CN117597518A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供适于装配作业的支援的构造的真空泵、其装配方法及用于其装配的夹具。真空泵(1)具备与用于密封部件(L)的轴向高度调整的夹具(Q)抵接的抵接部(R)。与旋转体(103)的外周对置地配置泵固定零件(J)的真空泵装配时，在将泵固定零件配置于基座(129)上的状态下借助抵接部进行夹具的定位，借助已定位的夹具的推压部(Q1)将泵固定零件向基座方向推压，从而调整密封部件(L)的轴向高度。通过该调整，使泵固定零件整体向基座方向下降，从而避免在泵固定零件上作为该泵固定零件的一部分而层叠的静翼(123)和从旋转体的外周向泵固定零件的方向突出的动翼(102)的干涉。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的工艺腔以及其他腔的气体排气机构被利用的真空泵、其装配方法及用于其装配的夹具，特别地，是适于真空泵装配作业的支援的技术。

背景技术

以往，作为这种真空泵，例如已知专利文献1中记载的真空泵。该文献的真空泵具备交替地配置有静翼(7)和动翼(6)的构造的涡轮级。

但是，根据具备专利文献1那样的涡轮级的以往的真空泵，其构造上静翼(7)位于在上下方向相邻的动翼(6)之间，所以真空泵装配作业、特别是使静翼(7)位于动翼(6)间的作业时，有静翼(7)和动翼(6)干涉、由于干涉而静翼(7)、动翼(6)受到损伤的可能等，真空泵装配作业较为麻烦。

专利文献1：日本特开2014-51952号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题点而作出的，其目的在于提供适于真空泵装配作业的支援的构造的真空泵、其装配方法及用于其装配的夹具。

为了实现前述目的，本发明的真空泵的特征在于，具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，前述旋转体配置在前述基座上，前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，前述间隙形成于前述泵固定零件和前述基座之间，前述密封部件将前述间隙密封，前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接。

在前述本发明的真空泵中，也可以其特征在于，前述抵接部以与安装于前述泵固定零件的附属零件相同的相位配置，从而设置为在前述附属零件的安装时由该抵接部定位的前述夹具与前述附属零件干涉。

此外，本发明的真空泵的装配方法的特征在于，前述真空泵具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，前述旋转体配置在前述基座上，前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，前述间隙形成于前述泵固定零件和前述基座之间，前述密封部件将前述间隙密封，前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接，与前述旋转体的外周对置地配置前述泵固定零件时的工序包括第1工序、第2工序、第3工序，在前述第1工序中，作为避免静翼和动翼的干涉的机构，在将前述泵固定零件配置在前述基座上的状态下借助前述抵接部进行前述夹具的定位，借助已定位的该夹具的推压部将前述泵固定零件向前述基座方向推压，从而调整为前述密封部件的轴向高度为第1既定值，前述静翼作为该泵固定零件的一部分而层叠在前述泵固定零件上，前述动翼从前述旋转体的外周向前述泵固定零件的方向突出，在前述第2工序中，在前述第1工序后，将前述静翼配置在前述泵固定零件上，从而形成将该静翼和前述动翼交替地配置的构造的涡轮级，在前述第3工序中，在前述第2工序后，相对于前述基座，借助前述罩固定前述泵固定零件，从而调整为前述密封部件的轴向高度变为第2既定值。

在前述本发明的真空泵的装配方法中，也可以其特征在于，前述第1既定值是比前述密封部件的设计尺寸值稍高的尺寸值，前述第2既定值是前述密封部件的设计尺寸值。

在前述本发明的真空泵的装配方法中，也可以其特征在于，在前述第3工序中，在前述第1工序中使用的前述夹具的前述推压部和前述泵固定零件之间形成间隙。

进而，本发明的夹具用于真空泵的装配，其特征在于，前述真空泵具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，前述旋转体配置在前述基座上，前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，前述间隙形成于前述泵固定零件和前述基座之间，前述密封部件将前述间隙密封，前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接，前述夹具具备推压部，前述推压部在将前述泵固定零件配置在前述基座上的状态下借助前述抵接部定位及在已定位的状态下将前述泵固定零件向前述基座方向推压，从而调整前述密封部件的轴向高度。

在前述本发明的夹具中，也可以其特征在于，该夹具在调整前述密封部件的轴向的高度后，在与前述泵固定零件之间形成有间隙的状态下配设于泵内。

在前述本发明的夹具中，也可以其特征在于，该夹具以与安装于前述泵固定零件的附属零件相同的相位配置，从而在前述附属零件的安装时与前述附属零件干涉。

发明效果

本发明中，作为真空泵的具体的结构，如前所述，采用具备与用于密封部件的轴向高度调整的夹具抵接的抵接部的结构。因此，能够提供一种真空泵，前述真空泵在装配时，例如，与旋转体的外周对置地配置泵固定零件时，以将泵固定零件配置在基座上的状态借助抵接部进行夹具的定位，借助已定位的夹具的推压部将泵固定零件向基座方向推压，从而调整密封部件的轴向高度，以及通过该调整使泵固定零件整体向基座方向下降，从而能够避免零件彼此的干涉，具体地，能够避免作为该泵固定零件的一部分而层叠在泵固定零件上的静翼和从旋转体的外周向泵固定零件的方向突出的动翼的干涉，在这一方面，前述真空泵为适于真空泵装配作业的支援的构造。

根据本发明，作为前述那样的真空泵的具体的装配方法，如前所述，采用第1至第3工序，在第1工序中，作为避免在泵固定零件上作为该泵固定零件的一部分而层叠的静翼与从旋转体的外周向泵固定零件的方向突出的动翼的干涉的方法，在将泵固定零件配置在基座上的状态下借助抵接部进行夹具的定位，借助已定位的该夹具的推压部将泵固定零件向前述基座方向推压，从而调整为密封部件的轴向高度变为第1既定值。因此，第1工序后，通过将静翼配置在泵固定零件上而形成将静翼和动翼交替地配置的构造的涡轮级时，能够避免前述干涉，在这一方面，适于真空泵装配作业的支援。

此外，根据本发明，作为用于前述那样的真空泵的装配的夹具的具体的结构，如前所述，该夹具采用具备推压部的结构，前述推压部在将泵固定零件配置在基座上的状态下被抵接部定位，且在该已定位的状态下通过将泵固定零件向基座方向推压而调整密封部件的轴向高度。因此，通过调整密封部件的轴向高度，使泵固定零件整体向基座方向下降，从而能够避免零件彼此的干涉，具体地，能够避免作为该泵固定零件的一部分而层叠在泵固定零件上的静翼和从旋转体的外周向泵固定零件的方向突出的动翼的干涉，在这一方面，适于真空泵装配作业的支援。

附图说明

图1是称作涡轮分子泵的真空泵的纵剖视图。

图2是放大电路的电路图。

图3是表示电流指令值比检测值大的情况的控制的时间图。

图4是表示电流指令值比检测值小的情况的控制的时间图。

图5是应用本发明的真空泵的剖视图。

图6是第1工序的说明图。

图7是第2及第3工序的说明图。

图8是图7的一部分与其放大图。

图9是应用了本发明的夹具相对于真空泵的配置示意图。

图10是夹具的俯视图。

图11是夹具的主视图。

具体实施方式

图1是称作涡轮分子泵的真空泵的纵剖视图，图2是放大电路的电路图，图3是表示电流指令值比检测值大的情况的控制的时间图，图4是表示电流指令值比检测值小的情况的控制的时间图。

参照图1，该图的真空泵100中，在圆筒状的外筒127的上端形成有吸气口101。并且，在外筒127的内侧，具备转子103(以下称作“旋转体103”)，前述转子103在周部放射状且多级地形成有用于将气体抽吸排出的涡轮叶片即多个动翼102(102a、102b、102c···)。作为该旋转体103的具体的结构例，在图1的真空泵100中，该旋转体103为在第1圆筒部102e的外周部形成有动翼102的形状。

在旋转体103的中心经由紧固连结部CN安装有转子轴113，转子轴113例如被5轴控制的磁轴承在空中悬浮支承且被位置控制。该情况下，磁轴承及转子轴113作为将旋转体103绕其轴心能够旋转地支承的支承机构发挥功能。此外，该旋转体103一般由铝或铝合金等的金属构成。

作为磁轴承的具体的结构例，图1的真空泵100中，上侧径向电磁铁104为4个电磁铁在X轴和Y轴上成对地配置。接近该上侧径向电磁铁104且与上侧径向电磁铁104的各自对应而具备4个上侧径向传感器107。上侧径向传感器107例如使用具有传导绕组的电感传感器、涡电流传感器等，基于与转子轴113的位置对应地变化的该传导绕组的电感的变化而检测转子轴113的位置。该上侧径向传感器107构成为，检测转子轴113、即固定于该转子轴113的旋转体103的径向位移，并发送至控制装置200。

控制装置200中，例如具有PID调节功能的补偿电路基于由上侧径向传感器107检测到的位置信号而生成上侧径向电磁铁104的励磁控制指令信号，图2所示的放大电路150(后述)基于该励磁控制指令信号对上侧径向电磁铁104进行励磁控制，从而调整转子轴113的上侧的径向位置。

转子轴113由高透磁率材料(铁、不锈钢等)等形成，被上侧径向电磁铁104的磁力吸引。该调整在X轴方向和Y轴方向上分别独立地进行。此外，下侧径向电磁铁105及下侧径向传感器108被与上侧径向电磁铁104及上侧径向传感器107同样地配置，将转子轴113的下侧的径向位置与上侧的径向位置同样地调整。

进而，作为磁轴承的具体的结构例，在图1的真空泵100中，轴向电磁铁106A、106B配置成上下地夹着配备于转子轴113的下部的圆板状的金属盘111。金属盘111由铁等的高透磁率材料构成。为了检测转子轴113的轴向位移而具备轴向传感器109，构成为其轴向位置信号被送向控制装置200。

并且，在控制装置200中，例如具有PID调节功能的补偿电路基于由轴向传感器109检测的轴向位置信号而生成轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B的各自的励磁控制指令信号，放大电路150基于这些励磁控制指令信号，对轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B分别进行励磁控制，从而轴向电磁铁106A借助磁力将金属盘111向上方吸引，轴向电磁铁106B将金属盘111向下方吸引，调整转子轴113的轴向位置。

如上所述，控制装置200适当调节该轴向电磁铁106A、106B对金属盘111作用的磁力，使转子轴113在轴向上磁悬浮，在空间上非接触地进行保持。另外，关于对这些上侧径向电磁铁104、下侧径向电磁铁105及轴向电磁铁106A、106B进行励磁控制的放大电路150，在后说明。

在图1的真空泵100中，马达121具备以包围转子轴113的方式周状地配置的多个磁极。各磁极被控制装置200控制为经由在与转子轴113之间作用的电磁力而驱动转子轴113旋转。此外，图中未示出的例如霍尔元件、分析器、编码器等的旋转速度传感器被装入马达121，借助该旋转速度传感器的检测信号检测转子轴113的旋转速度。

进而，例如在下侧径向传感器108附近安装有图中未示出的相位传感器，检测转子轴113的旋转的相位。控制装置200中，一同利用该相位传感器和旋转速度传感器的检测信号而检测磁极的位置。

与动翼102(102a、102b、102c···)隔开些许空隙地配设有多个静翼123(123a、123b、123c···)。动翼102(102a、102b、102c···)为了分别通过碰撞将排出气体的分子向下移送，形成为从与转子轴113的轴线垂直的平面倾斜既定的角度。静翼123(123a、123b、123c···)例如由铝、铁、不锈钢、铜等的金属、或包括这些金属作为成分的合金等的金属构成。

此外，静翼123也同样形成为从与转子轴113的轴线垂直的平面倾斜既定的角度，且被朝向外筒127的内侧而与动翼102的级交替地配设。并且，静翼123的外周端以嵌插于多个层叠的静翼间隔件125(125a、125b、125c···)之间的状态被支承。

静翼间隔件125为环状的部件，例如由铝、铁、不锈钢、铜等的金属、或包括这些金属作为成分的合金等的金属构成。在静翼间隔件125的外周，隔开些许空隙地固定有外筒127。在外筒127的底部配设有基座129。在基座129形成有排气口133，与外部连通。从腔(真空腔)侧进入吸气口101而被向基座129移送来的排出气体被送向排气口133。

进而，根据真空泵100的用途，在静翼间隔件125的下部和基座129之间配设带螺纹间隔件131。带螺纹间隔件131是由铝、铜、不锈钢、铁、或以这些金属为成分的合金等的金属构成的圆筒状的部件，在其内周面刻设有多条螺旋状的螺纹槽131a。螺纹槽131a的螺旋的方向为，排出气体的分子在旋转体103的旋转方向上移动时该分子被向排气口133移送的方向。在旋转体103的与动翼102(102a、102b、102c···)连续的最下部，圆筒部102d与第1圆筒部102e相连而垂下。第2圆筒部102d的外周面为圆筒状，且向带螺纹间隔件131的内周面伸出，与该带螺纹间隔件131的内周面隔开既定的间隙地接近。由动翼102及静翼123向螺纹槽131a移送来的排出气体被螺纹槽131a引导且被送向基座129。

基座129是构成真空泵100的基底部的圆盘状的部件，一般由铁、铝、不锈钢等的金属构成。基座129将真空泵100物理性地保持，并且也兼具热的传导路的功能，所以希望使用铁、铝、铜等的具有刚性且热传导率也高的金属。

该结构中，若动翼102与转子轴113一同被马达121旋转驱动，则通过动翼102和静翼123的作用，排出气体穿过吸气口101被从腔抽吸。动翼102的旋转速度通常为20000rpm～90000rpm，动翼102的末端处的周速度达到200m/s～400m/s。被从吸气口101抽吸的排出气体穿过动翼102和静翼123之间，被向基座129移送。此时，由于排出气体与动翼102接触时产生的摩擦热、由马达121产生的热的传导等，动翼102的温度上升，该热通过辐射或由排出气体的气体分子等导致的传导而向静翼123侧传递。

静翼间隔件125在外周部彼此接合，将静翼123从动翼102接收到的热、排出气体与静翼123接触时产生的摩擦热等向外部传递。

另外，上述内容中，说明了带螺纹间隔件131在旋转体103的圆筒部102d的外周配设，在带螺纹间隔件131的内周面刻设有螺纹槽131a的情况。然而，也有与此相反地在圆筒部102d的外周面刻设螺纹槽、在其周围配置具有圆筒状的内周面的间隔件的情况。

此外，根据真空泵100的用途，也有如下情况：电装部借助定子柱122将周围覆盖，使得被从吸气口101抽吸的气体不会进入由上侧径向电磁铁104、上侧径向传感器107、马达121、下侧径向电磁铁105、下侧径向传感器108、轴向电磁铁106A、106B、轴向传感器109等构成的电装部，该定子柱122内借助冲洗气体被保持为既定压。

该情况下，在基座129处配设图中未示出的配管，冲洗气体穿过该配管而被导入。被导入的冲洗气体穿过保护轴承120和转子轴113之间、马达121的转子和定子之间、定子柱122和动翼102的内周侧圆筒部之间的间隙，被向排气口133送出。

这里，真空泵100需要基于机种的确定、分别被调整的固有的参数(例如，与机种对应的诸多特性)的控制。为了储存该控制参数，上述真空泵100在其主体内具备电子电路部141。电子电路部141由EEP-ROM等半导体存储器及用于其存取的半导体元件等电子零件、用于安装它们的基板143等构成。该电子电路部141被容纳于构成真空泵100的下部的基座129的例如中央附近的图中未示出的旋转速度传感器的下部，被气密性的底盖145关闭。

但是，半导体的制造工序中，被导入到腔的工艺气体中，存在具有其压力变得比既定值高或者其温度变得比既定值低时变为固体的性质的物质。在真空泵100内部，排出气体的压力在吸气口101处最低而在排气口133处最高。在工艺气体被从吸气口101向排气口133移送的中途，若其压力变得比既定值高、其温度变得比既定值低，则工艺气体变为固体状，在真空泵100内部附着而堆积。

例如，在Al蚀刻装置中使用SiCl₄作为工艺气体的情况下，根据蒸气压曲线可知，低真空(760[torr]～10^-2[torr])且低温(约20[℃])时，固体产物(例如AlCl₃)析出，在真空泵100内部附着堆积。由此，若工艺气体的析出物在真空泵100内部堆积，则该堆积物使真空泵的气体流路变窄，成为使真空泵100的性能下降的原因。并且，前述产物在排气口133附近、带螺纹间隔件131附近的压力高的部分处于容易凝固、附着的状况。

因此，为了解决该问题，以往在基座129等的外周缠绕图中未示出的加热器、环状的水冷管149，且例如在基座129处埋入图中未示出的温度传感器(例如热敏电阻)，基于该温度传感器的信号以将基座129的温度保持成恒定的较高的温度(设定温度)的方式进行加热器的加热、水冷管149的冷却的控制(以下称作TMS。TMS；Temperature ManagementSystem)。

接着，关于这样地构成的真空泵100，关于对该上侧径向电磁铁104、下侧径向电磁铁105及轴向电磁铁106A、106B进行励磁控制的放大电路150进行说明。在图2中表示该放大电路150的电路图。

图2中，构成上侧径向电磁铁104等的电磁铁绕组151的一端经由晶体管161与电源171的正极171a连接，此外，其另一端经由电流检测电路181及晶体管162与电源171的负极171b连接。并且，晶体管161、162为所谓的功率场效应晶体管，具有在其源级-漏级间连接二极管的构造。

此时，晶体管161为，其二极管的阴极端子161a与正极171a连接，并且阳极端子161b与电磁铁绕组151的一端连接。此外，晶体管162为，其二极管的阴极端子162a与电流检测电路181连接，并且阳极端子162b与负极171b连接。

另一方面，电流再生用的二极管165为，其阴极端子165a与电磁铁绕组151的一端连接，并且其阳极端子165b与负极171b连接。此外，与此相同地，电流再生用的二极管166为，其阴极端子166a与正极171a连接，并且其阳极端子166b经由电流检测电路181与电磁铁绕组151的另一端连接。并且，电流检测电路181由例如霍尔传感器式电流传感器、电阻元件构成。

如上所述地构成的放大电路150与一个电磁铁对应。因此，磁轴承为5轴控制且电磁铁104、105、106A、106B为合计10个的情况下，关于各个电磁铁构成同样的放大电路150，相对于电源171，10个放大电路150被并联地连接。

进而，放大控制电路191例如由控制装置200的图中未示出的数字·信号·处理器部(以下称作DSP部)构成，该放大控制电路191切换晶体管161、162的接通/切断。

放大控制电路191将电流检测电路181检测到的电流值(将反映该电流值的信号称作电流检测信号191c)与既定的电流指令值比较。并且，基于其比较结果，确定基于PWM控制的一个周期即控制周期Ts内产生的脉冲宽度的大小(脉冲宽度时间Tp1、Tp2)。结果，将具有该脉冲宽度的栅极驱动信号191a、191b从放大控制电路191向晶体管161、162的栅极端子输出。

另外，在旋转体103的旋转速度的加速运转中通过共振点时、在定速运转中发生外部扰动时等，需要进行高速且强力的旋转体103的位置控制。因此，为了能够进行流向电磁铁绕组151的电流的急剧的增加(或者减少)，作为电源171，例如使用50V左右的高电压。此外，为了电源171的稳定化，通常电容器连接在电源171的正极171a和负极171b之间(图示略)。

该结构中，若将晶体管161、162二者接通，则流向电磁铁绕组151的电流(以下称作电磁铁电流iL)增加，若将二者切断，则电磁铁电流iL减少。

此外，若将晶体管161、162的一者接通而将另一者切断，则所谓的飞轮电流被保持。并且，通过这样地在放大电路150中流动飞轮电流，使放大电路150中的磁滞损耗减少，能够将作为电路整体的消耗电力抑制成较低。此外，通过这样地控制晶体管161、162，能够减少在真空泵100处产生的高次谐波等高频率噪音。进而，通过借助电流检测电路181测定该飞轮电流，能够检测在电磁铁绕组151流动的电磁铁电流iL。

即，检测到的电流值比电流指令值小的情况下，如图3所示，在控制周期Ts(例如100μs)中将晶体管161、162二者以相当于脉冲宽度时间Tp1的时间接通1次。因此，该期间中的电磁铁电流iL从正极171a朝向负极171b向能够流经晶体管161、162的电流值iLmax(未图示)增加。

另一方面，检测到的电流值比电流指令值大的情况下，如图4所示，在控制周期Ts中将晶体管161、162二者以相当于脉冲宽度时间Tp2的时间切断1次。因此，该期间中的电磁铁电流iL从负极171b朝向正极171a向能够经由二极管165、166再生的电流值iLmin(未图示)减少。

并且，哪种情况下，经过脉冲宽度时间Tp1、Tp2后，均使晶体管161、162的某一个接通。因此，该期间中，放大电路150处飞轮电流被保持。

图5是应用了本发明的真空泵的剖视图，图6是第1工序的说明图，图7是第3工序的说明图，图8是图7的局部放大图。此外，图9是应用了本发明的夹具的相对于真空泵的配置示意图，图10是夹具的俯视图，图11是夹具的主视图。

该图5的真空泵1具备基座129、旋转体103、支承机构、泵固定零件J、罩K、间隙G1、密封部件L、抵接部R，前述旋转体103配置在基座129上，前述支承机构将旋转体103以能够绕其轴心旋转的方式支承，前述泵固定零件J与旋转体103的外周对置地配置，前述罩K借助其上侧固定泵固定零件J的至少一部分，前述间隙G1形成于泵固定零件J和基座129之间，前述密封部件L将间隙G1密封，前述抵接部R与用于调整密封部件L的轴向高度的夹具Q(参照图6至图11)抵接。

在图5的真空泵1中，基座129、旋转体103及支承机构的具体的结构与之前说明的图1的真空泵100的结构相同，因此对同一部件标注同一附图标记，省略其详细说明。

图5的真空泵1中的泵固定零件J如前所述是与旋转体103的外周对置地配置的零件，所以在该图的真空泵1中，这样地配置的零件，具体而言，至少静翼123(123a、123b…)、静翼间隔件125(125a、125b…)、带螺纹间隔件131相当于泵固定零件J。

在图5的真空泵1中，关于静翼123、静翼间隔件125、带螺纹间隔件131的具体的功能，与之前说明的图1的真空泵100的情况相同，所以对于同一部件标注同一附图标记，省略其详细说明。

作为支承带螺纹间隔件131的具体的结构例，图5的真空泵1中，采用在加热器间隔件300的上部安装带螺纹间隔件131的结构。此外，加热器间隔件300也是与旋转体103的外周对置地配置的零件，所以是泵固定零件J。

在加热器间隔件300安装有多个筒式加热器H(参照图9)。这些筒式加热器H主要作为通过将加热器间隔件300加热而使其发热从而加热带螺纹间隔件131的机构发挥功能。作为将筒式加热器H安装于加热器间隔件300的构造例，图5的真空泵1中，采用在加热器间隔件300的外周形成加热器安装用的凹部300A而在该凹部300A装配筒式加热器H的构造，但不限于该构造。

在加热器间隔件300的下部安装有隔热体壁301。隔热体壁301作为形成从螺纹槽131a的下游出口附近与排气口131(参照图1)相连的泵内流路的机构等发挥功能。该隔热体壁301也是与旋转体103的外周对置地配置的零件，所以是泵固定零件J。

此外，筒状的内间隔件302安装于加热器间隔件300的上部。内间隔件302配置成覆盖层叠在带螺纹间隔件131上的静翼123和静翼间隔件125构成的层叠体(图5的示例中，从下数4级的静翼123(123d至123h)和静翼间隔件125(125c至125f))的外周。这样地配置的内间隔件302也是与旋转体103的外周对置地配置的零件，所以是泵固定零件J。

作为抵接部R的具体的构造例，在图1的真空泵1中，采用在加热器间隔件300的下部外周形成凹部R1、夹具Q的推压部Q1卡合于该凹部R1的构造(参照图6)。

抵接部R如前所述，用于调整密封部件L的轴向高度，所以能够在不偏离该用途的范围内根据需要适当改变其构造。虽省略图示，但例如也能够采用由凸部形成抵接部R、夹具Q的凹部卡合于该凸部的构造。

作为罩K的具体的结构例，图5的真空泵1中，该罩K将图1的真空泵100中的外筒127分为上部罩K1和下部罩K2，其中下部罩K2具有前述的固定功能。即，下部罩K2构成为具有借助其上侧固定泵固定零件J的至少一部分的功能。

上部罩K1作为真空泵1的外装发挥功能。另一方面，下部罩K2为借助螺栓BT3(参照图7)将水冷间隔件K21和外壁K22连结的构造，除了作为真空泵1的外装发挥功能以外，通过冷却媒体在水冷间隔件K21内的图中未示出的水冷管中流通，也作为冷却真空泵1的机构发挥功能。

作为借助下部罩K2将泵固定零件J的一部分固定的具体的结构例，在图5的真空泵1中采用如下结构：在下部罩K2和内间隔件302彼此上下重叠的部分，在下部罩127B侧形成螺栓通孔，另一方面，在内间隔件302侧形成螺纹孔，且使螺栓BT1(参照图7)穿过该螺栓通孔而紧固固定于前述螺纹孔，但不限于此。也可以借助螺栓BT1以外的其他紧固连结机构固定内间隔件302。

作为将内间隔件302安装固定于加热器间隔件300的具体的结构例，在图5的真空泵1中采用如下结构：在内间隔件302的下部凸缘部形成螺栓通孔，另一方面，在加热器间隔件300的上部凸缘部形成螺纹孔，且使螺栓BT2(参照图7)穿过该螺栓通孔来紧固固定于前述螺纹孔，但不限于此。也可以借助螺栓BT2以外的其他紧固连结机构固定内间隔件302。

间隙G1在基座129的上表面和与其相邻地对置的加热器间隔件300(泵固定零件J)的下表面之间及基座129的上表面和与其相邻地对置的内间隔件302的下表面之间设置，从而作为防止基座129与加热器间隔件300、内间隔件302之间的热移动的隔热机构发挥功能。

图1的真空泵中，内间隔件302、加热器间隔件300、带螺纹间隔件131、隔热体壁301、从下数4级的静翼123(123e至123h)和静翼间隔件125(125c至125f)作为整体而构成为一个集成的内部单元，该内部单元M为了防止螺纹槽131a内等的堆积物的生成，被加热器间隔件300的发热加热。前述间隙G1作为防止该热从内部单元向基座129侧释放的机构发挥功能。

密封部件L位于前述间隙G1、即基座129和内部单元M之间(具体地是基座129的上表面和加热器间隔件300的下表面之间)，从而作为从大气侧隔断真空泵1的内部的机构发挥功能。

作为使密封部件L位于间隙G1的具体的结构，在图1的真空泵1中，采用在基座129上配置隔热体N、在隔热体N上配置密封部件L的结构，但不限于该结构。也能够省略隔热体N。

隔热体N呈一部分立起的形状，该立起部N1的末端部作为抵接部与加热器间隔件300的下部内周抵接，另一端与基座129的台阶部抵接，从而作为加热器间隔件300的径向定位机构发挥功能。此外，将前述的密封部件L与该隔热体N的立起部N1抵接地配置，从而隔热体N也作为密封部件N的径向定位机构发挥功能。

参照图6，夹具Q在将泵固定零件J(具体为加热器间隔件300)配置在基座129上的状态下被前述的抵接部R定位。该抵接部R进行的夹具Q的定位是之前说明的由夹具Q的推压部Q1相对于加热器间隔件300的凹部R1卡合而实现的。

夹具Q的推压部Q1被如前所述地定位的状态下，将泵固定零件J(具体为加热器间隔件300)向基座129方向推压，从而作为调整密封部件L的轴向高度的机构发挥功能。

参照图9，在图5的真空泵1中，作为抵接部R的具体的配置结构，抵接部R以与安装于泵固定零件J的附属零件(图5、图9的示例中为筒式加热器H)相同的相位配置。

因此，被抵接部R定位的夹具Q在作为附属零件的筒式加热器H的安装时与筒式加热器H干涉。只要不去除夹具Q就不能安装筒式加热器H，所以能够有效地防止忘记取回夹具Q。

筒式加热器H是附属零件的一例。也可以构成为筒式加热器H以外的其他附属零件与夹具Q干涉。

装配图5的真空泵1时，将旋转体103配置在基座129上，之后，与旋转体103的外周对置地配置泵固定零件J。这里的泵固定零件J的配置是将内间隔件302、加热器间隔件300及带螺纹间隔件131如图6所示地配置于基座129上，这样地配置的作业的工序如下述第1至第3工序所述。

《第1工序》

参照图6，第1工序中，首先，将隔热体N安装于基座129，在已安装的隔热体N上配置密封部件L。并且，隔热体壁301、加热器间隔件300、带螺纹间隔件131在以该顺序层叠的状态下配置在基座129上。

由此，隔热体壁301、加热器间隔件300及带螺纹间隔件131与旋转体103的外周对置地配置(图6中，为了方便说明而省略图8所示的旋转体103)。

如前所述，隔热体壁301、加热器间隔件300及带螺纹间隔件131与旋转体103的外周对置配置，该加热器间隔件300的下表面与密封部件L抵接。并且，由于密封部件L的厚度，在基座129和隔热体壁301之间及基座129和加热器间隔件300之间形成既定的间隙G1。此外，加热器间隔件300的下部内周接触隔热体N的立起部N1的末端部，从而加热器间隔件300、内间隔件302及带螺纹间隔件131在径向上被定位。

该阶段中，无法进行在加热器间隔件300上将静翼123和静翼间隔件125交替堆积层叠从而将静翼123配置于泵固定零件J上的作业。其理由主要是因为，作为该泵固定零件J的一部分而层叠在泵固定零件J上的静翼123与从旋转体103的外周向泵固定零件J的方向突出的动翼102干涉。

因此，第1工序中，如前所述，在将隔热体壁301、加热器间隔件300及带螺纹间隔件131配置在基座129上的状态下，在该加热器间隔件300的外周配置夹具Q，借助加热器间隔件300的抵接部R进行夹具Q的高度定位。该定位是将夹具Q的推压部Q1嵌入加热器间隔件300的凹部R1。

并且，如前所述地借助定位的夹具Q的推压部Q1在基座129方向上推压加热器间隔件300，从而调整为密封部件L的轴向高度变为第1既定值。该第1既定值是比密封部件L的设计尺寸值稍高的尺寸值。前述推压也可以使用夹具Q的手柄Q2来进行。

由于前述推压，内间隔件302、加热器间隔件300及带螺纹间隔件131整体在基座129方向中下降，所以能够避免前述的干涉，且通过在加热器间隔件300上将静翼123和静翼间隔件125交替地堆积层叠，能够在泵固定零件J上配置静翼123。

《第2工序》

第2工序中，在前述第1工序之后，在泵固定零件J上配置静翼123(123d至123h)(参照图7)，从而形成将静翼123和动翼102交替地配置的构造的涡轮级。

图7中，静翼123向泵固定零件J上的配置为将从下数4级的静翼123(123d至123h)和静翼间隔件125(125c至125f)交替地在加热器间隔件300上堆积层叠。

如前所述地将静翼123和静翼间隔件125按级层叠后，在该第2工序中，以覆盖该层叠体的外周的方式借助螺栓BT2将内间隔件302安装固定(参照图7)，从而将该层叠体(静翼123和静翼间隔件125)在轴向上固定。

《第3工序》

参照图7，在第3工序中，在前述第2工序后，将罩K配置在基座129上，借助已配置的罩K将泵固定零件J相对于基座129固定，借助该固定力将密封部件L向基座129方向进一步推压，从而调整为密封部件L的轴向高度变为第2既定值。第2既定值是密封部件L的设计尺寸值。

该第3工序中，“将罩K配置在基座129上”具体地指将下部罩K2在基座129上借助图中未示出的螺栓进行螺纹固定。此外，“借助罩K将泵固定零件J相对于基座129固定”具体地指利用螺栓BT2将下部罩K2和内间隔件302连结固定。并且，通过该螺栓BT2的紧固，密封部件L被压缩，其轴向高度调整为变为设计尺寸值(第2既定值)。

此外，参照图8，该第3工序中，在第1工序中使用的夹具Q的推压部Q1和泵固定零件J(具体地是加热器间隔件300的抵接部R)之间形成既定的间隙G2。由此，夹具Q之后能够拆卸。

《最终工序》

在最终工序中，在前述第3工序后，进行完成前述的涡轮级的作业、即图5中将从上数3级的静翼123和2级的静翼间隔件125交替层叠的作业后，将上部罩K1配置在涡轮级的外周，将已配置的上部罩K1和下部罩K2借助图中未示出的螺栓连结，从而完成真空泵的基本的装配作业。

《其他实施方式》

若参照图5，从真空泵1去除之前说明的夹具Q，但作为除此以外的其他实施方式，也可以是夹具Q在密封部件L的轴向的调整后，也以在与泵固定零件J之间形成有间隙G2的状态下留在真空泵1内的形式配设。

具体地，代替图中所示的夹具Q的手柄Q2，设为在作为附属零件的筒式加热器H的安装时不与筒式加热器H干涉的长度的螺栓。由此，能够在不去除夹具Q的情况下完成真空泵的装配作业。

如前所述地在真空泵1内留有夹具Q的情况下，有在真空泵1的翻修时等，能够再次使用该夹具Q来进行真空泵的再装配等的装配作业的利便性提高的优点。

以上说明的本实施方式的真空泵1中，作为其具体的结构，如前所述，采用具备与用于密封部件L的轴向高度调整的夹具Q抵接的抵接部R的结构。因此，真空泵装配时，例如，与旋转体103的外周对置地配置泵固定零件J时，在将泵固定零件J配置在基座129上的状态下借助抵接部R进行夹具Q的定位，借助已定位的夹具Q的推压部Q1将泵固定零件J在基座129方向上推压，从而调整密封部件L的轴向高度，以及，通过该调整，使泵固定零件J整体在基座129方向上下降，从而能够避免零件彼此的干涉、具体地能够避免作为该泵固定零件J的一部分而层叠在泵固定零件J上的静翼123、从旋转体103的外周向泵固定零件J的方向突出的动翼102的干涉，在这一方面，适于真空泵装配作业的支援。

此外，本实施方式的真空泵装配方法中，如前所述，采用第1至第3工序，在第1工序中，作为避免在泵固定零件J上作为该泵固定零件J的一部分而层叠的静翼123与从旋转体103的外周向泵固定零件J的方向突出的动翼102的干涉的方法，在将泵固定零件J配置在基座129上的状态下借助抵接部R进行夹具Q的定位，借助已定位的该夹具Q的推压部Q1将泵固定零件J在基座129方向上推压，从而调整为密封部件L的轴向高度变为第1既定值。因此，在第1工序后，在通过在泵固定零件J上配置静翼123来形成将静翼123和动翼102交替配置的构造的涡轮级时，能够避免前述干涉，在这一方面，适于真空泵装配作业的支援。

根据本实施方式的夹具，作为其具体的结构，如前所述，该夹具Q采用具备推压部Q1的结构，前述推压部Q1在将泵固定零件J配置在基座129上的状态下被抵接部R定位，且在该已定位的状态下将泵固定零件J向基座129方向推压从而调整密封部件L的轴向高度。因此，通过调整密封部件L的轴向高度，使泵固定零件J整体地向基座129方向下降，从而能够避免零件彼此的干涉，具体地，能够避免作为该泵固定零件J的一部分而层叠于泵固定零件J上的静翼123和从旋转体103的外周向泵固定零件J的方向突出的动翼102的干涉，在这一方面，适于真空泵装配作业的支援。

另外，本发明的各实施方式及各变形例也可以是根据需要分别组合的结构。

本发明不限于上述的实施方式，只要在本发明的技术思想的范围内，能够根据本领域技术人员的通常的创作能力进行多种变形。

附图标记说明

100 真空泵

101 吸气口

102 动翼

102d第2圆筒部

102e第1圆筒部

103旋转体(转子)

104 上侧径向电磁铁

105 下侧径向电磁铁

106A、106B轴向电磁铁

107 上侧径向传感器

108 下侧径向传感器

109 轴向传感器

111 金属盘

113 转子轴

120 保护轴承

121 马达

122 定子柱

123静翼(泵固定零件)

125静翼间隔件(泵固定零件)

127 外筒

129 基座

131带螺纹间隔件(泵固定零件)

131a 螺纹槽

133 排气口

141 电子电路部

149 水冷管

143 基板

145 底盖

150 放大电路

171 电源

181 电流检测电路

191 放大控制电路

200 控制装置

300加热器间隔件(泵固定零件)

300A加热器安装用的凹部

301隔热体壁(泵固定零件)

302 内间隔件

CN紧固连结部

H筒式加热器(附属零件)

J 泵固定零件

K 罩

K1 上部罩

K2 下部罩

K21 水冷间隔件

K22 外壁

L 密封部件

M 内部单元

N 隔热体

Q 夹具

Q1 推压部

Q2 手柄

R 抵接部

BT1、BT2、BT3螺栓

G1泵固定零件和基座之间的间隙

G2夹具的推压部和泵固定零件之间的间隙。

Claims (8)

1.一种真空泵，其特征在于，

具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，

前述旋转体配置在前述基座上，

前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，

前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，

前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，

前述间隙形成在前述泵固定零件和前述基座之间，

前述密封部件将前述间隙密封，

前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述抵接部以与安装于前述泵固定零件的附属零件相同的相位配置，从而设置成在安装前述附属零件时由该抵接部定位的前述夹具与前述附属零件干涉。

3.一种真空泵的装配方法，其特征在于，

前述真空泵具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，

前述旋转体配置在前述基座上，

前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，

前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，

前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，

前述间隙形成在前述泵固定零件和前述基座之间，

前述密封部件将前述间隙密封，

前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接，

与前述旋转体的外周对置地配置前述泵固定零件时的工序包括第1工序、第2工序、第3工序，

在前述第1工序，作为避免作为该泵固定零件的一部分而层叠在前述泵固定零件上静翼与从前述旋转体的外周向前述泵固定零件的方向突出的动翼的干涉的方法，在将前述泵固定零件配置在前述基座上的状态下借助前述抵接部进行前述夹具的定位，借助已定位的该夹具的推压部将前述泵固定零件向前述基座方向推压，从而调整为前述密封部件的轴向高度变为第1既定值，

在前述第2工序，在前述第1工序后，将前述静翼配置在前述泵固定零件上，从而形成将该静翼和前述动翼交替地配置的构造的涡轮级，

在前述第3工序，在前述第2工序后，相对于前述基座，借助前述罩固定前述泵固定零件，从而调整为前述密封部件的轴向高度变为第2既定值。

4.如权利要求3所述的真空泵的装配方法，其特征在于，

前述第1既定值是比前述密封部件的设计尺寸值稍高的尺寸值，

前述第2既定值是前述密封部件的设计尺寸值。

5.如权利要求3或4所述的真空泵的装配方法，其特征在于，

在前述第3工序中，在前述第1工序中使用了的前述夹具的前述推压部和前述泵固定零件之间形成间隙。

6.一种夹具，用于真空泵的装配，其特征在于，

前述真空泵具备基座、旋转体、支承机构、泵固定零件、罩、间隙、密封部件、抵接部，

前述旋转体配置在前述基座上，

前述支承机构将前述旋转体以能够绕其轴心旋转的方式支承，

前述泵固定零件与前述旋转体的外周对置地配置，

前述罩借助其上侧固定前述泵固定零件的至少一部分，

前述间隙形成在前述泵固定零件和前述基座之间，

前述密封部件将前述间隙密封，

前述抵接部与用于前述密封部件的轴向高度调整的夹具抵接，

前述夹具具备推压部，前述推压部在将前述泵固定零件配置在前述基座上的状态下由前述抵接部定位及在已定位的状态下将前述泵固定零件向前述基座方向推压，从而调整前述密封部件的轴向高度。

7.如权利要求6所述的夹具，其特征在于，

前述夹具在调整前述密封部件的轴向的高度后，在与前述泵固定零件之间形成有间隙的状态下配设在泵内。

8.如权利要求6所述的夹具，其特征在于，

前述夹具以与安装于前述泵固定零件的附属零件相同的相位配置，从而在前述附属零件的安装时与前述附属零件干涉。