CN117401718A - 一种新型资源化转化六氟化硫的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种新型资源化转化六氟化硫的方法和装置，本发明先对SF6进行一级放电处理，使SF6解离为氟原子和低氟硫化物，氟原子和低氟硫化物与金属钨发生氟化反应，将氟原子和低氟硫化物转化为WF6的同时，将硫元素还原为硫单质。控制氟化反应温度为120‑160℃，使生成的硫单质成液态，方便对硫单质进行收集。之后将含WF6的混合气体进行冷凝，WF6被液化成液体后进行收集，随后将冷凝后的混合气体与水蒸汽混合，将含水蒸汽的混合气体进行二级放电处理，在水蒸汽作用下，混合气体进一步降解，且降解产物更趋于SO2和HF，随后对SO2和HF进行分离，将HF采用“氟化氢‑液氨”液相法进行处理，可得到氟化铵和氟化氢铵，将SO2采用湿氨法进行处理，可得到亚硫酸铵和硫酸铵。

Description

一种新型资源化转化六氟化硫的方法和装置
技术领域
本发明属于六氟化硫资源化利用技术领域，具体涉及一种新型资源化转化六氟化硫的方法和装置。
背景技术
六氟化硫(SF6)是一种无色、无臭、无毒、不易燃、不易爆的惰性气体，具有非常稳定的分子结构，因其优良的物理化学性质，SF6被广泛应用于电力设备、金属冶炼、半导体制造和航空航天等行业，其中电气领域对SF6的使用量占SF6每年使用总量的80％。但SF6具有很强的红外辐射吸收能力，是一种强温室气体，其温室效应潜力值(GWP)高达CO2的23500倍。而在过去五年中，SF6在大气中的含量已经上升了20％，科学家估计，到2030年之前，其大气含量将增加75％。
然而，随着经济的快速发展，人类社会对SF6的需求量只会比以前更大，人类面临着越来越严峻的SF6治理问题。近年来，用环保气体取代SF6是大势所趋，但是在电力领域中，其效果并没有SF6好，且在现今的电力系统中，SF6的使用量依然巨大。目前，世界上每年要使用10000t以上的SF6气体，其中80％以上应用于电力行业中的气体绝缘设备中，气体绝缘设备的损坏、泄露、检修都会面临SF6气体的处理问题。因此，如何回收与排放SF6废气已经成为电力环保领域的热点问题。
近年来，降解SF6气体的手段主要包括热催化降解、光解、电解、低温等离子体法等。其中，低温等离子体处理技术相比其他方法而言，对反应条件的要求并没有那么苛刻，具有方便简单、能耗低、处理更彻底等优势，应用前景十分广阔，同时也有相关技术已经被报道应用在SF6废气的处理中。
目前针对SF6气体处理的方法，主要针对SF6气体进行收集、提纯和储存，其外采用热裂解和水洗等形式对SF6废气进行处理。对于SF6的放电处理过程，主流方法是采用介质阻挡放电、微波放电等形式，在指定的反应器中形成等离子体区域，对SF6气体进行分解处理。处理过程SF6需要经过稀释，稀释气体常用氮气、空气等，最终能够实现超过90％的降解效果。
本质上，SF6是极具再利用价值和资源化转化潜力的分子，其硫、氟元素可用于多种含硫、含氟工业原料的制备。然而，现有的SF6降解策略多聚焦于效能提升，产生的SO2、SOF2、SO2F2、HF等毒腐蚀性降解尾气多采用碱液中和吸收，产生的固体废弃物则需填埋等处理，消耗大量工业原料的同时也造成了硫氟资源的浪费。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明提供了一种新型资源化转化六氟化硫的方法和装置，本发明不仅实现了SF6的降解，还以其为氟源合成六氟化钨、氟化铵、氟化氢铵等工业原料，以其为硫源合成硫单质、硫酸铵和亚硫酸铵等工业原料，为SF6废气资源化转化提供了一种新的思路和方法。
实现本发明上述目的所采用的技术方案为：
一种新型资源化转化六氟化硫的方法，其特征在于包括如下步骤：
S1、在等离子体反应器放电区域内填充金属钨，或者向等离子体反应器放电区域内通入钨粉；
S2、向一级等离子体反应器放电区域内通入背景气体和六氟化硫气体，背景气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；
S3、在120～160℃下，氟原子和低氟硫化物与金属钨或钨粉发生反应，生成含六氟化钨气体的混合气体I和液态硫单质，收集液态硫单质；
S4、将含六氟化钨气体的混合气体I进行冷凝，使六氟化钨气体冷凝成液态后进行收集；
S5、将冷凝后的混合气体I与水蒸汽混合，得到混合气体II；
S6、将混合气体II通入放电区域内填充催化剂的二级等离子体反应器中，在催化剂的作用下，混合气体II被电离降解成含有SO2气体和HF气体的混合气体III；
S7、将混合气体III再次冷凝，使HF气体冷凝成液态进行收集，将收集的液态氟化氢采用“氟化氢-液氨”液相法进行处理，得到氟化铵和/或氟化氢铵；
S8、将步骤S7冷凝后含有SO2混合气体IV采用湿氨法进行处理，得到硫酸铵和/或亚硫酸铵。
进一步，所述的背景气体为氩气。
进一步，所述步骤S1中，若向一级等离子体反应器放电区域内通入钨粉，则同时向一级等离子体反应器放电区域内通入背景气体和六氟化硫气体。
进一步，所述的催化剂为γ-氧化铝或玻璃珠。
进一步，所述步骤S7中，将混合气体Ⅲ冷凝之前，将混合气体Ⅲ进行加热，使混合气体Ⅲ中的S2F10气体热解成SF6和SF4气体。
一种新型资源化转化六氟化硫的装置，包括六氟化硫供气单元、背景气体供气单元、混配单元、一级等离子体反应器、冷凝单元I、水汽发生器、二级等离子体反应器、冷凝单元II、“氟化氢-液氨”液相法处理单元和湿氨法处理单元，六氟化硫供气单元和背景气体供气单元分别与混配单元连接，混配单元将六氟化硫气体和背景气体进行混合，混配单元与一级等离子体反应器入口连接，一级等离子体反应器竖直或倾斜放置，一级等离子体反应器底部设有硫单质收集器，硫单质收集器位于一级等离子体反应器的下方，一级等离子体反应器底部设有第一液体出口，硫单质收集器与第一液体出口连通，一级等离子体反应器或硫单质收集器上设有第一气体出口；
冷凝单元I包括第一冷凝器和第一集液器，冷凝器具有第二气体出口和第二液体出口，第一集液器与第二液体出口连通，第一气体出口与第一冷凝器入口连通，第二气体出口与水汽发生器入口连通，水汽发生器出口与二级等离子体发生器入口连通，二级等离子体发生器内填充有催化剂；
冷凝单元II包括第二冷凝器和第二集液器，第二冷凝器具有第三气体出口和第三液体出口，第二集液器与第二液体出口连通，二级等离子体反应器出口与第二冷凝器入口连通，第二集液器与第三液体出口连通，第二集液器与“氟化氢-液氨”液相法处理单元连接，第三气体出口与湿氨法处理单元连接。
所述的六氟化硫供气单元包括六氟化硫气瓶、第一供气支管、第一减压阀和第一电磁阀，第一供气支管的一端与六氟化硫气瓶连接，第一减压阀和第一电磁阀安装于第一供气支管上，背景气体供气单元包括背景气体气瓶、第二供气支管、第二减压阀和第二电磁阀，第二供气支管的一端与惰性气体气瓶连接，第二减压阀和第二电磁阀安装于第二供气支管上，混配单元为配气仪，第一供气支管和第二供气支管的另一端分别与配气仪入口连接，配气仪出口与一级等离子体反应器入口连接。
还包括钨粉发生器，钨粉发生器包括鼓风箱和钨粉输送管，鼓风箱包括鼓风箱体和鼓风扇，鼓风扇安装于鼓风箱体上，钨粉输送管的一端与鼓风箱体出口连接，钨粉输送管的另一端与一级等离子体反应器入口连接。所述的冷凝单元I还包括气液分离管路，冷凝器为双层结构，冷凝器包括内壳体和外壳体，内壳体固定于外壳体上，内壳体和外壳体之间形成冷却腔，气液分离管路包括进气总管、出液支管和出气支管，进气总管位于冷却腔内，进气总管入口与第一气体出口连通，出液支管入口和出气支管入口分别与进气总管出口连接，出气支管出口与水汽发生器入口连接，出液支管出口与集液器连通。
所述的内壳体内的空腔下部设有隔板，隔板、内壳体和外壳体合围成的空间为集液器，集液器底部设有第四出液口。
所述的水汽发生器包括水汽发生室、超声雾化片和第一液位计，超声雾化片安装于水汽发生室内，第一液位计安装于水汽发生室侧壁上。
还包括加热单元，加热单元包括加热器，二级等离子体反应器出口与加热器入口连通，加热器出口与第二冷凝器入口连通。
与现有技术相比，本发明的优点与有益效果在于：
1、本发明的背景气体在放电反应区域内容易激发电离生成高能电子，对SF6碰撞激发其活化，使其断键分解生成氟粒子和低氟硫化物(SFx)，如果不加背景气体，SF6气体很难被电离分解。
2、本发明的背景气体还起到了对SF6进行稀释的作用，能够实现精确的稀释比例，从而提高SF6的降解效果。
3、本发明先对SF6进行一级放电处理，使SF6解离为氟原子和低氟硫化物，氟原子和低氟硫化物与金属钨发生氟化反应，将氟原子和低氟硫化物转化为WF6的同时，将硫元素还原为硫单质。控制氟化反应温度为120-160℃，使生成的硫单质成液态，方便对硫单质进行收集。之后使含WF6的混合气体进行冷凝，WF6被液化成液体后进行分离收集，随后将冷凝后的混合气体与水蒸汽混合，再将含水蒸汽的混合气体进行二级放电处理，在水蒸汽的作用下，混合气体进一步降解，且降解产物更趋于SO2和HF，随后对SO2和HF进行分离，将分离后的HF采用“氟化氢-液氨”液相法进行处理，可得到工业原料氟化铵和氟化氢铵，将分离后的SO2采用湿氨法进行处理，可得到工业原料亚硫酸铵和硫酸铵。
4、本发明将等离子体反应器倾斜或竖直放置，液态硫单质可沿着等离子体反应器管壁向下流，在等离子体反应器底部设置硫单质收集区，对生成的S单质进行收集。
5、本发明的冷凝器温度可根据产物进行调控，控制温度在5℃～15℃之间，可对生成的WF6气体进行降温，使WF6气体变为液态，并对WF6液体进行收集，便于后期长期储存、运输以及提纯。
6、本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与W进行反应生成WF6，与传统以金属W和氟气(F2)在高温下制备WF6的方法相比，大幅度降低了反应的温度，从而大幅度降低了能耗，而且操作安全，实现了SF6的硫氟资源利用，解决了SF6转化率低的问题。
附图说明
图1为六氟化硫的硫氟资源化利用方法的结构示意图。
其中，1-配气仪、2-鼓风箱体、3-鼓风扇、4-钨粉输送管、5-一级等离子体反应器、6-石英棉、7-沉积池、8-内壳体、9-外壳体、10-进气总管、11-出液支管、12-出气支管、13-隔板、14-集液腔、15-收集口、16-第一注入口、17-排出口、18-水汽发生室、19-超声雾化片、20-第一液位计、21-第二注入口、22-二级等离子体反应器、23-γ-氧化铝、24-加热器、25-加热气腔、26-第二冷凝器、27-收集池。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的新型资源化转化六氟化硫的装置进行详细说明。
实施例1
本实施例提供的新型资源化转化六氟化硫的装置的结构如图1所示，包括六氟化硫供气单元、背景气体供气单元、混配单元、钨粉发生器、一级等离子体反应器5、冷凝单元I、水汽发生器、二级等离子体反应器22、加热器24、冷凝单元II、“氟化氢-液氨”液相法处理单元和湿氨法处理单元。
六氟化硫供气单元(图1中未画出)包括六氟化硫气瓶、第一供气支管和第一减压阀、第一电磁阀，第一供气支管入口与六氟化硫气瓶连接，第一减压阀和第一电磁阀分别安装于第一供气支管上，且第一减压阀和第一电磁阀沿着第一供气支管入口到其出口的方向依次分布。六氟化硫气瓶内的六氟化硫通过第一减压阀进行减压后才能进入配气仪。
惰性气体供气单元(图1中未画出)包括氩气气瓶、第二供气支管、第二减压阀和第二电磁阀。第二供气支管入口与氩气气瓶连接，第二减压阀和第二电磁阀分别安装于第二供气支管上，第二减压阀和第二电磁阀沿着第二供气支管入口到其出口的方向依次分布。氩气气瓶内的氩气通过第二减压阀进行减压后才能进入配气仪。
混配单元为配气仪1，配气仪1为江苏唐高电气生产的GC500型四通道智能动态配气仪。第一供气支管出口和第二供气支管出口分别与配气仪1的两入口连接，配气仪1出口与一级等离子体反应器5入口连接。
钨粉发生器包括鼓风箱和钨粉输送管4，鼓风箱包括鼓风箱体2和鼓风扇3，鼓风扇3安装于鼓风箱体2侧壁上，钨粉输送管4的一端与鼓风箱体2出口连接，钨粉输送管4的另一端与一级等离子体反应器5入口连接。钨粉放置于鼓风箱体2内正对着鼓风扇的位置处，且鼓风箱体2出口正对着鼓风扇，当鼓风扇工作后，钨粉被吹入钨粉输送管4中，从而进入一级等离子体反应器。
一级等离子体反应器5为同轴式双层介质阻挡放电反应器，一级等离子体反应器5竖直放置。一级等离子体反应器5入口位于一级等离子体反应器5顶部中央，一级等离子体反应器5出口位于一级等离子体反应器5底部中央。一级等离子体反应器5放电区域靠近一级等离子体反应器底部处设有一团石英棉6，其作用是防止钨粉进入后续的装置造成堵塞现象发生。一级等离子体反应器5放电区域外侧填满石英棉6，其作用是对一级等离子体反应器进行保温，使其温度维持在120-160℃。
一级等离子体反应器5底部设有用于收集硫单质的沉积池7，沉积池7呈圆筒状，一级等离子体反应器5和沉积池7同轴设置，沉积池7位于一级等离子体反应器5的正下方，沉积池7与一级等离子体反应器5出口连通。控制沉积池7内的温度为40℃～100℃，使硫单质以固体形式存储。沉积池7侧壁顶部设有气体出口27，用于将含六氟化钨的混合气体放出。沉积池7侧壁下部设有可开关的工作门，可对固态硫单质进行收集。
冷凝单元I包括第一冷凝器和气液分离管路，第一冷凝器为双层结构。第一冷凝器包括内壳体8和外壳体9，内壳体8成L型，内壳体8底部分别与外壳体9底部和外壳体9侧壁连接，内壳体8和外壳体9之间形成冷却腔。气液分离管路包括进气总管10、出液支管11和出气支管12，进气总管10位于冷却腔内，且进气总管10缠绕于内壳体8外侧壁上。进气总管10入口与气体出口27连通，出液支管11入口和出气支管12入口分别与进气总管10出口连接。循环冷却管路(未画出)设置于内壳体16内壁上，对冷却腔内的WF6电子特气的进行冷却降温，使WF6电子特气液化。
内壳体8内的空腔下部设有隔板13，隔板13、内壳体8和外壳体9合围成的空间构成集液腔14，出液支管11出口与集液腔14侧壁顶部连接，集液腔14底部设有收集口15，收集口15设置于外壳体9侧壁底部上。
外壳体9顶部中央设有第一注入口16，外壳体9侧壁接近其底部处设有排出口17。使用冷凝器时，将冰水和冰块从第一注入口16加入冷却腔中，进一步加强降温作用，使WF6电子特气快速液化，从降解后的混合气体中分离出来。当冷却腔中的温度达不到要求时，通过排出口17将冷却腔中的水排空，之后通过第一注入口16重新加入冰水和冰块，进一步降温。
水汽发生器包括水汽发生室18、超声雾化片19和第一液位计20。超声雾化片19安装于水汽发生室18内，超声雾化片19的作用为将水化为水雾，使通入水汽发生室18中的混合气体中混有水蒸汽。出气支管12出口位于水汽发生室18内，第一液位计20安装于水汽发生室18侧壁上，水汽发生室18的最低液位为超声雾化片19能正常工作所需的最低水位，通过第一液位计20对水汽发生室18内的液位进行监测。在超声雾化片19工作之前，应先检查第一液位计20的液位，确认水汽发生室18内的水位能使超声雾化19片正常工作。水汽发生室18顶部设有第二注入口21，当水汽发生室18中的水位不够时，通过第二注入口21加水。
二级等离子体反应器22为同轴式双层介质阻挡放电反应器，二级等离子体反应器22水平放置。二级等离子体反应器22的放电区域内填充有γ-氧化铝23。水汽发生室18通过管道与二级等离子体反应器入口连接，在二级等离子体反应器22的放电区域内，在活性气体水蒸汽和催化剂γ-氧化铝的作用下，分离出六氟化钨的混合气体被进一步电离降解，降解产物趋于生成SO2和HF的方向进行。
加热单元包括加热器，加热器内设有加热气腔，二级等离子体反应器出口通过管道与加热气腔入口连通。加热气腔的温度保持在300℃，使混合气体中含有的少量S2F10热解成SF6和SF4气体。
为了降低装置占用的空间，将水汽发生室、二级等离子体反应器和加热器从上至下依次布设。
冷凝单元II的结构可以和冷凝单元I的结构相同，也可以不相同。冷凝单元II包括第二冷凝器和收集池，收集池顶部与第二冷凝器底部连接。加热气腔出口与第二冷凝器入口连通，收集池与第二冷凝器的液体出口连通。第二集液器与“氟化氢-液氨”液相法处理单元连接，用于将分离的液态氟化氢转化成氟化铵和氟化氢铵。第二冷凝器的气体出口与湿氨法处理单元连接，用于将分离的SO2转化成亚硫酸铵和硫酸铵。
下面结合上述的装置对本发明的新型资源化转化六氟化硫的方法进行详细说明。
实施例2
S1、向一级等离子体反应器5中填充入石英棉，向二级等离子体反应器22中填入γ-氧化铝23。
S2、按照上述装置的连接关系(如图1所示)将新型资源化转化六氟化硫的装置组装连接好。
S3、在鼓风箱体2内放入钨粉。
S4、打开第二减压阀和第二电磁阀，通入氩气检测装置的气密性，防止反应时有毒气体泄漏对工作人员造成危害，保证反应稳定有序的进行，检测完成后关闭第二减压阀；
S5、开启一级等离子体反应器5、超声雾化片19和二级等离子体反应器22，设置一级等离子体反应器5的输入电压为15kV，设置输入功率为90W，刚开始一级等离子体反应器5内温度会升高，过30分钟后一级等离子体反应器5内温度趋于稳定在130℃，同时控制沉积池7内的温度为50℃。设置二级等离子体反应器22的输入电压为15kV，设置输入功率为90W。与此同时，分别开启第一冷凝器和第二冷凝器，使第一冷凝器达到WF6气体的液化温度10℃，第二冷凝器达到HF气体的液化温度16℃；
S6、打开第一减压阀、第一电磁阀、第二减压阀和第二电磁阀，六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体和氩气气瓶内氩气减压后进入配气仪1中混合均匀，SF6的稀释比和混合气体的流量可以通过配气仪实现精确控制。与此同时，打开鼓风扇3，将钨粉吹入一级等离子体反应器5中；
S7、配气仪1中的混合气体和钨粉分别进入一级等离子体反应器5中，氩气在一级等离子体反应器5中被电离成高能电子(等离子体)，六氟化硫气体在高能电子活化下被分解成氟原子和低氟硫化物气体(如SF5、SF4等)，氟原子和低氟硫化物气体与钨粉发生反应，生成含WF6气体和少量的液态硫单质，液态S单质向下流动进入沉积池7中进行收集，含WF6气体的混合气体I进入冷凝器中进行液化，液化后流入集液腔14中，从而将WF6从混合气体I中分离出来；
S8、经冷凝之后的混合气体I通进入水汽发生室18，与水汽发生室18的水蒸汽混合，得到混合气体II；
S9、混合气体II进入二级等离子体反应器22，在活性气体水蒸汽和催化剂γ-氧化铝23的作用下，混合气体II被电离降解成含有SO2气体和HF气体的混合气体III。
S10、将混合气体III通入加热器的加热气腔中，使加热气腔的温度保持为300℃，将混合气体III中含有的少量S2F10气体热解为SF6和SF4；
S11、将热解处理后的混合气体III再次冷凝，使HF气体冷凝成液态进行收集，将收集的液态氟化氢使用“氟化氢-液氨”液相法进行处理，根据需要通入不同的液氨用量，得到氟化铵或氟化氢铵；
S12、将步骤S11冷凝后的含有SO2混合气体IV采用湿氨法处理单元进行处理，得到硫酸铵和亚硫酸铵。
S13、当第一冷凝器中没有液体流出时，关闭第一减压阀、第一电磁阀，十分钟后，关闭一级等离子体反应器5并一直通入氩气，使一级等离子体反应器5内的气体被驱赶依次通过冷凝单元I、水汽发生室18、二级等离子体反应器22、加热器24和第二冷凝器，十分钟后关闭第二减压阀、第二电磁阀、第一冷凝器、水汽发生室18、二级等离子体反应器22、加热器24和第二冷凝器。

Claims (10)

1.一种新型资源化转化六氟化硫的方法，其特征在于包括如下步骤：
S1、在等离子体反应器放电区域内填充金属钨，或者向等离子体反应器放电区域内通入钨粉；
S2、向一级等离子体反应器放电区域内通入背景气体和六氟化硫气体，背景气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；
S3、在120～160℃下，氟原子和低氟硫化物与金属钨或钨粉发生反应，生成含六氟化钨气体的混合气体I和液态硫单质，收集液态硫单质；
S4、将含六氟化钨气体的混合气体I进行冷凝，使六氟化钨气体冷凝成液态后进行收集；
S5、将冷凝后的混合气体I与水蒸汽混合，得到混合气体II；
S6、将混合气体II通入放电区域内填充催化剂的二级等离子体反应器中，在催化剂的作用下，混合气体II被电离降解成含有SO2气体和HF气体的混合气体III；
S7、将混合气体III再次冷凝，使HF气体冷凝成液态进行收集，将收集的液态氟化氢采用“氟化氢-液氨”液相法进行处理，得到氟化铵和/或氟化氢铵；
S8、将步骤S7冷凝后含有SO2混合气体IV采用湿氨法进行处理，得到硫酸铵和/或亚硫酸铵。
2.根据权利要求1所述的新型资源化转化六氟化硫的方法，其特征在于：所述步骤S1中，若向一级等离子体反应器放电区域内通入钨粉，则同时向一级等离子体反应器放电区域内通入背景气体和六氟化硫气体。
3.根据权利要求1所述的新型资源化转化六氟化硫的方法，其特征在于：所述的催化剂为γ-氧化铝或玻璃珠。
4.根据权利要求1所述的新型资源化转化六氟化硫的方法，其特征在于：所述步骤S7中，将混合气体III冷凝之前，将混合气体III进行加热，使混合气体III中的S2F10气体热解成SF6和SF4气体。
5.一种新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：包括六氟化硫供气单元、背景气体供气单元、混配单元、一级等离子体反应器、冷凝单元I、水汽发生器、二级等离子体反应器、冷凝单元II、“氟化氢-液氨”液相法处理单元和湿氨法处理单元，六氟化硫供气单元和背景气体供气单元分别与混配单元连接，混配单元将六氟化硫气体和背景气体进行混合，混配单元与一级等离子体反应器入口连接，一级等离子体反应器竖直或倾斜放置，一级等离子体反应器底部设有硫单质收集器，硫单质收集器位于一级等离子体反应器的下方，一级等离子体反应器底部设有第一液体出口，硫单质收集器与第一液体出口连通，一级等离子体反应器或硫单质收集器上设有第一气体出口；
冷凝单元I包括第一冷凝器和第一集液器，冷凝器具有第二气体出口和第二液体出口，第一集液器与第二液体出口连通，第一气体出口与第一冷凝器入口连通，第二气体出口与水汽发生器入口连通，水汽发生器出口与二级等离子体发生器入口连通，二级等离子体发生器内填充有催化剂；
冷凝单元II包括第二冷凝器和第二集液器，第二冷凝器具有第三气体出口和第三液体出口，二级等离子体反应器出口与第二冷凝器入口连通，第二集液器与第三液体出口连通，第二集液器与“氟化氢-液氨”液相法处理单元连接，第三气体出口与湿氨法处理单元连接。
6.根据权利要求5所述的新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：还包括钨粉发生器，钨粉发生器包括鼓风箱和钨粉输送管，鼓风箱包括鼓风箱体和鼓风扇，鼓风扇安装于鼓风箱体上，钨粉输送管的一端与鼓风箱体出口连接，钨粉输送管的另一端与一级等离子体反应器入口连接。
7.根据权利要求5所述的新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：所述的冷凝单元I还包括气液分离管路，冷凝器为双层结构，冷凝器包括内壳体和外壳体，内壳体固定于外壳体上，内壳体和外壳体之间形成冷却腔，气液分离管路包括进气总管、出液支管和出气支管，进气总管位于冷却腔内，进气总管入口与第一气体出口连通，出液支管入口和出气支管入口分别与进气总管出口连接，出气支管出口与水汽发生器入口连接，出液支管出口与集液器连通。
8.根据权利要求5所述的新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：所述的内壳体内的空腔下部设有隔板，隔板、内壳体和外壳体合围成的空间为集液器，集液器底部设有第四出液口。
9.根据权利要求5所述的新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：所述的水汽发生器包括水汽发生室、超声雾化片和第一液位计，超声雾化片安装于水汽发生室内，第一液位计安装于水汽发生室侧壁上。
10.根据权利要求5所述的新型资源化转化六氟化硫的装置，其特征在于：还包括加热单元，加热单元包括加热器，二级等离子体反应器出口与加热器入口连通，加热器出口与第二冷凝器入口连通。
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