CN117790270A - 一种位移台的控制方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种位移台的控制方法及装置，涉及电子技术领域，用于提高位移台转动中心的精确度。该方法应用于半导体系统中，该半导体系统包括位移台和设置在该位移台上方的至少两个传感器，该方法包括：通过该至少两个传感器获取该位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第一距离信息；通过该至少两个传感器获取该位移台处于第二位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第二距离信息，该第二位置状态为该位移台在该第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心。

Description

一种位移台的控制方法及装置

技术领域

本申请涉及电子技术领域，尤其涉及一种位移台的控制方法及装置。

背景技术

目前，通过半导体系统实现样品的刻蚀或者检测，比如，该半导体系统可以为光刻机(lithography，Litho)系统、电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)系统或明场检测仪(bright field inspection，BFI)系统等。通常，半导体系统可以包括：镜组、位于镜组下方的位移台、与该位移台连接的控制器和位于位移台远离镜组一侧的促动器。其中，镜组可用于刻蚀或者检测样品，位移台可用于放置样品，比如，该位移台靠近镜组的一侧可用于放置样品，位移台也可以称为工件台，控制器可用于控制促动器运动以促动位移台移动。比如，镜组在对样品的待测区域进行检测时，由于镜组的焦点深度(depthoffocus，DOF)和视场较小，控制器需要控制位移台运动，使得样品的待测区域与镜组平行，且使得待测区域在镜组的DOF和视场中，以保证检测的质量。

发明内容

本申请提供一种位移台的控制方法及装置，电子技术领域，用于在提高位移台转动中心的精确度。

为达到上述目的，本申请采用如下技术方案：

第一方面，提供一种位移台的控制方法，该方法应用于半导体系统中，该半导体系统包括位移台和设置在该位移台上方的至少两个传感器，该方法包括：通过该至少两个传感器获取该位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第一距离信息；通过该至少两个传感器获取该位移台处于第二位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第二距离信息，该第二位置状态为该位移台在该第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心。

上述技术方案中，通过设置在该位移台上方的至少两个传感器分别测量位移台处于第一位置状态和第二位置状态时，该至少两个传感器与位移台之间的第一距离信息和第二距离信息，根据实际测量得到的第一距离信息、第二距离信息和该至少两个传感器的位置信息，确定位移台的转动中心，提高了转动中心的精确度；进一步的，当镜组在对样品的待测区域进行检测时，利用该转动中心控制位移台运动，使得待测区域在镜组的焦深和视场中，在提高了运动的准确性的同时，保证了检测的质量。

在第一方面的一种可能的实现方式中，根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心，包括：根据该至少两个传感器的位置信息，确定该至少两个传感器的中心位置；根据该第一距离信息、该第二距离信息和该至少两个传感器之间的距离，确定该中心位置与该转动中心之间的第一偏距；根据该第一偏距，确定该转动中心。上述可能的实现方式中，通过至少两个传感器的位置信息，确定该至少两个传感器的中心位置，根据第一距离信息、该第二距离信息和该至少两个传感器之间的距离，确定中心位置与转动中心的第一偏距，根据该第一偏距确定该转动中心，提高了转动中心的精确度。

在第一方面的一种可能的实现方式中，该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器，该第一距离信息包括该第一传感器和该第二传感器分别与该位移台之间的高度值H1和高度值H2，该第二距离信息包括该第一传感器和该第二传感器分别与该位移台之间的高度值H3和高度值H4，该至少两个传感器之间的距离包括该第一传感器与该第二传感器之间的距离L1，该第一偏距ΔX1满足：上述可能的实现方式中，根据位移台位于不同位置状态时，实际测量得到的高度值以及第一传感器与该第二传感器之间的距离L1，确定该第一偏距，根据第一偏距确定该转动中心，提高了转动中心的精确度。

在第一方面的一种可能的实现方式中，该根据该第一偏距，确定该转动中心之前，该方法还包括：若第一数值大于第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的右侧；若该第一数值小于该第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的左侧，其中，该高度值H1与该高度值H3的差值的绝对值为该第一数值，该高度值H2与该高度值H4的差值的绝对值为该第二数值。上述可能的实现方式中，根据第一传感器处于第一位置状态和第二位置状态时的高度值的差值，以及该第二传感器处于第一位置状态和第二位置状态时的高度值的差值，确定转动中心与该中心位置的位置关系，提高了后续确定转动中心的速度。

在第一方面的一种可能的实现方式中，该至少两个传感器还包括第三传感器，该第一传感器、该第二传感器和该第三传感器不在一条直线上，该第一距离信息还包括该第三传感器与该位移台之间的高度值H5，该第二距离信息还包括该第三传感器与该位移台之间的高度值H6，该至少两个传感器之间的距离还包括该第二传感器和该第三传感器之间的距离L2；该根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心，包括：根据该高度值H1、该高度值H2、该高度值H3、该高度值H4和该距离L1，确定该第一传感器与该第二传感器的中心位置与该转动中心的第一子偏距；根据该高度值H2、该高度值H4、该高度值H5、该高度值H6和该距离L2，确定该第二传感器与该第三传感器的中心位置与该转动中心的第二子偏距；根据该第一子偏距和该第二子偏距，确定该转动中心。上述可能的实现方式中，通过三个传感器分别测量位移台处于不同位置状态时，三个传感器与位移台之间的距离信息，根据实际测量得到的距离信息和三个传感器的位置信息，确定位移台的转动中心，与两个传感器相比，进一步提高了转动中心的精确度。

在第一方面的一种可能的实现方式中，该半导体系统还包括镜组，该至少两个传感器位于该镜组的四周，该根据该转动中心，控制该位移台运动，包括：根据该镜组的位置信息，确定该镜组与该中心位置之间的第二偏距；根据该第一偏距和该第二偏距之和，控制该位移台运动。上述可能的实现方式中，当镜组在对样品的待测区域进行检测时，根据该第一偏距和该第二偏距之和控制该位移台运动，即根据该镜组与该转动中心的偏差控制该位移台运动，消除了该镜组与该转动中心之间的偏差，使得待测区域在镜组的焦深和视场中，提高了运动的准确性，且保证了检测的质量。

第二方面，提供一种移台的控制装置，该装置位于半导体系统中，该半导体系统包括位移台和设置在该位移台上方的至少两个传感器，该装置包括：获取单元，用于通过该至少两个传感器获取该位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第一距离信息；该获取单元，还用于通过该至少两个传感器获取该位移台处于第二位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第二距离信息，该第二位置状态为该位移台在该第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；确定单元，用于根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心。

在第二方面的一种可能的实现方式中，该确定单元还用于：根据该至少两个传感器的位置信息，确定该至少两个传感器的中心位置；根据该第一距离信息、该第二距离信息和该至少两个传感器之间的距离，确定该中心位置与该转动中心之间的第一偏距；根据该第一偏距，确定该转动中心。

在第二方面的一种可能的实现方式中，该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器，该第一距离信息包括该第一传感器和该第二传感器分别与该位移台之间的高度值H1和高度值H2，该第二距离信息包括该第一传感器和该第二传感器分别与该位移台之间的高度值H3和高度值H4，该至少两个传感器之间的距离包括该第一传感器与该第二传感器之间的距离L1，该第一偏距ΔX1满足：

在第二方面的一种可能的实现方式中，该确定单元还用于：若第一数值大于第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的右侧；若该第一数值小于该第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的左侧，其中，该高度值H1与该高度值H3的差值的绝对值为该第一数值，该高度值H2与该高度值H4的差值的绝对值为该第二数值。

在第二方面的一种可能的实现方式中，该至少两个传感器还包括第三传感器，该第一传感器、该第二传感器和该第三传感器不在一条直线上，该第一距离信息还包括该第三传感器与该位移台之间的高度值H5，该第二距离信息还包括该第三传感器与该位移台之间的高度值H6，该至少两个传感器之间的距离还包括该第二传感器和该第三传感器之间的距离L2，该确定单元还用于：根据该高度值H1、该高度值H2、该高度值H3、该高度值H4和该距离L1，确定该第一传感器与该第二传感器的中心位置与该转动中心的第一子偏距；根据该高度值H2、该高度值H4、该高度值H5、该高度值H6和该距离L2，确定该第二传感器与该第三传感器的中心位置与该转动中心的第二子偏距；根据该第一子偏距和该第二子偏距，确定该转动中心。

在第二方面的一种可能的实现方式中，该半导体系统还包括镜组，该至少两个传感器位于该镜组的四周，该装置还包括控制单元，该控制单元用于：根据该镜组的位置信息，确定该镜组与该第一传感器和该第二传感器的中心位置之间的第二偏距；根据该第一偏距和该第二偏距之和，控制该位移台运动。

第三方面，提供一种半导体系统，该系统包括固定框架、镜组、设置在该镜组四周的至少两个传感器，控制器和设置在该镜组下方的位移台，该固定框架用于固定所述镜组，该控制器和该位移台通过线缆连接，该控制器和所述至少两个传感器通过线缆连接，该至少两个传感器用于测量该位移台与该至少两个传感器之间的高度值，该控制器用于控制该位移台运动，该控制器为上述第二方面或者第二方面的任一种可能的实现方式所提供的位移台的控制装置。

在第三方面的一种可能的实现方式中，该至少两个传感器固定连接于该固定框架上。

在第三方面的一种可能的实现方式中，该半导体系统还包括与该位移台分开设置的测量框架，该至少两个传感器固定连接于该测量框架上，该至少两个传感器与该位移台之间存在一定距离。

在本申请的又一方面，提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质包括计算机指令，当该计算机指令在位移台的控制装置上运行时，使得该位移台的控制装置执行如上述第一方面或者第一方面的任一种可能的实现方式所提供的位移台的控制方法。

在本申请的又一方面，提供一种包含指令的计算机程序产品，当计算机程序产品在计算机设备上运行时，使得位移台的控制装置执行如上述第一方面或者第一方面的任一种可能的实现方式所提供的位移台的控制方法。

可以理解地，上述提供的一种位移台的控制装置、计算机可读存储介质和计算机程序产品可用于执行上文所提供的对应的方法，因此，其所能达到的有益效果可参考上文所提供的对应的方法中的有益效果，此处不再赘述。

附图说明

图1为一种半导体系统的结构示意图；

图2为一种DOF和视场的示意图；

图3为一种待测区域的示意图；

图4为一种位移台和促动器的示意图；

图5为本申请实施例提供的一种半导体系统的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的一种位移台的控制方法的流程图；

图7为本申请实施例提供的另一种半导体系统的结构示意图；

图8为本申请实施例提供的一种传感器的分布示意图；

图9为本申请实施例提供的一种位移台的控制示意图；

图10为本申请实施例提供的另一种传感器的分布示意图；

图11为本申请实施例提供的一种位移台的控制装置的结构示意图。

具体实施方式

本申请中，“至少一个”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指的这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b，或c中的至少一项(个)，可以表示：a、b、c、a-b、a-c、b-c、或a-b-c，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。另外，本申请实施例采用了“第一”、“第二”等字样对功能和作用基本相同的相同项或相似项进行区分。例如，第一阈值和第二阈值仅仅是为了区分不同的阈值，并不对其先后顺序进行限定。本领域技术人员可以理解“第一”、“第二”等字样并不对数量和执行次序进行限定。

需要说明的是，本申请中，“示例性的”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本申请中被描述为“示例性的”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其他实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性的”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。

在介绍本申请实施例之前，首先对本申请实施例所涉及的半导体系统的相关知识进行介绍说明。

目前，通过半导体系统实现样品的刻蚀或者检测，比如，半导体系统可以为光刻机(lithography，Litho)系统、电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)系统或明场检测仪(bright field inspection，BFI)系统等。图1为一种半导体系统的结构示意图，该半导体系统可以包括：镜组、位于该镜组下方的位移台、控制器和位于位移台远离镜组的一侧的促动器。其中，镜组可用于刻蚀或者检测样品，位移台可用于放置样品，比如，位移台靠近镜组的一侧可用于放置样品，位移台也可以称为工件台，控制器可用于控制促动器运动以促动位移台运动。可选的，半导体系统还可以包括用于固定该镜组的固定框架。其中，半导体系统通过镜组对样品进行刻蚀或者检测时，控制器可用于控制促动器运动以促动位移台运动，从而实现对样品的刻蚀或者检测。图1中未示出促动器。

具体的，比如，镜组对样品的待测区域进行检测时，若样品的待测区域与镜组平行，由于镜组的焦点深度(depth of focus，DOF)和视场较小，则需要控制器控制促动器运动以促动位移台移动(包括上下移动和/或左右移动)，使得样品的待测区域在镜组的DOF和视场中，以保证检测的质量。若样品的待测区域与镜组不平行，则需要控制器控制促动器运动以促动位移台转动和/或移动，使得样品的待测区域与镜组平行，且使得待测区域在镜组的DOF和视场中，以保证检测的质量。

其中，DOF是指镜组的焦点对准某一物体时，镜组能够看到的清晰度满足一定要求的深度。视场是镜组能够观察到的视野的范围。图2为一种DOF和视场的示意图，由图2可知，D1与D2之间的距离为该镜组的DOF，H1和H2之间的距离为视场，即H1和H2之间的距离为该镜组能够观察到的视野的范围。

另外，待测区域可以为样品的一部分，比如，待测区域可以为样品的一个表面，比如，待测区域可以为样品靠近镜组一侧的表面，待测区域也可以为整个样品。图3为一种镜组的视角下待测区域的示意图，由图3可知，该样品可以包括4个待测区域且可以表示为A至D。图3中以待测区域为样品上的一个表面为例。其中，该待测区域也可以称为感兴趣区域(region of interest，ROI)。

通常在设计阶段，可以通过测量促动器在位移台上位置以确定位移台的转动中心，从而对位移台进行控制。图4为一种位移台和促动器的示意图，图4中包括3个促动器且可以表示为ZA至ZC为例。以位移台为基准面建立坐标系，该坐标系包括相互垂直的X轴、Y轴和Z轴，通过测量得到促动器ZA、促动器ZB和促动器ZC在位移台上的坐标分别为(xa，ya)、(xb，yb)和(xc，yc)。若位移台沿X轴转动，则可以使得促动器ZB和促动器ZC保持不变，促动器ZA沿着Z轴的方向进行运动(上升或者下降)，以实现位移台沿X轴转动；或者，可以使得促动器ZA保持不变，促动器ZB和促动器ZC沿着Z轴方向进行运动，以实现位移台沿X轴转动；又或者，可以使得促动器ZA沿着Z轴的方向上升，促动器ZB和促动器ZC沿着Z轴的方向下降，以实现位移台沿X轴转动；此时，促动器ZA和促动器ZB连线的中心可以为位移台的转动中心。若位移台沿Y轴转动，则可以采用与沿X轴转动类似的方式，此时，则促动器ZB和促动器ZC连线的中心可以为位移台的转动中心。图4中为了便于理解，以促动器ZA位于坐标系中的第二象限、促动器ZB位于坐标系中的第三象限和促动器ZC位于坐标系中的第四象限为例。图4中未示出X轴。

但是，促动器被封装到位移台上时，会存在一定的安装误差，此时，无法精确测量促动器在位移台上的位置坐标，从而导致无法精确获得位移台的转动中心，进而无法对位移台进行准确的控制。

基于此，本申请实施例提供一种位移台的控制方法及装置，应用于半导体系统中，该半导体系统包括位移台和设置在该位移台上方的至少两个传感器，该方法包括：通过该至少两个传感器获取该位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第一距离信息；通过该至少两个传感器获取该位移台处于第二位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第二距离信息，该第二位置状态为该位移台在该第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心。在此过程中，通过设置在该位移台上方至少两个传感器测量移台处于不同位置状态时，该至少两个传感器与位移台之间的距离信息，根据实际测量得到的距离信息和至少两个传感器的位置信息，确定位移台的转动中心，提高了转动中心的精确度；进一步的，当镜组在对样品的待测区域进行检测时，利用该转动中心控制位移台运动，比如，根据该转动中心控制该位移台转动和/或移动，使得待测区域在镜组的焦深和视场中，提高了运动的准确性的同时，保证了检测的质量。

下面对该半导体系统的结构进行说明。图5为本申请实施例提供的一种半导体系统的结构示意图，如图5所示，该半导体系统可以包括：镜组101、传感器102、位移台103、控制器104、促动器105和固定框架106。该位移台103位于该镜组101的下方，该传感器102设置于该镜组101的四周。可选的，在第一种可能的实现方式中，传感器102设置于固定框架106上，且位于该镜组101的四周。在第二种可能的实现方式中，传感器102设置于该镜组101的结构上，且位于该镜组101的四周。在实际应用中，该半导体系统的固定框架106和镜组101均可以是固定不动的，因此，该传感器102的位置可以是固定的。该促动器105位于该位移台103远离该镜组101的一侧。该位移台103和镜组101设置与固定框架106上，该控制器104可以通过线缆与传感器102连接，该控制器104还可以通过线缆与该促动器105连接，该控制器104还可以通过线缆与该促动器105连接。

该镜组101可用于刻蚀或者检测样品，比如，该镜组101可用于刻蚀或者检测位于该位移台103靠近该镜组101一侧的样品。在实际应用中，当镜组101检测待测样品时，镜组101可用于对处于镜组101视场和DOF中的样品进行检测。

传感器102可以用于测量信息，该信息可以包括距离信息。比如，该距离信息可以包括第一距离信息和第二距离信息，该第一距离信息可以包括该位移台在第一位置状态时，该传感器102与该位移台103之间的高度值，第二距离信息可以包括该位移台在第二位置状态时，该传感器102与该位移台103之间的高度值，该距离信息还可以包括两个传感器102之间的距离，其中，两个传感器102之间的距离可以包括两个传感器的几何中心之间的距离。

位移台103可用于放置样品，比如，该位移台103靠近该镜组101的一侧可用于放置样品。位移台103可用于在促动器的促动下运动，比如，该位移台103可用于在促动器的促动下移动(上下移动和/或左右移动)和/或转动。

控制器104是半导体系统的控制中心，利用各种接口和线路连接整个系统的各个部分，比如，该控制器104可以通过线缆与该传感器102进行连接，该控制器104可以通过线缆与该镜组101进行连接。该控制器104可以通过线缆与促动器105进行连接。该控制器104可用于获取测量信息，比如，该测量信息可以包括距离信息，该距离信息可以包括第一距离信息和第二距离信息。该控制器104还用于确定该位移台103的转动中心，比如，该控制器可用于根据测量信息确定该位移台103的转动中心。该控制器104还用于控制该促动器105运动以控制位移台103运动，比如，该控制器104可用于根据位移台103与镜组101之间的偏距控制该促动器105运动以控制位移台103运动。

促动器105可用于促动该位移台103运动，比如，该促动器105可以用于接收该控制器104输出的控制信号，并根据该控制信号促动该位移台103运动。具体的，该促动器可以用于根据该控制信号促动该位移台103沿着至少一个轴线以某个角度转动，和/或该促动器还可以用于根据该控制信号促动该位移台103移动，比如，上下移动或者左右移动。

可选的，该半导体系统还可以包括：固定框架106，该固定框架106可用于固定该镜组101和位移台。图5中未示出促动器105。

可选的，该半导体系统还可以包括：测量框架，该测量框架可用于固定至少两个传感器，该测量框架与该位移台分开设置。图5中未示出测量框架。

下面基于图5所示的半导体系统，对本申请实施例提供的位移台的控制方法进行详细的说明。

图6为本申请实施例提供的一种位移台的控制方法的流程图，该方法包括：

S601：通过至少两个传感器获取位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第一距离信息。

其中，该至少两个传感器可以为设置在镜组四周的至少两个传感器。该至少两个传感器可以包括两个传感器，也可以包括两个以上的传感器，比如，该至少两个传感器可以包括两个传感器，也可以包括四个传感器。当该至少两个传感器包括两个以上的传感器时，该两个以上的传感器不在同一条直线上。

另外，该第一位置状态可以为该位移台转动之前的位置状态，即该第一位置状态可以为该位移台未进行转动时的位置状态，比如，该第一位置状态可以为该位移台转动预设角度之前的位置状态。该第一位置状态也可以称为初始状态。

其次，第一距离信息可以包括位移台处于第一位置状态时，该至少两个传感器中每个传感器与该位移台之间的高度值，比如，该高度值可以为该传感器的几何中心与该位移台靠近该传感器一侧的表面之间的高度值。比如，当该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器时，该第一距离信息可以包括该第一传感器与该位移台之间的高度值H1，以及该第二传感器与该位移台之间的高度值H2。或者，当该至少两个传感器包括第一传感器、第二传感器和第三传感器时，该第一距离信息可以包括该第一传感器与该位移台之间的高度值H1，该第二传感器与该位移台之间的高度值H2，以及该第三传感器与该位移台之间的高度值H3。

S602：通过该至少两个传感器获取该位移台处于第二位置状态时，该至少两个传感器与该位移台之间的第二距离信息，该第二位置状态为该位移台在该第一位置状态转动预设角度之后的位置状态。

其中，该第二位置状态可以为该位移台在该第一位置状态沿着至少一个轴线转动预设角度之后的位置状态。该至少一个轴线可以是提前设定的，比如，以该位移台靠近该至少两个传感器的一侧的表面为基准面建立坐标系，该坐标系包括相互垂直的第一轴线和第二轴线，该第一轴线也可以称为X轴，该第二轴线也可以称为Y轴。

具体的，当该至少两个传感器包括两个传感器时，该第二位置状态可以为该位移台沿着X轴转动预设角度或者沿着Y轴转动预设角度之后的位置状态。当该至少两个传感器包括两个以上传感器时，该第二位置状态可以为该位移台沿着X轴转动预设角度之后的位置状态，以及沿着X轴转动预设角度之后的位置状态。

其次，预设角度可以为满足传感器的测量精度的任意一个角度，即该预设角度可以为该位移台转动后，使得传感器测量得到的第二距离信息与该第一距离信息不同的任意一个角度。具体可以根据实际需求和相关工作人员的经验进行设定，本申请对此不做具体限定。

另外，当该位移台处于第二位置状态时，该第二距离信息可以包括该至少两个传感器中每个传感器与该位移台之间的高度值，其中，该高度值可以为该传感器的几何中心与该位移台靠近该传感器一侧的表面之前的高度值。比如，当该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器时，该第二距离信息可以包括该第一传感器与该位移台之间的高度值H1’，以及该第二传感器与该位移台之间的高度值H2’。或者，当该至少两个传感器包括第一传感器、第二传感器和第三传感器时，该第二距离信息可以包括该第一传感器与该位移台之间的高度值H1’，该第二传感器与该位移台之间的高度值H21(沿X轴转动预设角度之后的高度值)和高度值H22(沿着Y轴转动预设角度之后的高度值)，以及该第三传感器与该位移台之间的高度值H3’(沿着Y轴转动之后的高度值)。

S603：根据该至少两个传感器的位置信息、该第一距离信息和该第二距离信息，确定该位移台的转动中心。

其中，该位置信息可以用于指示该至少两个传感器中每个传感器的位置，比如，该位置可以为该传感器在该半导体系统中的位置。该位置信息可以是预设的。

由于该至少两个传感器可以设置在固定框架上也可以设置在镜组的结构上。比如，在第一种可能的实现方式中，该至少两个传感器设置于半导体系统的固定框架上，且位于该镜组的四周。在第二种可能的实现方式中，该至少两个传感器设置于该镜组的结构上，且位于该镜组的四周。在第三种可能的实现方式中，该至少两个传感器设置在与该测量框架上。在实际应用中，该半导体系统的固定框架、镜组和测量框架均可以是固定不动的，因此，该至少两个传感器的位置可以是固定的。

当需要确定位移台的转动中心时，该半导体系统可以通过以下方式获取该位置信息：第一种、该位置信息可以是该半导体系统从存储器中获取的，比如，在装配该半导体装备时，预先设定该位置信息并将该位置信息存储在存储器中，该半导体系统从存储器中获取该位置信息；第二种、该位置信息可以是根据测量设备测量得到的，比如，通过测量设备测量该位置信息并将该位置信息发送给半导体系统；第三种、该位置信息可以是在调整配置该半导体系统时预先设定的，用户可以根据实际需求向该半导体系统输入位置信息。在实际应用中，也可以通过上述两种方式中的任一种方式来获取该至少两个传感器的位置信息等，本申请实施例对此不作具体限制。

进一步的，根据该至少两个传感器的位置信息，确定该至少两个传感器的中心位置；根据该第一距离信息、该第二距离信息和该至少两个传感器之间的距离，确定该中心位置与该转动中心之间的第一偏距，其中，该至少两个传感器之间的距离可以包括该至少两个传感器的几何中心之间的距离，该第一偏距为该中心位置与该转动中心在水平方向的距离；根据该第一偏距，确定该转动中心。

其中，对于该至少两个传感器中的每个传感器，该传感器在该半导体系统中的位置是固定的，因此，对于该至少两个传感器中的任意两个传感器，该任意两个传感器在该半导体系统中的中心位置也是固定的。

另外，该中心位置的数量与该至少两个传感器的数量有关。比如，当该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器时，该中心位置为该第一传感器和第二传感器的中心位置。或者，当该至少两个传感器包括第一传感器、第二传感器和第三传感器时，该中心位置包括该第一传感器和第二传感器的中心位置，以及该第二传感器与该第三传感器的中心位置。

下面分别将该至少两个传感器包括不同数量时，该转动中心的确定过程进行详细的说明。

在第一种可能的实施例中，该至少两个传感器包括两个传感器。图7为本申请实施例提供的一种半导体系统的结构示意图，该半导体系统包括第一传感器S1、第二传感器S2、镜组、位移台和固定框架，其中，第一传感器S1和第二传感器S2分别位于镜组的两侧。具体的，在该位移台处于第一位置状态时，分别测量该第一传感器S1和该第二传感器S2与该位移台之间的高度值，得到高度值H1和高度值H2(即该第一距离信息包括该第一传感器S1和该第二传感器S2分别与该位移台之间的高度值H1和高度值H2)，在该位移台处于第二位置状态时，分别测量该第一传感器S1和该第二传感器S2与该位移台之间的高度值，得到高度值H3和高度值H4(即该第二距离信息包括该第一传感器S1和该第二传感器S2分别与该位移台之间的高度值H3和高度值H4)，该第一传感器S1与该第二传感器S2之间的距离为L1。

根据该第一传感器S1的位置信息和第二传感器S2的位置信息，确定该第一传感器S1和第二传感器S2的中心位置为C1，该中心位置C1与该转动中心之间的距离为第一偏距ΔX1，该第一偏距ΔX1满足公式(1)：

根据第一偏距ΔX1可以确定转动中心的位置。在该实施例中，在位移台处于不同的位置状态时，测量该第一传感器和该第二传感器与位移台之间的高度值，并根据高度值确定位移台转动中心，提高了转动中心的精确度；进一步的，通过转动中心控制位移台运动时，保证了运动的准确性。图7中仅示出了该半导体系统的部分结构，图7中以该转动中心位于该中心位置的右侧，且第一传感器和第二传感器齐平为例。

在第二种可能的实施例中，该至少两个传感器包括三个传感器，该三个传感器可以包括第一传感器S1、第二传感器S2和第三传感器S3，第一传感器S1、第二传感器S2和第三传感器S3不在一条直线上。具体的，在该位移台处于第一位置状态时，分别测量该第一传感器S1、第二传感器S2和第三传感器S3与该位移台之间的高度值，得到高度值H1、高度值H2和高度值H5，将位移台沿着X轴转动预设角度后，分别测量该第一传感器S1和第二传感器S2与该位移台之间的高度值，得到高度值H3、高度值H41，将位移台沿着Y轴转动预设角度后，分别测量第二传感器S2和第三传感器S3与该位移台之间的高度值，得到高度值H42和H6。该第一传感器S1与该第二传感器S2之间的距离为L1，该第二传感器S2和该第三传感器S3之间的距离为L2。根据该第一传感器S1的位置信息和第二传感器S2的位置信息，确定该第一传感器S1和第二传感器S2的中心位置为C1，根据该第二传感器S2的位置信息和该第三传感器S3的位置信息，确定该第二传感器S2和该第三传感器S3的中心位置为C2。

中心位置C1与该转动中心之间的距离为第一偏距ΔX11(即第一子偏距)，该第一偏距ΔX11满足公式(2)：

中心位置C2与该转动中心之间的距离为第一偏距ΔX12(即第二子偏距)，该第一偏距ΔX12满足公式(3)：

根据第一偏距ΔX11和第一偏距ΔX12，能够确定唯一的一个点，该点为位移台的转动中心。在该实施例中，在位移台处于不同的位置状态时，测量三个传感器与位移台之间的高度值，并根据高度值和三个传感器的位置信息，确定位移台的转动中心，与上述实施例中的两个传感器相比，进一步，提高了转动中心的精确度。

图8为本申请实施例提供的一种传感器的分布示意图，如图8所示，该至少两个传感器包括传感器S1、传感器S2和传感器S3，该三个传感器位于同一个平面，以三个传感器所在的平面为基准面建立坐标系，其中，传感器S1位于第二象限，传感器S2位于第三象限，传感器S3位于第四象限。

可选的，当该至少两个传感器包括四个传感器甚至更多的传感器时，确定位移台的转动中心的过程与该至少两个传感器包括三个传感器时类似，此处不再赘述。

进一步的，当该至少两个传感器包括两个传感器时，该高度值H1与该高度值H3的差值的绝对值为第一数值，该高度值H2与该高度值H4的差值的绝对值为第二数值，在根据该第一偏距确定该转动中心之前，该方法还包括：若该第一数值大于该第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的右侧；若该第一数值小于该第二数值，确定该转动中心在该第一传感器和该第二传感器的中心位置的左侧。

进一步的，该方法还包括：根据该镜组的位置信息，确定该镜组与该中心位置之间的第二偏距；根据该第一偏距和该第二偏距之和，控制该位移台运动。

其中，该第二偏距可以为镜组与该中心位置在水平方向的距离，比如，该第二偏距可以为该镜组的几何中心与该中心位置在水平方向的距离。根据该第一偏距和该第二偏距之和，控制该位移台运动，即根据该镜组与该转动中心之间的偏距控制该位移台运动，该偏距可以为该镜组与该转动中心在水平方向的距离，比如，该偏距可以为该镜组的几何中心与该转动中心在水平方向的距离。其中，控制位移台运动可以称为调节位移台运动。

下面分别对该至少两个传感器包括不同数据的传感器时，该镜组与该转动中心之间的偏距的确定过程进行说明。

在第一种可能的实施例中，该至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器，如图7所示，该中心位置为该第一传感器和第二传感器的中心位置C1，镜组与该第一传感器和第二传感器的中心位置C1之间的距离为第二偏距ΔX2，该镜组与该转动中心之间的偏距ΔL，ΔL满足公式(4)：

ΔL＝ΔX1+ΔX2 (4)

在第二种可能的实施例中，该至少两个传感器包括第一传感器、第二传感器和第三传感器，该中心位置为该第一传感器和第二传感器的中心位置，以及第二传感器和第三传感器的中心位置，该第一传感器和第二传感器的中心位置与该镜组之间的距离在X轴上的分量为第二偏距ΔX21，该镜组与该转动中心之间的偏距在X轴方向的偏距ΔL1满足公式(5)：

ΔL1＝ΔX11+ΔX21 (5)

该第二传感器和第三传感器的中心位置与该镜组之间的距离在Y轴上的分量为第二偏距ΔX22，该镜组与该转动中心之间的偏距在Y轴方向的偏距ΔL2满足公式(6)：

ΔL2＝ΔX12+ΔX22 (6)

可选的，当镜组需要对位移台上的样品进行检测时，镜组只能对处于镜组视场和DOF中的区域进行检测。因此，根据镜组与该转动中心之间的偏距ΔL，控制位移台运动，比如，可以根据镜组与该转动中心之间的偏距ΔL，控制位移台沿着X轴移动或者沿着Y轴的移动，使得待测区域位于镜组的视场和DOF中。

下面控制位移台运动的过程进行详细说明。为了便于理解，以下实施例中以该至少两个传感器包括两个传感，待测区域为样品靠近镜组一侧的表面为例。

在第一种可能的实施例中，样品的待测区域与镜组平行。图9为本申请实施例提供的一种位移台的控制示意图，其中，待测区域为ROI与镜组平行，待测区域ROI位于该位移台转动中心的正上方，镜组与转动中心之间的偏距为ΔL，镜组与样品之间的高度值为H1，镜组与DOF的中心位置之间的高度值为H2。在控制位移台运动时，将该位移台水平向右移动ΔL，使得待测区域ROI位于该镜组的视场内，若H2大于H1，将该位移台向下移动ΔH＝|H1-H2|；若H2小于H1，将该位移台向上移动ΔH＝|H1-H2|。在该实施例中，镜组与转动中心之间的偏距控制位移台运动，使得待测区域在样品的视场和DOF中，提高了运动的精度，进一步，保证了检测的质量。图9中以该转动中心位于该镜组的左侧为例。

在第二种可能的实施例中，样品的待测区域与镜组平行。待测区域ROI与镜组不平行，待测区域ROI位于该位移台转动中心的正上方，传感器S1与待测样品的高度值为h1，传感器S2待测样品的高度值为h2，传感器S1和传感器S2在样品上的投影区域为S1’和S2’，S1’与待测区域ROI在Z轴方向的高度差为z1，S2’与待测区域ROI在Z轴方向的高度差为z2，传感器S1与传感器S2之间的距离为L。在控制位移台运动时，首先需要对位移台进行沿着Y轴转动，转动角度θ满足公式(7)：

使得待测区域与镜组平行。当位移台与镜组平行后控制位移台运动的过程与上述第一种可能的实施例类似，此处不再赘述。

在另一种实施例中，当传感器的在样品上的投影点与该待测区域之间没有高度差时，即z1＝z2＝0时，转动角度θ满足公式(8)：

在该实施例中，通过控制位移台运动，使得镜组与待测区域平行，且在样品的视场和DOF中，提高了运动的精度，进一步，保证了检测的质量。

为了便于理解，下面以该至少两个传感器包括四个传感器为例，对本申请实施例提供的位移台的控制方法进行说明。

图10为本申请实施例提供的另一种传感器的分布示意图，如图10所示，该至少两个传感器包括传感器S1、传感器S2、传感器S3和传感器S4，该四个传感器位于同一个平面，以四个传感器所在的平面为基准面建立坐标系，其中，传感器S1位于第二象限，传感器S2位于第一象限，传感器S3位于第四三象限，传感器S4位于第三象限。

通过传感器S1、传感器S2、传感器S3和传感器S4，分别测量位移台处于第一位置状态时，传感器S1、传感器S2、传感器S3和传感器S4与位移台之间的高度值，得到高度值h11、高度值h21、高度值h31和高度值h41，高度值h11和高度值h21的平均值为h1，高度值h31和高度值h31的平均值为h2；控制位移台沿着X轴转动预设角度θ后，即位移台处于第二位置状态时，分别测量传感器S1、传感器S2、传感器S3和传感器S4与位移台之间的高度值，得到高度值h12、高度值h22、高度值h32和高度值h42，高度值h12和高度值h22的平均值为h3，高度值h32和高度值h42的平均值为h4，传感器S1和传感器S2的中心位置与传感器S3和传感器S4的中心位置之间的距离为L，则转动中心与距离为L的中心位置之间的距离为控制位移台沿着Y轴转动预设角度θ后，即位移台处于第二位置状态时，分别测量传感器S1、传感器S2、传感器S3和传感器S4与位移台之间的高度值，得到高度值h12’、高度值h22’、高度值h32’和高度值h42’，高度值h12’和高度值h22’的平均值为h3’，高度值h32’和高度值h42’的平均值为h4’，传感器S1和传感器S4的中心位置与传感器S2和传感器S3的中心位置之间的距离为M，则转动中心与距离为M的中心位置之间的距离为根据距离ΔX1和距离ΔY1确定位移台的转动中心。

在本申请实施例中，通过设置在该位移台上方至少两个传感器测量移台处于不同位置状态时，该至少两个传感器与位移台之间的距离信息，根据实际测量得到的距离信息和至少两个传感器的位置信息，确定位移台的转动中心，提高了转动中心的精确度；进一步的，当镜组在对样品的待测区域进行检测时，利用该转动中心控制位移台运动，使得待测区域在镜组的焦深和视场中，在提高了运动的准确性的同时，保证了检测的质量。

可以理解的是，位移台的控制装置为了实现上述功能，其包含了执行各个功能相应的硬件结构和/或软件模块。本领域技术人员应该很容易意识到，结合本文中实施例描述的各示例的位移台的控制方法步骤，本申请能够以硬件或硬件和计算机软件的结合形式来实现。某个功能究竟以硬件还是计算机软件驱动硬件的方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。

本申请实施例可以根据上述方法示例对位移台的控制装置进行功能模块的划分，例如，可以对应各个功能划分各个功能模块，也可以将两个或两个以上的功能集成在一个处理模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。需要说明的是，本申请实施例中对模块的划分是示意性的，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式。

在采用对应各个功能划分各个功能模块的情况下，图11示出了一种上述实施例中所涉及的位移台的控制装置的一种可能的结构示意图，该位移台的控制装置包括：获取单元101和确定单元102。该获取单元101，用于支持该位移台的控制装置执行上述方法实施例中的S601；该确定单元102，用于支持该位移台的控制装置执行上述方法实施例中的S602和S603中的一个或多个步骤。

可选的，该位移台的控制装置还可以包括控制单元103，该控制单元103可用于根据该镜组的位置信息，确定该镜组与该中心位置之间的第二偏距；根据该第一偏距与该第二偏距之和，控制该位移台运动。

在硬件实现上，获取单元101、确定单元102和控制单元103为图5所示控制器。关于该控制器具体描述可以参见图5中的具体描述，本申请实施例在此不再赘述。

需要说明的是，上述方法实施例涉及的各步骤的所有相关内容均可以援引到对应功能模块的功能描述，在此不再赘述。本申请实施例提供的装置，用于执行上述实施例中对应的功能，因此可以达到与上述控制方法相同的效果。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个装置，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请实施例的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得装置执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

本申请的另一方面，提供一种半导体系统，该半导体系统包括固定框架、镜组、设置在该镜组四周的至少两个传感器，控制器和设置在该镜组下方的位移台，该固定框架用于固定所述镜组，该控制器和该位移台通过线缆连接，该控制器和所述至少两个传感器通过线缆连接，该至少两个传感器用于测量该位移台与该至少两个传感器之间的高度值，该控制器用于控制该位移台运动该控制器用于执行上述方法实施例中的相关步骤，该控制器可以为上述图5中所提供的控制器。

在一种可能的实现方式中，该至少两个传感器固定连接于该固定框架上。

在另一种可能的实现方式中，该半导体系统还包括与该位移台分开设置的测量框架，该至少两个传感器固定连接于该测量框架上，该至少两个传感器与该位移台之间存在一定距离。

在本申请的又一方面，提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质包括计算机指令，当该计算机指令在位移台的控制装置上运行时，执行上述方法实施例中的相关步骤。

在本申请的又一方面，提供一种包含指令的计算机程序产品，当计算机程序产品在计算机上设备运行时，使得位移台的控制装置执行上述方法实施例中的相关步骤。

最后应说明的是：以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何在本申请揭露的技术范围内的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (16)

1.一种位移台的控制方法，应用于半导体系统中，所述半导体系统包括位移台和设置在所述位移台上方的至少两个传感器，其特征在于，所述方法包括：

通过所述至少两个传感器获取所述位移台处于第一位置状态时，所述至少两个传感器与所述位移台之间的第一距离信息；

通过所述至少两个传感器获取所述位移台处于第二位置状态时，所述至少两个传感器与所述位移台之间的第二距离信息，所述第二位置状态为所述位移台在所述第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；

根据所述至少两个传感器的位置信息、所述第一距离信息和所述第二距离信息，确定所述位移台的转动中心。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述至少两个传感器的位置信息、所述第一距离信息和所述第二距离信息，确定所述位移台的转动中心，包括：

根据所述至少两个传感器的位置信息，确定所述至少两个传感器的中心位置；

根据所述第一距离信息、所述第二距离信息和所述至少两个传感器之间的距离，确定所述中心位置与所述转动中心之间的第一偏距；

根据所述第一偏距，确定所述转动中心。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器，所述第一距离信息包括所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述位移台之间的高度值H1和高度值H2，所述第二距离信息包括所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述位移台之间的高度值H3和高度值H4，所述至少两个传感器之间的距离包括所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离L1，所述第一偏距ΔX1满足：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一偏距，确定所述转动中心之前，所述方法还包括：

若第一数值大于第二数值，确定所述转动中心在所述第一传感器和所述第二传感器的中心位置的右侧；

若所述第一数值小于所述第二数值，确定所述转动中心在所述第一传感器和所述第二传感器的中心位置的左侧，其中，所述高度值H1与所述高度值H3的差值的绝对值为所述第一数值，所述高度值H2与所述高度值H4的差值的绝对值为所述第二数值。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述至少两个传感器还包括第三传感器，所述第一传感器、所述第二传感器和所述第三传感器不在一条直线上，所述第一距离信息还包括所述第三传感器与所述位移台之间的高度值H5，所述第二距离信息还包括所述第三传感器与所述位移台之间的高度值H6，所述至少两个传感器之间的距离还包括所述第二传感器和所述第三传感器之间的距离L2；

所述根据所述至少两个传感器的位置信息、所述第一距离信息和所述第二距离信息，确定所述位移台的转动中心，包括：

根据所述高度值H1、所述高度值H2、所述高度值H3、所述高度值H4和所述距离L1，确定所述第一传感器与所述第二传感器的中心位置与所述转动中心的第一子偏距；

根据所述高度值H2、所述高度值H4、所述高度值H5、所述高度值H6和所述距离L2，确定所述第二传感器与所述第三传感器的中心位置与所述转动中心的第二子偏距；

根据所述第一子偏距和所述第二子偏距，确定所述转动中心。

6.根据权利要求2-5任一项所述的方法，其特征在于，所述半导体系统还包括镜组，所述至少两个传感器位于所述镜组的四周，所述方法还包括：

根据所述镜组的位置信息，确定所述镜组与所述中心位置之间的第二偏距；

根据所述第一偏距与所述第二偏距之和，控制所述位移台运动。

7.一种位移台的控制装置，所述装置位于半导体系统中，所述半导体系统包括位移台和设置在所述位移台上方的至少两个传感器，其特征在于，所述装置包括：

获取单元，用于通过所述至少两个传感器获取所述位移台处于第一位置状态时，所述至少两个传感器与所述位移台之间的第一距离信息；

所述获取单元，还用于通过所述至少两个传感器获取所述位移台处于第二位置状态时，所述至少两个传感器与所述位移台之间的第二距离信息，所述第二位置状态为所述位移台在所述第一位置状态转动预设角度之后的位置状态；

确定单元，用于根据所述至少两个传感器的位置信息、所述第一距离信息和所述第二距离信息，确定所述位移台的转动中心。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述确定单元还用于：

根据所述至少两个传感器的位置信息，确定所述至少两个传感器的中心位置；

根据所述第一距离信息、所述第二距离信息和所述至少两个传感器之间的距离，确定所述中心位置与所述转动中心之间的第一偏距；

根据所述第一偏距，确定所述转动中心。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述至少两个传感器包括第一传感器和第二传感器，所述第一距离信息包括所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述位移台之间的高度值H1和高度值H2，所述第二距离信息包括所述第一传感器和所述第二传感器分别与所述位移台之间的高度值H3和高度值H4，所述至少两个传感器之间的距离包括所述第一传感器与所述第二传感器之间的距离L1，所述第一偏距ΔX1满足：

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述确定单元还用于：

若第一数值大于第二数值，确定所述转动中心在所述第一传感器和所述第二传感器的中心位置的右侧；

若所述第一数值小于所述第二数值，确定所述转动中心在所述第一传感器和所述第二传感器的中心位置的左侧，其中，所述高度值H1与所述高度值H3的差值的绝对值为所述第一数值，所述高度值H2与所述高度值H4的差值的绝对值为所述第二数值。

11.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述至少两个传感器还包括第三传感器，所述第一传感器、所述第二传感器和所述第三传感器不在一条直线上，所述第一距离信息还包括所述第三传感器与所述位移台之间的高度值H5，所述第二距离信息还包括所述第三传感器与所述位移台之间的高度值H6，所述至少两个传感器之间的距离还包括所述第二传感器和所述第三传感器之间的距离L2，所述确定单元还用于：

根据所述高度值H1、所述高度值H2、所述高度值H3、所述高度值H4和所述距离L1，确定所述第一传感器与所述第二传感器的中心位置与所述转动中心的第一子偏距；

根据所述高度值H2、所述高度值H4、所述高度值H5、所述高度值H6和所述距离L2，确定所述第二传感器与所述第三传感器的中心位置与所述转动中心的第二子偏距；

根据所述第一子偏距和所述第二子偏距，确定所述转动中心。

12.根据权利要求8-11任一项所述的装置，其特征在于，所述半导体系统还包括镜组，所述至少两个传感器位于所述镜组的四周，所述装置还包括控制单元，所述控制单元用于：

根据所述镜组的位置信息，确定所述镜组与所述中心位置之间的第二偏距；

根据所述第一偏距与所述第二偏距之和，控制所述位移台运动。

13.一种半导体系统，其特征在于，所述系统包括固定框架、镜组、设置在所述镜组四周的至少两个传感器，控制器和设置在所述镜组下方的位移台，所述固定框架用于固定所述镜组，所述控制器和所述位移台通过线缆连接，所述控制器和所述至少两个传感器通过线缆连接，所述至少两个传感器用于获取所述位移台与所述至少两个传感器之间的距离，所述控制器用于控制所述位移台运动，所述控制器为权利要求7-12任一项所述的位移台的控制装置。

14.根据权利要求13所述的半导体系统，其特征在于，所述至少两个传感器固定连接于所述固定框架上。

15.根据权利要求13所述的半导体系统，其特征在于，所述半导体系统还包括与所述位移台分开设置的测量框架，所述至少两个传感器固定连接于所述测量框架上，所述至少两个传感与所述位移台之间存在一定距离。

16.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质包括计算机指令，当所述计算机指令在位移台的控制装置上运行时，使得所述位移台的控制装置执行如权利要求1-6任一项所述的位移台的控制方法。