；

内循环系统2，包括换热部件21、载冷剂存储件22和驱动泵23，换热部件21、载冷剂存储件22的第一入口、载冷剂存储件22的第一出口和驱动泵23依次连通连接，换热部件21与制冷系统1连接，换热部件21适于和制冷系统1换热；

载冷剂循环管路系统3，载冷剂存储件22的第二出口、载冷剂循环管路系统3和载冷剂存储件22的第二入口依次连通；

控制系统，制冷系统1和驱动泵23均与控制系统连接。

根据本申请实施例的半导体温控装置，开始工作时，制冷系统1、内循环系统2和载冷剂循环管路系统3正常工作，制冷系统1与换热部件21换热，驱动泵23带动载冷剂存储件22内的载冷剂从第一出口流向换热部件21，载冷剂与换热部件21换热后从第一入口回流到载冷剂存储件22内，形成内循环流路，实现对载冷剂存储件22内的载冷剂的温度调节。同时，载冷剂存储件22内的载冷剂通过第二出口流向载冷剂循环管路系统3，使得载冷剂循环管路系统3可以利用载冷剂对相应的负载进行精准控温，最后载冷剂循环管路系统3内的载冷剂会回流到载冷剂存储件22内，形成外循环流路。

当检测到载冷剂存储件22内的载冷剂的温度低于预设值时，则说明载冷剂存储件22已经存储了足够多的冷量，则控制制冷系统1关闭，即关闭内循环流路。此时利用载冷剂存储件22内的载冷剂和载冷剂循环管路系统3对负载进行精准控温。当载冷剂存储件22内的载冷剂上升到预定值时，则说明此时仅利用载冷剂存储件22内的载冷剂已经无法满足控温要求，则再次控制制冷系统1开启，即控制内循环管路开启，使得制冷系统1对载冷剂存储件22内的载冷剂进行制冷，如此不断循环。进而实现了制冷系统1间歇性工作的目的，降低了制冷系统1的输出比，达到节能降耗的效果。

可以理解的是，载冷剂存储件22例如为水箱。

根据本申请的一个实施例，如图1所示，半导体温控装置包括三通阀4，载冷剂循环管路系统3包括出液管路31和回液管路32，三通阀4的入口与回液管路32连接，三通阀4的第一出口与载冷剂存储件22的第二入口连通，三通阀4的第一出口与出液管路31连通，载冷剂存储件22的第二出口与出液管路31连通。

可以理解的是，载冷剂存储件22内的载冷剂通过第二出口流向出液管路31，然后载冷剂回流到回液管路32，由于回液管路32连接三通阀4的入口，而三通阀4的两个出口分别连接载冷剂存储件22的第二入口和出液管路31，即回液管路32内的载冷剂可以流向载冷剂存储件22，也可以流向出液管路31。通过调节三通阀4的开度，可以控制回液管路32内载冷剂流向载冷剂存储件22内的量，进而可以调节载冷剂存储件22内流向出液管路31的载冷剂的量，进而可以实现对出液管路31中的载冷剂的温度的控制调节。

根据本申请的一个实施例，如图1所示，载冷剂循环管路系统3包括加热器33和第三温度传感器34，出液管路31依次连接载冷剂存储件22的第二出口、加热器33和第三温度传感器34，加热器33和第三温度传感器34均与控制系统连接，控制系统被配置为：根据第三温度传感器34的检测数据，控制加热器33的输出。

可以理解的是，第三温度传感器34可以检测出液管路31处的载冷剂的温度，即第三温度传感器34可以检测半导体温控装置的实时出口温度，将实时出口温度和设定温度值进行比较，进而可以调整加热器33的输出，使得半导体的实时出口温度与设定温度值相同，实现对负载的精准控温。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，加热器33和第三温度传感器34之间依次连接有压力传感器35和流量计36，压力传感器35和流量计36均与控制系统连接。

可以理解的是，通过压力传感器35可以检测出液管路31处的实时出口压力，通过流量计36可以检测出液管路31处的实时液体流量，通过实时出口压力和实时液体流量可以判断温控装置的出口参数是否符合要求，使得温控装置可以对负载进行精准控温。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，载冷剂存储件22的第二出口以及三通阀4的第二出口均通过连接管路5与加热器33连通，连接管路5处设有第四温度传感器51，第四温度传感器51与三通阀4均与控制系统连接，控制系统被配置为：基于第四温度传感器51的检测数据，控制调节三通阀4的开度。

可以理解的是，载冷剂存储件22的第二出口处流出的载冷剂和三通阀4的第二出口处流出的载冷剂混合后流向连接管路5，然后通过连接管路5流向加热器33，也就是说，第四温度传感器51检测的是输送到出液管路31中的载冷剂的温度，将第四温度传感器51检测到的实时温度与设定温度进行比对，并根据比对结果调节三通阀4的开度，使得输送到出液管路31中的载冷剂的温度与设定温度保持一致，使得加热器33可以使得温控装置的出口温度保持稳定。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，内循环系统2包括第一温度传感器24，控制系统被配置为：基于第一温度传感器24的检测数据，控制制冷系统1和驱动泵23的工作，其中，

第一温度传感器24设于载冷剂存储件22的第一出口与驱动泵23之间；和/或，

第一温度传感器24设于驱动泵23与换热部件21之间。

可以理解的是，载冷剂存储件22内的载冷剂通过第一出口流向驱动泵23和换热部件21，则在换热部件21和第一出口之间的载冷剂的温度与载冷剂存储件22内的载冷剂的温度基本相同，则第一温度传感器24设置在第一出口和驱动泵23之间，还是设置在驱动泵23和换热部件21之间，均可以对载冷剂存储件22内的载冷剂的温度进行检测。当检测到载冷剂存储件22内的载冷剂的温度低于设定温度时，则说明此时载冷剂存储件22已经完成了蓄冷，可以仅利用载冷剂存储件22内的载冷剂进行循环控温，则控制系统会控制制冷系统1和驱动泵23停止工作，降低制冷系统1的能耗。

可以理解的是，第一温度传感器24的设定温度低于半导体温控装置的出口温度的设定温度，以保证载冷剂存储件22内的载冷剂可以用于控制半导体温控装置的出口温度处于设定温度。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，内循环系统2包括第二温度传感器25，第二温度传感器25设于换热部件21和载冷剂存储件22的第一入口之间，控制系统被配置为：基于第二温度传感器25的检测数据，控制调节制冷系统1的制冷输出量。

可以理解的是，载冷剂存储件22内的载冷剂从第一出口流向换热部件21，而换热部件21会与制冷系统1进行热交换，即制冷系统1可以对经过换热部件21的载冷剂进行温度控制，经过换热部件21后的载冷剂会流向载冷剂存储件22的第一入口，则第二温度传感器25可以对经过换热部件21换热后的载冷剂的温度进行检测。当第二温度传感器25检测到的温度高于设定值时，则说明制冷系统1没有使得流经换热部件21的载冷剂的温度降低至设定温度，控制系统则控制制冷系统1增加制冷输出量，以保证可以将载冷剂存储件22内的载冷剂的温度降低至设定温度，使得载冷剂存储件22可以单独进行循环控温。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，制冷系统1包括依次连接的压缩机11、板式换热器12、干燥过滤器13和电子膨胀阀14，电子膨胀阀14和压缩机11之间连接有换热部件21。

可以理解的是，制冷剂沿着压缩机11、板式换热器12、干燥过滤器13、电子膨胀阀14和换热部件21依次流动，通过控制电子膨胀阀14的开度，可以控制流经换热部件21的制冷量，进而实现对载冷剂存储件22的载冷剂的温度调节。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，干燥过滤器13和电子膨胀阀14之间设有视液镜15。

可以理解的是，通过视液镜15可以观察制冷系统1中的制冷剂的流动情况，以便于做出实时调整。

根据本申请第四方面的实施例，如图3所示，电子设备可以包括：处理器(processor)310、通信接口(Communications Interface)320、存储器(memory)330和通信总线340，其中，处理器310，通信接口320，存储器330通过通信总线340完成相互间的通信。处理器310可以调用存储器330中的逻辑指令，以执行半导体温控方法，该方法包括：

获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；

基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

获取温控设备的压缩机11的实时回油量；

基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；

其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机11的回油量。

此外，上述的存储器330中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本申请还提供一种计算机程序产品，计算机程序产品包括存储在非暂态计算机可读存储介质上的计算机程序，计算机程序包括程序指令，当程序指令被计算机执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的半导体温控方法，该方法包括：

获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；

基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

获取温控设备的压缩机11的实时回油量；

基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；

其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机11的回油量。

根据本申请第五方面的实施例，本申请还包括非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各提供的半导体温控方法，该方法包括：

获取温控设备的实时出口设定温度以及温控设备的实时制冷量；

基于实时出口设定温度、实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

获取温控设备的压缩机11的实时回油量；

基于实时回油量和目标回油量，控制温控设备的工作；

其中，数据库包括温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的压缩机11的回油量。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行各个实施例或者实施例的某些部分的方法。

最后应说明的是，以上实施方式仅用于说明本申请，而非对本申请的限制。尽管参照实施例对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，对本申请的技术方案进行各种组合、修改或者等同替换，都不脱离本申请技术方案的精神和范围，均应涵盖在本申请的权利要求范围中。

Claims (10)

1.一种半导体温控方法，其特征在于，包括：

获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；

基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；

基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；

其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。

2.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述实际回油量低于所述目标回油量，控制所述温控设备停止工作。

3.根据权利要求1所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述实时回油量低于所述目标回油量；

在预设时长内，重新获取所述压缩机的实时回油量；

基于所述实时回油量和重新获取的所述压缩机的实时回油量，控制所述温控设备的工作。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的半导体温控方法，其特征在于，所述控制所述温控设备的工作，包括：

获取所述温控设备的负载信息；

基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作。

5.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述温控设备处于空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。

6.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述基于所述负载信息，控制所述温控设备的工作，包括：

确定所述温控设备处于带载状态，控制所述温控设备继续工作；

确定所述温控设备从所述带载状态切换为空载状态，控制发出报警信息并控制所述温控设备停止工作。

7.根据权利要求4所述的半导体温控方法，其特征在于，所述获取所述温控设备的负载信息，包括：

获取所述温控设备的出口温度和所述温控设备的回口温度；

基于所述出口温度和所述回口温度，确定所述温控设备的负载信息。

8.一种半导体温控装置，其特征在于，包括：

第一获取模块，用于获取温控设备的实时出口设定温度以及所述温控设备的实时制冷量；

确定模块，用于基于所述实时出口设定温度、所述实时制冷量和数据库，确定目标回油量；

第二获取模块，用于获取所述温控设备的压缩机的实时回油量；

控制模块，用于基于所述实时回油量和所述目标回油量，控制所述温控设备的工作；

其中，所述数据库包括所述温控设备在不同的出口设定温度以及不同的制冷量的条件下，对应的所述压缩机的回油量。

9.一种半导体温控设备，其特征在于，包括制冷系统，所述制冷系统包括压缩机和油分离器，所述压缩机的第一连接口与所述油分离器的进气口连通，所述压缩机的第二连接口通过回油管路与所述油分离器的出油口连通，所述油分离器适于将分离出来的油输送至所述压缩机，所述回油管路处设有流量检测件。

10.一种电子设备，所述电子设备包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至7任一项所述的半导体温控方法。