CN117805441A - 一种终端执行器测量/加工点快速切换方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，该方法包括：获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；根据第一目标点信息和第一高度信息，控制终端执行器在第一目标点时抬高到第一高度；根据第一高度信息、第一目标点信息和第二目标点信息，控制终端执行器从第一目标点向第二目标点移动，或控制样品向第一方向移动，并在移动过程中保持终端执行器在样品表面上方的第一高度不变；根据第一高度信息和第二目标点信息，控制终端执行器在到达第二目标点时降落到样品表面；该技术方案解决了终端执行器抬高相对较低高度的同时避免碰到样品的问题，实现了终端执行器的高效移动，及不损伤具有不同表面形貌的样品的技术效果。

Description

一种终端执行器测量/加工点快速切换方法

技术领域

本发明涉及扫描成像领域，尤其涉及一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

背景技术

诸如原子力显微镜(AFM)的扫描探针显微镜(SPM)是如下装置：其通常采用具有尖端的探针，并且使得尖端以小的力与样本的表面相互作用，从而以低至原子尺度来表征该表面。通常，探针被引入到样本的表面以检测样本特征的改变。具体的，通过在尖端与样本之间提供相对扫描移动，可以在样本的特定区域之上获取表面特征数据，并且可以生成样本的相应图。通常，需要对同一样品的不同区域进行纳米测量，比如，在晶圆关键尺寸检测场景中，需要对一片晶圆上的多个芯片进行测量。

其中，当涉及到探针测量点的切换时，现在已有的技术手段是，在某一个测量点测量完成后，将探针抬离样品，然后移动探针到达下一个测量点的上方，然后缓慢下针直到探针接触样品，至此探针测量点切换结束。现有方法需要抬针、移动和缓慢下针；此过程所需时间至少20s，而且，下针太快容易在探针接触样品瞬间损伤针尖。因而，开发一种可以保证不损伤针尖和样品的情况下，大范围高速移动探针的方案，成为本领域技术人员亟待要解决的技术重点。

发明内容

本发明提供一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，以解决终端执行器抬高的第一高度相对较小的同时，避免终端执行器相对于样品移动的过程中碰到样品的问题。

根据本发明的第一方面，提供了一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；

获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度；所述第一高度表征了所述终端执行器在所述样品表面上方的某一高度；

根据所述第一高度信息、所述第一目标点信息和所述第二目标点信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；所述第一方向表征了所述第二目标点指向所述第一目标点的方向；

根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，

其中，所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动的过程中，所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面；所述第一高度在0.5um-40um之间。

可选的，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：

在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述样品和所述终端执行器之间的距离；

根据获取得的所述样品和所述终端执行器之间的距离和所述第一高度产生补偿信号；

根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

可选的，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：

获取设定幅值信号；所述设定幅值信号适配于所述第一高度；

在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅；所述第一受激振幅表征了所述终端执行器在共振状态下，所述终端执行器靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生的振幅；且所述第一受激振幅与所述样品和所述终端执行器之间的实时距离相关；

根据所述设定幅值信号和时实获取的所述第一受激振幅产生所述补偿信号，根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生所述补偿运动，以使得所述终端执行器在所述样品表面上方保持在第一高度不变。

可选的，在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅之前还包括：

激励所述终端执行器在所述第一目标点时产生共振，以使得所述终端执行器在靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生所述第一受激振幅。

可选的，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：

根据所述第一目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第一目标点；若所述终端执行器到达所述第一目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器抬高到所述第一高度。

可选的，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，具体包括：

根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息得到第二方向或所述第一方向，控制所述终端执行器向所述第二方向移动，或控制所述样品向所述第一方向移动；所述第二方向表征了所述第一目标点指向所述第二目标点的方向。

可选的，根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，具体包括：

根据所述第二目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第二目标点；若所述终端执行器到达所述第二目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器降落到所述样品表面。

可选的，根据所述第二高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面上方第二高度处之后还包括：

控制所述终端执行器在所述第二目标点时停止共振。

根据本发明的第二方面，提供了一种终端执行器的移动装置，用于执行本发明第一方面任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，该装置包括：

信号获取模块；用于获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

位置识别和驱动模块；用于根据所述第一目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第一目标点时抬高到第一高度，或根据所述第二目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第二目标点时下落到所述样品表面，以及根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制样品向第一方向移动；

反馈控制模块用于根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，以使得所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面。

可选的，所述反馈控制模块包括：

第一距离检测单元；用于检测第一距离；所述第一距离表征了所述样品和所述终端执行器之间的距离；

反馈控制单元；用于根据所述第一距离和所述第一高度产生补偿信号，并根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，从而使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

根据本发明的第三方面，提供了一种电子设备，包括处理器与存储器，所述存储器，用于存储代码；

所述处理器，用于执行所述存储器中的代码用以实现本发明第一方面的任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

根据本发明的第四方面，提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本发明第一方面的任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

本发明提供的技术方案，通过在所述终端执行器相对于样品从第一目标点向第二目标点移动的过程中，终端执行器保持在样品上方第一高度不变，以使得终端执行器相对于样品而言可以沿着样品表面移动，解决了终端执行器抬高的第一高度相对较小的情况下，同时避免终端执行器相对于样品移动的过程中碰到样品的问题，实现了终端执行器的高效移动的同时，不损伤具有不同表面形貌的样品的技术效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术提供的终端执行器的移动过程示意图；

图2是本发明提供的终端执行器的移动过程示意图；

图3是本发明一实施例提供的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法的流程示意图；

图4是本发明一实施例提供的终端执行器的移动装置的示意图；

图5是本发明一具体实施例提供的终端执行器的移动装置；

图6是本发明另一具体实施例提供的终端执行器的移动装置；

图7是本发明一实施例提供的第一受激振幅随探针-样品表面距离变化关系的曲线；

图8是本发明一实施例提供的电子设备的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

诸如原子力显微镜(AFM)的扫描探针显微镜(SPM)是如下装置：其通常采用具有尖端的探针，并且使得尖端以小的力与样本的表面相互作用，从而以低至原子尺度来表征该表面。通常，探针被引入到样本的表面以检测样本特征的改变。具体的，通过在尖端与样本之间提供相对扫描移动，可以在样本的特定区域之上获取表面特征数据，并且可以生成样本的相应图。通常，需要对同一样品的不同区域进行纳米测量，比如，在晶圆关键尺寸检测场景中，需要对一片晶圆上的多个芯片进行测量。

当涉及到探针测量点的切换时，现在已有的技术手段是，在某一个测量点测量完成后，驱动器驱动探针抬离样品，然后移动探针到达下一个测量点的上方，然后缓慢下针直到探针接触样品，至此探针测量点切换结束。如图1所示，从测量点1(如图1中①所示)切换到测量点2(如图1中②所示)需要经历图中1～5五个状态，包括抬针(1-2)、移动(2-4)、下针(4-5)三个操作过程。

可见，现有方法需要抬针、移动和缓慢下针，且抬针和；此过程所需时间至少20s，而且，下针太快容易在探针接触样品瞬间损伤针尖。

有鉴于此，本申请的发明人通过在探针到达测试点1(如图2中①所示)，利用驱动器抬起探针，以及在测试点4(如图2中②所示)时，利用驱动器落下探针之外，创造性的提出了在探针移动(2-4)的过程中，通过实时检测并调节探针-样品之间的距离，以使得探针与样品之间保持一相对稳定的距离，从而使得探针可以沿着具有不同表面形貌的样品表面移动，而无需为了避免探针扎到样品而将探针抬高很高高度，从而在保证不损伤针尖和样品的情况下，实现大范围高速移动探针。

可见，本发明提供的技术方案，可以保证不损伤针尖和样品的情况下，大范围高速移动探针。且缩短了移动过程耗费的时间，提高了效率。

下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。

请参考图1-图8，根据本发明的一实施例，提供了一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；一种终端执行器测量/加工点快速切换方法流程示意图如图3所示；

S11：获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

S12：根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度；所述第一高度表征了所述终端执行器在所述样品表面上方的某一高度；

S13：根据所述第一高度信息、所述第一目标点信息和所述第二目标点信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；所述第一方向表征了所述第二目标点指向所述第一目标点的方向；

S14：根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，

其中，所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动的过程中，所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面；所述第一高度在0.5um-40um之间。

由于本发明提供的技术方案在所述终端执行器相对于样品从第一目标点向第二目标点移动的过程中，控制终端执行器保持在样品上方第一高度不变，以使得终端执行器相对于样品可以沿着具有不同形貌变化的样品表面移动，因而，相对于现有技术而言，在终端执行器相对于样品移动的过程中，保证不损伤终端执行器和样品的同时，终端执行器抬高的第一高度远小于现有技术中需要抬高的高度，具体的，第一高度可以控制在0.5um-40um之间；缩短了移动过程耗费的时间，提高了效率。

可见，本发明提供的技术方案，通过在所述终端执行器相对于样品从第一目标点向第二目标点移动的过程中，终端执行器保持在样品上方第一高度不变，以使得终端执行器相对于样品而言可以沿着样品表面移动，解决了终端执行器抬高的第一高度相对较小的情况下，同时避免碰到样品的问题，实现了终端执行器的高效移动的同时，不损伤具有不同表面形貌的样品的技术效果。

一种实施例中，步骤S12，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：

根据所述第一目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第一目标点；若所述终端执行器到达所述第一目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器抬高到所述第一高度。

其中，第一高度的范围远小于现有技术中终端执行器在移动时被抬高的范围，因而本发明提供的技术方案缩短了终端执行器被抬高所需要的时间，因而提高了工作效率。

步骤S13：根据所述第一高度信息、所述第一目标点信息和所述第二目标点信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括S131-S134：

一种实施例中，步骤S13中，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，具体包括：

S131：根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息得到第二方向或所述第一方向，控制所述终端执行器向所述第二方向移动，或控制所述样品向所述第一方向移动；所述第二方向表征了所述第一目标点指向所述第二目标点的方向。

一种实施例中，步骤S13中，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：S132-S134

S132：在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述样品和所述终端执行器之间的距离；

S133：根据获取得的所述样品和所述终端执行器之间的距离和所述第一高度产生补偿信号；

S134：根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

其中，本发明提供的技术方案通过检测终端执行器在相对于样品移动的过程中与样品之间的实时距离，并根据实时检测到的距离和第一高度产生补偿信号，以控制终端执行器产生补充运动，从而实现在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；使得终端执行器可以近距离的相对于样品沿着样品表面移动，且不会碰到具有不同形貌的样品，避免炸伤样品或损伤终端执行器。

一种具体实施例中，步骤S13中，在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：

步骤1：获取设定幅值信号；所述设定幅值信号适配于所述第一高度；

步骤2：在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅；第一受激振幅表征了所述终端执行器在共振状态下，所述终端执行器靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生的振幅；且所述第一受激振幅与所述样品和所述终端执行器之间的实时距离相关；

步骤3：根据所述设定幅值信号和时实获取的所述第一受激振幅产生所述补偿信号；

步骤4：根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生所述补偿运动，以使得所述终端执行器在所述样品表面上方保持在第一高度不变。

具体的，本发明提供的技术方案，利用了所述终端执行器在共振状态下，所述终端执行器靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下而产生的第一受激振幅，通过检测第一受激振幅来表征样品-终端执行器之间的距离，从而用于产生控制终端执行器产生补偿运动的补偿信号。

一种实施例中，当终端执行器在非峰值力轻敲模式下工作时，步骤2，在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅之前还包括：

激励所述终端执行器在所述第一目标点时产生共振，以使得所述终端执行器在靠近所述样品时，在压膜阻尼力作用下而产生所述第一受激振幅。

步骤S14，根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，具体包括：步骤S141(当终端执行器在峰值力轻敲模式下工作时适用)，或S141-S142(当终端执行器在非峰值力轻敲模式下工作时适用)：

一种实施例中，步骤S14，根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，具体包括：

步骤S141：根据所述第二目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第二目标点；若所述终端执行器到达所述第二目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器降落到所述样品表面。

其中，第一高度的范围远小于现有技术中终端执行器被降到样品表面所需要经过的高度，因而本发明提供的技术方案缩短了终端执行器被降下所需要的时间，因而提高了工作效率。

一种实施例中，当终端执行器在非峰值力轻敲模式下工作时，步骤S14，根据所述第二高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面上方第二高度处之后还包括：

步骤S142：控制所述终端执行器在所述第二目标点时停止共振。

其次，根据本发明的一实施例，还提供了一种终端执行器的移动装置20，终端执行器的移动装置20如图4所示；用于执行本发明第一方面任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，具体的终端执行器包括探针和探针微悬臂，所述探针微悬臂的一端连接探针；该装置包括：

信号获取模块21；用于获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

位置识别和驱动模块22；用于根据所述第一目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第一目标点时抬高到第一高度，或根据所述第二目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第二目标点时下落到所述样品表面，以及根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制样品向第一方向移动；

一种实施例中，驱动模块包括：驱动器，宏动平台(包括xy宏动平台和宏动平台)；驱动器的第一端连接于终端执行器上；用于根据第一高度信息，驱动终端执行器抬高到第一高度，或落到所述样品表面；具体的，驱动器时xyz扫描器；

一种实施方式中，xy宏动平台连接于驱动器的第二端；用于根据第一目标点信号和第二目标点信号，带动终端执行器从第一目标点移动到第二目标点；如图6所示；

另一种实施方式中，样品放置于xy宏动移动平台上，用于根据第一目标点信号和第二目标点信号，带动样品移动，以使得终端执行器相对于样品从第一目标点移动到第二目标点；如图5所示

所述z宏动平台设置于xy宏动平台和驱动器之间；z宏动移动平台行程大，反应慢，终端执行器行程小，响应快，两者结合可以实现大范围高速的z向跟踪。

反馈控制模块23用于根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，以使得所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面。

一种实施例中，所述反馈控制模块23包括：

第一距离检测单元；用于检测第一距离；所述第一距离表征了所述样品和所述终端执行器之间的距离；反馈控制单元；用于根据所述第一距离和所述第一高度产生补偿信号，并根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，从而使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

一种实施例中，第一距离检测单元包括：正弦激励运动产生器和表面振动传感器；第一距离检测单元是基于压膜阻尼力的距离传感；

正弦激励运动产生器，设置于终端终端执行器与驱动器之间，具体的，正弦激励运动产生器连接探针微悬臂的另一端；用于激励终端执行器产生共振，以使得所述终端执行器在共振状态下，靠近所述样品时，在压膜阻尼力作用下产生第一受激振幅；其中，在共振状态下，终端执行器产生第二受激振幅，所述第一受激振动指的是：终端执行器靠近所述样品时，在压膜阻尼力作用下，第二受激振幅发生改变后终端执行器的受激振幅；其中，基于压膜阻尼力的距离传感，描述如下：正弦激励运动产生器激励探针在共振频率附近运动，微悬臂末端的位移幅值会被放大Q倍，Q为质量因数。当微悬臂距离样品很近的距离时，终端执行器的微悬臂会受到压膜阻尼力，压膜阻尼力的大小与探针-样品表面距离相关，不同的压膜阻尼力会导致悬臂末端产生不同的第一受激振幅，在探针-样品表面距离不同时，有不同的第一受激振幅；探针-样品表面距离与第一受激振幅的关系如图7所示，由图可知，一定探针-样品表面距离下，探针第一受激振幅随着探针-样品表面距离的增大而增大；

表面振动传感器，集成于终端执行器上，用于检测第一受激振幅以获取受激振动检测信号，并将受激振动检测信号发送给幅值转化器；具体的，表面振动传感器包括光电探测器和激光器，用于将激光器发射激光到终端执行器上，以利用光电探测器检测检测第一受激振幅以获取受激振动检测信号；

反馈控制单元包括：幅值转换器和反馈控制器；

幅值转换器，用于将接收到的受激振动检测信号转化为受激振幅信号，并发送受激振幅信号给反馈控制器；

反馈控制器，用于接收到的受激振幅信号和设定幅值信号产生补偿信号，并将补偿信号发送给驱动器；以控制驱动器带动终端执行器产生补偿运动，使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；

请参考图8，提供了一种电子设备30，包括处理器31与存储器32，所述存储器，用于存储代码；处理器31与存储器32通过总线33通讯。

所述处理器，用于执行所述存储器中的代码用以实现以上涉及的所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

本发明还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现以上涉及的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

本领域普通技术人员可以理解：实现上述各方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成。前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中。该程序在执行时，执行包括上述各方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (12)

1.一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，用于将所述终端执行器从样品表面的第一目标点移动到第二目标点；其特征在于，

获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度；

根据所述第一高度信息、所述第一目标点信息和所述第二目标点信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；所述第一方向表征了所述第二目标点指向所述第一目标点的方向；

根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，所述第一高度表征了所述终端执行器在所述样品表面上方的某一高度；

其中，所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动的过程中，所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面；所述第一高度在0.5um-40um之间。

2.根据权利要求1所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，包括：

在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述样品和所述终端执行器之间的距离；

根据获取得的所述样品和所述终端执行器之间的距离和所述第一高度产生补偿信号；

根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

3.根据权利要求2所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，并在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变；具体包括：

获取设定幅值信号；所述设定幅值信号适配于所述第一高度；

在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅；第一受激振幅表征了所述终端执行器在共振状态下，所述终端执行器靠近所述样品时在压膜阻尼力作用下的振幅；且所述第一受激振幅与所述样品和所述终端执行器之间的实时距离相关；

根据所述设定幅值信号和时实获取的所述第一受激振幅产生所述补偿信号，根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生所述补偿运动，以使得所述终端执行器在所述样品表面上方保持在第一高度不变。

4.根据权利要求3所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，

在控制所述终端执行器从所述第一目标点移动到所述第二目标点，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，时实检测并获取所述终端执行器的第一受激振幅之前还包括：

激励所述终端执行器在所述第一目标点时产生共振，以使得所述终端执行器产生所述第一受激振幅。

5.根据权利要求4所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，根据所述第一目标点信息和所述第一高度信息，当所述终端执行器到达所述第一目标点时，控制所述终端执行器抬高到第一高度，具体包括：

根据所述第一目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第一目标点；若所述终端执行器到达所述第一目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器抬高到所述第一高度。

6.根据权利要求5所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动，具体包括：

根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息得到第二方向或所述第一方向，控制所述终端执行器向所述第二方向移动，或控制所述样品向所述第一方向移动；所述第二方向表征了所述第一目标点指向所述第二目标点的方向。

7.根据权利要求6所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，根据所述第一高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面，具体包括：

根据所述第二目标点位置信息，判断所述终端执行器是否达到所述第二目标点；若所述终端执行器到达所述第二目标点，则：根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器降落到所述样品表面。

8.根据权利要求7所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，其特征在于，

根据所述第二高度信息和所述第二目标点信息，当所述终端执行器到达所述第二目标点时，控制所述终端执行器降落到所述样品表面上方第二高度处之后还包括：

控制所述终端执行器在所述第二目标点时停止共振。

9.一种终端执行器的移动装置，其特征在于，用于执行权利要求1-8任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法，该装置包括：

信号获取模块；用于获取第一目标点位置信息、第二目标点位置信息以及第一高度信息；

位置识别和驱动模块；用于根据所述第一目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第一目标点时抬高到第一高度，或根据所述第二目标点位置信息和所述第一高度信息，控制所述终端执行器在到达第二目标点时下落到所述样品表面，以及根据所述第二目标点位置信息和所述第一目标点位置信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制样品向第一方向移动；

反馈控制模块用于根据所述第一高度信息，控制所述终端执行器从所述第一目标点向所述第二目标点移动，或控制所述样品向第一方向移动的过程中，保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变，以使得所述终端执行器的移动轨迹沿着所述样品表面。

10.根据权利要求9所述的终端执行器的移动装置，其特征在于，所述反馈控制模块包括：

第一距离检测单元；用于检测第一距离；所述第一距离表征了所述样品和所述终端执行器之间的距离；

反馈控制单元；用于根据所述第一距离和所述第一高度产生补偿信号，并根据所述补偿信号控制所述终端执行器产生补偿运动，从而使得在移动过程中保持所述终端执行器在所述样品表面上方的所述第一高度不变。

11.一种电子设备，其特征在于，包括处理器与存储器，所述存储器，用于存储代码；

所述处理器，用于执行所述存储器中的代码用以实现权利要求1至8任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。

12.一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现权利要求1至8任一项所述的一种终端执行器测量/加工点快速切换方法。