CN117570951B - 谐振陀螺仪、模具及谐振陀螺仪的吹制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及谐振陀螺仪技术领域，尤其涉及一种谐振陀螺仪、用于制造谐振陀螺仪的模具及谐振陀螺仪的吹制方法，一种谐振陀螺仪，包括：球壳，所述球壳为曲面球壳，所述球壳为石英材质；支撑杆，所述支撑杆为实心杆，所述支撑杆的第一端固定连接于所述球壳的内底壁且第二端位于所述球壳内，所述支撑杆的侧壁部分向内凹陷以形成凹槽。本发明提供一种谐振陀螺仪，通过将支撑杆设置为实心结构且于支撑杆上开设凹槽，提高谐振陀螺仪的Q值。

Description

谐振陀螺仪、模具及谐振陀螺仪的吹制方法

技术领域

本发明涉及谐振陀螺仪技术领域，尤其涉及一种谐振陀螺仪、用于制造谐振陀螺仪的模具及谐振陀螺仪的吹制方法。

背景技术

现有的谐振陀螺仪制造方法难以达到球壳的100%的完美对称，这种不完美的对称实际上是不平衡质量。在谐振陀螺仪振动过程中，不平衡质量的存在导致球壳的振动能量通过内支撑杆向基座传递，从而引起支撑损耗，谐振陀螺仪发生弯曲振动时，在锚点支撑中将产生内应力和内力矩，由于内应力和内力矩做功将导致谐振陀螺仪的能量传递到锚点支撑，然后造成部分能量进一步通过锚点内支撑传递给基座造成损耗。

支撑损耗主要受质量不平衡中的1～3次谐波质量误差的影响，且随着相对质量误差的增大，支撑损耗增大，品质因数降低，具体表现为内支撑杆的耦合振动，若内支撑杆为中空结构，这种耦合振动较为剧烈，降低谐振陀螺仪Q值，使得陀螺精度和抗振性变差。

发明内容

本发明旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提供一种谐振陀螺仪，通过将支撑杆设置为实心结构且于支撑杆上开设凹槽，提高谐振陀螺仪的Q值。

本发明提供一种谐振陀螺仪，包括：

球壳，所述球壳为曲面球壳，所述球壳为石英材质；

支撑杆，所述支撑杆为实心杆，所述支撑杆的第一端固定连接于所述球壳的内底壁且第二端位于所述球壳内，所述支撑杆的侧壁部分向内凹陷以形成凹槽，所述凹槽呈环形。

本发明谐振陀螺仪的进一步改进在于，还包括固定于所述球壳的外壁且对应于所述支撑杆的第一端的延伸杆，所述延伸杆和所述支撑杆位于同一直线上。

本发明谐振陀螺仪的进一步改进在于，所述支撑杆和所述延伸杆一体成型，或者，所述支撑杆和所述延伸杆固定连接。

本发明谐振陀螺仪的进一步改进在于，所述凹槽靠近所述第二端的端部与所述第二端的端面之间的距离为h3，h3取值为0.5mm～2mm，

所述凹槽靠近所述第一端的端部与所述第二端的端面之间具有设定间距，所述凹槽的高度小于所述支撑杆的高度。

本发明谐振陀螺仪的进一步改进在于，所述球壳的横截面的最大直径为d1，所述支撑杆远离所述凹槽位置的横截面的直径为d2，所述凹槽的横截面最小的直径为d3，d3取值为0.5d2～0.9d2。

一种用于制造谐振陀螺仪的模具，所述模具用以制造如上所述的谐振陀螺仪，包括：

筒体，所述筒体为圆柱筒体，所述筒体为石墨材料制成，所述筒体的底部中心位置开设有呈圆形的卡槽，所述筒体绕所述卡槽间隔开设有若干的抽气孔，所述支撑杆用以卡设于所述卡槽内。

本发明用于制造谐振陀螺仪的模具的进一步改进在于，所述筒体的外径为D1，所述筒体的内径为D2，其中，D1≥D2+4mm，所述筒体的内径D2与所述球壳的横截面的直径最大值相匹配；

所述筒体的外侧壁的高度为H1，所述筒体的内侧壁的高度为H2，所述筒体的内侧壁的高度H2大于所述谐振陀螺仪的高度。

本发明用于制造谐振陀螺仪的模具的进一步改进在于，所述卡槽的直径与所述支撑杆的直径相匹配，所述卡槽的深度为H3，H3取值范围在2mm～5mm；

所述抽气孔设置有六个，且所述抽气孔的直径为1mm。

一种谐振陀螺仪的吹制方法，包括如下步骤：

提供如上所述的模具，提供石英玻璃片，所述石英玻璃片的厚度为0.1mm～0.5mm，所述石英玻璃片的平面度≤2μm，所述石英玻璃片呈圆形且直径大于所述球壳的横截面的最大直径；

提供支撑杆，将所述支撑杆对应卡设于所述卡槽内，将所述石英玻璃片对应放置于所述筒体的顶部，加热所述石英玻璃片，并通过所述抽气孔对所述筒体进行抽真空操作，所述石英玻璃片软化并与所述支撑杆熔接连接；

停止加热和停止抽真空操作，冷却所述模具，直至所述模具的温度降至设定温度后，通过所述抽气孔对筒体内通气，以取出谐振陀螺仪。

本发明谐振陀螺仪的支撑杆为实心杆，且于支撑杆上设置凹槽，该方式可降低1～3次质量不平衡引起的内支撑杆耦合振动，提高谐振陀螺仪Q值，提升微半球谐振陀螺精度，环形凹槽的存在可降低振动损耗的传递，大幅提升谐振陀螺仪Q值，提升微半球谐振陀螺精度。

本发明用于制造谐振陀螺仪的模具可以实现的石英玻璃棒和球壳进行熔接，从而使得谐振陀螺仪具有实心的支撑杆，且通过抽气孔抽真空，提高了球壳在成型过程中的均匀性，进一步提高了谐振陀螺仪的Q值。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明谐振陀螺仪的示意图一。

图2是本发明谐振陀螺仪的示意图二。

图3是本发明谐振陀螺仪的示意图三。

图4是本发明谐振陀螺仪的示意图四。

图5是本发明用于制造谐振陀螺仪的模具的正面剖视图。

图6是本发明用于制造谐振陀螺仪的模具的俯视图。

图7是本发明石英玻璃棒的示意图。

图8是本发明吹制谐振陀螺仪前的示意图。

图9是本发明吹制谐振陀螺仪时的示意图一。

图10是本发明吹制谐振陀螺仪时的示意图二。

图11是本发明吹制谐振陀螺仪时的示意图三。

图12是本发明谐振陀螺仪中Q支撑与凹槽关系的示意图。

图13是无凹槽的谐振陀螺仪和有凹槽的谐振陀螺仪中振幅点的示意图。

附图标记：

1、球壳；2、延伸杆；3、支撑杆；4、凹槽；5、筒体；6、抽气孔；7、卡槽；8、石英玻璃棒；9、石英玻璃片。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

下面结合图1至图4描述本发明的一种谐振陀螺仪，包括：

球壳1，球壳1为曲面球壳，球壳1为石英材质；

支撑杆3，支撑杆3为实心杆，支撑杆3的第一端固定连接于球壳1的内底壁且第二端位于球壳1内，支撑杆3的侧壁部分向内凹陷以形成凹槽4。

本发明谐振陀螺仪的一种较佳实施案例中，如图1和图2所示，凹槽4呈环形。

需要说明的是，该凹槽4还可以是三角形、梯形、矩形，等等，本发明对凹槽4的形状不做具体限制，该凹槽4的边角部位为圆角状，凹槽的各部位的曲率可以为任意数值。

进一步地，如图1和图2所示，还包括固定于球壳1的外壁且对应于支撑杆3的第一端的延伸杆2，延伸杆2和支撑杆3位于同一直线上，延伸杆2的直径和支撑杆3的直径相等，因此，带凹槽4的支撑杆3的谐振陀螺仪可分为带延伸杆2和不带延伸杆2两种结构形式。

具体地，如图7所示，支撑杆3和延伸杆2一体成型，或者，支撑杆3和延伸杆2固定连接。

较佳地，如图7所示，支撑杆3和延伸杆2可以通过粘结方式固定连接，或者，熔接方式固定连接，或者，榫卯结构固定连接，本发明对支撑杆3和延伸杆2的连接方式不做具体限制。

进一步地，如图1所示，凹槽4靠近第二端的端部与第二端的端面之间的距离为h3，h3取值为0.5mm～2mm，

凹槽4靠近第一端的端部与第二端的端面之间具有设定间距，凹槽4的高度小于支撑杆3的高度，避免凹槽4和球壳1的底部发生干涉。

具体地，如图1和图3所示，球壳1的横截面的最大直径为d1，支撑杆3远离凹槽4位置的横截面的直径为d2，凹槽4的横截面最小的直径为d3，d3取值为0.5d2～0.9d2。

在另一种具体实施案例中，如图3和图4所示，支撑杆3上可以不设置凹槽4，只是一个圆柱形的实心杆形状，支撑杆3可分为直圆柱形、圆锥形或者阶梯形，其中，不带凹槽4的支撑杆3的曲面球壳1谐振陀螺仪可分为设置延伸杆2和不设置延伸杆2的两种形式，d1为谐振陀螺仪内径，取值范围在5mm～12mm，h1为谐振陀螺仪高度，取值在2.5mm～8mm，与谐振陀螺仪内径相关；d2为支撑杆3直径，取值范围在1.5mm～6mm之间，由谐振陀螺仪尺寸和振动频差共同决定；h2为支撑杆3的长度，取值范围在1mm～4mm之间，与谐振陀螺仪高度相关。

较佳地，谐振陀螺仪Q值主要支撑损耗Q支撑（Qanchor）、表面损耗Q表面、内摩擦损耗Q内摩擦和其他损耗Q其他组成，现有技术条件下内摩擦损耗Q内摩擦和其他损耗Q其他已经可以忽略，支撑损耗Q支撑（Qanchor）和表面损耗Q表面成为制约谐振陀螺仪Q值提升的关键因素。

具体地，谐振陀螺仪支撑损耗的品质因数表达形式为：，其中，Re（ω）和Im（ω）分别是不同阶振型下的角谐振频率（ω）的实部和虚部；

假设空心支撑杆的内直径为d4，实心支撑杆的支撑损耗用Q0表示，空心支撑杆的支撑损耗用Q空表示，通常Q数值越小，表明支撑损耗越大，均一化Qanchor=Q空/Q0，经过计算可知，当实心支撑杆的均一化支撑损耗Qanchor为1，随着空心支撑杆内直径d4增大，均一化Qanchor在减小，空心支撑杆的Q空在减小，支撑损耗在增大；当d2=2时，即使d4/d2=0.8，空心支撑杆单边壁厚为0.2mm，均一化Qanchor在0.6附近，相当于Q空=0.6Q0；当空心支撑杆的内直径为d4足够接近d2时，均一化Qanchor数值快速增大，空心支撑杆的支撑损耗Q空数值在快速增大，说明空心杆支撑损耗快速减小，但是该条件难以在制造中实现，当空心支撑杆的单边壁厚＜0.2mm，谐振壳体变得易碎，因而实心支撑杆是降低支撑损耗的有效途径，相比于空心支撑杆结构，实心支撑杆具有优越的抗振特性，尤其是横向冲击特性。

具体地，无凹槽特征的实心支撑杆谐振陀螺仪支撑损耗为Q0，有凹槽特征实心支撑杆谐振陀螺仪支撑损耗为Q槽，均一化Qanchor=Q槽/Q0，经过计算，如图12所示，当d3/d2=0.5时，均一化Qanchor为105，Q槽=105Q0，凹槽处直径为支撑杆直径1/2时，Q槽增大105倍，谐振子支撑损耗降低2个数量级；随着d3/d2的比值增加，Qanchor=Q槽/Q0快速下降，当d3/d2=1时，均一化Qanchor为1；随着d3/d2＞1，凹槽变成凸起，Qanchor=Q槽/Q0依然下降，当d3/d2=1.5时，均一化Qanchor为0.35；Q槽=0.35Q0，支撑损耗增大，因而凹槽结构有利于降低谐振子支撑损耗，环形凹槽的存在可降低1～3次质量不平衡引起的内支撑杆耦合振动，提高谐振陀螺仪Q值，提升微半球谐振陀螺精度。

具体地，如图13所示，对实心支撑杆谐振陀螺仪动力学仿真发现，对支撑杆一端采用相同约束方式，施加相同激励，谐振陀螺仪在做四波幅振动时，支撑杆凹槽以下F2点振幅明显小于无凹槽特征支撑杆上F1点振幅，说明环形凹槽的存在可降低振动损耗的传递，大幅提升谐振陀螺仪Q值，提升微半球谐振陀螺精度。

一种用于制造谐振陀螺仪的模具，模具用以制造如上所述的谐振陀螺仪，如图5和图6所示，包括：

筒体5，筒体5为圆柱筒体5，筒体5为石墨材料制成，筒体5的底部中心位置开设有呈圆形的卡槽7，筒体5绕卡槽7间隔开设有若干的抽气孔6，支撑杆3用以卡设于卡槽7内，通过石英玻璃片9放置于筒体5，并通过抽气孔6将筒体5内抽真空，从而利用气压差使得软化的石英玻璃片9均匀地向筒体5内凹陷，从而提高成型后的球壳1的质量均匀性，提高谐振陀螺仪的Q值。

具体地，筒体5的外径为D1，筒体5的内径为D2，其中，D1≥D2+4mm，筒体5的内径D2与球壳1的横截面的直径最大值相匹配；

筒体5的外侧壁的高度为H1，筒体5的内侧壁的高度为H2，筒体5的内侧壁的高度H2大于谐振陀螺仪的高度。

具体地，如图5和图6所示，卡槽7的直径与支撑杆3的直径相匹配，卡槽7的深度为H3，H3取值范围在2mm～5mm；

抽气孔6设置有六个，且抽气孔6的直径为1mm。

需要说明的是，该抽气孔6还可以设置四个、五个、七个、八个、九个，等等，本发明对抽气孔6的设置数量不做具体限制。

较佳地，如图6所示，六个抽气孔6的圆心围合形成的圆的直径为D3，D3＜D2。

较佳地，如图7所示，选用与待成型的谐振陀螺仪相匹配的石英玻璃棒8以作为支撑杆3和延伸杆2，该石英玻璃棒8的结构分为一体式结构或分体式结构，其中一体式结构如A、B、C；分体式结构如A1、B1、C1，A和A1用于吹制不带凹槽4的圆柱形实心内支撑杆3的谐振陀螺仪，B和B1用于初次吹制带凹槽4的圆柱形实心内支撑杆3的谐振陀螺仪，由于吹制过程难以实现软化成型的凹槽4与B和B1完美熔接在一起，因此对成型凹槽4仿形优化，设计出C和C1凹槽4仿形结构，用于吹制带凹槽4的圆柱形实心内支撑杆3的谐振陀螺仪。

一种谐振陀螺仪的吹制方法，如图8至图11所示，包括如下步骤：

提供如上的模具，提供石英玻璃片9，石英玻璃片9的厚度为0.1mm～0.5mm，石英玻璃片9的平面度≤2μm，石英玻璃片9呈圆形且直径大于球壳1的横截面的最大直径；

提供支撑杆3，将支撑杆3对应卡设于卡槽7内，将石英玻璃片9对应放置于筒体5的顶部，加热石英玻璃片9，并通过抽气孔6对筒体5进行抽真空操作，石英玻璃片9软化并与支撑杆3熔接连接；

停止加热和停止抽真空操作，冷却模具，直至模具的温度降至设定温度后，通过抽气孔6对筒体5内通气，以取出谐振陀螺仪。

较佳地，支撑杆3以及延伸杆2均为圆柱形的石英玻璃棒8。

较佳地，凹槽4部位采用仿形加工的方式加工而成。

较佳地，吹制成型喷灯选用表面混合型喷灯，燃气选用乙炔和氧气，利用喷灯火焰温度场差异性，在吹制过程中，石英玻璃片9在高温作用下发生软化并和支撑杆3发生熔接，火焰中心区域的石英玻璃片9与圆柱形的石英玻璃棒8发生熔接作用，火焰中心区域周围发生软化作用。

本发明谐振陀螺仪的具体制造过程如下：

（1）准备预吹制的石英玻璃片9，石英玻璃片9的厚度在0.1mm～0.5mm，平面度≤2μm，石英玻璃片9的尺寸大小取决于吹制成型的谐振陀螺仪的直径d1，谐振陀螺仪直径d1为5mm～12mm范围的任意数值，石英玻璃片9的直径≥d1+5mm；

（2）提供模具，选用吹制成型的喷灯，选用与待成型的谐振陀螺仪相匹配的石英玻璃棒8，将石英玻璃棒8料的端面和圆柱面均做抛光处理，使其具有较高表面光洁度和洁净度；

（3）吹制成型前，将石英玻璃片9与石英玻璃棒8进行超声清洗和烘干处理，并将石英玻璃棒8安装在吹制成型模具的卡槽7内，石英玻璃棒8的另一端与预吹制的石英玻璃片9留一定间隙，间隙在2mm～4mm，以方便球壳1释放，最后将石英玻璃片9放置在吹制成型模具上，形成密闭空间，对于具有凹槽4结构的石英玻璃棒8，靠近凹槽4的一端朝上，远离凹槽4的一端插入卡槽7内，吹制成型喷灯选用表面混合型喷灯，燃气选用乙炔和氧气；

（4）将吹制成型模具的密闭空间抽真空，形成真空负压，负压范围在10KPa～90KPa；

（5）采用高温喷灯加热石英玻璃片9，加热温度大于石英玻璃软化温度，加热温度控制在1750℃～1850℃，采用红外测温仪检测石英玻璃片9上中心火焰温度，加热持续时间为10s～60s，石英玻璃片9在高温作用下不仅发生软化，而且发生熔接作用，如图9所示，具体表现为火焰中心区域玻璃和石英玻璃棒8的端面和部分侧壁发生熔接，火焰中心周围区域石英玻璃发生软化，并在真空负压作用下软化成球壳1且与在吹制过程中石英玻璃棒8上凹槽对应部位的石英玻璃发生软化和熔接，但并未与凹槽完全熔接一起（吹制结果如图10所示），为实现石英玻璃与凹槽完全熔接，进一步对图10中石英玻璃棒8上凹槽部位对应的玻璃形状进行仿形加工，使得石英玻璃棒8上的凹槽形状与图9中的凹槽形状相匹配，在此基础上再次重复吹制过程即可实现石英玻璃与凹槽完全熔接，获得具有凹槽4的支撑杆3，如图11所示；

（6）停止加热后，停止抽真空，采用循环冷却水对模具降温，降温到室温后打开充气阀对筒体5内通气以破真空，取出球壳1；

（7）将成型球壳1放置在石英玻璃模具中，石英玻璃模具材料为石英玻璃，石英玻璃模具中开通孔，石英玻璃模具外径由化学机械抛光夹具尺寸决定，石英玻璃模具高度等于球壳1高度，取值在2.5mm～8mm，石英玻璃模具内孔直径≥球壳1的外直径，石英玻璃模具内孔直径取值范围在15mm～20mm，然后采用晶体胶对石英玻璃模具和球壳1之间的缝隙进行填充；

（8）采用化学机械抛光方式将球壳1外沿未发生变形的区域去除，采用金刚石线切割机切掉部分外柱，实现球壳1释放；

（9）采用溶解剂将填充的晶体胶溶解，取出谐振陀螺仪；

（10）将谐振陀螺仪在丙酮、乙醇和去离子水中各超声清洗15min。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种谐振陀螺仪，其特征在于，包括：

球壳，所述球壳为曲面球壳，所述球壳为石英材质；

支撑杆，所述支撑杆为实心杆，所述支撑杆的第一端固定连接于所述球壳的内底壁且第二端位于所述球壳内，所述支撑杆的侧壁部分向内凹陷以形成凹槽，所述凹槽呈环形；

所述凹槽靠近所述第二端的端部与所述第二端的端面之间的距离为h3，h3取值为0.5mm～2mm，所述凹槽靠近所述第一端的端部与所述第二端的端面之间具有设定间距，所述凹槽的高度小于所述支撑杆的高度；

所述球壳的横截面的最大直径为d1，所述支撑杆远离所述凹槽位置的横截面的直径为d2，所述凹槽的横截面最小的直径为d3，d3取值为0.5d2～0.9d2。

2.根据权利要求1所述的谐振陀螺仪，其特征在于，还包括固定于所述球壳的外壁且对应于所述支撑杆的第一端的延伸杆，所述延伸杆和所述支撑杆位于同一直线上。

3.根据权利要求2所述的谐振陀螺仪，其特征在于，所述支撑杆和所述延伸杆一体成型，或者，所述支撑杆和所述延伸杆固定连接。

4.一种用于制造谐振陀螺仪的模具，所述模具用以制造如权利要求1至3中任一项所述的谐振陀螺仪，其特征在于，包括：

筒体，所述筒体为圆柱筒体，所述筒体为石墨材料制成，所述筒体的底部中心位置开设有呈圆形的卡槽，所述筒体绕所述卡槽间隔开设有若干的抽气孔，所述支撑杆用以卡设于所述卡槽内。

5.根据权利要求4所述的用于制造谐振陀螺仪的模具，其特征在于，所述筒体的外径为D1，所述筒体的内径为D2，其中，D1≥D2+4mm，所述筒体的内径D2与所述球壳的横截面的直径最大值相匹配；

所述筒体的外侧壁的高度为H1，所述筒体的内侧壁的高度为H2，所述筒体的内侧壁的高度H2大于所述谐振陀螺仪的高度。

6.根据权利要求5所述的用于制造谐振陀螺仪的模具，其特征在于，所述卡槽的直径与所述支撑杆的直径相匹配，所述卡槽的深度为H3，H3取值范围在2mm～5mm；

所述抽气孔设置有六个，且所述抽气孔的直径为1mm。

7.一种谐振陀螺仪的吹制方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供如权利要求4中所述的模具，提供石英玻璃片，所述石英玻璃片的厚度为0.1mm～0.5mm，所述石英玻璃片的平面度≤2μm，所述石英玻璃片呈圆形且直径大于所述球壳的横截面的最大直径；

提供支撑杆，将所述支撑杆对应卡设于所述卡槽内，将所述石英玻璃片对应放置于所述筒体的顶部，加热所述石英玻璃片，并通过所述抽气孔对所述筒体进行抽真空操作，所述石英玻璃片软化并与所述支撑杆熔接连接；

停止加热和停止抽真空操作，冷却所述模具，直至所述模具的温度降至设定温度后，通过所述抽气孔对筒体内通气，以取出谐振陀螺仪。