CN117492147A - 波导以及光模块 - Google Patents
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Abstract
一种波导以及光模块，其中，所述波导应用于光模块，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向，所述波导包括沿所述第一方向依次设置的：第一传导部，具有平行相对的第一传导侧壁；抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射。所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射，从而在当光信号从抗回波部远离所述第一传导部的一端回传产生回波时，回波能够在所述抗回波侧壁上发生反射和透射，降低了回波进入第一传导部中的概率，相应降低了回波对与所述第一传导部相连的光电器件(例如：发光器件)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
Description
技术领域
本发明实施例涉及光电集成领域，尤其涉及一种波导以及光模块。
背景技术
光模块是进行光电转换的光电子器件。其中，硅光模块是一种采用硅光子技术的光模块。硅光子技术是基于硅和硅基衬底材料(如SiGe/Si、SOI等)，利用现有CMOS工艺进行光器件开发和集成的新一代技术。硅光模块产生的核心理念是“以光代电”，即利用激光束代替电子信号进行数据传输。硅光子技术将硅光模块中的光学器件与电子元件整合到一个独立的微芯片中，使光信号处理与电信号的处理深度融合，最终实现真正意义上的“光互联”。对比普通光模块，硅光模块具有低功耗、低成本、高集成和高速率等优势。
硅光模块主要由波导、调制器、耦合器、AWC、滤波器、接收器、阻隔层、衬底等构成。硅光模块芯片通过硅晶圆技术，在硅基底上利用蚀刻工艺加上外延生长等加工工艺制备调制器、接收器、波导等关键器件，以实现调制器、接收器以及无源光学器件的高度集成。
但是，目前光模块回波损耗的问题较为严重。
发明内容
本发明实施例解决的问题是提供一种波导以及光模块，减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
为解决上述问题，本发明实施例提供一种波导，应用于光模块，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向，所述波导包括沿所述第一方向依次设置的：第一传导部，具有平行相对的第一传导侧壁；抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射。
可选的，所述抗回波部与所述第一传导部相连的部分的宽度，大于所述第一传导部的宽度，且沿所述第一方向，所述抗回波部的宽度递减。
可选的，所述抗回波部还包括与所述抗回波侧壁相连的缓冲侧壁，所述缓冲侧壁用于对回波进行全反射。
可选的，所述波导还包括：第二传导部，与所述抗回波部相连；所述第二传导部具有平行相对的第二传导侧壁，所述第二传导侧壁与所述缓冲侧壁相连。
可选的，与所述第一方向平行且相反的方向为第二方向，沿所述抗回波部指向所述第一传导部的方向，所述缓冲侧壁与所述第二方向的夹角逐渐增大。
可选的，在所述缓冲侧壁与所述抗回波侧壁相连的位置处，所述缓冲侧壁与所述第一方向之间的夹角为0°至180°。
可选的，所述抗回波侧壁与所述第一传导侧壁之间的夹角大于0°，且小于回波进行全反射的临界角。
可选的，所述波导的材料包括硅、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、铌酸锂、锗、锗化硅、砷化镓、铟镓砷、铟镓氮、碳化硅、以及聚合物材料中的一种或多种。所述波导的材料还可以包括其他ⅢⅤ族化合物。
相应的，本发明实施例还提供一种光模块，包括：本发明实施例提供的波导；光电器件，与所述第一传导部相连。
可选的，所述光电器件为发光器件，用于发出入射光。
可选的，所述发光器件为激光器。
可选的，所述光电器件包括光电调制器、光电探测器、分光器、光栅、模式偏转仪或加热器。
可选的，所述光模块为半导体光模块。
可选的，所述光模块为硅光模块。。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下优点：
本发明实施例提供的波导中，设置有抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射，从而在当光信号从抗回波部远离所述第一传导部的一端回传产生回波时，回波能够在所述抗回波侧壁上发生反射和透射，降低了回波进入第一传导部中的概率，相应降低了回波对与所述第一传导部相连的光电器件(例如：发光器件)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
本发明实施例提供的光模块，包括本发明实施例提供的波导，所述波导中设置有所述抗回波部，有利于降低回波进入第一传导部中的概率，相应降低了回波对与所述第一传导部相连的光电器件(例如：发光器件)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
附图说明
图1是本发明波导一实施例的结构示意图；
图2是本发明硅光模块一实施例的结构示意图。
具体实施方式
由背景技术可知，目前光模块回波损耗的问题较为严重。以下以光模块为硅光模块为示例进行说明。
具体地，硅光模块利用现有CMOS工艺制造光学器件与电子元件。其中，通常利用刻蚀工艺制作波导，在进行刻蚀工艺的过程中，容易导致波导的侧壁出现粗糙的问题，粗糙的波导侧壁对光进行反射，容易产生光学回波损耗，回波进入光学器件(例如：输入端激光器)中容易对光学器件的性能产生不良影响，进而容易降低硅光产品的稳定性。
目前通常通过改善刻蚀工艺或者增加额外热处理工艺的方法，以改善波导侧壁的粗糙度，从而减少粗糙的侧壁对光的反射，进而减少了光路的回波损耗。
但是，改善刻蚀工艺的方法存在局限性，刻蚀工艺由于刻蚀原理上的限制存在优化上限，无法从根本上提升侧壁的平整度；而热处理工艺容易给波导带来形变，还容易对光模块中的有源器件的性能造成不良影响，进而容易影响光模块的性能，例如：对调制带宽和暗电流产生不良影响。
因此，如何降低光学回波损耗对光模块的影响成为亟待解决的问题。
为了解决所述技术问题，本发明实施例提供一种波导，应用于光模块，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向，所述波导包括沿所述第一方向依次设置的：第一传导部，具有平行相对的第一传导侧壁；抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射。
本发明实施例提供的波导中，设置有抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射，从而在当光信号从抗回波部远离所述第一传导部的一端回传产生回波时，回波能够在所述抗回波侧壁上发生反射和透射，降低了回波进入第一传导部中的概率，相应降低了回波对与所述第一传导部相连的光电器件(例如：发光器件)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。参考图1，示出了本发明波导一实施例的结构示意图。
本实施例中，所述波导应用于光模块，用于引导光路，以实现光信号在光模块中的传输。其中，所述光模块用于实现光电转换，用于将光信号转换为电信号，或者将电信号转换成光信号。
如图1所示，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向X1。
本实施例中，与所述第一方向平行且相反的方向为第二方向X2。
作为一种示例，所述波导为平面波导。
作为一种实施例，所述波导应用于半导体光模块，即所述光模块为基于半导体材料的光模块，从而有利于基于CMOS工艺形成光模块。
作为一种示例，所述波导的材料包括硅、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、铌酸锂、锗、锗化硅、砷化镓、铟镓砷、铟镓氮、碳化硅、以及聚合物材料中的一种或多种。所述波导的材料还可以包括其他ⅢⅤ族化合物。
本实施例中，以所述波导的材料为硅为示例进行说明。在光电领域中，由于硅与波导包层(材料通常选用二氧化硅)的折射率差较大，所以单模尺寸较小，导致模场在波导侧壁的分布较大，相比于其他材料的波导(例如：氮化硅波导)的大尺寸，硅波导产生的回波损耗较为明显，本实施例通过在波导中设置所述抗回波部，有利于显著地降低回波损耗对硅光模块的影响，进而显著提升硅光模块的性能。
如图1所示，本实施例中，所述波导沿所述第一方向X1依次设置的：第一传导部10，具有平行相对的第一传导侧壁101；抗回波部30，包括与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101的抗回波侧壁301，所述抗回波侧壁301用于对回波进行反射和透射。
所述波导中设置有抗回波部30，包括与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101的抗回波侧壁301，所述抗回波侧壁301用于对回波进行反射和透射，从而在当光信号从抗回波部30远离所述第一传导部10的一端回传产生回波200时，回波200能够在所述抗回波侧壁301上发生反射和透射，降低了回波200进入第一传导部10中的概率，相应降低了回波200对与所述第一传导部10相连的光电器件(例如：激光器)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
所述第一传导部10用于引导光路，以实现光线在波导内的传播。
本实施例中，所述第一传导部10具有平行相对的第一传导侧壁101，光线在所述第一传导侧壁101上发生全内反射，以引导光线的传输方向。
作为一种实施例，所述第一传导部10远离所述抗回波部的一端设置有发光器件，用于发出入射光100，入射光100进入所述第一传导部10内。
相应地，本实施例中，通过设置所述抗回波部30，有利于降低回波200进入第一传导部10中的概率，相应降低了回波200对与所述第一传导部10相连的发光器件产生干扰的概率，从而有利于光模块获得稳定的发光输入功率，进而改善由于光源不稳导致的串扰和噪声，提高了信号的带宽。
所述抗回波部30用于降低回波200进入第一传导部10的概率，从而降低回波200经由第一传导部10进入与第一传导部10相连的光电器件，而对光电器件造成干扰的几率。
其中，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101，以对回波200进行反射和透射，从而提高回波200在所述抗回波部30中湮灭的几率。
本实施例中，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101之间的夹角α大于0°，且小于回波进行全反射的临界角，从而所述回波200不会在所述抗回波侧壁301上发生全反射，而是会至少有一部分在所述抗回波侧壁301上进行折射，以降低回波200进入所述第一传导部10内的几率。
需要说明的是，在光电领域中，由于光路可逆，所以回波的角度与入射信号的角度基本一致。
作为一种示例，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101之间的夹角α为90°，以便在沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向上，所述抗回波侧壁301用于反射和折射回波200的有效面积最大，并且，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101之间的夹角α为直角还便于设计和生产制造。
在其他实施例中，所述抗回波侧壁与所述第一传导侧壁之间的夹角α还可以为其他合适的角度，例如：70°、75°、80°、100°等。
本实施例中，所述抗回波部30与所述第一传导部10相连的部分的宽度，大于所述第一传导部10的宽度，以便使得所述抗回波侧壁301能够凸出于所述第一传导侧壁101，进而为回波200在所述抗回波侧壁301上进行反射和透射提供空间。
并且，沿所述第一方向X1，所述抗回波部30的宽度递减，以便抗回波部30的剩余侧壁能够对光信号起到全内反射的作用，使得所述波导在所述抗回波部30远离所述第一传导部10的一端为正常形态，从而一方面，避免沿第一方向上的光信号的正常传播受到影响，另一方面，有利于将回波200引导至所述抗回波侧壁301上进行反射或折射。
相应地，本实施例中，所述抗回波部30还包括与所述抗回波侧壁301相连的缓冲侧壁302。所述缓冲侧壁302用于连接所述抗回波侧壁301与所述波导的剩余部分。
所述缓冲侧壁302用于对回波200进行全反射，以便将所述回波200因导致所述抗回波侧壁301上进行反射或折射。而且，在沿所述第一方向上，所述缓冲侧壁302也对沿光信号传播方向上的光信号进行全内反射，以实现对光信号的引导作用。
本实施例中，与所述第一方向X1平行且相反的方向为第二方向X2，沿所述抗回波部30指向所述第一传导部10的方向，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角逐渐增大，即所述缓冲侧壁302为渐变的侧壁，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角保持不变相比，渐变角度有利于满足回波200沿缓冲侧壁302传播的全反射条件，有利于回波200沿缓冲侧壁302到达抗回波侧壁301处进行折射逸散，减少进入第一传导部10的回波。
需要说明的是，在所述缓冲侧壁302与所述抗回波侧壁301相连的位置处，所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β不宜过小，也不宜过大。如果所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β过小，容易导致沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向上，所述抗回波侧壁301凸出于所述第一传导侧壁101的宽度w过小，从而所述抗回波侧壁301用于反射和折射回波200的有效面积过小，进而导致所述抗回波部30用于减小回波损耗对光模块的影响的效果不明显；如果所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β过大，则容易导致沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向，所述抗回波侧壁301凸出于所述第一传导侧壁101的宽度w过大，容易导致所述抗回波部30占用过大的面积，而且，沿所述抗回波部30指向所述第一传导部10的方向，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角逐渐增大的情况下，所述夹角β过大容易导致沿所述第一方向X1上所述抗回波部30的长度过大，进而也会导致所述抗回波部30占用过大的面积。为此，本实施例中，在所述缓冲侧壁302与所述抗回波侧壁301相连的位置处，所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β为0°至180°。
需要说明的是，本实施例中，所述波导还包括：第二传导部20，与所述抗回波部30相连；所述第二传导部20具有平行相对的第二传导侧壁201，所述第二传导侧壁201与所述缓冲侧壁302相连。
所述第二传导部20用于连接所述抗回波部30与后端器件，以使得所述第二传导侧壁201对光信号正常进行全反射，进而保证光信号在所述波导内的正常传输。
相应地，所述缓冲侧壁302用于在所述抗回波侧壁301和所述第一传导侧壁201之间起到缓冲连接的作用。
相应的，本发明还提供一种光模块。图2是本发明光模块一实施例的结构示意图。
如图2所示，本实施例中，所述光模块，包括：本实施例提供的波导；光电器件40，与所述第一传导部10相连。
所述波导中设置有所述抗回波部30，有利于降低回波200进入第一传导部10中的概率，相应降低了回波200对与所述第一传导部10相连的光电器件40(例如：发光器件)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
所述光模块用于实现光电转换，用于将光信号转换为电信号，或者将电信号转换成光信号。
作为一种实施例，所述光模块为半导体光模块，即所述光模块为基于半导体材料的光模块，从而有利于基于CMOS工艺形成光模块。
更具体的，作为一实施例，所述光模块为硅光模块，硅材料为常用的半导体材料，有利于在提高工艺兼容性的同时，降低成本并提高工艺集成度。此外，在光电领域中，硅光模块中产生的回波损耗较为明显，因此，通过本实施例提供的光模块，能够显著降低回波损耗对硅光模块产生的影响，提高硅光模块的性能。
所述波导用于在光模块中引导光路，以实现光信号在光模块中的传输。
本实施例中，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向X1，与所述第一方向平行且相反的方向为第二方向X2。
作为一种示例，所述波导为平面波导。
作为一种示例，所述波导的材料包括硅、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、铌酸锂、锗、锗化硅、砷化镓、铟镓砷、铟镓氮、碳化硅、以及聚合物材料中的一种或多种。所述波导的材料还可以包括其他ⅢⅤ族化合物。
本实施例中，以所述波导的材料为硅为示例进行说明。在光电领域中，由于硅与波导包层(材料通常选用二氧化硅)的折射率差较大，所以单模尺寸较小，导致模场在波导侧壁的分布较大，相比于其他材料的波导(例如：氮化硅波导)的大尺寸，硅波导产生的回波损耗较为明显，本实施例通过在波导中设置所述抗回波部，有利于显著地降低回波损耗对硅光模块的影响，进而显著提升硅光模块的性能。
本实施例中，所述波导沿所述第一方向X1依次设置的：第一传导部10，具有平行相对的第一传导侧壁101；抗回波部30，包括与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101的抗回波侧壁301，所述抗回波侧壁301用于对回波进行反射和透射。
所述波导中设置有抗回波部30，包括与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101的抗回波侧壁301，所述抗回波侧壁301用于对回波进行反射和透射，从而在当光信号从抗回波部30远离所述第一传导部10的一端回传产生回波200时，回波200能够在所述抗回波侧壁301上发生反射和透射，降低了回波200进入第一传导部10中的概率，相应降低了回波200对与所述第一传导部10相连的光电器件40(例如：激光器)产生干扰的概率，进而减少回波损耗对光模块的影响，提升了光模块的性能。
所述第一传导部10用于引导光路，以实现光线在波导内的传播。
本实施例中，所述第一传导部10具有平行相对的第一传导侧壁101，光线在所述第一传导侧壁101上发生全内反射，以引导光线的传输方向。
所述抗回波部30用于降低回波200进入第一传导部10的概率，从而降低回波200经由第一传导部10进入与第一传导部10相连的光电器件40，而对光电器件造成干扰的几率。
其中，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101相连且凸出于所述第一传导侧壁101，以对回波200进行反射和透射，从而提高回波200在所述抗回波部30中湮灭的几率。
本实施例中，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101之间的夹角α大于0°，且小于回波进行全反射的临界角，从而所述回波200不会在所述抗回波侧壁301上发生全反射，而是会至少有一部分在所述抗回波侧壁301上进行折射，以降低回波200进入所述第一传导部10内的几率。
需要说明的是，在光电领域中，由于光路可逆，所以回波的角度与入射信号的角度基本一致。
作为一种示例，所述抗回波侧壁301与所述第一传导侧壁101之间的夹角α为90°，以便在沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向上，所述抗回波侧壁301用于反射和折射回波200的有效面积最大。
在其他实施例中，所述抗回波侧壁与所述第一传导侧壁之间的夹角α还可以为其他合适的角度，例如：70°、75°、80°、100°等。
本实施例中，所述抗回波部30与所述第一传导部10相连的部分的宽度，大于所述第一传导部10的宽度，以便使得所述抗回波侧壁301能够凸出于所述第一传导侧壁101，进而为回波200在所述抗回波侧壁301上进行反射和透射提供空间。
并且，沿所述第一方向X1，所述抗回波部30的宽度递减，以便抗回波部30的剩余侧壁能够对光信号起到全内反射的作用，使得所述波导在所述抗回波部30远离所述第一传导部10的一端为正常形态，从而一方面，避免沿第一方向上的光信号的正常传播受到影响，另一方面，有利于将回波200引导至所述抗回波侧壁301上进行反射或折射。
相应地，本实施例中，所述抗回波部30还包括与所述抗回波侧壁301相连的缓冲侧壁302。所述缓冲侧壁302用于连接所述抗回波侧壁301与所述波导的剩余部分。
所述缓冲侧壁302用于对回波200进行全反射，以便将所述回波200因导致所述抗回波侧壁301上进行反射或折射。而且，在沿所述第一方向上，所述缓冲侧壁302也对沿光信号传播方向上的光信号进行全内反射，以实现对光信号的引导作用。
本实施例中，与所述第一方向X1平行且相反的方向为第二方向X2，沿所述抗回波部30指向所述第一传导部10的方向，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角逐渐增大，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角保持不变相比，渐变角度有利于满足回波200沿缓冲侧壁302传播的全反射条件，有利于回波200沿缓冲侧壁302到达抗回波侧壁301处进行折射逸散，减少进入第一传导部10的回波。
需要说明的是，在所述缓冲侧壁302与所述抗回波侧壁301相连的位置处，所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β不宜过小，也不宜过大。如果所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β过小，容易导致沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向上，所述抗回波侧壁301凸出于所述第一传导侧壁101的宽度w过小，从而所述抗回波侧壁301用于反射和折射回波200的有效面积过小，进而导致所述抗回波部30用于减小回波损耗对光模块的影响的效果不明显；如果所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β过大，则容易导致沿垂直于所述第一传导侧壁101的方向，所述抗回波侧壁301凸出于所述第一传导侧壁101的宽度w过大，容易导致所述抗回波部30占用过大的面积，而且，沿所述抗回波部30指向所述第一传导部10的方向，所述缓冲侧壁302与所述第二方向X2的夹角逐渐增大的情况下，所述夹角β过大容易导致沿所述第一方向X1上所述抗回波部30的长度过大，进而也会导致所述抗回波部30占用过大的面积。为此，本实施例中，在所述缓冲侧壁302与所述抗回波侧壁301相连的位置处，所述缓冲侧壁302与所述第一方向X1之间的夹角β为0°至180°。
需要说明的是，本实施例中，所述波导还包括：第二传导部20，与所述抗回波部30相连；所述第二传导部20具有平行相对的第二传导侧壁201，所述第二传导侧壁201与所述缓冲侧壁302相连。
所述第二传导部20用于连接所述抗回波部30与后端器件，以使得所述第二传导侧壁201对光信号正常进行全反射，进而保证光信号在所述波导内的正常传输。
相应地，所述缓冲侧壁302用于在所述抗回波侧壁301和所述第一传导侧壁201之间起到缓冲连接的作用。
所述光电器件40用于与所述波导集成，以实现光模块用于光电转换的功能。
作为一种实施例，所述光电器件40为发光器件，用于发出入射光100，入射光100进入所述第一传导部10内。
相应地，本实施例中，通过设置所述抗回波部30，有利于降低回波200进入第一传导部10中的概率，相应降低了回波200对与所述第一传导部10相连的发光器件40产生干扰的概率，从而有利于光模块获得稳定的发光输入功率，进而改善由于光源不稳导致的串扰和噪声，提高了信号的带宽。
更具体的，作为一实施例，所述发光器件40为激光器。
在其他实施例中，所述光电器件还可以包括光电调制器、光电探测器、分光器、光栅、模式偏转仪或加热器。所述光模块的波导中设置有所述抗回波部，能够减少回波对光电器件造成干扰的问题，例如：减少回波造成的相位不匹配问题等。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (14)
1.一种波导，应用于光模块，沿波导的延伸方向且沿光的入射方向为第一方向，其特征在于，所述波导包括沿所述第一方向依次设置的：
第一传导部，具有平行相对的第一传导侧壁；
抗回波部，包括与所述第一传导侧壁相连且凸出于所述第一传导侧壁的抗回波侧壁，所述抗回波侧壁用于对回波进行反射和透射。
2.如权利要求1所述的波导，其特征在于，所述抗回波部与所述第一传导部相连的部分的宽度，大于所述第一传导部的宽度，且沿所述第一方向，所述抗回波部的宽度递减。
3.如权利要求1或2所述的波导，其特征在于，所述抗回波部还包括与所述抗回波侧壁相连的缓冲侧壁，所述缓冲侧壁用于对回波进行全反射。
4.如权利要求3所述的波导，其特征在于，所述波导还包括：第二传导部，与所述抗回波部相连；所述第二传导部具有平行相对的第二传导侧壁，所述第二传导侧壁与所述缓冲侧壁相连。
5.如权利要求3所述的波导，其特征在于，与所述第一方向平行且相反的方向为第二方向，沿所述抗回波部指向所述第一传导部的方向，所述缓冲侧壁与所述第二方向的夹角逐渐增大。
6.如权利要求3所述的波导，其特征在于，在所述缓冲侧壁与所述抗回波侧壁相连的位置处，所述缓冲侧壁与所述第一方向之间的夹角为0°至180°。
7.如权利要求1所述的波导，其特征在于，所述抗回波侧壁与所述第一传导侧壁之间的夹角大于0°，且小于回波进行全反射的临界角。
8.如权利要求1所述的波导，其特征在于，所述波导的材料包括硅、氧化硅、氮化硅、磷化铟、氮化镓、铌酸锂、锗、锗化硅、砷化镓、铟镓砷、铟镓氮、碳化硅、以及聚合物材料中的一种或多种。
9.一种光模块，其特征在于，包括：
如权利要求1至8任一项所述的波导；
光电器件，与所述第一传导部相连。
10.如权利要求9所述的光模块，其特征在于，所述光电器件为发光器件，用于发出入射光。
11.如权利要求10所述的光模块，其特征在于，所述发光器件为激光器。
12.如权利要求9所述的光模块，其特征在于，所述光电器件包括光电调制器、光电探测器、分光器、光栅、模式偏转仪或加热器。
13.如权利要求9至12任一项所述的光模块，其特征在于，所述光模块为半导体光模块。
14.如权利要求9至12任一项所述的光模块，其特征在于，所述光模块为硅光模块。
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