CN117262728A - 搬送装置和位置信息的存储方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供搬送装置和位置信息的存储方法，能够容易地将搬送位置存储于存储部。搬送装置具有：保持部(6)，其保持被加工物(晶片(90))；移动机构(2)，其使该保持部移动；以及控制部(3)，其控制该移动机构。移动机构具有向伺服电动机(211)提供电力并且读取编码器(212)的数值的控制器(213)。在编码器与控制器连接的状态下切断伺服电动机与控制器的连接，并且，控制部具有：第1存储部(31)，通过作业者使保持部沿水平方向移动到第1场所(181)的正上方或者正下方的第1位置，其存储编码器的值；以及第2存储部(32)，通过作业者使保持部沿水平方向移动到第2场所(182)的正上方或者正下方的第2位置，其存储编码器的值。

Description

搬送装置和位置信息的存储方法

技术领域

本发明涉及将被加工物从第1场所搬送到第2场所的搬送装置、以及在该搬送装置中存储对被加工物进行保持的保持部的位置信息的位置信息的存储方法。

背景技术

加工装置具有搬送晶片的机器人、搬送片材的片材搬送机构那样的多个搬送装置(例如，参照专利文献1)。这样的搬送装置具有对晶片、片材等被加工物进行保持的保持部、使该保持部移动的移动机构以及对该移动机构进行控制的控制部，将被加工物从第1场所搬送到第2场所。

控制部按照将保持部所保持的被加工物从第1场所搬送到第2场所的方式对移动机构进行控制。由此，保持部如下所述那样进行动作。例如，保持部从原点位置沿水平方向移动并在第1场所的正上方的第1位置停止，接着，从第1位置下降而对载置于第1场所的被加工物进行保持。接着，保持部上升并在第1位置停止。接着，保持部沿水平方向移动并在第2场所的正上方的第2位置停止。接着，保持部从第2位置下降而将所保持的被加工物载置于第2场所。接着，保持部上升到第2位置。然后，保持部从第2位置沿水平方向移动并返回到原点位置。另外，如上所述，保持部可以从第1位置或第2位置下降，也可以上升。

因此，控制部具有：第1存储部，其存储与第1场所对应的第1位置；以及第2存储部，其存储与第2场所对应的第2位置。另外，控制部还进行使被加工物保持于保持部的控制以及使被加工物离开保持部的控制。

这里，在制造并搬送调整加工装置时，需要存储搬送装置中的保持部的第1位置和第2位置。

以往，在将第1位置和第2位置存储于存储部时，利用配置于操作面板的箭头键使移动机构的电动机进行驱动而使保持部移动至第1位置，在保持部移动至第1位置时，将编码器读取的值、即从原点位置至第1位置的距离存储于存储部。然后，第2位置的存储也与第1位置的存储同样地进行。

专利文献1：日本特开2022-41495号公报

在如上述那样将第1位置和第2位置存储于存储部的情况下，在第1位置与第2位置相距较远时，一边对配置于操作面板的箭头键进行操作一边通过移动机构的电动机的驱动使保持部移动，因此花费时间，搬送调整作业的作业性较差。

另外，使保持部从第1位置移动到第2位置时的移动机构有时不使保持部直线地移动，而使保持部沿水平方向的Y轴方向直线移动、沿铅垂方向的Z轴方向移动、进而沿水平方向的与Y轴方向垂直的X轴方向直线移动。

这样，在使保持部在水平方向上沿多个方向移动而将被加工物从第1位置搬送到第2位置时，需要将中途的经由地也存储于存储部，特别花费大量的时间。

发明内容

本发明的目的在于，提供能够容易地将搬送位置存储于存储部的搬送装置和位置信息的存储方法。

在一个方式中，搬送装置将被加工物从第1场所搬送到第2场所，其中，该搬送装置具有：保持部，其对被加工物进行保持；移动机构，其使该保持部移动到相对于第1场所的第1位置和相对于该第2场所的第2位置；以及控制部，其对该移动机构进行控制，该移动机构具有：伺服电动机；编码器，其与该伺服电动机的旋转轴连结；以及控制器，其向该伺服电动机提供电力，并且读取该编码器的数值，在该编码器与该控制器连接的状态下切断该伺服电动机与该控制器的连接，并且，该控制部具有：第1存储部，其通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第1场所的正上方或者正下方的该第1位置，存储该编码器的值；以及第2存储部，其通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第2场所的正上方或者正下方的该第2位置，存储该编码器的值，在该第1存储部和该第2存储部存储各自的值之后，使该伺服电动机与该控制器连接，能够通过该保持部将被加工物从该第1场所搬送到该第2场所。

在另一方式中，在位置信息的存储方法中，在保持部对被加工物进行保持而利用使该保持部沿水平方向移动的移动机构使被加工物移动并从第1场所搬送到第2场所的搬送装置中，存储将保持部定位于该第1场所的正上方或者正下方的第1位置和该第2场所的正上方或者正下方的第2位置时的该保持部的位置信息，其中，该位置信息的存储方法包含如下的工序：切断工序，将向该移动机构的伺服电动机的电力提供切断；第1定位工序，通过作业者使该保持部沿水平方向移动，将该保持部定位于该第1位置；第1存储工序，在将该保持部定位于该第1位置的状态下，将该移动机构的编码器的值存储于第1存储部；第2定位工序，通过作业者使该保持部沿水平方向移动，将该保持部定位于该第2位置；以及第2存储工序，在将该保持部定位于该第2位置的状态下，将该移动机构的编码器的值存储于第2存储部。

根据上述方式，能够容易地将搬送位置存储于存储部。

附图说明

图1是示出一个实施方式的搬送装置的主视图。

图2A是用于对一个实施方式的搬送装置中的第1存储工序进行说明的说明图。

图2B是用于对一个实施方式的搬送装置中的第2存储工序进行说明的说明图。

图3A是用于对一个实施方式的搬送装置中的从第1场所向第2场所搬送被加工物进行说明的说明图(其一)。

图3B是用于对一个实施方式的搬送装置中的从第1场所向第2场所搬送被加工物进行说明的说明图(其二)。

图3C是用于对一个实施方式的搬送装置中的从第1场所向第2场所搬送被加工物进行说明的说明图(其三)。

图3D是用于对一个实施方式的搬送装置中的从第1场所向第2场所搬送被加工物进行说明的说明图(其四)。

图4是示出作为一个实施方式的搬送装置的应用例的保护部件形成装置的立体图。

标号说明

1：保护部件形成装置；100：壳体；104：盒收纳主体；1041、1042：盒载置台；1043、1044：盒；106：晶片检测部；1081：晶片搬送部；1082：X轴方向移动部；109：电动滑动件；11：片材提供部；12：片材；129：片材辊；14：载置台；15：把持部；16：水平移动机构；160：可动臂；181：第1场所；182：第2场所；19：操作面板；191：接通按钮；192：断开按钮；2：移动机构；21：水平移动机构；211：伺服电动机；212：编码器；213：控制器；214：滚珠丝杠；215：导轨；22：升降机构；221：伺服电动机；222：编码器；224：滚珠丝杠；225：导轨；3：控制部；31：第1存储部；32：第2存储部；33：接通控制部；34：断开控制部；4：机器人；40：机器人手；42：吸引垫；44：吸盘；46：保持架；47：升降部；48：水平移动部；50：晶片保持部；6：保持部；61：保持面；62：保持臂；70：暂放工作台；72：切割工作台；80：片材切断部；90：晶片；900：晶片的一面(下表面)；902：晶片的上表面；SW：开关；T：片材搬送机构。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一个实施方式的搬送装置和位置信息的存储方法进行了说明，之后对作为搬送装置和位置信息的存储方法的应用例的保护部件形成装置进行说明。

图1至图4的各图所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向处于相互垂直的关系。X轴方向和Y轴方向是水平的方向，Z轴方向是上下方向(垂直方向)。在各图中，将表示X轴方向的两箭头线中的标注有+X的字符的一侧设为右方，将标注有-X的字符的一侧设为左方。将表示Y轴方向的两箭头线中的标注有+Y或Y的字符的一侧设为前方，将标注有-Y的字符的一侧设为后方。将表示Z轴方向的两箭头线中的标注有+Z的字符的一侧设为上方，将标注有-Z的字符的一侧设为下方。

＜关于搬送装置和位置信息的存储方法＞

图1是示出一个实施方式的搬送装置的主视图。

图1所示的搬送装置具有保持部6、移动机构2以及控制部3，将作为被加工物的一例的晶片90从图2A等所示的第1场所181搬送到第2场所182。另外，第1场所181和第2场所182例如是载置被加工物(晶片90)的工作台的上表面等。

保持部6对晶片90进行保持。例如，保持部6具有保持面61和保持臂62。保持面61是例如吸附并保持晶片90的垫的下表面。保持臂62从对垫进行支承的支承部的中心向+Z方向在中途屈曲并向+X方向延伸，与后述的滚珠丝杠224连结，沿着滚珠丝杠224进行升降。另外，图1所示的保持部6位于作为原点高度(0)的上端。

移动机构2具有水平移动机构21和升降机构22。

水平移动机构21具有伺服电动机211、编码器212、控制器213、滚珠丝杠214以及导轨215。

编码器212与伺服电动机211的旋转轴连结。编码器212检测作为伺服电动机211的旋转位置的后述的升降机构22的X轴方向的位置。作为一例，编码器212具有设置有缝的圆盘以及检测作为该圆盘的旋转量的缝的数量的光传感器。

控制器213向伺服电动机211提供电力，并且读取编码器212的数值。开关SW配置在连接伺服电动机211和控制器213的布线上，将伺服电动机211和控制器213连接或切断。

滚珠丝杠214沿X轴方向延伸，通过伺服电动机211的驱动而进行旋转。通过滚珠丝杠214的旋转，与保持部6连结的升降机构22沿X轴方向水平移动。

导轨215与滚珠丝杠214平行地配置，对升降机构22沿X轴方向的水平移动进行引导。

升降机构22具有伺服电动机221、编码器222、滚珠丝杠224以及导轨225。另外，虽然未图示，但升降机构22与水平移动机构21的控制器213同样地具有向伺服电动机221提供电力并且读取编码器222的数值的控制器。

编码器222与伺服电动机221的旋转轴连结。编码器222检测作为伺服电动机221的旋转位置的保持部6的Z轴方向的位置。

滚珠丝杠224沿Z轴方向延伸，通过伺服电动机221的驱动而进行旋转。通过滚珠丝杠224的旋转，保持部6沿Z轴方向移动。

导轨225与滚珠丝杠224平行地配置，对保持部6沿Z轴方向的移动进行引导。

控制部3具有第1存储部31、第2存储部32、接通控制部33以及断开控制部34。例如，控制部3具有控制搬送装置的各部分的动作的作为运算处理装置发挥功能的处理器(例如CPU：Central Processing Unit(中央处理单元))、以及预先记录有规定的控制程序的作为只读半导体存储器的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、在处理器执行各种控制程序时根据需要用作作业用存储区域的作为能够随时写入读出的半导体存储器的RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)等存储器。例如，处理器读出并执行规定的程序，从而作为第1存储部31、第2存储部32、接通控制部33以及断开控制部34发挥功能，存储器与处理器一起作为第1存储部31和第2存储部32发挥功能。另外，例如，单一的存储器作为第1存储部31和第2存储部32发挥功能，但第1存储部31的存储器和第2存储部32的存储器也可以是独立的存储器。

接通控制部33将上述的开关SW接通，断开控制部34将上述的开关SW断开。

例如，接通控制部33可以基于用户按下操作面板19的接通按钮191的动作而将开关SW接通，断开控制部34可以基于用户按下操作面板19的断开按钮192的动作而将开关SW断开。

这里，对存储将保持部6如图2A所示定位于第1场所181的正上方的第1位置(升降机构22位于第1位置(1)时的保持部6的位置)和将保持部6如图2B所示定位于第2场所182的正上方的第2位置(升降机构22位于第2位置(2)时的保持部6的位置)时的保持部6的位置信息的位置信息的存储方法进行说明。该位置信息的存储方法例如可以在装置购买时等的搬送调整时进行。另外，在本实施方式中，对保持部6通过水平移动机构21与升降机构22一起水平移动的情况下的保持部6的位置信息的存储方法进行说明。

首先，作业者在编码器212与控制器213连接的状态下，按下操作面板19的断卡按钮192。基于该断开按钮192的按下，断开控制部34将开关SW断开而将伺服电动机211与控制器213的连接切断。由此，向伺服电动机211的电力提供被切断(切断工序)。

接着，作业者例如通过手动使滚珠丝杠214进行旋转，从而使位于图1所示的原点位置(0)的升降机构22如图2A所示那样向-X方向水平地移动，将保持部6定位于第1场所181的正上方的第1位置(升降机构22位于第1位置(1)时的保持部6的位置)(第1定位工序)。另外，保持部6的移动不限于由作业者手动进行的滚珠丝杠214的旋转，也可以通过作业者手动按压并移动保持部6或使保持部6升降的升降机构22、或者通过作业者的操作使保护部件形成装置1以外的外部装置(例如机器人)运转等来进行。另外，保持部6的第1位置位于第1场所181的正上方，但在保持部6的保持面61朝上配置而对被加工物(晶片90)的下表面进行保持的情况等下，保持部6的第1位置也可以是第1场所181的正下方。在该情况下，第1场所181不是上述的工作台的上表面，而例如成为利用下表面保持被加工物的例如吸附工作台的吸附面等。

在这样将保持部6定位于第1位置的状态下，例如，根据作业者按下操作面板19的未图示的存储按钮的动作，第1存储部31将升降机构22的编码器212的值(升降机构22的X轴方向的位置)存储于存储器(第1存储工序)。

接着，作业者例如手动使滚珠丝杠214进行旋转，从而使位于图2A所示的第1位置(1)的升降机构22如图2B所示那样向+X方向水平地移动，将保持部6定位于第2场所182的正上方的第2位置(升降机构22位于第2位置(2)时的保持部6的位置)(第2定位工序)。另外，保持部6的第2位置是第2场所182的正上方，但也可以与保持部6的第1位置同样地位于第2场所182的正下方。

在这样将保持部6定位于第2位置的状态下，例如，根据作业者按下操作面板19的未图示的存储按钮的动作，第2存储部32将升降机构22的编码器212的值(升降机构22的X轴方向的位置)存储于存储器(第2存储工序)。

之后，根据操作者按下操作面板19的接通按钮191的动作，接通控制部33将开关SW接通而使伺服电动机211与控制器213连接。另外，也可以根据第1存储部31和第2存储部32存储保持部6的第2位置的位置信息的情况，接通控制部33将开关SW接通。另外，控制部3也可以存储保持部6的第3、第4位置等3个以上的位置信息。

如上所述，在保持部6的第1位置和第2位置的位置信息的存储完成之后，控制部3控制移动机构2(水平移动机构21)，使升降机构22移动到第1位置(1)和第2位置(2)，由此能够使保持部6移动到第1位置和第2位置。

另外，在存储保持部6的第1位置时，例如，也可以不通过基于作业者的手动而通过控制部3对升降机构22的控制，如图3A所示，使保持部6移动到对第1场所181的晶片90进行保持的第1高度(1)，还存储其高度位置信息。

同样地，在存储保持部6的第2位置时，例如，也可以不通过基于作业者的手动而通过控制部3对升降机构22的控制，如图3D所示，使保持部6移动到对第2场所182的晶片90进行保持的第2高度(2)，还存储其高度位置信息。

在将第1场所181上的晶片90搬送到第2场所182上时，从如图1所示那样保持部6位于原点高度(0)且升降机构22位于原点位置(0)的状态开始，如图3A所示，控制部3控制水平移动机构21，使升降机构22向-X方向移动到第1位置(1)，使保持部6向-Z方向下降到第1高度(1)，利用保持部6对晶片90进行保持。

接着，如图3B所示，控制部3控制升降机构22，使保持部6向+Z方向上升至原点高度(0)。

接着，如图3C所示，控制部3控制水平移动机构21，使升降机构22向+X方向移动至第2位置(2)。

接着，如图3D所示，控制部3控制升降机构22，使保持部6向-Z方向下降至第2高度(2)，解除保持部6对晶片90的保持。

以上说明的本实施方式的搬送装置是将被加工物(例如晶片90)从第1场所181搬送到第2场所182的搬送装置，该搬送装置具有：保持部6，其对被加工物进行保持；移动机构2，其使保持部6移动到相对于第1场所181的第1位置和相对于第2场所182的第2位置；以及控制部3，其对该移动机构2进行控制。移动机构2具有：伺服电动机211；编码器212，其与该伺服电动机211的旋转轴连结；以及控制器213，其向伺服电动机211提供电力并且读取编码器212的数值。在编码器212与控制器213连接的状态下切断伺服电动机211与控制器213的连接，并且，控制部3具有：第1存储部31，通过作业者使保持部6沿水平方向移动并移动到第1场所181的正上方的第1位置，该第1存储部31存储编码器212的值；以及第2存储部32，通过作业者使保持部6沿水平方向移动并移动到第2场所182的正上方的第2位置，第2存储部32存储编码器212的值，在第1存储部31和第2存储部32存储了各自的值之后，使伺服电动机211与控制器213连接，能够通过保持部6将被加工物从第1场所181搬送到第2场所182。

另外，本实施方式的搬送装置具有开关SW，该开关SW配置于连接伺服电动机211与控制器213的配线上，将伺服电动机211与控制器213连接或切断，控制部3具有：断开控制部34，其将开关SW断开；以及接通控制部33，其在将编码器的值存储于第1存储部31和第2存储部32之后将开关SW接通。

在其他观点中，位置信息的存储方法是如下的位置信息的存储方法：在保持部6对被加工物(例如，晶片90)进行保持而利用使保持部6沿水平方向移动的移动机构2(水平移动机构21)使被加工物移动并从第1场所181搬送到第2场所182的搬送装置中，存储将保持部6定位于第1场所181的正上方的第1位置和第2场所182的正上方的第2位置时的保持部6的位置信息，其中，该位置信息的存储方法包含如下的工序：切断工序，将移动机构2向伺服电动机211的电力提供切断；第1定位工序，通过作业者使保持部6沿水平方向移动，将保持部6定位于第1位置；第1存储工序，在将该保持部6定位于第1位置的状态下，将移动机构2的编码器212的值存储于第1存储部31；第2定位工序，通过作业者使保持部6沿水平方向移动，将保持部6定位于第2位置；以及第2存储工序，在将保持部6定位于第2位置的状态下，将移动机构2的编码器212的值存储于第2存储部32。

在这些搬送装置和位置信息的存储方法中，能够在切断向伺服电动机211的电力提供的状态下例如通过作业者的手动使保持部6移动到第1位置和第2位置并存储这些位置信息。因此，例如与一边通过操作配置于操作面板19的箭头键使伺服电动机211驱动而使保持部6移动一边存储保持部6的位置信息的情况相比，能够简单地使保持部6移动并且存储位置信息。因此，能够缩短搬送调整的作业时间。因此，能够容易地将搬送位置存储于存储部(第1存储部31和第2存储部32的存储器)。

接着，作为上述的搬送装置的应用例，对保护部件形成装置1进行说明。

＜关于保护部件形成装置＞

虽然是一例，但在将上述的搬送装置应用于图4所示的保护部件形成装置1的情况下，例如可以作为后述的晶片搬送部1081、机器人4以及片材搬送机构T分别应用上述的搬送装置和上述的位置信息的存储方法。

在该情况下，如后所述，晶片搬送部1081、机器人4以及片材搬送机构T具有：保持部6，其对被加工物(例如晶片90或者片材12)进行保持；移动机构2，其使保持部6移动到相对于第1场所181的第1位置和相对于第2场所182的第2位置；以及控制部3，其对该移动机构2进行控制。

保护部件形成装置1是在晶片90的一面900(下表面)形成保护部件的装置的一例，保护部件形成装置1具有：壳体100，其形成加工室；装置基座101，其配设在壳体100内；柱102，其竖立设置在装置基座101上；支承基座103，其与装置基座101侧面相邻地配设；盒载置台1041，其与壳体100的后侧(+Y方向侧)连结且沿X轴方向排列；以及盒收纳主体104，其具有盒载置台1042。另外，可以在壳体100的外表面配置有图1所示的操作面板19。

在盒载置台1041上载置有将形成保护部件之前的晶片90收纳为多个搁板状的盒1043，在盒载置台1042上载置有将形成有保护部件之后的晶片90收纳为多个搁板状的盒1044。

俯视圆形的晶片90例如是从硅锭切出的切片晶片，但并不限定于此。

在柱102的+Y方向侧的背后连结有暂放工作台70和切割工作台72，该暂放工作台70临时放置从盒1043取出的晶片90，该切割工作台72位于比暂放工作台70靠下方的位置，用于将形成于晶片90一面900的保护部件的片材12沿着晶片90的外周切割成圆形。在暂放工作台70的上方配设有由照相机等构成的晶片检测部106，该照相机使用拍摄图像来检测载置于暂放工作台70且形成保护部件之前的晶片90的中心位置等。在切割工作台72上以能够旋转的方式配设有切割器75，该切割器75将形成于晶片90的保护部件的从晶片90的外周缘伸出的部分沿着晶片90的外周切断成圆形。

在盒收纳主体104与暂放工作台70之间配设有进行晶片90相对于盒1043、盒1044的搬出搬入的多关节机器人等晶片搬送部1081。晶片搬送部1081能够通过滚珠丝杠机构等X轴方向移动部1082在X轴方向上往复移动。晶片搬送部1081能够将形成保护部件之前的晶片90从盒1043搬出而搬入到暂放工作台70，并且将形成有保护部件的晶片90从切割工作台72搬出而搬入到盒1044。

这里，在将上述的搬送装置、即具有保持部6、移动机构2以及控制部3的搬送装置应用于晶片搬送部1081的情况下，只要使用X轴方向移动部1082来代替移动机构2(水平移动机构21)，使用控制X轴方向移动部1082的控制部来代替上述的控制部3即可。

在暂放工作台70上由晶片检测部106检测出中心位置等的晶片90被多关节的机器人4保持并搬送。

机器人4具有：U字形状的机器人手40，其在上表面具有吸引面；吸引垫42，其配置于机器人手40的正下方，从另一方的上表面902侧隔着片材12对在一面900上形成有保护部件的晶片90进行吸引保持；多个吸盘44，它们配置于吸引垫42，对片材12向形成有保护部件的晶片90的外侧伸出的部分进行吸引保持；保持架46，其配置机器人手40和吸引垫42；升降部47，其使保持架46在铅垂方向上移动；以及水平移动部48，其使保持架46在水平方向上移动。水平移动部48例如具有：长条板状的2个臂，它们以作为Z轴方向(铅垂方向)的旋转轴线为轴进行旋转；以及圆柱状的臂连结部，其将这些臂连结并沿Z轴方向延伸。

这里，在将上述的搬送装置、即具有保持部6、移动机构2以及控制部3的搬送装置应用于机器人4的情况下，只要使用机器人手40来代替保持部6、使用水平移动部48或后述的电动滑动件109来代替移动机构2(水平移动机构21)、使用对水平移动部48或后述的电动滑动件109进行控制的控制部来代替上述的控制部3即可。另外，水平移动部48和电动滑动件109与上述的水平移动机构21不同，不使机器人手40(保持部)仅在X轴方向上移动，只要是水平方向则移动方向是任意的。

切割工作台72具有形成为俯视圆形的吸引保持部720和配设于吸引保持部720的外侧且直径比晶片90的直径稍大的退避槽723。例如在吸引保持部720的中心形成有吸引孔7201，该吸引孔7201与未图示的吸引源连通。

在吸引保持部720的+Z方向上，对沿着退避槽723旋转的切割器75进行支承的工作台支承臂773向-X方向水平地延伸。

暂放工作台70形成为能够在Z轴方向上通过沿Z轴方向上下移动的机器人手40的U字状的开口中。

暂放工作台70例如以工作台支承臂773的上表面与吸引保持面成为同一平面的方式埋设于工作台支承臂773的前端侧。

在暂放工作台70的下表面连结有由主轴和电动机等构成的未图示的暂放工作台旋转部，暂放工作台70能够使所吸引保持的晶片90以轴向为Z轴方向的旋转轴线为轴进行旋转，能够使保持在晶片检测部106的下方的晶片90的外周缘等通过。

气缸支承臂770例如具有与工作台支承臂773相同的外形，能够沿Z轴方向通过上下移动的机器人手40的U字状的开口和上下移动的吸引垫42的开口。

在装置基座101上配设有片材提供部11和载置台14，该片材提供部11由旋转轴、电动机以及多根旋转辊等构成，该载置台14具有载置被滴下液状树脂的片材12的圆形的上表面140且由玻璃等透明部件构成。由多个辊等构成的片材提供部11能够从将由规定的树脂构成的片材12卷绕成辊状而形成的片材辊129朝向位于前方(+Y方向)的载置台14送出期望的长度的片材12。

装置基座101的上表面的中间位置成为在切断时载置从片材提供部11向+Y方向侧送出的片材12的暂放面1011，在该暂放面1011的接近片材提供部11的区域，在片材12的X轴方向上的宽度程度的整个长度上例如以2列沿X轴方向隔开等间隔地形成有多个片材吸引孔1013。该片材吸引孔1013与未图示的真空产生装置等吸引源连通。

保护部件形成装置1具有片材搬送机构T。该片材搬送机构T具有：把持部15，其把持片材12的外周端(+Y方向侧的外周端)；水平移动机构16，其使把持部15所把持的片材12按照沿与载置台14的上表面140平行的水平方向(+Y方向)引出的方式移动；以及液状树脂提供喷嘴179，其向载置于载置台14的片材12上提供液状树脂。

这里，在将上述搬送装置、即具有保持部6、移动机构2以及控制部3的搬送装置应用于片材搬送机构T的情况下，只要使用把持部15来代替保持部6、使用水平移动机构16来代替移动机构2(水平移动机构21)、使用控制水平移动机构16的控制部来代替上述的控制部3即可。另外，水平移动机构16与上述的水平移动机构21不同，使把持部15沿Y轴方向移动，但只要是水平方向则移动方向是任意的。

保护部件形成装置1例如具有对被把持部15把持并拉出的片材12的相对于前端(+Y方向侧)的后端侧(-Y方向侧)进行切断的片材切断部80。

片材切断部80例如配设在片材提供部11的前方附近。片材切断部80具有：未图示的切割器用退避槽，其形成于装置基座101的暂放面1011的2列的片材吸引孔1013之间，横穿片材12的宽度方向；以及切割器移动部802，其配置于切割器用退避槽的上方，能够使沿着切割器用退避槽的延伸方向在切割器用退避槽内行进的切割器801升降以及在X轴方向上移动。

水平移动机构16例如能够通过配设在支承基座103内的未图示的电动滑动件使可动臂160沿Y轴方向移动。

例如，在支承基座103的顶板上按照沿Y轴方向以规定的长度延伸的方式贯穿形成有能够使可动臂160在Y轴方向上移动的可动孔1033。而且，可动臂160例如在向+Z方向延伸而通过可动孔1033并从支承基座103向外部露出之后，向+Y方向侧以规定的长度水平地延伸，进而以横穿片材12的方式向+X方向水平地延伸。

在可动臂160的以横穿片材12的方式沿X轴方向延伸的部分的-Y方向侧的内侧面配置有把持部15。把持部15例如是在彼此能够沿Z轴方向接近和分离的一对把持板之间夹入作为把持对象的片材12的外周端的把持夹具。

此外，保护部件形成装置1具有：分配器171，其向液状树脂提供喷嘴179送出规定量的液状树脂；连接管170，其将液状树脂提供喷嘴179和分配器171连接；俯视圆形的载置台14，其载置例如面积比上表面140大的片材12(被切断的矩形状的片材12)，并被设置有吸引孔144的吸引罩143围绕；固化部149，其使液状树脂固化，在晶片90的一面900上形成由片材12和固化后的树脂构成的保护部件；扩张部51，其具有滚珠丝杠510、使该滚珠丝杠510旋转的电动机512、一对导轨511、升降保持架513等，利用作为晶片保持部50所保持的晶片90的下表面的一面900扩展提供到片材12的上表面的液状树脂；以及晶片保持部50，其具有下表面成为保持晶片90的保持面503的轮500和轮支承部502。

保护部件形成装置1具有对上述装置的各结构的动作进行控制的1个以上的控制部(例如，与图1所示的控制部3对应的分别控制晶片搬送部1081、机器人4以及片材搬送机构T的控制部)。

以下，对使用上述的保护部件形成装置1在晶片90上形成保护部件的情况下的保护部件形成装置1的动作进行说明。

首先，通过晶片搬送部1081从盒1043取出形成保护部件之前的晶片90，并搬送到暂放工作台70。然后，例如，在使暂放工作台70的吸引保持面的中心与晶片90的中心大致一致的状态下，利用暂放工作台70对晶片90进行吸引保持，晶片搬送部1081从晶片90分离。在该情况下，可以说作为上述的搬送装置发挥功能的晶片搬送部1081将晶片90从与上述的第1场所181对应的盒1043搬送到与上述的第2场所182对应的暂放工作台70。

暂放于暂放工作台70的晶片90的外周缘进入到晶片检测部106的照相机的拍摄区域，例如，照相机的焦点对准晶片90的上表面902，形成拍摄有晶片90的外周缘的拍摄图像。然后，暂放工作台70进行旋转，晶片90的外周部分相对于晶片检测部106的照相机的位置被改变。然后，利用照相机在多个部位(例如，在晶片90的周向上与先拍摄的部位分离的又两处)拍摄关于暂放工作台70所吸引保持的晶片90的同样的拍摄图像。即，进一步形成拍摄有晶片90的外周缘的第2、第3拍摄图像。然后，通过基于以往公知的拍摄图像中的晶片90的外周缘的3点的边缘坐标的几何学的运算处理，认定晶片90的中心。

另外，识别晶片90的中心相对于暂放工作台70的中心的偏移量和偏移方向，使暂放工作台70按照在该偏移方向上与X轴方向平行的方式进行旋转。

接着，利用机器人4将暂放工作台70上的晶片90搬送至晶片保持部50。在该情况下，可以说作为上述的搬送装置发挥功能的机器人4将晶片90从与上述的第1场所181对应的暂放工作台70搬送到与上述的第2场所182对应的晶片保持部50。

具体而言，通过升降部47使机器人手40与吸引垫42一起上下移动，将机器人手40定位于暂放工作台70上的晶片90的高度位置。

进而，机器人手40与吸引垫42一起旋转，机器人手40的U字状的开口与工作台支承臂773在X轴方向上正对。进而，通过水平移动部48使机器人手40向+X方向直线运动，使工作台支承臂773和暂放工作台70进入U字状的开口内。

然后，例如，在按照使机器人手40的中心与已经识别出的晶片90的中心大致一致的方式对机器人手40的水平面内的位置(X轴方向的位置)进行微调整之后(第1位置)，升降部47使机器人手40上升，使机器人手40的上表面(吸引面)与晶片90的朝向下方的一面900接触。由此，机器人手40对晶片90的朝向下方的一面900的从暂放工作台70伸出的区域进行吸引保持。另外，解除暂放工作台70对晶片90的吸引保持。

接着，吸引保持着晶片90的机器人手40例如向-X方向移动，将晶片90从暂放工作台70搬出。之后，机器人4通过电动滑动件109向-Y方向移动，进而使机器人手40向+X方向移动而移动到晶片保持部50的正下方(第2位置)，然后，使机器人手40上升，将晶片90交接到晶片保持部50。即，在使晶片保持部50的保持面503的中心与晶片90的中心大致一致的状态下，晶片保持部50利用保持面503对晶片90的上表面902进行吸引保持。接着，解除机器人手40对晶片90的一面900的吸引保持，使机器人手40下降并向-X方向移动而从晶片90的下方退避。

接着，在片材提供部11送出片材12的同时，把持部15向+Y方向移动而定位于片材切断位置P(第1位置)。另外，由片材提供部11进行的片材12的送出暂时停止。进而，通过把持部15在水平方向上向+Y方向拉出规定长度的带状的片材12被暂放在装置基座101的暂放面1011上，并且未图示的吸引源所产生的吸引力被传递到片材吸引孔1013，片材12的后端侧被吸引保持在暂放面1011上。在该阶段中，片材切断部80的切割器801在片材12的上方待机。

切割器801通过切割器移动部802被定位于-X方向侧的开始位置。即，将切割器801定位于从带状的片材12的一方的侧边侧露出的未图示的切割器用退避槽的一端的位置。进而，通过切割器移动部802使切割器801下降，直至切割器801的最下端到达未图示的切割器用退避槽内为止。进而，切割器801沿着切割器用退避槽的延伸方向向+X方向行进，通过切割器801将片材12切断。在切割器801将片材12沿宽度方向切断之后，切割器801向+Z方向上升而从成为矩形状的片材12退避。

接着，对被切割成矩形状的片材12的前端侧进行把持的把持部15向+Y方向进一步移动，通过晶片保持部50的下方而安装于由切割出的片材12覆盖载置台14的位置(第2位置)。其结果为，载置台14和吸引罩143被矩形的片材12覆盖，未图示的吸引源产生的吸引力传递到形成于吸引罩143的四角的吸引孔144和沿着载置台14的外周形成为环状的吸引槽，由此片材12在载置台14和吸引罩143上被吸引保持。另外，把持部15解除片材12的把持。这里，可以说作为上述的搬送装置发挥功能的片材搬送机构T将作为被加工物的一例的片材12从与上述的第1场所181对应的场所搬送到与上述的第2场所182对应的场所。

接着，通过水平移动机构16使配置于可动臂160的液状树脂提供喷嘴179在Y轴方向上移动，并定位于向载置于载置台14的片材12的中央提供液状树脂的位置。

接着，分配器171向液状树脂提供喷嘴179送出规定量的被温度管理为基准温度的液状树脂，液状树脂提供喷嘴179朝向载置台14上的片材12的上表面滴下液状树脂。然后，在规定量的液状树脂堆积在片材12上之后，停止向片材12提供液状树脂，液状树脂提供喷嘴179从片材12上退避。

接着，通过扩张部51使晶片保持部50下降，使作为晶片保持部50所吸引保持的晶片90的下表面的一面900与液状树脂接触。另外，优选在晶片90与片材12上的液状树脂接触之前，预先使液状树脂呈水滴状地稍微附着在晶片保持部50所保持的晶片90的下表面的中心。当晶片保持部50进一步下降时，被晶片90的一面900按压的液状树脂沿晶片90的径向扩张。其结果为，在晶片90的整个一面900上形成有液状树脂的膜。

在进行规定时间的晶片90对液状树脂的按压而在晶片90的整个一面900上形成有液状树脂的膜之后，固化部149朝向液状树脂的膜照射紫外线。其结果为，液状树脂的膜固化，在晶片90的一面900上形成有由矩形的片材12和树脂构成的保护部件。

在如上述那样形成保护部件之后，使晶片90连同由片材12和树脂构成的保护部件一起从载置台14分离。

接着，通过机器人4的吸引垫42将形成有保护部件之后的晶片90搬送至切割工作台72。具体而言，通过电动滑动件109使机器人4移动至载置台14的附近。进而，吸引垫42与机器人手40一起旋转，按照使吸引垫42的中心与载置台14上的晶片90的中心大致一致的方式将吸引垫42定位于晶片90的上方。

进而，通过升降部47使保持架46下降，伴随于此，吸引垫42与机器人手40一起下降，配置于吸引垫42的吸盘44与矩形的片材12向形成有保护部件的晶片90的外侧伸出的部分的例如四角接触。然后，吸引垫42从上表面902侧隔着片材12对形成有保护部件的晶片90进行吸引保持。

然后，例如在将吸引垫42的水平面内的位置微调整为被吸引垫42保持且中心被识别的晶片90的中心与切割工作台72的吸引保持部720的中心大致一致的位置(第2位置)之后，升降部47使吸引垫42下降，使经由固化的树脂而粘贴于晶片90的一面900的状态的矩形的片材12与吸引保持部720的上表面接触。然后，成为晶片90位于切割工作台72的退避槽723的内侧且矩形的片材12覆盖退避槽723的状态。

然后，通过使保持架46上升，使吸引垫42与机器人手40一起向+Z方向上升，从而能够利用切割器75切断片材12。例如，切割器75下降直至切割器75的最下端到达退避槽723为止。然后，切割器75以吸引保持部720的中心为旋转轴沿着退避槽723旋转，保护部件的具有从晶片90的外周伸出的部分的矩形的片材12沿着晶片90的外周被切断成圆形。

然后，通过晶片搬送部1081将形成有保护部件且片材12被切断为圆形的晶片90从切割工作台72(第1位置)搬出，并收纳于盒1044(第2位置)。

例如，在盒1044被形成有保护部件的晶片90装满之后，将盒1044搬送到未图示的磨削装置。然后，晶片90以使未形成保护部件的上表面902成为上侧的方式载置在未图示的磨削装置的卡盘工作台的保持面上，使旋转的磨削磨轮从晶片90的上方下降，一边使磨削磨具与晶片90的上表面902抵接一边进行磨削。之后，利用带剥离装置从晶片90剥离保护部件，接着，对被保护部件保护的晶片90的一面900进一步进行磨削，由此制造出两面成为平坦面的晶片90。

另外，作为保护部件形成装置1中的图1至图3D所示的搬送装置的应用例，并不限于晶片搬送部1081、机器人4以及片材搬送机构T，也可以是保护部件形成装置1的其他各部分或者保护部件形成装置1以外的装置。

另外，本发明的搬送装置和位置信息的存储方法并不限定于上述的实施方式，当然也可以在其技术思想的范围内以各种不同的方式实施。另外，附图所图示的搬送装置和保护部件形成装置的各结构的形状等也不限定于此，能够在可以发挥本发明的效果的范围内适当变更。

【产业上的可利用性】

如以上说明的那样，本发明的搬送装置和位置信息的存储方法能够容易地将搬送位置存储于存储部。因此，在对作为被加工物的晶片、片材进行加工的保护部件形成装置、对晶片进行磨削的磨削装置、对晶片进行切削的切削装置等装置的搬送调整中是特别有用的。

Claims (3)

1.一种搬送装置，其将被加工物从第1场所搬送到第2场所，其中，

该搬送装置具有：

保持部，其对被加工物进行保持；

移动机构，其使该保持部移动到相对于第1场所的第1位置和相对于该第2场所的第2位置；以及

控制部，其对该移动机构进行控制，

该移动机构具有：

伺服电动机；

编码器，其与该伺服电动机的旋转轴连结；以及

控制器，其向该伺服电动机提供电力，并且读取该编码器的数值，

在该编码器与该控制器连接的状态下切断该伺服电动机与该控制器的连接，并且，

该控制部具有：

第1存储部，通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第1场所的正上方或者正下方的该第1位置，该第1存储部存储该编码器的值；以及

第2存储部，通过作业者使该保持部沿水平方向移动而移动到该第2场所的正上方或者正下方的该第2位置，该第2存储部存储该编码器的值，

在该第1存储部和该第2存储部存储了各自的值之后，使该伺服电动机与该控制器连接，能够通过该保持部将被加工物从该第1场所搬送到该第2场所。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该搬送装置具有开关，该开关配置于连接该伺服电动机与该控制器的布线上，将该伺服电动机与该控制器连接或者切断，

该控制部具有：

断开控制部，其将该开关断开；以及

接通控制部，其在该第1存储部和该第2存储部进行了存储之后将该开关接通。

3.一种位置信息的存储方法，在保持部对被加工物进行保持而利用使该保持部沿水平方向移动的移动机构使被加工物移动并从第1场所搬送到第2场所的搬送装置中，存储将保持部定位于该第1场所的正上方或者正下方的第1位置和该第2场所的正上方或者正下方的第2位置时的该保持部的位置信息，其中，

该位置信息的存储方法包含如下的工序：

切断工序，将该移动机构向伺服电动机的电力提供切断；

第1定位工序，通过作业者使该保持部沿水平方向移动，将该保持部定位于该第1位置；

第1存储工序，在将该保持部定位于该第1位置的状态下，将该移动机构的编码器的值存储于第1存储部；

第2定位工序，通过作业者使该保持部沿水平方向移动，将该保持部定位于该第2位置；以及

第2存储工序，在将该保持部定位于该第2位置的状态下，将该移动机构的编码器的值存储于第2存储部。