CN117223392A - 显示装置及显示装置的制造方法 - Google Patents

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Abstract

作为对象层的空穴传输层(41)的一部分区域(71)形成在多个下部电极(3)与分隔壁(5)之间，以至少夹着倒锥形部(22)中的对象层的非形成部分和对象层比多个下部电极(3)上薄的区域中的至少一方的方式，具有第一部分(72)和第二部分(73)。

Description

显示装置及显示装置的制造方法
技术领域
本发明涉及显示装置及显示装置的制造方法。
背景技术
OLED(有机发光二极管)显示装置及QLED(量子点发光二极管)显示装置中，串扰可能成为问题。串扰是指多个子像素无意地电干扰。在该显示装置中，由于串扰而产生混色和效率降低等现象。
作为串扰的原因，可列举出载流子传输层将相互分开设置的多个电极电连接等。
在专利文献1中，通过将分隔壁的侧面形成为倒锥形，从而在分隔壁的侧面使包含有机物的层变薄，从而抑制串扰。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2019-91724号
发明内容
发明所要解决的问题
在专利文献1公开的技术中，需要在分隔壁的侧面形成电极，制造困难，其结果，存在难以抑制串扰的问题。
用于解决问题的方案
本发明的一方式所涉及的显示装置，具备：多个下部电极，彼此分开而设置；绝缘层，其至少一部分设置于所述多个下部电极的下方；分隔壁，其设置于所述多个下部电极之间；电致发光层，其与所述多个下部电极电连接，由包含发光层的多个层构成；以及上部电极，其设置于所述电致发光层的上方，在所述绝缘层中，在所述多个下部电极之间的下方形成有槽或孔即间隙，限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分具有倒锥形部，所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层，其一部分区域形成于所述多个下部电极与所述分隔壁之间，至少具有第一部分及第二部分，该第一部分及第二部分夹着所述倒锥形部中的所述对象层的非形成部分和所述对象层比所述多个下部电极上薄的区域中的至少一方。
本发明的一方式所涉及的显示装置的制造方法包含：第一工序，设置作为绝缘层的一部分的第一绝缘膜，所述绝缘层形成有槽或孔即间隙，并且，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分形成第一倒锥形部；第二工序，设置作为所述绝缘层的一部分的第二绝缘膜，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分形成正锥形部；第三工序，沿着所述正锥形部形成接触电极；第四工序，形成与所述接触电极电连接的第一下部电极和夹着所述间隙的至少一部分的上方与所述第一下部电极相邻的第二下部电极；第五工序，形成与所述第一下部电极和所述第二下部电极电连接的、由包括发光层的多个层构成的电致发光层中的至少一层，在所述第一倒锥形部的至少一部分以外，形成所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层；第六工序，以填埋所述间隙的方式，在所述第一下部电极和所述第二下部电极之间形成分隔壁。
发明效果
根据本发明的一个方式，能够抑制串扰。
附图说明
图1为本发明的第一实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图2为本发明的第一实施方式所设计的显示装置的绝缘层以及上部电极的概略构成的俯视图。
图3为本发明的第二实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图4为本发明的第三实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图5为本发明的第三实施方式所涉及的显示装置的绝缘层的概略构成的俯视图。
图6为本发明的第四实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图7为本发明的第五实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图8为本发明的第六实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图9为本发明的第六实施方式所涉及的显示装置的绝缘层及晶体管的概略构成的俯视图。
图10为本发明的第七实施方式所涉及的显示装置的概略构成的剖视图。
图11为本发明的第八实施方式所涉及的显示装置的制造方法中，第1工序至第3工序的剖视图。
图12为本发明的第八实施方式所涉及的显示装置的制造方法中，第4工序至第6工序的剖视图。
图13为本发明的第九实施方式所涉及的显示装置的制造方法中，第3.5工序的剖视图。
具体实施方式
以下说明用于实施本发明的方式。并且，为了便于说明，关于具有与之前说明的部件相同的功能的部件，有时标记相同的附图标记，不重复其说明。
第一实施方式
图1为本发明的第一实施方式所涉及的显示装置101的概略构成的剖视图。图2为本发明的第一实施方式所涉及的显示装置101的绝缘层2以及上部电极6的概略构成的俯视图。在本申请说明书中，将靠近基板1的一侧称为下，将远离基板1的一侧称为上。在本申请说明书中的上下也可以说是与各显示装置的剖视图中的上下对应。
图1所示的显示装置101具备基板1、绝缘层2、多个下部电极3、电致发光层4、分隔壁5以及上部电极6。
多个下部电极3彼此分开设置。例如，多个下部电极3设置为岛状或者多个线状。作为构成多个下部电极3的材料的一个例子，可列举出铝和ITO(IndiumTinOxide：氧化铟锡)中的至少一种。
绝缘层2的至少一部分设置于多个下部电极3的下方。绝缘层2例如包含氧化硅(SiOx)膜或者氮化硅(SiNx)膜或者它们的层叠膜、以及由聚酰亚胺、丙烯酸等能够涂布的有机材料构成的膜。
分隔壁5设置于多个下部电极3之间。分隔壁5设置为将多个下部电极3中相邻的两个下部电极3之间隔开。作为构成分隔壁5的材料的一个例子，可以例举聚酰亚胺、丙烯酸等有机材料。
电致发光层4与多个下部电极3电连接。电致发光层4由包含发光层42的多个层构成，例如包括空穴传输层41、发光层42和电子传输层43。
空穴传输层41是将来自多个下部电极3中的对应的任一下部电极3的空穴向发光层42传输的层。电子传输层43是将来自上部电极6的电子向发光层42传输的层。在发光层42中，通过多个下部电极3中的对应的任一下部电极3与上部电极6之间流过的电流而发光。作为发光层42的一个例子，可列举出OLED及QLED。
上部电极6设于电致发光层4的上方。上部电极6以越过分隔壁5的形态对多个下部电极3设置一个。作为构成上部电极6的材料的一个例子，可列举出ITO和IZO(Indium ZincOxide：氧化铟锌)。
绝缘层2在多个下部电极3之间的下方形成有槽或孔即间隙21。限定间隙21的绝缘层2的内壁的至少一部分具有倒锥形部22。倒锥形部是指对设置有倒锥形部的部件的端部进行限定的壁面以从对应的显示装置的上方朝向下方向该部件的内侧位移的方式倾斜的部分。基板1的上表面与该倒锥形部或其延长线所成的角度在该部件侧为钝角。
电致发光层4中的位于发光层42下方的至少一层即对象层具有下述构成。在显示装置101中，对象层是空穴传输层41。
对象层的一部分区域71形成于多个下部电极3和分隔壁5之间。在倒锥形部22的至少一部分上未形成对象层。对象层至少夹着倒锥形部22中的对象层的非形成部分而具有第一部分72及第二部分73。并且，第一部分72和第二部分73之间是从多个下部电极3中的彼此相邻的两个下部电极3中的一方的上方沿着限定间隙21的各种部件(在显示装置101中，是绝缘层2的内壁以及基板1的上表面)到达该另一方的上方的路径之间。
根据上述的构成，通过倒锥形部22，能够容易地提高多个下部电极3间的绝缘性，具体而言能够容易地提高第一部分72和第二部分73间的绝缘性。因此，可以抑制由多个下部电极3引起的串扰。根据上述的构成，不需要对倒锥形部22形成层，因此，显示装置101制造并不难。
并且，对象层也可以至少夹着倒锥形部22中的对象层比多个下部电极3上薄的区域而具有第一部分72和第二部分73。即，可以在第一部分72和第二部分73之间，代替倒锥形部22中的对象层的非形成部分，存在倒锥形部22中的对象层比多个下部电极3上薄的区域，也可以存在这两者。
在显示装置101中，分隔壁5中的位于比多个下部电极3靠上方的部分的至少一部分为正锥形部51。正锥形部是指对设置有正锥形部的部件的端部进行限定的壁面以从对应的显示装置的下方朝向上方该部件的内侧位移的方式倾斜的部分。基板1的上表面与该正锥形部或其延长线所成的角度在该部件侧为锐角。
显示装置101的制造方法的一个例子如下所示。首先，在基板1上形成具有倒锥形部22的绝缘层2之后，通过公知的工艺形成多个下部电极3和电致发光层4。接着，形成分隔壁5。接着，形成上部电极6。在利用该制造方法的一例制造的显示装置101中，残渣81存在于间隙21，残渣81包含构成多个下部电极3的材料、构成空穴传输层41的材料、构成发光层42的材料以及构成电子传输层43的材料。并且，残渣81、以及后述的残渣82及83如文字那样是所谓的剩余残渣，不包含在对象层中。
第一部分72和第二部分73优选相互不连续。具体而言，优选第一部分72和第二部分73不经由对象层的一部分相互连接。由此，能够进一步抑制由多个下部电极3引起的串扰。
发光层42的一部分位于多个下部电极3和分隔壁5之间。发光层42的一部分包括容易在发光层42中产生成膜状态的不均匀的部分，诸如发光层42的边缘以及发光层42中可能产生扭曲和/或厚度不均匀的部分。由此，能够利用分隔壁5覆盖发光层42中的容易产生成膜状况不均的部分而不让其对发光作出贡献，因此能够实现良好性能的显示装置101。
优选绝缘层2含有氟。由此，能够提高绝缘层2的疏液性，因此，能够抑制由于构成空穴传输层41的材料意外地附着于绝缘层2而引起的多个下部电极3的串扰。
构成第一部分72的材料与构成第二部分73的材料相同。由此，通过公知的工艺，能够一并形成第一部分72以及第二部分73。
根据图2，绝缘层2形成为条纹(多条条纹)状，在各条纹的相邻条纹侧的端部形成有倒锥形部22。上部电极6大致沿着各条纹的短边方向，以跨越多个条纹的方式形成。
〔第二实施方式〕
图3是表示本发明的第二实施方式的显示装置102的概略构成的剖视图。
显示装置102的构成中，与显示装置101的构成的不同之处如下。
在显示装置102中，电致发光层4所包括的多个层中的至少一层位于分隔壁5与上部电极6之间。在显示装置102中，发光层42及电子传输层43，以越过分隔壁5的方式，对多个下部电极3设置一个。在显示装置102中，从下起依次形成有分隔壁5、发光层42、电子传输层43以及上部电极6的层叠构造。由此，能够抑制上部电极6中电流流过的方向的、上部电极6中的电压下降，因此能够抑制IR降落(亮度不均)。
显示装置102的制造方法的一个例子如下所示。首先，在基板1上形成具有倒锥形部22的绝缘层2之后，通过公知的工艺形成多个下部电极3和空穴传输层41。接着，形成分隔壁5。接着，形成发光层42、电子传输层43以及上部电极6。通过该制造方法的一例制造的显示装置102中残渣82存在于间隙21，残渣82包含构成多个下部电极3的材料和构成空穴传输层41的材料。
〔第三实施方式〕
图4是表示本发明的第三实施方式的显示装置103的概略构成的剖视图。图5是表示本发明的第三实施方式的显示装置103的绝缘层2的概略构成的俯视图。
显示装置103的构成中，与显示装置101的构成的不同之处如下。
讨论作为多个下部电极3的任一个的第一下部电极31。显示装置103包括TFT(ThinFilm Transistor)(薄膜晶体管)9、接触电极10和金属布线11。TFT9通过接触电极10与第一下部电极31电连接。接触电极10沿着绝缘层2的倒锥形部22形成。
显示装置101为所谓的无源矩阵型，显示装置103为所谓的有源矩阵型。作为有源矩阵型的显示装置103具备与作为多个下部电极3中的任一个的第一下部电极31电连接的TFT9。由此，能够减小对构成显示装置103的各种部件的负荷，因此能够实现长寿命的显示装置103。
在显示装置103中，接触电极10例如能够通过斜方蒸镀(溅射)形成。
根据图5，绝缘层2形成为岛状，在各岛的端部形成有倒锥形部22。
〔第四实施方式〕
图6是表示本发明的第四实施方式的显示装置104的概略构成的剖视图。
显示装置104的构成中，与显示装置103的构成的不同之处如下。
在显示装置104中，在显示装置102所示的要点中，电致发光层4所包括的多个层中的至少一层位于分隔壁5与上部电极6之间。由此，能够抑制IR降落(亮度不均)。
〔第五实施方式〕
图7是表示本发明的第五实施方式的显示装置105的概略构成的剖视图。
显示装置105的构成中，与显示装置104的构成的不同之处如下。
在显示装置105中，电致发光层4所包含的多个层中的至少一层位于分隔壁5与上部电极6之间，在这一点上与显示装置104相同。
另一方面，在显示装置104中，以越过分隔壁5的方式，对多个下部电极3设置一个发光层42，但是，在显示装置105中，不以越过分隔壁5的方式，设置发光层42。在显示装置105中，发光层42的一部分位于多个下部电极3和分隔壁5之间。因此，能够将发光层42中的容易产生成膜不均匀的部分用分隔壁5覆盖而不让其对发光作出贡献，因此能够实现良好性能的显示装置105。
在显示装置105中，残渣83存在于间隙21，残渣83包含构成多个下部电极3的材料、构成空穴传输层41的材料以及构成发光层42的材料。
〔第六实施方式〕
图8是表示本发明的第六实施方式的显示装置106的概略构成的剖视图。图9是表示本发明的第六实施方式的显示装置106的绝缘层2及TFT9的概略构成的俯视图。
显示装置106的构成中，与显示装置105的构成的不同之处如下。
限定间隙21的绝缘层2的内壁的一部分具有正锥形部23。沿着正锥形部23，通过接触电极10电连接第一下部电极31和TFT9。由此，能够降低在形成于绝缘层2的接触电极10中产生中断的可能性，所以能够降低第一下部电极31与TFT9的电连接不良的可能性。
根据图9，绝缘层2形成为岛状，在各岛的端部形成有倒锥形部22。但是，在各岛的端部的TFT9的搭载部分及其附近，没有形成倒锥形部22，而是形成有正锥形部23。
〔第七实施方式〕
图10是表示本发明的第七实施方式的显示装置107的概略构成的剖视图。
显示装置107的构成中，与显示装置105的构成的不同之处如下。
在显示装置107中，在间隙21的外侧，通过埋入绝缘层2的接触电极10，将第一下部电极31和TFT9电连接。由此，能够减小间隙21的上端的尺寸，因此能够实现开口率高的显示装置107。
〔第八实施方式〕
图11是表示本发明的第八实施方式的显示装置的制造方法中第1工序至第3工序的剖视图。图12是表示本发明的第八实施方式的显示装置的制造方法中第4工序至第6工序的剖视图。
本实施方式的显示装置的制造方法包括第1工序至第6工序。
第1工序：在设有TFT9和金属布线11的基板1上，设置作为形成有槽或孔即间隙21的绝缘层2的一部分的第一绝缘膜24。在此，在限定间隙21的绝缘层2的内壁的至少一部分形成倒锥形部22。在第1工序中形成的倒锥形部22与第一倒锥形部对应。
第2工序：设置作为绝缘层2的一部分的第二绝缘膜25。在此，在限定间隙21的绝缘层2的内壁的一部分形成正锥形部23。
在第2工序中，从第一绝缘膜24的上方涂布负型的光致抗蚀剂26来填埋第一绝缘膜24，使用光掩模12覆盖倒锥形部22的上方，使光致抗蚀剂26曝光。接着，通过进行显影，利用光致抗蚀剂26形成正锥形部23，完成第二绝缘膜25。在本实施方式的显示装置中，第一绝缘膜24和第二绝缘膜25的组合与绝缘层2对应。
并且，在第2工序中形成的绝缘层2中，在正锥形部23形成有阶梯差231。优选通过增大涂布光致抗蚀剂26的厚度或通过半色调曝光使光致抗蚀剂26曝光，尽量减小或消除该阶梯差231。此外，也可以通过斜方曝光形成正锥形部23。为了便于说明，在第3工序以后，假设不具有阶梯差231来进行说明。
此外，作为光致抗蚀剂26，也可以使用正型光致抗蚀剂来代替负型光致抗蚀剂。
第3工序：沿着正锥形部23形成与TFT9电连接的接触电极10。
第4工序：形成与接触电极10电连接的第一下部电极31、以及夹着间隙21的至少一部分的上方与第一下部电极31相邻的第二下部电极32。第二下部电极32是多个下部电极3中的一个。并且，可以一并进行第3工序和第4工序。
第5工序：与第一下部电极31和第二下部电极32电连接的、由包括发光层42的多个层构成的电致发光层4中的至少一层。在此，形成对象层(在此为空穴传输层41)，该对象层是形成于倒锥形部22的至少一部分以外的、发光层4中位于发光层42下方的至少一层。在图12所示的例子中，在第5工序中，除了空穴传输层41之外还形成有发光层42，但关于在第5工序中形成电致发光层4中的哪个层，根据上述的各实施方式而不同。
第6工序：以填埋间隙21的方式，在第一下部电极31和第二下部电极32之间形成分隔壁5。
在第6工序之后，依次形成电致发光层4的未形成部分和上部电极6，完成本实施方式的显示装置。该显示装置具有与显示装置106大致相同的构成。根据该显示装置的制造方法，关于TFT9与第一下部电极31的电连接，能够实现良好的成品率。
在第5工序中，优选通过溶液涂布形成对象层。由此，能够降低对象层的制造成本，进而降低本实施方式的显示装置的制造成本。
第4工序也可以包括电极形成工序，该电极形成工序中，夹着间隙21的至少一部分的上方，不使用光掩模而一并形成第一下部电极31和第二下部电极32。作为不使用光掩模而一并形成第一下部电极31和第二下部电极32的方法的一例，可举出蒸镀和溅射。在电极形成工序时，也可以将第一下部电极31和第二下部电极32分开。由此，在第一下部电极31和第二下部电极32的形成中，不需要图案化工序。
优选第一绝缘膜24含有氟。由此，能够提高绝缘层2的疏液性，因此，能够抑制由于构成空穴传输层41的材料意外地附着于绝缘层2而引起的多个下部电极3的串扰。
〔第九实施方式〕
图13是表示本发明的第九实施方式的显示装置的制造方法中第3.5工序的剖视图。
本实施方式的显示装置的制造方法包括上述第1工序～第6工序和第3.5工序。第3.5工序是指在第3工序之后第4工序之前的工序。
第3.5工序：在接触电极10上设置作为绝缘层2的一部分的第三绝缘膜27。在此，第三绝缘膜27在限定间隙21的绝缘层2的内壁的一部分上具有倒锥形部22。在第3.5工序中形成的倒锥形部22与第二倒锥形部对应。
在第3.5工序中，可以通过斜方曝光形成倒锥形部22。在本实施方式的显示装置中，第一绝缘膜24、第二绝缘膜25以及第三绝缘膜27的组合与绝缘层2对应。
根据本实施方式的显示装置与显示装置107构成大致相同。根据该显示装置的制造方法，关于TFT9与第一下部电极31的电连接，能够实现良好的成品率。
优选第三绝缘膜27含有氟。由此，能够提高绝缘层2的疏液性，因此，能够抑制由于构成空穴传输层41的材料意外地附着于绝缘层2而引起的多个下部电极3的串扰。
〔附记事项〕
作为各实施方式的要点之一，可举出利用绝缘层2的形状(例：倒锥形部22)，有意地将多个下部电极3的每一个乃至显示装置的每个像素的对象层断开。由此，能够抑制串扰，其结果，能够实现例如具有高亮度、长寿命以及高可靠性这样的优点的显示装置。
在各实施方式中，例如在绝缘层2中含有氟的情况下，有时不产生残渣。没有特别限定各显示装置中的残渣的有无。
也可以在多个下部电极3的下方具有绝缘层2以外的绝缘膜。
〔总结〕
本发明的第一方式所涉及的显示装置，具备：多个下部电极，彼此分开而设置；绝缘层，其至少一部分设置于所述多个下部电极的下方；分隔壁，其设置于所述多个下部电极之间；电致发光层，其与所述多个下部电极电连接，由包含发光层的多个层构成；以及上部电极，其设置于所述电致发光层的上方，在所述绝缘层中，在所述多个下部电极之间的下方形成有槽或孔即间隙，限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分具有倒锥形部，所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层，其一部分区域形成于所述多个下部电极与所述分隔壁之间，至少具有第一部分及第二部分，该第一部分及第二部分夹着所述倒锥形部中的所述对象层的非形成部分和所述对象层比所述多个下部电极上薄的区域中的至少一方。
根据上述的构成，通过倒锥形部，能够容易地提高多个下部电极间的绝缘性，具体而言能够容易地提高第一部分和第二部分间的绝缘性。因此，可以抑制由多个下部电极引起的串扰。
在上述第一方式的基础上，本发明的第二方式所涉及的显示装置中，所述分隔壁的位于比所述多个下部电极靠上方的部分的至少一部分为正锥形部。
在上述第一方式或者第二方式的基础上，本发明的第三方式所涉及的显示装置具备与作为所述多个下部电极中的任一个的第一下部电极电连接的晶体管(TFT9)。
根据上述的构成，能够减小对构成显示装置的各种部件的负荷，因此能够实现长寿命的显示装置。
在上述第三方式的基础上，本发明的第四方式所涉及的显示装置中，限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分具有正锥形部，所述第一下部电极和所述晶体管沿着所述正锥形部电连接。
根据上述的构成，能够降低第一下部电极与晶体管的电连接不良的可能性。
在上述第三方式3的基础上，本发明的第五方式所涉及的显示装置在所述间隙的外侧，通过埋入所述绝缘层的接触电极，将所述第一下部电极与所述晶体管电连接。
根据上述的构成，由于能够减小间隙的上端的尺寸，因此能够实现开口率高的显示装置。
在上述第一方式至第五方式中任一个的基础上，本发明的第六方式所涉及的显示装置使所述第一部分和所述第二部分相互不连续。
根据上述的构成，可以进一步抑制多个下部电极的串扰。
在上述第一方式至第六方式的任一个的基础上，本发明的第七方式所涉及的显示装置中，所述电致发光层所包含的多个层中的至少一层位于所述分隔壁与所述上部电极之间。
根据上述的构成，能够抑制上部电极中流过电流的方向上的、上部电极处的电压下降，因此能够抑制IR降落(亮度不均)。
在上述第一方式至第七方式中的任一个的基础上，本发明第八方式所涉及的显示装置中，所述发光层的一部分位于所述多个下部电极和所述分隔壁之间。
根据上述的构成，由于能够用分隔壁覆盖发光层中的容易产生成膜状况不均匀的部分而不让其对发光作出贡献，因此能够实现良好性能的显示装置。
在上述第一方式至第八方式中的任一个的基础上，本发明第九方式所涉及的显示装置中，所述绝缘层含有氟。
根据上述的构成，能够提高绝缘层的疏液性，因此能够抑制由于构成对象层的材料意外地附着于绝缘层而引起的多个下部电极的串扰。
在上述第一方式至第九方式中的任一个的基础上，本发明的第十方式所涉及的显示装置中，构成所述第一部分的材料与构成所述第二部分的材料相同。
根据上述的构成，能够以公知的工艺一并形成第一部分及第二部分。
本发明的第十一方式所述涉及的显示装置的制造方法包含：第一工序，设置作为绝缘层的一部分的第一绝缘膜，所述绝缘层形成有槽或孔即间隙，并且，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分形成第一倒锥形部；第二工序，设置作为所述绝缘层的一部分的第二绝缘膜，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分形成正锥形部；第三工序，沿着所述正锥形部形成接触电极；第四工序，形成与所述接触电极电连接的第一下部电极和夹着所述间隙的至少一部分的上方与所述第一下部电极相邻的第二下部电极；第五工序，形成与所述第一下部电极和所述第二下部电极电连接的、由包括发光层的多个层构成的电致发光层中的至少一层，在所述第一倒锥形部的至少一部分以外，形成所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层；第六工序，以填埋所述间隙的方式，在所述第一下部电极和所述第二下部电极之间形成分隔壁。
根据上述的构成，关于第一下部电极与其它部件的电连接，能够实现良好的成品率。
在上述第十一方式的基础上，本发明的第十二方式所涉及的显示装置的制造方法中，在所述第3工序之后，在所述接触电极上设置作为所述绝缘层的一部分的第三绝缘膜。
在上述第十二方式的基础上，本发明的第十三方式所涉及的显示装置的制造方法中，所述第三绝缘膜在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分具有第二倒锥形部。
根据上述的构成，由于能够减小间隙的上端的尺寸，因此能够制造开口率高的显示装置。
在上述第十二方式或第十三方式的基础上，本发明的第十四方式所涉及的显示装置的制造方法中，所述第三绝缘膜含有氟。
根据上述的构成，能够提高绝缘层的疏液性，因此能够抑制因构成对象层的材料意外地附着于绝缘层而引起的第一下部电极和第二下部电极的串扰。
在上述第十一方式至第十四方式中的任一个的基础上，本发明的第十五方式所涉及的显示装置的制造方法中，在所述第5工序中，通过溶液涂布形成所述对象层。
根据上述的构成，能够降低对象层的制造成本，进而降低显示装置的制造成本。
在上述第十一方式至第十五方式中的任一个的基础上，本发明的第十六方式所涉及的显示装置的制造方法中，所述第4工序包括电极形成工序，该电极形成工序夹着所述间隙的至少一部分的上方，不使用光掩模而一并形成所述第一下部电极和所述第二下部电极，在所述电极形成工序时，所述第一下部电极和所述第二下部电极断开。
根据上述的构成，在第一下部电极和第二下部电极的形成中，不需要图案化工序。
在上述第十一方式至第十六方式中的任一个的基础上，本发明的第十七方式所涉及的显示装置的制造方法中，所述第一绝缘膜含有氟。
根据上述的构成，能够提高绝缘层的疏液性，因此能够抑制因构成对象层的材料意外地附着于绝缘层而引起的第一下部电极和第二下部电极的串扰。
本发明不限于上述的各实施方式，能够在权利要求所示的范围内进行各种变更，对于适当组合在不同的实施方式中分别公开的技术手段而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。而且，能够通过组合各实施方式分别公开的技术方法来形成新的技术特征。
附图标记说明
1基板
2 绝缘层
21 间隙
22倒锥形部(第1倒锥形部、第2倒锥形部)
23 正锥形部
231 阶梯差
24 第一绝缘膜
25 第二绝缘膜
26 光致抗蚀剂
273 绝缘膜
3 多个下部电极
31 第一下部电极
32 第二下部电极
4 电致发光层
41 空穴传输层
42 发光层
43 电子传输层
5 分隔壁
51 正锥形部
6 上部电极
71 区域
72 第一部分
73 第二部分
81～83残渣
9TFT(晶体管)
10 接触电极
11 金属布线
12 光掩模
101～107显示装置

Claims (17)

1.一种显示装置，其特征在于，具备：
多个下部电极，彼此分开地设置；
绝缘层，其至少一部分设置于所述多个下部电极的下方；
分隔壁，其设置于所述多个下部电极之间；
电致发光层，其与所述多个下部电极电连接，由包含发光层的多个层构成；以及
上部电极，其设置于所述电致发光层的上方，
在所述绝缘层中，在所述多个下部电极之间的下方形成有槽或孔即间隙，
限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分具有倒锥形部，
所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层，其一部分区域形成于所述多个下部电极与所述分隔壁之间，并至少具有第一部分及第二部分，该第一部分及第二部分夹着所述倒锥形部中的所述对象层的非形成部分和所述对象层比所述多个下部电极上薄的区域中的至少一方。
2.如权利要求1所述的显示装置，其特征在于，
所述分隔壁的位于比所述多个下部电极靠上方的部分的至少一部分为正锥形部。
3.如权利要求1或2所述的显示装置，其特征在于，
具备晶体管，该晶体管与作为所述多个下部电极中的任一个的第一下部电极电连接。
4.如权利要求3所述的显示装置，其特征在于，
限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分具有正锥形部，
所述第一下部电极和所述晶体管沿着所述正锥形部电连接。
5.如权利要求3所述的显示装置，其特征在于，
在所述间隙的外侧，所述第一下部电极与所述晶体管经由埋入所述绝缘层的接触电极来电连接。
6.如权利要求1至5中任一项所述的显示装置，其特征在于，
所述第一部分和所述第二部分相互不连续。
7.如权利要求1至6中任一项所述的显示装置，其特征在于，
所述电致发光层所包含的多个层中的至少一层位于所述分隔壁与所述上部电极之间。
8.如权利要求1至7中任一项所述的显示装置，其特征在于，
所述发光层的一部分位于所述多个下部电极和所述分隔壁之间。
9.如权利要求1至8中任一项所述的显示装置，其特征在于，
所述绝缘层包含氟。
10.如权利要求1至9中任一项所述的显示装置，其特征在于，
构成所述第一部分的材料和构成所述第二部分的材料是相同的。
11.一种显示装置的制造方法，其特征在于，包含：
第一工序，设置作为绝缘层的一部分的第一绝缘膜，所述绝缘层形成有槽或孔即间隙，并且，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的至少一部分形成第一倒锥形部；
第二工序，设置作为所述绝缘层的一部分的第二绝缘膜，在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分形成正锥形部；
第三工序，沿着所述正锥形部形成接触电极；
第四工序，形成与所述接触电极电连接的第一下部电极、以及夹着所述间隙的至少一部分的上方与所述第一下部电极相邻的第二下部电极；
第五工序，形成与所述第一下部电极和所述第二下部电极电连接的、由包括发光层的多个层构成的电致发光层中的至少一层，在所述第一倒锥形部的至少一部分以外，形成所述电致发光层中位于所述发光层下方的至少一层即对象层；以及
第六工序，以填埋所述间隙的方式，在所述第一下部电极和所述第二下部电极之间形成分隔壁。
12.如权利要求11所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
在所述第三工序之后，在所述接触电极上设置作为所述绝缘层的一部分的第三绝缘膜。
13.如权利要求12所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
所述第三绝缘膜在限定所述间隙的所述绝缘层的内壁的一部分具有第二倒锥形部。
14.如权利要求12或13所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
所述第三绝缘层含有氟。
15.如权利要求11至14中任一项所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
所述第五工序中，通过溶液涂布形成所述对象层。
16.如权利要求11至15中任一项所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
所述第四工序包括电极形成工序，该电极形成工序夹着所述间隙的至少一部分的上方，不使用光掩模一并形成所述第一下部电极和所述第二下部电极，
在所述电极形成工序时，所述第一下部电极和所述第二下部电极断开。
17.如权利要求11至16中任一项所述的显示装置的制造方法，其特征在于，
所述第一绝缘膜包含氟。
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