CN117270223A - 光学模组及光学扫描系统、光学扫描方法 - Google Patents
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Abstract
一种光学模组及光学扫描系统、光学扫描方法,涉及光学技术领域。该光学模组包括光源、设于光源出光侧的阵列透镜,以及设于阵列透镜出光侧的至少一个凹面反射镜;凹面反射镜的凹面与阵列透镜呈夹角设置,且阵列透镜和凹面反射镜之间的距离小于凹面反射镜的焦距;光源出射的光束经阵列透镜进行微分叠加后发散,凹面反射镜对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。该光学模组能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
Description
技术领域
本发明涉及光学技术领域,具体而言,涉及一种光学模组及光学扫描系统、光学扫描方法。
背景技术
随着激光技术的发展,激光越来越广泛的应用于人们的生产生活中。激光以其较好的单向性和穿透性,已较为成熟的应用于激光雷达等相关工作领域,足够能量强度的激光能够进行准确高精度的切割、刻蚀或其他激光加工。在医学上,激光也已经广泛应用于治疗和保健理疗中,其中,一定波长范围和能量强度的激光束作用于人体皮肤,能够具有祛斑、脱毛、紧致、嫩肤等美容作用。
在激光光斑的应用中,需要将半导体激光器发射的原始高斯分布转化成均匀的平顶分布,目前常用的方法是采用阵列透镜和凸透镜的组合以实现均匀光斑,而当需要进行扫描时,则需要在阵列透镜和凸透镜的基础上再额外增加反射镜,这就使得光学模组的整体体积增大,不利于系统小型化的市场需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光学模组及光学扫描系统、光学扫描方法,该光学模组及光学扫描系统能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
本发明的实施例是这样实现的:
本发明的一方面,提供一种光学模组,该光学模组包括光源、设于光源出光侧的阵列透镜,以及设于阵列透镜出光侧的至少一个凹面反射镜;凹面反射镜的凹面与阵列透镜呈夹角设置,且阵列透镜和凹面反射镜之间的距离小于凹面反射镜的焦距;光源出射的光束经阵列透镜进行微分叠加后发散,凹面反射镜对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。该光学模组能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
可选地,凹面反射镜的凹面为柱球面、柱椭球面、柱抛物面、球面和自由曲面中的任意一种。
可选地,在接收面得到的均匀光斑的尺寸满足以下公式:
D=P×(F÷f)
其中,D为均匀光斑的尺寸,F为凹面反射镜的焦距,f为阵列透镜的微单元的焦距,P为阵列透镜的微单元的口径大小。
可选地,光学模组还包括非球面透镜和第一反射镜;非球面透镜位于光源和阵列透镜之间,第一反射镜位于阵列透镜的出光侧;非球面透镜用于对光束进行压缩,第一反射镜用于将光束反射至接收面。
可选地,第一反射镜位于阵列透镜和凹面反射镜之间。
可选地,凹面反射镜作为扫描镜,用于将第一反射镜反射的光束扫描并反射至接收面。
可选地,第一反射镜作为扫描镜,用于将阵列透镜出射的光束扫描并反射至凹面反射镜。
可选地,第一反射镜的反射面为凹面;或者,第一反射镜的反射面为平面。
可选地,凹面反射镜位于阵列透镜和第一反射镜之间。
可选地,凹面反射镜作为扫描镜,用于将阵列透镜出射的光束扫描并反射至第一反射镜。
可选地,第一反射镜作为扫描镜,用于将凹面反射镜反射的光束扫描并反射至接收面。
可选地,第一反射镜的反射面为凹面;或者,第一反射镜的反射面为平面。
可选地,阵列透镜为慢轴阵列透镜,慢轴阵列透镜用于对光束在慢轴方向上进行微分叠加后发散出射;凹面反射镜为慢轴凹面反射镜,慢轴凹面反射镜用于对光束在慢轴方向上进行反射并收敛出射;非球面透镜为快轴非球面透镜,快轴非球面透镜用于对光束在快轴方向上进行压缩,以使光束在接收面处快轴方向上转换为平顶光束。该结构形式下,能够使得光束在快轴方向上压缩的很窄,从而使得在接收面能够得到线光斑。
可选地,阵列透镜为快轴阵列透镜,快轴阵列透镜用于对光束在快轴方向上进行微分叠加后发散出射;凹面反射镜为快轴凹面反射镜,快轴凹面反射镜用于对光束在快轴方向上进行反射并收敛出射;非球面透镜为慢轴非球面透镜,慢轴非球面透镜用于对光束在慢轴方向上进行压缩,以使光束在接收面处慢轴方向上转换为平顶光束。
本发明的另一方面,提供一种光学扫描系统,该光学扫描系统包括上述的光学模组。
本发明的又一方面,提供一种光学扫描方法,该光学扫描方法包括:驱动件驱动扫描镜按照预设角度转动;光源出射的光束经阵列透镜进行微分叠加后发散入射扫描镜和反射镜,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑;扫描镜和反射镜中的至少一个为凹面反射镜,凹面反射镜用于对光束进行收敛并反射输出。
本发明的有益效果包括:
本申请提供的光学模组包括光源、设于光源出光侧的阵列透镜,以及设于阵列透镜出光侧的至少一个凹面反射镜;凹面反射镜的凹面与阵列透镜呈夹角设置,且阵列透镜和凹面反射镜之间的距离小于凹面反射镜的焦距;光源出射的光束经阵列透镜进行微分叠加后发散,凹面反射镜对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。一方面,本申请通过设置阵列透镜,如此,能够使得光束进行微分叠加后发散出射,从而能够利于光束的匀化,通过设置凹面反射镜,这样,能够使得自阵列透镜出射的光束能够被反射后收敛输出,如此,能够在接受面得到均匀分布的平顶光斑。另一方面,相对于现有技术在实现光束匀化时采用阵列透镜和凸透镜的组合,而当需要扫描时还需要在阵列透镜和凸透镜的基础上再增加一个反射镜而言,本申请通过在阵列透镜的出光侧直接设置凹面反射镜,这样,当需要进行扫描时本申请的光学模组相对现有技术的光学模组而言能够省去一个光学透镜,有利于光学模组的体积小型化。即,本申请提供的光学模组能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本发明的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的第一种光学模组在第一视角下的结构示意图;
图2为本发明实施例提供的第一种光学模组在第二视角下的结构示意图;
图3为本发明实施例提供的第二种光学模组在第一视角下的结构示意图;
图4为本发明实施例提供的第二种光学模组在第二视角下的结构示意图;
图5为本发明实施例提供的第三种光学模组在第一视角下的结构示意图;
图6为本发明实施例提供的第三种光学模组在第二视角下的结构示意图;
图7为本发明实施例提供的第四种光学模组在第一视角下的结构示意图;
图8为本发明实施例提供的第四种光学模组在第二视角下的结构示意图。
图标:10-光源;20-阵列透镜;30-凹面反射镜;40-非球面透镜;50-第一反射镜。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围,而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外,术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂,而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平,并不是表示该结构一定要完全水平,而是可以稍微倾斜。
在本发明的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参照图1,本实施例提供一种光学模组,该光学模组包括光源10、设于光源10出光侧的阵列透镜20,以及设于阵列透镜20出光侧的至少一个凹面反射镜30;凹面反射镜30的凹面与阵列透镜20呈夹角设置,且阵列透镜20和凹面反射镜30之间的距离小于凹面反射镜30的焦距;光源10出射的光束经阵列透镜20进行微分叠加后发散,凹面反射镜30对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。该光学模组能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
需要说明的是,本申请提供的光学模组包括光源10、阵列透镜20和凹面反射镜30。其中,阵列透镜20位于光源10的出光侧,凹面反射镜30位于阵列透镜20的出光侧。
其中,光源10用于发出光束。其中,该光源10可以为点光源10或者阵列光源10,本申请对此不做限制。
阵列透镜20位于光源10的出光侧,且位于凹面反射镜30的入光侧。该阵列透镜20用于对光束仅为微分叠加聚焦后再发散,经过叠加的光束能够入射至凹面反射镜30。
需要说明的是,该阵列透镜20包括多个阵列排布的微单元,光束入射至该阵列透镜20后,多个微单元共同作用能够使得光束进行微分聚焦后发散。具体地,本申请对该微单元的数量和面型不做具体限制,本领域技术人员可以根据实际需求自行设置。本申请通过阵列透镜20的设置能够使得光束进行匀化,从而能够在接收面能够得到均匀光斑。
凹面反射镜30位于阵列透镜20的出光侧,该凹面反射镜30的凹面朝向阵列透镜20。本申请设置的凹面反射镜30用于反射光束并使得光束收敛输出。即凹面反射镜30能够将阵列透镜20出射的光束反射后,使得光束汇聚后输出。
可选地,上述凹面反射镜30的凹面可以为柱球面、柱椭球面、柱抛物面、球面和自由曲面中的任意一种。本申请对该凹面反射镜30的凹面面型不做具体限制,本领域技术人员可以根据实际情况从上述面型中选择任意一种。
还有,在本实施例中,阵列透镜20和凹面反射镜30之间的距离小于凹面反射镜30的焦距。简言之,阵列透镜20位于凹面反射镜30的焦距内侧。
在本实施例中,如图1和图2所示,阵列透镜20和凹面反射镜30的凹面是呈夹角设置的,这样,利于通过凹面反射镜30将阵列透镜20出射的光束收敛反射,进而入射至接收面。
本申请提供的上述光学模组其光路图如图1所示,光源10出射的光束经阵列透镜20进行微分叠加后发散,以使光束入射至凹面反射镜30。这时,凹面反射镜30能够对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。
综上所述,本申请提供的光学模组包括光源10、设于光源10出光侧的阵列透镜20,以及设于阵列透镜20出光侧的至少一个凹面反射镜30;凹面反射镜30的凹面与阵列透镜20呈夹角设置,且阵列透镜20和凹面反射镜30之间的距离小于凹面反射镜30的焦距;光源10出射的光束经阵列透镜20进行微分叠加后发散,凹面反射镜30对光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。一方面,本申请通过设置阵列透镜20,如此,能够使得光束进行微分叠加后发散出射,从而能够利于光束的匀化,通过设置凹面反射镜30,这样,能够使得自阵列透镜20出射的光束能够被收敛后反射输出,如此,能够在接受面得到均匀分布的平顶光斑。另一方面,相对于现有技术在实现光束匀化时采用阵列透镜20和凸透镜的组合,而当需要扫描时还需要在阵列透镜20和凸透镜的基础上再增加一个反射镜而言,本申请通过在阵列透镜20的出光侧直接设置凹面反射镜30,这样,当需要进行扫描时本申请的光学模组相对现有技术的光学模组而言能够省去一个光学透镜,有利于光学模组的体积小型化。即,本申请提供的光学模组能够输出均匀光斑的同时,缩小光学模组的体积。
在本实施例中,在接收面得到的均匀光斑的尺寸满足以下公式:
D=P×(F÷f)
在上述公式中,D为均匀光斑的尺寸,F为凹面反射镜30的焦距,f为阵列透镜20的微单元的焦距,P为阵列透镜20的微单元的口径大小。
需要说明的是,当需要特定大小的光斑尺寸时,本领域技术人员可以根据上述公式对本申请提供的光学模组的凹面反射镜30和/或阵列透镜20的各项光学参数进行调整。
请参照图1至图8,可选地,光学模组还包括非球面透镜40和第一反射镜50;非球面透镜40位于光源10和阵列透镜20之间,第一反射镜50位于阵列透镜20的出光侧;非球面透镜40用于对光束进行压缩,第一反射镜50用于将光束反射至接收面。
需要说明的是,上述非球面透镜40位于光源10和阵列透镜20之间,该非球面透镜40用于对光束进行压缩。
示例性地,该非球面透镜40可以为平凸透镜,其中,平面可以朝向光源10,凸面可以朝向阵列透镜20,如图1和图2所示。
上述第一反射镜50位于阵列透镜20的出光侧。示例性地,该第一反射镜50可以位于阵列透镜20的出光侧且位于凹面反射镜30的入光侧;或者,该第一反射镜50也可以位于凹面反射镜30的出光侧。本申请对第一反射镜50的具体位置不做限制,只要其位于阵列透镜20的出光侧即可。
在第一种情况下,即第一反射镜50可以位于阵列透镜20的出光侧且位于凹面反射镜30的入光侧。这时,第一反射镜50位于阵列透镜20和凹面反射镜30之间,如图3、图4、图7和图8所示。第一反射镜50和凹面反射镜30又包括以下三种形式:
第一种形式:如图7和图8所示,凹面反射镜30作为扫描镜,用于将第一反射镜50反射的光束扫描并反射至接收面。
即,光源10出射的光束经非球面透镜40进行压缩;然后入射至阵列透镜20,阵列透镜20对光束进行微分叠加后发散,以使光束入射至第一反射镜50,第一反射镜50将光束反射至凹面反射镜30,凹面反射镜30对光束进行扫描收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。
需要说明的是,在上述第一种形式中,第一反射镜50的反射面可以为凹面,也可以为平面。
第二种形式:如图3和图4,第一反射镜50作为扫描镜,用于将阵列透镜20出射的光束扫描并反射至凹面反射镜30。
即,光源10出射的光束经非球面透镜40进行压缩;然后入射至阵列透镜20,阵列透镜20对光束进行微分叠加后发散,以使光束入射至第一反射镜50,第一反射镜50将光束扫描反射至凹面反射镜30,在凹面反射镜30的收敛和反射的作用下入射至接收面,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。
需要说明的是,在该第二种形式中,第一反射镜50的反射面可以为凹面,也可以为平面。
需要说明的是,第二种形式相对第一种形式而言,扫描镜的选用方式正好互换。需要注意的,当第一反射镜50和凹面反射镜30的设置位置采用第二种形式时,相比采用第一种形式而言,第二种形式的设置能够使得凹面反射镜30的体积相对较大。
第三种形式:第一反射镜50的反射面为凹面,如图7和图8所示;或者,第一反射镜50的反射面为平面。
在第二种情况下,即第一反射镜50也可以位于凹面反射镜30的出光侧。这时,凹面反射镜30位于阵列透镜20和第一反射镜50之间,如图1、图2、图5和图6所示。第一反射镜50和凹面反射镜30同样包括以下三种形式:
第一种形式:如图5和图6所示,凹面反射镜30作为扫描镜,用于将阵列透镜20出射的光束扫描并反射至第一反射镜50。
第二种形式:如图1和图2所示,第一反射镜50作为扫描镜,用于将凹面反射镜30反射的光束扫描并反射至接收面。
由于上述两种形式与第一种情况中的对应形式的原理相同,因此,此处对光路原理在此不再赘述。
与第一种情况相同,在第二种情况中,在第一种形式和第二种形式中,第一反射镜50的反射面可以为凹面,也可以为平面。
该第一种形式和第二种形式的区别在于,扫描镜的选用方式正好互换。需要注意的,当第一反射镜50和凹面反射镜30的设置位置采用第一种形式时,相比采用第二种形式而言,第一种形式的设置使得第一反射镜50的体积相对更大。
第三种形式:第一反射镜50的反射面为凹面,如图5和图6所示;或者,第一反射镜50的反射面为平面。
需要说明的是,在第一种实施方式中,可选地,阵列透镜20可以为慢轴阵列透镜20,慢轴阵列透镜20用于对光束在慢轴方向上进行微分叠加后发散出射;凹面反射镜30为慢轴凹面反射镜30,慢轴凹面反射镜30用于对光束在慢轴方向上进行反射并收敛出射;非球面透镜40为快轴非球面透镜40,快轴非球面透镜40用于对光束在快轴方向上进行压缩,以使光束在快轴方向上转换为平顶光束。
简言之,该情况下,非球面透镜40对光束在快轴上起作用(使光束在快轴方向上从高斯分布转为平顶分布),阵列透镜20和凹面反射镜30对光束在慢轴方向上起作用。
另外,可选地,在第二种实施方式中,上述阵列透镜20还可以为快轴阵列透镜20,快轴阵列透镜20用于对光束在快轴方向上进行微分叠加后发散出射;凹面反射镜30为快轴凹面反射镜30,快轴凹面反射镜30用于对光束在快轴方向上进行反射并收敛出射;非球面透镜40为慢轴非球面透镜40,慢轴非球面透镜40用于对光束在慢轴方向上进行压缩,以使光束在慢轴方向上转换为平顶光束。
简言之,第二种实施方式与第一种实施方式正好相反。该情况下,非球面透镜40对光束在慢轴上起作用(使光束在慢轴方向上从高斯分布转为平顶分布),阵列透镜20和凹面反射镜30对光束在快轴方向上起作用。
另外,需要说明的是,上述第二种实施方式相对第一种实施方式而言,能够使得光束在快轴方向上压缩的很窄,从而使得在接收面能够得到线光斑。
本发明的另一方面,提供一种光学扫描系统,该光学扫描系统包括上述的光学模组。由于该光学模组的具体结构及其技术效果均已在前文做了详细阐述,故本申请在此不再赘述。
本发明的又一方面,提供一种光学扫描方法,该光学扫描方法包括:驱动件驱动扫描镜按照预设角度转动;光源10出射的光束经阵列透镜20进行微分叠加后发散入射扫描镜和反射镜,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑;扫描镜和反射镜中的至少一个为凹面反射镜30,凹面反射镜30用于对光束进行收敛并反射输出。
需要说明的是,第一,上述驱动件可以为电机。驱动件驱动扫描镜的转动角度范围本申请不做限制,本领域技术人员可以根据实际需求自行确定。
第二,上述扫描镜和反射镜均位于阵列透镜20的出光侧,具体地,可以是扫描镜位于阵列透镜20和反射镜之间,也可以是反射镜位于阵列透镜20和扫描镜之间。
其中,阵列透镜20用于对光束进行微分叠加后发散出射。
第三,上述扫描镜和反射镜中的至少一个为凹面反射镜是指,扫描镜的扫描面和反射镜的反射面中的至少一个为凹面。当然,扫描镜的扫描面和反射镜的反射面可以只有一个为凹面,也可以都是凹面。
当扫描镜的扫描面和反射镜的反射面可以只有一个为凹面时,另一个则可以为平面。由于在前文的光学模组部分已经详细介绍了扫描镜和反射镜的面型、位置关系及有益效果等,该扫描方法所依赖的光学模组和前文一致,因此,此处不再对前文详述的内容赘述,相同的地方可以参考前文所述。
以上所述仅为本发明的可选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
Claims (15)
1.一种光学模组,其特征在于,包括光源、设于所述光源出光侧的阵列透镜,以及设于所述阵列透镜出光侧至少一个凹面反射镜;所述凹面反射镜的凹面与所述阵列透镜呈夹角设置,且所述阵列透镜和所述凹面反射镜之间的距离小于所述凹面反射镜的焦距;
所述光源出射的光束经所述阵列透镜进行微分叠加后发散,所述凹面反射镜对所述光束进行收敛并反射输出,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑。
2.根据权利要求1所述的光学模组,其特征在于,在接收面得到的所述均匀光斑的尺寸满足以下公式:
D=P×(F÷f)
其中,所述D为所述均匀光斑的尺寸,所述F为所述凹面反射镜的焦距,所述f为所述阵列透镜的微单元的焦距,所述P为所述阵列透镜的微单元的口径大小。
3.根据权利要求1所述的光学模组,其特征在于,所述光学模组还包括非球面透镜和第一反射镜;所述非球面透镜位于所述光源和所述阵列透镜之间,所述第一反射镜位于所述阵列透镜的出光侧;
所述非球面透镜用于对光束进行压缩,所述第一反射镜用于将光束反射至接收面。
4.根据权利要求3所述的光学模组,其特征在于,所述第一反射镜位于所述阵列透镜和所述凹面反射镜之间。
5.根据权利要求4所述的光学模组,其特征在于,所述凹面反射镜作为扫描镜,用于将所述第一反射镜反射的光束扫描并反射至所述接收面。
6.根据权利要求4所述的光学模组,其特征在于,所述第一反射镜作为扫描镜,用于将所述阵列透镜出射的光束扫描并反射至所述凹面反射镜。
7.根据权利要求5或6所述的光学模组,其特征在于,所述第一反射镜的反射面为凹面;或者,所述第一反射镜的反射面为平面。
8.根据权利要求3所述的光学模组,其特征在于,所述凹面反射镜位于所述阵列透镜和所述第一反射镜之间。
9.根据权利要求8所述的光学模组,其特征在于,所述凹面反射镜作为扫描镜,用于将所述阵列透镜出射的光束扫描并反射至所述第一反射镜。
10.根据权利要求8所述的光学模组,其特征在于,所述第一反射镜作为扫描镜,用于将所述凹面反射镜反射的光束扫描并反射至所述接收面。
11.根据权利要求9或10所述的光学模组,其特征在于,所述第一反射镜的反射面为凹面;或者,所述第一反射镜的反射面为平面。
12.根据权利要求3所述的光学模组,其特征在于,所述阵列透镜为慢轴阵列透镜,所述慢轴阵列透镜用于对光束在慢轴方向上进行微分叠加后发散出射;所述凹面反射镜为慢轴凹面反射镜,所述慢轴凹面反射镜用于对光束在慢轴方向上进行反射并收敛出射;所述非球面透镜为快轴非球面透镜,所述快轴非球面透镜用于对光束在快轴方向上进行压缩,以使所述光束在接收面处快轴方向上转换为平顶光束。
13.根据权利要求3所述的光学模组,其特征在于,所述阵列透镜为快轴阵列透镜,所述快轴阵列透镜用于对光束在快轴方向上进行微分叠加后发散出射;所述凹面反射镜为快轴凹面反射镜,所述快轴凹面反射镜用于对光束在快轴方向上进行反射并收敛出射;所述非球面透镜为慢轴非球面透镜,所述慢轴非球面透镜用于对光束在慢轴方向上进行压缩,以使所述光束在接收面处慢轴方向上转换为平顶光束。
14.一种光学扫描系统,其特征在于,包括权利要求1至13中任意一项所述的光学模组。
15.一种光学扫描方法,其特征在于,包括:
驱动件驱动扫描镜按照预设角度转动;光源出射的光束经阵列透镜进行微分叠加后发散入射所述扫描镜和反射镜,以在接收面得到呈平顶分布的均匀光斑;
所述扫描镜和所述反射镜中的至少一个为凹面反射镜,所述凹面反射镜用于对光束进行收敛并反射输出。
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