CN117305791A - 一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及磁控溅射镀膜机技术领域，且公开了一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，包括箱体，还包括有水冷机构和加工机构；所述加工机构包括有外壳、外门、内壳、内门、电炉和连接板，所述外壳固定连接在箱体的顶部，所述外门滑动连接在外壳的内壁，所述内壳固定连接在箱体的顶部，所述内门滑动连接在内壳的内壁，所述电炉安装在箱体的顶部，所述连接板固定连接在外门的后部；所述水冷机构包括有水箱、风扇组、冷却管和水泵，所述水箱安装在外壳的顶部，所述风扇组安装在箱体的两侧；本发明，具有实用性强和散热效果好的特点。

Description

一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜机技术领域，具体为一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置。

背景技术

磁控溅射镀膜机是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，是一种普适镀膜机，目前主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层，磁控溅射镀膜机是用于生产鲤离子电池内部用的铜箔。

申请号为201921890959.1的专利公开了一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，所述加热筒的外表面固定连接有加强型耐温防腐外壳机构，所述加热筒的内部设置有内筒，所述加热筒的上端设置有盖板，所述盖板的一侧固定连接有温度传感器，所述加热筒的下端外表面固定连接有加热装置，所述加热装置的前端固定连接有手柄与显示屏，所述手柄位于显示屏的两侧，该专利所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，设有加强型耐温防腐外壳机构与隐藏式工具存放槽机构，能够加强筒壁的强度，耐温防腐效果优异，外壁散热效果好，防止人们误碰导致烫伤，还可以便于存放一些检修用的工具，为隐藏式，节省空间，提高工作效率，带来更好的使用前景，但此装置通过改变外壳的材质来提升表面的散热效果，但在镀膜机温度过高时不易对外壳进行散热，依然容易出现烫伤的现象，因此，设计实用性强和散热效果好的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置是很有必要的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，包括箱体，还包括有水冷机构和加工机构；所述加工机构包括有外壳、外门、内壳、内门、电炉和连接板，所述外壳固定连接在箱体的顶部，所述外门滑动连接在外壳的内壁，所述内壳固定连接在箱体的顶部，所述内门滑动连接在内壳的内壁，所述电炉安装在箱体的顶部，所述连接板固定连接在外门的后部；所述水冷机构包括有水箱、风扇组、冷却管和水泵，所述水箱安装在外壳的顶部，所述风扇组安装在箱体的两侧，所述冷却管固定连接在箱体顶部的内壁，所述水泵安装在水箱的内壁，通过内壳中设置的电炉，电炉加热可以使溅射过程的流通性增强，这样溅射效率会大大提高，进而提升溅射镀膜效果，而内壳会向外发热，通过外置的外壳可以减少热量的扩散，同时水泵会将水箱中冷水抽入冷却管中，并通过冷却管对外壳进行散热，即使内壳温度较高但是外壳的温度依然很低，可以减少外壳对工人的烫伤率，同时打开外门通过连接板带动内门一起下降，即可放置产品进行镀膜，非常的方便快捷，而风扇组会对箱体内部的水进行降温，而水泵会在箱体内部水降温后，将箱体中水再次抽至水箱中；所述内壳位于外壳的内部，所述电炉位于内壳的内部，所述连接板的后部与内门的前部固定连接；所述外门和内门的表面与箱体顶部的内壁滑动连接，所述冷却管的表面与外壳的内壁相互接触，所述水泵与冷却管相互连通。

根据上述技术方案，所述箱体的内部设置有散热机构，所述散热机构包括有减速齿轮组、旋转杆、叶片、温度传感器、气缸、上斜块和挡板，所述减速齿轮组安装在箱体的内壁，所述旋转杆固定连接在减速齿轮组的轴心处，所述叶片固定连接在旋转杆的表面，所述温度传感器固定连接在箱体的内壁，所述气缸固定连接在箱体的内壁，所述上斜块固定连接在气缸的输出端，所述挡板固定连接在箱体的内壁，当温度传感器检测至电炉温度过高时会向气缸发出电控信号，这时气缸启动并带动上斜块下移，上斜块会没入箱体的水中，这时箱体中水位上涨，使得水位与叶片接触，这时风扇组旋转会带动减速齿轮组旋转，减速齿轮组会带动旋转杆旋转，旋转杆会较慢的旋转并带动叶片旋转，叶片会将箱体中水带动卷起，这时风扇组会对卷起的水进行散热，使得水与空气的接触面积增加，进而提升水的散热效果，使得水泵可以将完全散热的水抽入冷却管中并对装置进行散热；所述减速齿轮组远离旋转杆的轴心处与风扇组的轴心处固定连接，所述温度传感器与气缸之间电性连接。

根据上述技术方案，所述箱体的内壁设置有检测机构，所述检测机构包括有下斜块、弹性板、钢丝和转盘，所述下斜块滑动连接在箱体的内壁，所述弹性板固定连接在下斜块的前部，所述钢丝固定连接在弹性板的表面，所述转盘固定连接在钢丝远离弹性板的一端；所述检测机构还包括有螺纹杆、滑块、导柱、浮板和按压开关，所述螺纹杆螺纹连接在转盘的内壁，所述滑块转动连接在螺纹杆的顶端，所述导柱固定连接在箱体的内壁，所述浮板滑动连接在导柱的表面，所述按压开关安装在滑块的底部，当上斜块下移时会与下斜块接触，并通过斜面推动下斜块移动，下斜块会推动弹性板形变拱起，弹性板会拉动钢丝移动，钢丝会带动转盘旋转，转盘会通过螺纹带动被限位无法旋转的螺纹杆下移，螺纹杆会带动滑块下移，滑块会带动按压开关下移，而箱体不是密封设计，因此内部的水会有损耗，因此水位会慢慢下移，而浮板也会慢慢下降，当每次气缸启动后，滑块下移，在按压开关没有与浮板接触并被按压时，装置会发出警报，即代表箱体中水量过少需要进行水源的添加，防止箱体中水量消耗后，影响后续的散热效果；所述钢丝缠绕在转盘的表面，所述螺纹杆的表面与箱体底部的内壁相互接触，所述滑块的内壁与导柱的表面滑动连接，所述弹性板远离下斜块的一侧与箱体的内壁固定连接。

根据上述技术方案，所述内壳的内壁设置有固定机构，所述固定机构包括有夹板、工件、弹性伸缩板、清理板和电机，所述夹板转动连接在内壳的内壁，所述工件滑动连接在夹板的内壁，所述弹性伸缩板通过扭簧转动连接在夹板的内壁，所述清理板固定连接在夹板的内壁，所述电机固定连接在内壳的表面，将待镀膜工件插入夹板中，当工件越过弹性伸缩板后，弹性伸缩板会在扭簧作用下复位并对工件进行弹性限位，拆卸时按下弹性伸缩板使其缩入夹板中，即可拆卸工件，从而可以快速的对工件进行安装和拆卸，在镀膜时，电机会带动夹板旋转，使得工件可以被均匀的镀膜，可以防止膜层色泽不均的现象发生，同时工件安装时会穿过两个清理板之间，使得清理板对工件进行擦拭，防止工件的表面存在指纹或者灰尘，进而影响后续的镀膜效果；所述工件的前部与弹性伸缩板的后部相互接触，所述电机的输出端与夹板的后部固定连接。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：

本发明，通过箱体、外壳、水箱、风扇组、外门、内壳、内门、电炉、连接板、冷却管、水泵之间的配合运作，可以使得溅射效率会大大提高，进而提升溅射镀膜效果，通过冷却管对外壳进行散热，即使内壳温度较高但是外壳的温度依然很低，可以减少外壳对工人的烫伤率。

本发明，通过减速齿轮组、旋转杆、叶片、温度传感器、气缸、上斜块、挡板之间的配合运作，叶片会将箱体中水带动卷起，这时风扇组会对卷起的水进行散热，使得水与空气的接触面积增加，进而提升水的散热效果，使得水泵可以将完全散热的水抽入冷却管中并对装置进行散热。

本发明，通过下斜块、弹性板、钢丝、转盘、螺纹杆、滑块、导柱、浮板、按压开关之间的配合运作，使上斜块下移时会与下斜块接触，并通过斜面推动下斜块移动，下斜块会推动弹性板形变拱起，弹性板会拉动钢丝移动，钢丝会带动转盘旋转，转盘会通过螺纹带动被限位无法旋转的螺纹杆下移，螺纹杆会带动滑块下移，滑块会带动按压开关下移，而箱体不是密封设计，因此内部的水会有损耗，因此水位会慢慢下移，而浮板也会慢慢下降，当每次气缸启动后，滑块下移，在按压开关没有与浮板接触并被按压时，装置会发出警报，即代表箱体中水量过少需要进行水源的添加，防止箱体中水量消耗过度后，影响后续的散热效果。

本发明，通过夹板、工件、弹性伸缩板、清理板、电机之间的配合运作，从而可以快速的对工件进行安装和拆卸，在镀膜时，电机会带动夹板旋转，使得工件可以被均匀的镀膜，可以防止膜层色泽不均的现象发生，同时工件安装时会穿过两个清理板之间，使得清理板对工件进行擦拭，防止工件的表面存在指纹或者灰尘，进而影响后续的镀膜效果。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的外壳结构半剖图；

图3是本发明的箱体结构半剖图；

图4是本发明的叶片结构示意图；

图5是本发明的上斜块结构示意图；

图6是本发明的下斜块结构示意图；

图7是本发明的夹板结构示意图；

图中：1、箱体；2、外壳；3、水箱；4、风扇组；5、外门；6、内壳；7、散热机构；71、减速齿轮组；72、旋转杆；73、叶片；74、温度传感器；75、气缸；76、上斜块；77、挡板；8、检测机构；81、下斜块；82、弹性板；83、钢丝；84、转盘；85、螺纹杆；86、滑块；87、导柱；88、浮板；89、按压开关；9、固定机构；91、夹板；92、工件；93、弹性伸缩板；94、清理板；95、电机；10、内门；11、电炉；12、连接板；13、冷却管；14、水泵。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

请参阅图1-5，本发明提供技术方案：一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，包括箱体1，还包括有水冷机构和加工机构；加工机构包括有外壳2、外门5、内壳6、内门10、电炉11和连接板12，外壳2固定连接在箱体1的顶部，外门5滑动连接在外壳2的内壁，内壳6固定连接在箱体1的顶部，内门10滑动连接在内壳6的内壁，电炉11安装在箱体1的顶部，连接板12固定连接在外门5的后部；水冷机构包括有水箱3、风扇组4、冷却管13和水泵14，水箱3安装在外壳2的顶部，风扇组4安装在箱体1的两侧，冷却管13固定连接在箱体1顶部的内壁，水泵14安装在水箱3的内壁，通过内壳6中设置的电炉11，电炉11加热可以使溅射过程的流通性增强，这样溅射效率会大大提高，进而提升溅射镀膜效果，而内壳6会向外发热，通过外置的外壳2可以减少热量的扩散，同时水泵14会将水箱3中冷水抽入冷却管13中，并通过冷却管13对外壳2进行散热，即使内壳6温度较高但是外壳2的温度依然很低，可以减少外壳2对工人的烫伤率，同时打开外门5通过连接板12带动内门10一起下降，即可放置产品进行镀膜，非常的方便快捷，而风扇组4会对箱体1内部的水进行降温，而水泵14会在箱体1内部水降温后，将箱体1中水再次抽至水箱3中；内壳6位于外壳2的内部，电炉11位于内壳6的内部，连接板12的后部与内门10的前部固定连接；外门5和内门10的表面与箱体1顶部的内壁滑动连接，冷却管13的表面与外壳2的内壁相互接触，水泵14与冷却管13相互连通。

箱体1的内部设置有散热机构7，散热机构7包括有减速齿轮组71、旋转杆72、叶片73、温度传感器74、气缸75、上斜块76和挡板77，减速齿轮组71安装在箱体1的内壁，旋转杆72固定连接在减速齿轮组71的轴心处，叶片73固定连接在旋转杆72的表面，温度传感器74固定连接在箱体1的内壁，气缸75固定连接在箱体1的内壁，上斜块76固定连接在气缸75的输出端，挡板77固定连接在箱体1的内壁，当温度传感器74检测至电炉11温度过高时会向气缸75发出电控信号，这时气缸75启动并带动上斜块76下移，上斜块76会没入箱体1的水中，这时箱体1中水位上涨，使得水位与叶片73接触，这时风扇组4旋转会带动减速齿轮组71旋转，减速齿轮组71会带动旋转杆72旋转，旋转杆72会较慢的旋转并带动叶片73旋转，叶片73会将箱体1中水带动卷起，这时风扇组4会对卷起的水进行散热，使得水与空气的接触面积增加，进而提升水的散热效果，使得水泵14可以将完全散热的水抽入冷却管13中并对装置进行散热；减速齿轮组71远离旋转杆72的轴心处与风扇组4的轴心处固定连接，温度传感器74与气缸75之间电性连接；

工作原理，通过内壳6中设置的电炉11，电炉11加热可以使溅射过程的流通性增强，这样溅射效率会大大提高，进而提升溅射镀膜效果，而内壳6会向外发热，通过外置的外壳2可以减少热量的扩散，同时水泵14会将水箱3中冷水抽入冷却管13中，并通过冷却管13对外壳2进行散热，即使内壳6温度较高但是外壳2的温度依然很低，可以减少外壳2对工人的烫伤率，同时打开外门5通过连接板12带动内门10一起下降，即可放置产品进行镀膜，非常的方便快捷，而风扇组4会对箱体1内部的水进行降温，而水泵14会在箱体1内部水降温后，将箱体1中水再次抽至水箱3中。

当温度传感器74检测至电炉11温度过高时会向气缸75发出电控信号，该电控制功能可通过简单现有电路实现，这时气缸75启动并带动上斜块76下移，上斜块76会没入箱体1的水中，这时箱体1中水位上涨，使得水位与叶片73接触，这时风扇组4旋转会带动减速齿轮组71旋转，减速齿轮组71会带动旋转杆72旋转，旋转杆72会较慢的旋转并带动叶片73旋转，叶片73会将箱体1中水带动卷起，这时风扇组4会对卷起的水进行散热，使得水与空气的接触面积增加，进而提升水的散热效果，使得水泵14可以将完全散热的水抽入冷却管13中并对装置进行散热。

实施例二

请参阅图6-7，基于实施例一的基础上，本实施例中，箱体1的内壁设置有检测机构8，检测机构8包括有下斜块81、弹性板82、钢丝83和转盘84，下斜块81滑动连接在箱体1的内壁，弹性板82固定连接在下斜块81的前部，钢丝83固定连接在弹性板82的表面，转盘84固定连接在钢丝83远离弹性板82的一端；检测机构8还包括有螺纹杆85、滑块86、导柱87、浮板88和按压开关89，螺纹杆85螺纹连接在转盘84的内壁，滑块86转动连接在螺纹杆85的顶端，导柱87固定连接在箱体1的内壁，浮板88滑动连接在导柱87的表面，按压开关89安装在滑块86的底部，按压开关89设置有一个按压控制端，按压控制端朝向浮板88，且按压开关89与报警装置电性连接，报警装置与气缸75电性连接，在气缸75启动后，报警装置才会通电，在按压开关89的按压控制端被浮板88按下时，按压开关89断开并且报警装置不会报警，在按压开关89的按压控制端没有被浮板88按下时，按压开关89闭合并且使得报警装置通电并进行报警，当上斜块76下移时会与下斜块81接触，并通过斜面推动下斜块81移动，下斜块81会推动弹性板82形变拱起，弹性板82会拉动钢丝83移动，钢丝83会带动转盘84旋转，转盘84会通过螺纹带动被限位无法旋转的螺纹杆85下移，螺纹杆85会带动滑块86下移，滑块86会带动按压开关89下移，而箱体1不是密封设计，因此内部的水会有损耗，因此水位会慢慢下移，而浮板88也会慢慢下降，当每次气缸75启动后，滑块86下移，在浮板88由于水位下降较大距离导致按压开关89没有与浮板88接触按压时，报警装置会发出警报，即代表箱体1中水量过少需要进行水源的添加，防止箱体1中水量消耗后，影响后续的散热效果；钢丝83缠绕在转盘84的表面，螺纹杆85的表面与箱体1底部的内壁相互接触，滑块86的内壁与导柱87的表面滑动连接，弹性板82远离下斜块81的一侧与箱体1的内壁固定连接。

内壳6的内壁设置有固定机构9，固定机构9包括有夹板91、工件92、弹性伸缩板93、清理板94和电机95，夹板91转动连接在内壳6的内壁，工件92滑动连接在夹板91的内壁，弹性伸缩板93通过扭簧转动连接在夹板91的内壁，清理板94固定连接在夹板91的内壁，电机95固定连接在内壳6的表面，将待镀膜工件92插入夹板91中，当工件92越过弹性伸缩板93后，弹性伸缩板93会在扭簧作用下复位并对工件92进行弹性限位，拆卸时按下弹性伸缩板93使其缩入夹板91中，即可拆卸工件92，从而可以快速的对工件92进行安装和拆卸，在镀膜时，电机95会带动夹板91旋转，使得工件92可以被均匀的镀膜，可以防止膜层色泽不均的现象发生，同时工件92安装时会穿过两个清理板94之间，使得清理板94对工件92进行擦拭，防止工件92的表面存在指纹或者灰尘，进而影响后续的镀膜效果；工件92的前部与弹性伸缩板93的后部相互接触，电机95的输出端与夹板91的后部固定连接；

工作原理，当上斜块76下移时会与下斜块81接触，并通过斜面推动下斜块81移动，下斜块81会推动弹性板82形变拱起，弹性板82会拉动钢丝83移动，钢丝83会带动转盘84旋转，转盘84会通过螺纹带动被限位无法旋转的螺纹杆85下移，螺纹杆85会带动滑块86下移，滑块86会带动按压开关89下移，而箱体1不是密封设计，因此内部的水会有损耗，因此水位会慢慢下移，而浮板88也会慢慢下降，当每次气缸75启动后，滑块86下移，在浮板88由于水位下降较大距离导致按压开关89没有与浮板88接触按压时，报警装置会发出警报，即代表箱体1中水量过少需要进行水源的添加，防止箱体1中水量消耗后，影响后续的散热效果。

将待镀膜工件92插入夹板91中，当工件92越过弹性伸缩板93后，弹性伸缩板93会在扭簧作用下复位并对工件92进行弹性限位，拆卸时按下弹性伸缩板93使其缩入夹板91中，即可拆卸工件92，从而可以快速的对工件92进行安装和拆卸，在镀膜时，电机95会带动夹板91旋转，使得工件92可以被均匀的镀膜，可以防止膜层色泽不均的现象发生，同时工件92安装时会穿过两个清理板94之间，使得清理板94对工件92进行擦拭，防止工件92的表面存在指纹或者灰尘，进而影响后续的镀膜效果。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，包括箱体（1），其特征在于：还包括有水冷机构和加工机构；

所述加工机构包括有外壳（2）、外门（5）、内壳（6）、内门（10）、电炉（11）和连接板（12），所述外壳（2）固定连接在箱体（1）的顶部，所述外门（5）滑动连接在外壳（2）的内壁，所述内壳（6）固定连接在箱体（1）的顶部，所述内门（10）滑动连接在内壳（6）的内壁，所述电炉（11）安装在箱体（1）的顶部，所述连接板（12）固定连接在外门（5）的后部；

所述水冷机构包括有水箱（3）、风扇组（4）、冷却管（13）和水泵（14），所述水箱（3）安装在外壳（2）的顶部，所述风扇组（4）安装在箱体（1）的两侧，所述冷却管（13）固定连接在箱体（1）顶部的内壁，所述水泵（14）安装在水箱（3）的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述内壳（6）位于外壳（2）的内部，所述电炉（11）位于内壳（6）的内部，所述连接板（12）的后部与内门（10）的前部固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述外门（5）和内门（10）的表面与箱体（1）顶部的内壁滑动连接，所述冷却管（13）的表面与外壳（2）的内壁相互接触，所述水泵（14）与冷却管（13）相互连通。

4.根据权利要求3所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述箱体（1）的内部设置有散热机构（7），所述散热机构（7）包括有减速齿轮组（71）、旋转杆（72）、叶片（73）、温度传感器（74）、气缸（75）、上斜块（76）和挡板（77），所述减速齿轮组（71）安装在箱体（1）的内壁，所述旋转杆（72）固定连接在减速齿轮组（71）的轴心处，所述叶片（73）固定连接在旋转杆（72）的表面，所述温度传感器（74）固定连接在箱体（1）的内壁，所述气缸（75）固定连接在箱体（1）的内壁，所述上斜块（76）固定连接在气缸（75）的输出端，所述挡板（77）固定连接在箱体（1）的内壁。

5.根据权利要求4所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述减速齿轮组（71）远离旋转杆（72）的轴心处与风扇组（4）的轴心处固定连接，所述温度传感器（74）与气缸（75）之间电性连接。

6.根据权利要求5所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述箱体（1）的内壁设置有检测机构（8），所述检测机构（8）包括有下斜块（81）、弹性板（82）、钢丝（83）和转盘（84），所述下斜块（81）滑动连接在箱体（1）的内壁，所述弹性板（82）固定连接在下斜块（81）的前部，所述钢丝（83）固定连接在弹性板（82）的表面，所述转盘（84）固定连接在钢丝（83）远离弹性板（82）的一端。根据权利要求6所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述检测机构（8）还包括有螺纹杆（85）、滑块（86）、导柱（87）、浮板（88）和按压开关（89），所述螺纹杆（85）螺纹连接在转盘（84）的内壁，所述滑块（86）转动连接在螺纹杆（85）的顶端，所述导柱（87）固定连接在箱体（1）的内壁，所述浮板（88）滑动连接在导柱（87）的表面，所述按压开关（89）安装在滑块（86）的底部。

7.根据权利要求7所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述钢丝（83）缠绕在转盘（84）的表面，所述螺纹杆（85）的表面与箱体（1）底部的内壁相互接触，所述滑块（86）的内壁与导柱（87）的表面滑动连接，所述弹性板（82）远离下斜块（81）的一侧与箱体（1）的内壁固定连接。

8.根据权利要求8所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述内壳（6）的内壁设置有固定机构（9），所述固定机构（9）包括有夹板（91）、工件（92）、弹性伸缩板（93）、清理板（94）和电机（95），所述夹板（91）转动连接在内壳（6）的内壁，所述工件（92）滑动连接在夹板（91）的内壁，所述弹性伸缩板（93）通过扭簧转动连接在夹板（91）的内壁，所述清理板（94）固定连接在夹板（91）的内壁，所述电机（95）固定连接在内壳（6）的表面。

9.根据权利要求9所述的一种用于磁控溅射镀膜机的恒温加热装置，其特征在于：所述工件（92）的前部与弹性伸缩板（93）的后部相互接触，所述电机（95）的输出端与夹板（91）的后部固定连接。