CN117612818A - 一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯及其制备方法。包括步骤如下：(1)制备绝缘包覆的纳米晶粉末；(2)制备绝缘包覆的超细高Bs粉末；(3)将树脂粘接剂分散于丙酮中，继续加入绝缘包覆的纳米晶粉末和绝缘包覆的超细高Bs粉末，混合均匀，搅拌至丙酮完全挥发，经造粒和烘干后继续加入脱模剂，再经压制、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯。本发明提供的模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，所使用的超细高Bs粉末尺寸远小于纳米晶磁粉，硬度低于纳米晶磁粉且成本相对较低，能够有效填充纳米晶磁粉之间的孔隙，实现纳米晶混合磁粉芯致密度的提升，解决了纳米晶混合磁粉芯低压成型难的问题。
Description
技术领域
本发明涉及一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯及其制备方法，属于磁性材料制备技术领域。
背景技术
随着电子行业发展，电子产品开始呈现小型化、集成化、多功能化、大功率化、节能化的发展趋势。为顺应电子产品的普及，电子行业迫切需要一种体积小、大功率、成本低且适合集成安装的电感产品。模压电感因具有体积小、抗电磁干扰能力强、漏感和损耗低等特点，能够实现大电流环境下持续长期的工作，被广泛应用于电压调节模块、DC-DC转换器模块、电源供应器、通信网络以及其他消费电子产品等领域。
但随着电子元器件进一步小型化、高频化、大电流的发展，当前以FeSiCr粉、羰基铁粉为主要材料的模压电感性能需要进一步优化来满足发展需求。如何进一步降低磁芯损耗、提高抗饱和能力、提升效率也成为了亟需解决的难题。新型出现的FeSiBCuNb等纳米晶材料因具有独特的非晶、纳米晶双相结构而表现出低损耗、接近零的磁致伸缩系数等优异的磁性能，这成为了新材料替代过程中的首选材料，然而纳米晶材料硬度较大，难以在低压条件下获得高密度磁芯，且由于引入大量非磁性元素而造成饱和磁化强度的降低。因此，在确保低损耗和高抗饱和能力的前提下，如何解决纳米晶粉末低压成型难、饱和磁化强度低的问题成为制备适用于大电流、大功率场景的模压电感用纳米晶磁粉芯的关键。
基于此，有必要引入其他软磁材料来实现低压条件下高饱和磁化强度、高直流偏置、低损耗的模压电感用纳米晶混合磁粉芯的制备。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯及其制备方法。
本发明的技术方案如下：
一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
(1)将正硅酸乙酯、无水乙醇、氨水、去离子水和偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在350～450rpm下搅拌55～65min，经洗涤和烘干后，得到绝缘包覆的纳米晶粉末；
(2)将磷酸加入至无水乙醇中，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入超细高Bs粉末，在250～350rpm下搅拌25～35min，经洗涤和烘干后，得到绝缘包覆的超细高Bs粉末；
(3)将树脂粘接剂分散于丙酮中，继续加入绝缘包覆的纳米晶粉末和绝缘包覆的超细高Bs粉末，混合均匀，在250～350rpm下搅拌至丙酮完全挥发，经造粒和烘干后继续加入脱模剂，再经压制、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯。
根据本发明优选的，步骤(1)中，所述正硅酸乙酯、无水乙醇、氨水和去离子水的体积比为(2.5～10)：(90～110)：(4～6)：(25～35)。
根据本发明优选的，步骤(1)中，所述纳米晶磁粉和包覆混合液的质量体积比为100：(120～150)，单位g/mL。
根据本发明优选的，步骤(1)中，所述偶联剂为含有氨基和乙氧基官能团的硅烷偶联剂；所述偶联剂和纳米晶磁粉的质量比为(0.5～1.5)：100。
根据本发明优选的，步骤(1)中，所述的纳米晶磁粉为FeSiBCuNb或FeSiBCuNbP(C)；所述纳米晶磁粉的粒度为15μm≤D50≤25μm。
进一步优选的，所述FeSiBCuNbP(C)的分子式为Fe75Si8B10P3C2Nb1.5Cu0.5，其具体制备方法如下：
1)按照Fe75Si8B10P3C2Nb1.5Cu0.5的化学计量比准确称量原料Fe、Si、Fe-B、Fe-Nb、Cu置于感应熔炼炉中，在真空度小于10Pa的条件下，升温至1250～1350℃融化后，保温5～10min，得到母合金锭；然后按化学计量比向母合金锭中添加Fe-P和Fe-C，并在1250～1350℃保温5～10min，得到FeSiBCuNbP(C)熔体；
2)将FeSiBCuNbP(C)熔体在1250～1350℃下使用保温坩埚浇钢至雾化设备，经气雾化或水气联合雾化以及筛分后，得到FeSiBCuNbP(C)。
根据本发明优选的，步骤(2)中，所述磷酸和无水乙醇的质量体积比为(1～4)：100，单位g/mL；所述超细高Bs粉末和无水乙醇的质量体积比为(2～3)：1，单位g/mL。
根据本发明优选的，步骤(2)中，所述超细高Bs粉末为羰基铁粉、还原铁粉或铁硅粉中的至少一种；所述超细高Bs粉末粒度为2μm≤D50≤6μm，饱和磁化强度为170～230emu/g。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述树脂粘接剂和丙酮的质量体积比为1：10，单位g/mL。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述树脂粘接剂为环氧树脂、酚醛树脂、硅树脂中的至少一种；所述脱模剂为硬脂酸锌、硬脂酸钡、氮化硼的至少一种。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述绝缘包覆的纳米晶粉末、绝缘包覆的超细高Bs粉末、树脂粘接剂和脱模剂的质量比为(60～70)：(30～40)：4：0.5。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述造粒和烘干具体为：过60～70目筛网造粒，然后在70～90℃下烘干40～60min。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述压制具体为：在500～800MPa下进行压制，压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％。
根据本发明优选的，步骤(3)中，所述的低温烘烤具体为：
于马弗炉中，在25～35min内从20～30℃升温到70～90℃，在70～90℃下保温75～85min；在45～55min内继续升温到110～130℃，在110～130℃下保温55～65min；在35～45min内继续升温到140～160℃，在140～160℃下保温55～65min；在45～55min内继续升温到165～175℃，在165～175℃下保温110～130min；最后冷却至室温。
本发明还提供了上述方法制备得到的模压电感用纳米晶混合磁粉芯。
本发明未详细说明的均可按照现有技术进行。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
1、本发明提供的模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法通过溶胶凝胶法在纳米晶磁粉表面形成一层均匀分布的SiO2绝缘层，同时对于超细高Bs粉末用磷酸钝化工艺进行包覆，提高了材料本身的电阻率，可有效降低磁粉芯涡流损耗并改善磁粉芯的直流偏置特性。
2、本发明提供的模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，所使用的超细高Bs粉末尺寸远小于纳米晶磁粉，硬度低于纳米晶磁粉且成本相对较低，能够有效填充纳米晶磁粉之间的孔隙，实现纳米晶混合磁粉芯致密度的提升，解决了纳米晶混合磁粉芯低压成型难的问题。此外，本发明超细高Bs粉末的尺寸也能实现磁粉芯涡流损耗的降低，这使得本发明制备的纳米晶混合磁粉芯成为模压电感制备的优选软磁材料之一，符合高频化、节能化的发展趋势。
3、本发明提供的模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法所使用的超细高Bs粉末具有远高于纳米晶磁粉的Bs值，能够有效提升纳米晶混合磁粉芯的饱和磁化强度，因此能够保持纳米晶混合磁粉芯直流偏置特性在较高的范围，满足大电流场景的应用。
附图说明
图1为实施例1～4和对比例1～3制备的产品的磁损耗图。
图2为实施例1～4和对比例1～3制备的产品的磁导率图。
图3为实施例1～4和对比例1～3制备的产品的直流偏置图。
图4为实施例1～4和对比例1～3制备的产品的密度图。
图5为实施例1～4和对比例1～3制备的产品的致密度图。
图6为实施例1～3和对比例1～3制备的产品的磁滞回线图。
具体实施方式
下面通过具体实施例和附图对本发明方案做进一步说明，但不是限制本发明的要求保护的范围。
实施例中所用原料均为常规原料，所用设备均为常规设备，均可从市售购买获得。
为了更好地说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本发明作进一步说明。
所述FeSiBCuNb纳米晶磁粉为商用1K-107牌号，可通过市售得到。
所述FeSiBCuNbP(C)纳米晶磁粉的化学式为Fe75Si8B10P3C2Nb1.5Cu0.5，其具体制备方法如下：
1)按照Fe：3592.28g、Si：290.16g、Fe-B：758.07g、Fe-Nb：268.27g、Cu：39.756g将原料置于感应熔炼炉中，在小于10Pa的真空条件下，升温至1300℃融化后保温10min，得到母合金锭；然后向母合金锭中加入合金块Fe-P：459.01g、Fe-C：601.44g，并在1300℃保温5min，得到FeSiBCuNbP(C)熔体；
2)将FeSiBCuNbP(C)熔体在1300℃下使用保温坩埚浇钢至雾化设备，经气雾化或水气联合雾化以及筛分，后得到FeSiBCuNbP(C)纳米晶磁粉。
其中，在浇钢之前需将保温坩埚升温至1300℃、长时间保温(120min)；
所述雾化采用氩气，雾化压力4MPa，控制雾化设备熔炼室和雾化室压差在0.033MPa；
所述筛分是使用气流分级系统进行筛分，获得D50为15～25微米，非晶率大于90％的FeSiBCuNbP(C)纳米晶磁粉。
实施例1
一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
(1)将10mL正硅酸乙酯、100mL无水乙醇、5mL氨水、30mL去离子水和1g的KH550硅烷偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将100g粒度D50为25μm的FeSiBCuNbP(C)纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在400rpm下搅拌60min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在95℃下烘干后，得到绝缘包覆的FeSiBCuNbP(C)纳米晶粉末；
(2)将0.4g磷酸加入到40mL无水乙醇中，搅拌均匀，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入100g粒度D50为4μm、饱和磁化强度为212emu/g的还原铁粉，在300rpm下搅拌30min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在60℃下烘干后，得到绝缘包覆的还原铁粉；
(3)将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，继续加入70g绝缘包覆的FeSiBCuNbP(C)纳米晶粉末和30g绝缘包覆的还原铁粉，混合均匀，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯；
所述的低温烘烤具体为：于马弗炉中，在30min内从25℃升温到80℃，在80℃下保温80min；在50min内继续升温到120℃，在120℃下保温60min；在40min内继续升温到150℃，在150℃下保温60min；在50min内继续升温到170℃，在170℃下保温120min；最后冷却至室温。
实施例2
一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
(1)将7.5mL正硅酸乙酯、100mL无水乙醇、5mL氨水、30mL去离子水和1g的KH550硅烷偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将100g粒度D50为25μm的FeSiBCuNb纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在400rpm下搅拌60min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在95℃下烘干后，得到绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末；
(2)将0.4g磷酸加入到40mL无水乙醇中，搅拌均匀，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入100g粒度D50为4μm、饱和磁化强度为226emu/g的羰基铁粉，在300rpm下搅拌30min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在60℃下烘干后，得到绝缘包覆的羰基铁粉；
(3)将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，继续加入65g绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末和35g绝缘包覆的羰基铁粉，混合均匀，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯；
所述的低温烘烤条件同实施例1。
实施例3
一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
(1)将5mL正硅酸乙酯、100mL无水乙醇、5mL氨水、30mL去离子水和1g的KH550硅烷偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将100g粒度D50为20μm的FeSiBCuNb纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在400rpm下搅拌60min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在95℃下烘干后，得到绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末；
(2)将0.4g磷酸加入到40mL无水乙醇中，搅拌均匀，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入100g粒度D50为4μm、饱和磁化强度为193emu/g的铁硅粉，在300rpm下搅拌30min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在60℃下烘干后，得到绝缘包覆的铁硅粉；
(3)将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，继续加入65g绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末和35g绝缘包覆的铁硅粉，混合均匀，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯；
所述的低温烘烤条件同实施例1。
实施例4
一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
(1)将2.5mL正硅酸乙酯、100mL无水乙醇、5mL氨水、30mL去离子水和1g的KH550硅烷偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将100g粒度D50为20μm的FeSiBCuNb纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在400rpm下搅拌60min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在95℃下烘干后，得到绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末；
(2)将0.4g磷酸加入到40mL无水乙醇中，搅拌均匀，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入100g粒度D50为4μm、饱和磁化强度为193emu/g的铁硅粉，在300rpm下搅拌30min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在60℃下烘干后，得到绝缘包覆的铁硅粉；
(3)将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，继续加入60g绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末和40g绝缘包覆的铁硅粉，混合均匀，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯。
对比例1
一种磁粉芯制备方法，包括如下步骤：
(1)将10mL正硅酸乙酯、100mL无水乙醇、5mL氨水、30mL去离子水和1g的KH550硅烷偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将100g粒度D50为25μm的FeSiBCuNb纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在400rpm下搅拌60min，将上清液倒出，用无水乙醇冲洗4次，在95℃下烘干后，得到绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末；
(2)将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，继续加入100g绝缘包覆的FeSiBCuNb纳米晶粉末，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯；
所述的低温烘烤条件同实施例1。
对比例2
一种磁粉芯制备方法，包括步骤如下：
将4g环氧树脂分散在40mL丙酮中，加入100g的FeSiBCuNb纳米晶粉末，在300rpm下搅拌至丙酮挥发完全，过65目筛网造粒，然后在80℃下烘干50min后继续加入0.5g硬脂酸锌，再于600MPa下进行压制(压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％)、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯；
所述的低温烘烤条件同实施例1。
对比例3
一种磁粉芯的制备方法，包括如下步骤：
称取100g以FeSiCr为主成分的模压电感用软磁粉，在600MPa压力下保压5s，压制获得环形磁粉芯生坯；将环形磁粉芯生坯低温烘烤后，得到磁粉芯；
所述的低温烘烤条件同实施例1。
试验例
对实施例1～4和对比例1～3制备的产品进行性能测试，测试指标包括磁损耗、磁导率、直流偏置、密度、致密度、磁滞回归线、饱和磁化强度和矫顽力，结果如图1～6和表1所示。
具体测试方法为：采用LCR-8210数字电桥在1V电压、1MHz对磁粉芯磁导率进行测试，绕线采用0.5mm漆包线35匝。磁粉芯饱和磁化强度和矫顽力均采用VSM(Lakeshore7404)振动样品磁强计进行测量。磁粉芯直流偏置通过LCR加偏置直流电源(TH1778A)在1V、1MHz、14.8A条件下测得，绕线35匝。损耗采用湖南联众生产的软磁交流测量仪(MAST-3000SA)测试，初级绕线15匝，次级绕线15匝。密度采用质量与体积比计算获得。
表1、实施例1～4和对比例1～3的产品性能
根据表1、图1～6的结果可知，与对比例1相比，实施例1～3所制备的磁粉芯在保持高直流偏置和低损耗的同时，具有更高的饱和磁化强度、磁导率以及致密度。与对比例3相比，实施例1～3在保持相对高的饱和磁化强度的同时，具有更低的损耗和更好的直流偏置，以及更高的致密度。与对比例1～3相比，实施例4具有更高的致密度和磁导率，以及更低的损耗。说明本发明所述的纳米晶混合磁粉芯及其制备方法，可以通过调控绝缘包覆层、引入高Bs的超细磁粉来优化磁粉芯的磁导率、致密度、损耗、直流偏置以及饱和磁化强度。这有利于纳米晶粉末在模压电感制备中的应用，符合大电流、高频化、小型化的发展趋势。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，但对于本领域的技术人员来说，其依然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (10)
1.一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯制备方法，其特征在于，包括步骤如下：
(1)将正硅酸乙酯、无水乙醇、氨水、去离子水和偶联剂混合均匀，得到包覆混合液；然后将纳米晶磁粉加入至包覆混合液中，在350～450rpm下搅拌55～65min，经洗涤和烘干后，得到绝缘包覆的纳米晶粉末；
(2)将磷酸加入至无水乙醇中，得到磷酸乙醇溶液；然后向磷酸乙醇溶液中加入超细高Bs粉末，在250～350rpm下搅拌25～35min，经洗涤和烘干后，得到绝缘包覆的超细高Bs粉末；
(3)将树脂粘接剂分散于丙酮中，继续加入绝缘包覆的纳米晶粉末和绝缘包覆的超细高Bs粉末，混合均匀，在250～350rpm下搅拌至丙酮完全挥发，经造粒和烘干后继续加入脱模剂，再经压制、低温烘烤后，得到模压电感用纳米晶混合磁粉芯。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述正硅酸乙酯、无水乙醇、氨水和去离子水的体积比为(2.5～10)：(90～110)：(4～6)：(25～35)。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述纳米晶磁粉和包覆混合液的质量体积比为100：(120～150)，单位g/mL；所述偶联剂为含有氨基和乙氧基官能团的硅烷偶联剂；所述偶联剂和纳米晶磁粉的质量比为(0.5～1.5)：100。
4.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述的纳米晶磁粉为FeSiBCuNb或FeSiBCuNbP(C)；所述纳米晶磁粉的粒度为15μm≤D50≤25μm；
进一步优选的，所述FeSiBCuNbP(C)的分子式为Fe75Si8B10P3C2Nb1.5Cu0.5，其具体制备方法如下：
1)按照Fe75Si8B10P3C2Nb1.5Cu0.5的化学计量比准确称量原料Fe、Si、Fe-B、Fe-Nb、Cu置于感应熔炼炉中，在真空度小于10Pa的条件下，升温至1250～1350℃融化后，保温5～10min，得到母合金锭；然后按化学计量比向母合金锭中添加Fe-P和Fe-C，并在1250～1350℃保温5～10min，得到FeSiBCuNbP(C)熔体；
2)将FeSiBCuNbP(C)熔体在1250～1350℃下使用保温坩埚浇钢至雾化设备，经气雾化或水气联合雾化以及筛分后，得到FeSiBCuNbP(C)。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述超细高Bs粉末为羰基铁粉、还原铁粉或铁硅粉的至少一种；所述超细高Bs粉末粒度为2μm≤D50≤6μm，饱和磁化强度为170～230emu/g。
6.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述磷酸和无水乙醇的质量体积比为(1～4)：100，单位g/mL；所述超细高Bs粉末和无水乙醇的质量体积比为(2～3)：1，单位g/mL。
7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述树脂粘接剂和丙酮的质量体积比为1：10，单位g/mL；
所述树脂粘接剂为环氧树脂、酚醛树脂、硅树脂中的至少一种；所述脱模剂为硬脂酸锌、硬脂酸钡、氮化硼的至少一种。
8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述绝缘包覆的纳米晶粉末、绝缘包覆的超细高Bs粉末、树脂粘接剂和脱模剂的质量比为(60～70)：(30～40)：4：0.5。
9.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述造粒和烘干具体为：过60～70目筛网造粒，然后在70～90℃下烘干40～60min；
所述压制具体为：在500～800MPa下进行压制，压制所得的生坯密度为5.0～6.0g/cm3，致密度为80～90％；
所述的低温烘烤具体为：
于马弗炉中，在25～35min内从20～30℃升温到70～90℃，在70～90℃下保温75～85min；在45～55min内继续升温到110～130℃，在110～130℃下保温55～65min；在35～45min内继续升温到140～160℃，在140～160℃下保温55～65min；在45～55min内继续升温到165～175℃，在165～175℃下保温110～130min；最后冷却至室温。
10.一种模压电感用纳米晶混合磁粉芯，其特征在于，所述模压电感用纳米晶混合磁粉芯是由权利要求1～9中任一项所述的制备方法制备得到。
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