CN117599443A - 六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统及提纯方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种六氟‑1,3‑丁二烯的提纯装置系统及提纯方法，该提纯装置系统的结构简单，不仅能够实现六氟‑1,3‑丁二烯的提纯，还能保证六氟‑1,3‑丁二烯的收率；而且，提纯方法对应提纯装置系统，提纯方法的操作简单，仅需要通过依次进行的除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理即可实现对六氟丁二烯原料的纯化，且能够使所得六氟‑1,3‑丁二烯的纯度达到99.99％以上，收率达到68％以上。
Description
技术领域
本发明属于提纯技术领域，涉及一种蚀刻气体的分离提纯装置系统及提纯方法，尤其涉及一种六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统及提纯方法。
背景技术
六氟-1,3-丁二烯(Hexafluoro-1,3-butadiene,C4F6)的沸点为6℃，在-20℃条件下的温度为1.553g/mL，在常温常压下为一种无色无味的气体。
六氟-1,3-丁二烯作为半导体的等离子蚀刻气体受到人们的关注，其能够对100nm甚至更窄的宽度进行刻蚀，具有更快的蚀刻速率、高选择性与高深宽比，且其在大气环境中的寿命较短，全球变暖潜值和传统刻蚀剂相比可忽略不计。因此，六氟-1,3-丁二烯是一种温室效应低，绿色环保的高效刻蚀剂，开发六氟-1,3-丁二烯的分离提纯装置系统及提纯方法具有很高的经济价值和环保意义。
目前，现有技术中六氟-1,3-丁二烯的生产工艺主要包括两种，其一为以四卤六氟丁烷、二卤六氟丁烷或二卤八氟丁烷为中间体，脱卤获得六氟-1,3-丁二烯；其二为以三氟乙烯为原料，与锌反应得到三氟乙烯基溴化锌中间体，然后在金属氧化剂的作用下进行偶联反应，获得六氟-1,3-丁二烯。
在六氟-1,3-丁二烯的生产过程中，会不可避免地产生氟氯溴烷烃、烯烃与醇类等杂质，还会产生氟化氢与不必要的水分，还会引入氮气、一氧化碳与二氧化碳等杂质气体。为了使所得六氟-1,3-丁二烯满足蚀刻气体的要求，需要对所得六氟-1,3-丁二烯中的杂质进行去除。
US6544319B1公开了一种使用5A分子筛纯化六氟-1,3-丁二烯的方法，经过该方法处理后，六氟-1,3-丁二烯的纯度能够从99.90％提升至99.96％，但在其吸附纯化过程中会产生大约0.1wt％的六氟-2-丁炔，影响生产收率及纯度。
JP2004339187A公开了一种使用分子筛及活性炭纯化六氟-1,3-丁二烯的方法，该方法中，六氟-1,3-丁二烯原料依次通过分子筛和活性炭，能够使H2O和HF降低至1ppm以下。虽然其提供的方法能够降低H2O与HF含量，但并不涉及去除其他氟碳类的杂质，并且活性炭会吸附大量的原料，降低六氟-1,3-丁二烯的收率，不适用于工业化生产。
由此可知，现有技术的纯化方法主要集中在分子筛或吸附剂的开发，但六氟-1,3-丁二烯为双烯结构，其与分子筛接触会发生异构化或分解反应，从而降低六氟-1,3-丁二烯的收率及纯度，因此，需要对现有技术中的纯化装置及纯化方法进行调整。
发明内容
本发明的目的在于提供一种六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统及提纯方法，所述提纯装置系统的结构简单，对应提纯方法的工艺同样简单，提纯后所得六氟-1,3-丁二烯的纯度与收率均较高。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置、第一吸附装置、第二吸附装置、第一精馏装置与第二精馏装置；
所述第一吸附装置内设置脱水用的第一吸附剂；
所述第二吸附装置内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂。
六氟丁二烯原料中包括H2O、HF、N2、CO、CO2等无机杂质，以及六氟-2-丁炔、八氟-2-丁烯、三氟溴乙烯与四氟二溴乙烷等有机杂质；本发明通过除酸装置进行除酸处理，去除六氟丁二烯原料中的酸性气体；而后在第一吸附装置中进行第一吸附处理，以去除水分；而后在第二吸附装置中进行第二吸附处理，以吸附去除有机杂质与无机杂质；然后在第一精馏装置中进行第一精馏处理，以脱除重组分，塔顶粗品进入第二精馏装置进行第二精馏处理，第二精馏装置用于脱除轻组分，在第二精馏装置的底部得到提纯后的六氟-1,3-丁二烯。
优选地，所述除酸装置包括逆流吸收装置或鼓泡吸收装置。
优选地，所述除酸装置中设置除酸填料。
优选地，所述除酸填料包括多面空心球、鲍尔环、拉西环、矩鞍环、共轭环或海尔环中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括多面空心球与鲍尔环的组合，拉西环与矩鞍环的组合，共轭环与海尔环的组合，鲍尔环、拉西环与矩鞍环的组合，拉西环、矩鞍环与共轭环的组合，或多面空心球、鲍尔环、拉西环、矩鞍环、共轭环与海尔环的组合。
优选地，所述除酸填料的材质包括聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚氯乙烯(PVC)或聚四氟乙烯(PTFE)中的任意一种，典型但非限制性的组合包括聚乙烯与聚丙烯的组合，聚丙烯与聚氯乙烯的组合，聚氯乙烯与聚四氟乙烯的组合，聚乙烯、聚丙烯与聚氯乙烯的组合，聚丙烯、聚氯乙烯与聚四氟乙烯的组合，或聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯与聚四氟乙烯的组合。
优选地，所述第一吸附剂包括无水硫酸钙、细孔硅胶、无水氯化钙或无水硫酸铜中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括无水硫酸钙与细孔硅胶的组合，无水氯化钙与无水硫酸铜的组合，无水硫酸钙、无水氯化钙与无水硫酸铜的组合，或无水硫酸钙、细孔硅胶、无水氯化钙与无水硫酸铜的组合。
优选地，所述第二吸附剂包括全硅分子筛、5A碳分子筛或活性炭中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合全硅分子筛与5A碳分子筛的组合，5A碳分子筛与活性炭的组合，全硅分子筛与活性炭的组合，或全硅分子筛、5A碳分子筛与活性炭的组合。
本发明使用的第二吸附剂包括全硅分子筛、5A碳分子筛或活性炭中的任意一种或至少两种的组合，由于并未使用硅铝基分子筛，因此能够避免双烯结构的六氟-1,3-丁二烯在分子筛处的异构化或分解反应，避免了六氟-1,3-丁二烯的收率与纯度的降低。
本发明中，第二吸附剂的形状包括球形和/或条形。
优选地，所述第二吸附剂的平均粒径为2-5mm，例如可以是2mm、2.5mm、3mm、3.5mm、4mm、4.5mm或5mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第一精馏装置为填料塔。
优选地，所述第二精馏装置为填料塔。
本发明所述第一精馏装置与第二精馏装置中的填料分别独立地为散堆填料或规整填料。
所述散堆填料包括鲍尔环、阶梯环、矩鞍环或θ环中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括鲍尔环与阶梯环的组合，矩鞍环与θ环的组合，鲍尔环、矩鞍环与θ环的组合，或鲍尔环、阶梯环、矩鞍环与θ环的组合。
所述规整填料包括孔板波纹填料、丝网波纹填料、板波纹填料或刺孔板波纹填料中的任意一种或至少两种的组合，典型但非限制性的组合包括孔板波纹填料与丝网波纹填料的组合，丝网波纹填料与刺孔板波纹填料的组合，或孔板波纹填料、丝网波纹填料与刺孔板波纹填料的组合。
第二方面，本发明提供了一种六氟-1,3-丁二烯的提纯方法，所述提纯方法在第一方面所述的提纯装置系统中进行，包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯。
所述除酸处理在除酸装置中进行；
所述第一吸附处理在第一吸附装置中进行；
所述第二吸附处理在第二吸附装置中进行；
所述第一精馏处理在第一精馏装置中进行；
所述第二精馏处理在第二精馏装置中进行。
优选地，所述除酸处理所用吸收液包括水、碳酸氢钠溶液或碳酸钠溶液中的任意一种或至少两种的组合。
优选地，所述碳酸氢钠溶液的浓度为2-4wt％，例如可以是2wt％、2.5wt％、3wt％、3.5wt％或4wt％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述碳酸钠溶液的浓度为2-5wt％，例如可以是2wt％、2.5wt％、3wt％、3.5wt％、4wt％、4.5wt％或5wt％，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述除酸处理的温度为10-40℃，例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃、30℃、35℃或40℃，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为20-30℃。
优选地，所述第一吸附处理的温度为10-40℃，例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃、30℃、35℃或40℃，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为20-30℃。
优选地，所述第一吸附处理的体积空速为100-500m3/h，例如可以是100m3/h、200m3/h、300m3/h、400m3/h或500m3/h，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第二吸附处理的温度为10-40℃，例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃、30℃、35℃或40℃，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为20-30℃。
优选地，所述第二吸附处理的体积空速为100-500m3/h，例如可以是100m3/h、200m3/h、300m3/h、400m3/h或500m3/h，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第一精馏处理的塔釜温度为20-30℃，例如可以是20℃、24℃、25℃、27℃、28℃或30℃，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第一精馏处理的绝对压力为0.1-1MPa，例如可以是0.1MPa、0.3MPa、0.5MPa、0.6MPa、0.8MPa或1MPa，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为0.21-0.24MPa。
优选地，所述第一精馏处理的塔顶采出比为0.7-0.95，例如可以是0.7、0.75、0.8、0.85、0.9或0.95，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为0.85-0.9。
优选地，所述第一精馏处理的回流比为5-20，例如可以是5、8、10、12、15、18或20，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为8-10。
优选地，所述第二精馏处理的塔釜温度为20-30℃，例如可以是20℃、24℃、25℃、27℃、28℃或30℃，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，所述第二精馏处理的绝对压力为0.05-0.8MPa，例如可以是0.05MPa、0.1MPa、0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa、0.5MPa、0.6MPa、0.7MPa或0.8MPa，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为0.14-0.21MPa。
优选地，所述第二精馏处理的塔釜采出比为0.7-0.9，例如可以是0.7、0.75、0.8、0.85或0.9，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为0.8-0.9。
优选地，所述第二精馏处理的回流比为5-30，例如可以是5、10、15、20、25或30，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用，优选为10-12。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
(1)本发明提供的提纯装置系统的结构简单，不仅能够实现六氟-1,3-丁二烯的提纯，还能保证六氟-1,3-丁二烯的收率；
(2)本发明提供的提纯方法的操作简单，仅需要通过依次进行的除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理即可实现对六氟丁二烯原料的纯化，且能够使所得六氟-1,3-丁二烯的纯度达到99.99％以上，收率达到68％以上。
附图说明
图1为本发明提供的六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统的结构示意图；
其中：1，除酸装置；2，第一吸附装置；3，第二吸附装置；4，第一精馏装置；5，第二精馏装置。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
为了清楚说明本发明的技术方案，以质量百分数计，本发明具体实施方式中的六氟丁二烯原料的组成为：45ppm的HF、30ppm的H2O、1200ppm的N2、500ppm的CO、800ppm的CO2、650ppm的六氟-2-丁炔(C4F6)、80ppm的八氟-2-丁烯(C4F8)，120ppm的七氟-2-丁烯(C4HF7)，60ppm的三氟溴乙烯(C2BrF3)，100ppm的四氟二溴乙烷(C2BrF4)，其余为六氟-1,3-丁二烯。
六氟丁二烯原料的组成仅是为了清楚说明本发明的技术方案，不视为对本发明的进一步限定。
实施例1
本实施例提供了一种如图1所示的六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置1、第一吸附装置2、第二吸附装置3、第一精馏装置4与第二精馏装置5；
所述第一吸附装置2内设置脱水用的第一吸附剂；所述第一吸附剂为无水硫酸钙；
所述第二吸附装置3内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂；所述第二吸附剂为平均粒径4mm的市售5A碳分子筛。
所述除酸装置1为逆流吸收塔，其中设置除酸填料；所述除酸填料为聚丙烯多面空心球。
所述第一精馏装置4为填料塔，第二精馏装置5为填料塔；第一精馏装置4与第二精馏装置5中的填料分别独立地为θ环散装填料。
实施例2
本实施例提供了一种如图1所示的六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置1、第一吸附装置2、第二吸附装置3、第一精馏装置4与第二精馏装置5；
所述第一吸附装置2内设置脱水用的第一吸附剂；所述第一吸附剂为无水硫酸铜；
所述第二吸附装置3内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂；所述第二吸附剂为平均粒径2mm的市售5A碳分子筛。
所述除酸装置1为逆流吸收塔，其中设置除酸填料；所述除酸填料为市售聚氯乙烯鲍尔环。
所述第一精馏装置4为填料塔，第二精馏装置5为填料塔；第一精馏装置4与第二精馏装置5中的填料分别独立地为规整丝网波纹填料。
实施例3
本实施例提供了一种如图1所示的六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置1、第一吸附装置2、第二吸附装置3、第一精馏装置4与第二精馏装置5；
所述第一吸附装置2内设置脱水用的第一吸附剂；所述第一吸附剂为无水硫酸铜；
所述第二吸附装置3内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂；所述第二吸附剂为平均粒径5mm的市售全硅分子筛。
所述除酸装置1为逆流吸收塔，其中设置除酸填料；所述除酸填料为市售聚丙烯拉西环。
所述第一精馏装置4为填料塔，第二精馏装置5为填料塔；第一精馏装置4与第二精馏装置5中的填料分别独立地为规整孔板波纹填料。
实施例4
本实施例提供了一种如图1所示的六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置1、第一吸附装置2、第二吸附装置3、第一精馏装置4与第二精馏装置5；
所述第一吸附装置2内设置脱水用的第一吸附剂；所述第一吸附剂为无水硫酸铜；
所述第二吸附装置3内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂；所述第二吸附剂为平均粒径4mm的市售活性炭。
所述除酸装置1为鼓泡吸收塔，其中设置除酸填料；所述除酸填料为市售聚乙烯共轭环。
所述第一精馏装置4为填料塔，第二精馏装置5为填料塔；第一精馏装置4与第二精馏装置5中的填料分别独立地为规整丝网波纹填料。
应用例1
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为浓度3wt％的碳酸氢钠溶液，除酸处理的温度为25℃；
所述第一吸附处理的温度为25℃，体积空速为200m3/h；
所述第二吸附处理的温度为25℃，体积空速为150m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为25℃，绝对压力为0.21MPa，塔顶采出比为0.9，回流比为8；
所述第二精馏处理的塔釜温度为25℃，绝对压力为0.14MPa，塔釜采出比为0.9，回流比为10。
应用例2
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为浓度4wt％的碳酸钠溶液，除酸处理的温度为20℃；
所述第一吸附处理的温度为20℃，体积空速为150m3/h；
所述第二吸附处理的温度为25℃，体积空速为150m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为30℃，绝对压力为0.24MPa，塔顶采出比为0.85，回流比为9；
所述第二精馏处理的塔釜温度为20℃，绝对压力为0.21MPa，塔釜采出比为0.8，回流比为11。
应用例3
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为水，除酸处理的温度为30℃；
所述第一吸附处理的温度为30℃，体积空速为200m3/h；
所述第二吸附处理的温度为30℃，体积空速为200m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为20℃，绝对压力为0.21MPa，塔顶采出比为0.9，回流比为10；
所述第二精馏处理的塔釜温度为30℃，绝对压力为0.14MPa，塔釜采出比为0.85，回流比为12。
应用例4
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为水，除酸处理的温度为20℃；
所述第一吸附处理的温度为20℃，体积空速为200m3/h；
所述第二吸附处理的温度为20℃，体积空速为200m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为25℃，绝对压力为0.21MPa，塔顶采出比为0.85，回流比为8；
所述第二精馏处理的塔釜温度为25℃，绝对压力为0.14MPa，塔釜采出比为0.9，回流比为10。
应用例5
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为浓度3wt％的碳酸氢钠溶液，除酸处理的温度为10℃；
所述第一吸附处理的温度为10℃，体积空速为100m3/h；
所述第二吸附处理的温度为10℃，体积空速为100m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为20℃，绝对压力为0.1MPa，塔顶采出比为0.7，回流比为20；
所述第二精馏处理的塔釜温度为20℃，绝对压力为0.05MPa，塔釜采出比为0.7，回流比为30。
应用例6
本应用例提供了一种应用实施例1提供的提纯装置系统的提纯方法，所述提纯方法包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯；
所述除酸处理所用吸收液为浓度3wt％的碳酸氢钠溶液，除酸处理的温度为40℃；
所述第一吸附处理的温度为40℃，体积空速为500m3/h；
所述第二吸附处理的温度为40℃，体积空速为500m3/h；
所述第一精馏处理的塔釜温度为30℃，绝对压力为1MPa，塔顶采出比为0.95，回流比为5；
所述第二精馏处理的塔釜温度为30℃，绝对压力为0.8MPa，塔釜采出比为0.9，回流比为5。
应用例7
本应用例提供了一种提纯方法，除了提纯方法在实施例2提供的提纯装置系统中进行外，其余均与应用例1相同。
应用例8
本应用例提供了一种提纯方法，除了提纯方法在实施例3提供的提纯装置系统中进行外，其余均与应用例1相同。
应用例9
本应用例提供了一种提纯方法，除了提纯方法在实施例4提供的提纯装置系统中进行外，其余均与应用例1相同。
对应用例1-9所得六氟-1,3-丁二烯的纯度以及收率进行测试，所得结果如表1所示。表1中的OFC表示所得六氟-1,3-丁二烯中有机杂质的总含量。
表1
综上所述，本发明提供的提纯装置系统的结构简单，不仅能够实现六氟-1,3-丁二烯的提纯，还能保证六氟-1,3-丁二烯的收率；本发明提供的提纯方法的操作简单，仅需要通过依次进行的除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理即可实现对六氟丁二烯原料的纯化，且能够使所得六氟-1,3-丁二烯的纯度达到99.99％以上，收率达到68％以上。
以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种六氟-1,3-丁二烯的提纯装置系统，其特征在于，所述提纯装置系统包括依次连接的除酸装置、第一吸附装置、第二吸附装置、第一精馏装置与第二精馏装置；
所述第一吸附装置内设置脱水用的第一吸附剂；
所述第二吸附装置内设置吸附有机杂质与无机杂质的第二吸附剂。
2.根据权利要求1所述的提纯装置系统，其特征在于，所述除酸装置包括逆流吸收装置或鼓泡吸收装置；
优选地，所述除酸装置中设置除酸填料；
优选地，所述除酸填料包括多面空心球、鲍尔环、拉西环、矩鞍环、共轭环或海尔环中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述除酸填料的材质包括聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯或聚四氟乙烯中的任意一种。
3.根据权利要求1或2所述的提纯装置系统，其特征在于，所述第一吸附剂包括无水硫酸钙、细孔硅胶、无水氯化钙或无水硫酸铜中的任意一种或至少两种的组合。
4.根据权利要求1-3任一项所述的提纯装置系统，其特征在于，所述第二吸附剂包括全硅分子筛、5A碳分子筛或活性炭中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述第二吸附剂的平均粒径为2-5mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的提纯装置系统，其特征在于，所述第一精馏装置为填料塔；
优选地，所述第二精馏装置为填料塔。
6.一种六氟-1,3-丁二烯的提纯方法，其特征在于，所述提纯方法在权利要求1-5任一项所述的提纯装置系统中进行，包括如下步骤：
六氟丁二烯原料依次经除酸处理、第一吸附处理、第二吸附处理、第一精馏处理与第二精馏处理，完成六氟-1,3-丁二烯的提纯。
7.根据权利要求6所述的提纯方法，其特征在于，所述除酸处理所用吸收液包括水、碳酸氢钠溶液或碳酸钠溶液中的任意一种或至少两种的组合；
优选地，所述碳酸氢钠溶液的浓度为2-4wt％；
优选地，所述碳酸钠溶液的浓度为2-5wt％；
优选地，所述除酸处理的温度为10-40℃，优选为20-30℃。
8.根据权利要求6或7所述的提纯方法，其特征在于，所述第一吸附处理的温度为10-40℃，优选为20-30℃；
优选地，所述第一吸附处理的体积空速为100-500m3/h，优选为150-200m3/h。
9.根据权利要求6-8任一项所述的提纯方法，其特征在于，所述第二吸附处理的温度为10-40℃，优选为20-30℃；
优选地，所述第二吸附处理的体积空速为100-500m3/h，优选为150-200m3/h。
10.根据权利要求1-9任一项所述的提纯方法，其特征在于，所述第一精馏处理的塔釜温度为20-30℃；
优选地，所述第一精馏处理的绝对压力为0.1-1MPa，优选为0.21-0.24MPa；
优选地，所述第一精馏处理的塔顶采出比为0.7-0.95，优选为0.85-0.9；
优选地，所述第一精馏处理的回流比为5-20，优选为8-10；
优选地，所述第二精馏处理的塔釜温度为20-30℃；
优选地，所述第二精馏处理的绝对压力为0.05-0.8MPa，优选为0.14-0.21MPa；
优选地，所述第二精馏处理的塔釜采出比为0.7-0.9，优选为0.8-0.9；优选地，所述第二精馏处理的回流比为5-30，优选为10-12。
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