CN117190833A - 测位装置及驱动装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够抑制轨道的曲线部上的位置检测部的增加的测位装置等。测位装置具备多个磁传感器(S4～S6)，该多个磁传感器为了对安装在能够沿导轨移动的可动件上的磁尺(C2、C4)进行测位而配置在该导轨上，并且其间隔小于磁尺的轨道方向上的长度，至少一个磁传感器配置在导轨的曲线部上的比磁尺的中央的轨迹(RT)更向外侧错开的位置。磁尺的中央位于距相邻的磁传感器相等的距离时的该磁尺的端部(C2”、C4’)与该磁传感器S5之间的距离“a/2”和磁尺的中央最靠近磁传感器(S5)时的该磁尺的中央(C3’)与该磁传感器(S5)之间的距离“a/2”实质上相等。

Description

测位装置及驱动装置

本申请主张基于2022年6月8日申请的日本专利申请第2022-093032号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种能够沿轨道移动的可动件的测位装置等。

背景技术

在专利文献1中公开了作为使可动件沿轨道移动的驱动装置的线性输送系统。沿轨道配置的多个磁传感器对安装在可动件上的磁尺(即，可动件)进行测位。

专利文献1：日本特开2021-164396号公报

专利文献1所示的线性输送系统中的轨道不仅可以包括直线部，还可以包括曲线部。在曲线部中，典型地，在直线状的磁尺的端部与轨道之间产生径向或横向上的偏差。因此，磁尺的端部有可能会从配置在曲线轨道上的磁传感器偏离。因此，例如可以考虑将曲线部上的磁传感器的间隔设为小于直线部上的磁传感器之间的间隔，但是这样会导致磁传感器的配置数量的增加，因此成本会变高。

发明内容

本发明是鉴于这样的状况而完成的，其目的在于提供一种能够抑制轨道的曲线部上的位置检测部的增加的测位装置等。

为了解决上述课题，本发明的一种实施方式的测位装置具备多个位置检测部，该多个位置检测部为了对安装在能够沿轨道移动的可动件上的测位标尺进行测位而配置在该轨道上，并且其间隔小于所述测位标尺的轨道方向上的长度。至少一个位置检测部配置在轨道的曲线部上的比测位标尺的中央的轨迹更向外侧错开的位置。

在该实施方式中，在轨道的曲线部上，位置检测部配置在比测位标尺的中央的轨迹更向外侧错开的位置，因而该位置检测部与测位标尺的端部之间的径向偏差降低。因此，测位标尺的端部难以从位置检测部偏离，无需像以往那样减小位置检测部之间的间隔。因此，根据本发明，能够抑制轨道的曲线部上的位置检测部的增加。

本发明的另一实施方式是驱动装置。该装置具备：可动件，其被驱动成沿轨道移动；以及多个位置检测部，其为了对安装在可动件上的测位标尺进行测位而配置在轨道上，并且其间隔小于测位标尺的轨道方向上的长度。至少一个位置检测部配置在轨道的曲线部上的比测位标尺的中央的轨迹更向外侧错开的位置。

此外，以上构成要件的任意组合或将这些表现在方法、装置、系统、记录介质、计算机程序等中进行转换的方式也包含在本发明中。

根据本发明，能够抑制轨道的曲线部上的位置检测部的增加。

附图说明

图1是表示线性输送系统的整体结构的立体图。

图2示意性地表示线性输送系统中的由位置检测部等构成的测位装置。

图3示意性地表示移动的磁尺的测位主体从移动源的磁传感器切换到移动目的地的磁传感器的情况。

图4是示意性地表示导轨的曲线部上的多个磁传感器的典型配置和磁尺C的移动情况的俯视图。

图5示意性地表示位于磁传感器的中间的标尺位置上的磁尺。

图6是示意性地表示本实施方式所涉及的测位装置中的多个磁传感器的配置和磁尺的移动情况的俯视图。

图中：1-线性输送系统，2-固定件，3-可动件，4-测位装置，22-测位部，32-被测位部。

具体实施方式

以下，参考附图对用于实施本发明的方式(以下还称为实施方式)进行详细说明。在以下说明和/或附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理等标注相同的符号，并省略重复说明。在各附图中，为了简化说明，适当地设定了各部的缩尺和形状，除非另有特别说明，否则其并不作限定性解释。实施方式只是例示，其并不用于限制本发明的范围。实施方式中记载的所有特征或其组合并非一定是本发明的本质。

图1是表示本发明所涉及的驱动装置的一实施方式(即，线性输送系统1)的整体结构的立体图。线性输送系统1具备构成环状导轨或轨道的固定件2以及被该固定件2驱动从而能够沿导轨移动的多个可动件3A、3B、3C、3D(以下还统称为可动件3)。通过使设置在固定件2上的电磁铁或线圈与设置在可动件3上的永久磁铁相互对置，沿环状导轨构成线性马达。此外，固定件2所形成的导轨并不只限于环状，可以是任意形状。例如，导轨可以是直线状的，也可以是曲线状的，并且，一个导轨可以分支成多个导轨，多个导轨也可以合并成一个导轨。并且，固定件2所形成的导轨的设置方向也是任意的，在图1的例子中，导轨配设在水平面内，但是，也可以将导轨配设在铅垂面内，还可以配设在任意倾斜角的平面内或曲面内。

固定件2具有将水平方向作为法线方向的导轨面21。导轨面21沿导轨的形成方向带状延伸，如图1的例子所示，在导轨形成为环状的情况下，导轨面21成为(假想的)两端彼此连接在一起而成的环形带状。在这样的能够形成任意形状的导轨的导轨面21上，沿导轨连续或周期性地埋设或配置有具备电磁铁的多个驱动模块(未图示)。驱动模块中的电磁铁产生磁场，该磁场对可动件3的永久磁铁和/或电磁铁本身施加沿导轨的推进力。具体而言，若使三相交流等驱动电流流过这些多个电磁铁中，则会产生使具备永久磁铁的可动件3沿导轨朝向所希望的切线方向直线驱动的移动磁场。此外，在图1的例子中，在水平面内形成环状导轨的导轨面21的法线方向为水平方向，但是，导轨面21的法线方向也可以是铅垂方向或其他任意方向。

在固定件2的设置于与导轨面21垂直的上表面或下表面上的测位部22上，连续或周期性地埋设有作为多个位置检测部的磁传感器(图1中未示出)，该磁传感器能够测定安装在可动件3上的作为测位对象或测位标尺的磁尺(图1中未示出)的位置。将由恒定间距的条纹状磁图案或磁刻度形成的磁尺作为测位对象的磁传感器通常具备多个磁检测头。通过使多个磁检测头的间隔相对于磁尺的磁图案的间距或周期错开，磁传感器能够高精度地测定磁尺的位置。在设置有两个磁检测头的典型的磁传感器中，例如，两个磁检测头的间隔相对于磁尺的磁图案错开1/4间距(相位错开90度)。此外，也可以与上述相反地，在可动件3上设置磁传感器，在固定件2上设置磁尺。并且，如果用时间对由测位部22测定的可动件3的位置进行微分，则能够检测出可动件3的速度，如果用时间对该速度进行微分，则能够检测出可动件3的加速度。

设置在固定件2上的位置检测部和安装在可动件3上的测位对象或测位标尺并不只限于上述的磁式，也可以采用光学式或其他方式。在采用光学式的情况下，在可动件3上安装有由恒定间距的纹路或刻度形成的光学标尺，在固定件2上设置有能够以光学方式读取光学标尺的纹路的光学传感器。在磁式或光学式中，由于位置检测部以非接触方式测定测位对象(磁尺或光学标尺)，因此能够降低由可动件3输送的被搬运物飞散而进入到测位部位(固定件2的上表面)时的位置检测部的故障等风险。但是，在光学式中，如果进入到测位部位的液体或粉体等被搬运物覆盖光学标尺，则测位精度会变差，因此，优选采用如果是针对磁性可以忽略的被搬运物则即使进入到测位部位也不会使测位精度变差的磁式。

可动件3具备：可动件主体31，其与固定件2的导轨面21对置；被测位部32，其从可动件主体31的上部沿水平方向伸出并与固定件2的测位部22对置；以及输送部33，其从可动件主体31沿水平方向朝向与被测位部32相反的一侧(远离固定件2的一侧)伸出并用于载置或固定被搬运物。可动件主体31具备与沿导轨埋设在固定件2的导轨面21的多个电磁铁对置的一个或多个永久磁铁(未图示)。由于固定件2的电磁铁所产生的移动磁场对可动件3的永久磁铁和/或电磁铁本身施加导轨的切线方向的直线动力或推进力，因此可动件3相对于固定件2沿导轨面21直线驱动。

在可动件3的被测位部32上，作为测位对象或测位标尺的磁尺或光学标尺与设置在固定件2的测位部22上的位置检测部(磁传感器或光学传感器)对置配置。在位置检测部设置在固定件2的上表面的图1的例子中，磁尺等测位对象安装在可动件3的被测位部32的下表面。在测位部22和被测位部32为磁式的情况下，为了不让导轨面21的电磁铁和可动件主体31的永久磁铁之间的磁场影响到测位部22和被测位部32的磁测位，优选在固定件2中将导轨面21和测位部22形成在不同的面或彼此远离的部位上，并且在可动件3中将可动件主体31和被测位部32形成在不同的面或彼此远离的部位上。

图1中例示了四个可动件3A、3B、3C、3D，但是，例如在输送许多少量的被搬运物的线性输送系统1中，也可以设想需要数量超过1,000的可动件3。

图2示意性地表示线性输送系统1中的由位置检测部等构成的测位装置4。测位装置4具备多个(在图示的例子中为四个)作为位置检测部的磁传感器S0～S3，该磁传感器S0～S3为了对安装在一个或多个(在图示的例子中为一个)可动件C上的作为测位标尺的磁尺(以下为了便于说明还称为磁尺C)进行测位而沿着固定件2的轨道方向或可动件C的移动方向(图2中的左右方向)埋设或配置在测位部22(图1中的固定件2的上表面)上。

各磁传感器S0～S3的移动方向上的间隔可以彼此不同，但在本实施方式中对所有间隔相等的例子进行说明。另外，后述的导轨的曲线部上的各磁传感器S0～S3的间隔也可以与图2中示意性地示出的导轨的直线部上的各磁传感器S0～S3的间隔不同。例如，导轨的直线部上的各磁传感器S0～S3的间隔X_0/1、X_1/2、X_2/3均为30mm。

相对于以上30mm的各磁传感器S0～S3的间隔X_0/1、X_1/2、X_2/3，磁尺C的移动方向上的长度例如为48mm。如此，在本实施方式中，各磁传感器S0～S3的移动方向或轨道方向上的间隔(30mm)小于磁尺C的移动方向或轨道方向上的长度(48mm)。

磁尺C具有移动方向上的两端部EL、ER以及从移动方向的两侧被该两端部EL、ER夹住的长条的标尺主体AB。在标尺主体AB上形成有沿移动方向等间隔设置的多个磁刻度或磁图案。在公知的线性编码器中，检测到标尺主体AB的磁刻度的各磁传感器S0～S3输出一般的A相和B相脉冲。典型地，A相脉冲和B相脉冲的相位彼此相差90度。此外，在磁尺C的两端部EL、ER也可以形成与标尺主体AB相同的磁刻度。

磁尺C的各端部EL、ER的移动方向上的长度例如为8mm。此时的标尺主体AB的移动方向上的长度是从磁尺C的长度48mm减去两端部EL、ER的总长度16mm而得的32mm。如此，在本实施方式中，各磁传感器S0～S3的移动方向上的间隔(30mm)小于磁尺C的标尺主体AB的移动方向上的长度(32mm)。

在可动件C和/或磁尺C上设置有作为基准标记的参考标记Z。在公知的线性编码器中，最初磁性地检测到参考标记Z的各磁传感器S0～S3输出一般的Z相脉冲。对应于参考标记Z而输出的Z相脉冲用于确定可动件C的基准位置。具体而言，最初检测到参考标记Z并最初输出了Z相脉冲的磁传感器成为使后述的计数部开始对磁尺C的A/B相的磁刻度进行计数的基准传感器。以下，对第0磁传感器S0成为磁尺C的基准传感器的情况进行说明。图示的状态是参考标记Z位于作为基准传感器的第0磁传感器S0之上而且检测到该参考标记Z的第0磁传感器S0的计数部50从计数值“0”开始对磁尺C的A/B相的磁刻度进行计数的状态。

以上的对磁尺C的说明同样适用于安装在其他未图示的可动件上的其他磁尺。但是，在各磁尺上，以上各部的尺寸和参考标记的位置任意确定。以下，只要没有特别提及，磁尺C的说明也同样适用于其他磁尺。

各磁传感器S0～S3具备计数部50～53，该计数部50～53对形成在磁尺C的标尺主体AB和/或两端部EL、ER上的A/B相的磁刻度进行计数。各计数部50～53中的计数值的增减方向对应于各磁传感器S0～S3所检测的磁尺C(即，可动件C)的移动方向。例如，在可动件C从图2中的左侧朝向右侧移动时，各计数部50～53中的计数值根据各磁传感器S0～S3所输出的A/B相脉冲的数量而增加，而在可动件C从图2中的右侧朝向左侧移动时，各计数部50～53中的计数值根据各磁传感器S0～S3所输出的A/B相脉冲的数量而减少。

在可动件C在导轨上移动时，对该磁尺C进行测位的磁传感器S0～S3依次切换。图3示意性地表示专利文献1中的从左侧向右侧移动的磁尺C的测位主体从移动源的磁传感器S0切换到移动目的地的磁传感器S1的情况。如图3所示，磁传感器S0、S1的切换在磁尺C的标尺主体AB横跨在两个相邻的磁传感器S0、S1的检测范围的状态下进行。在图示的例子中，在磁传感器S0、S1位于相对于磁尺C的移动方向上的中央(参考标记Z的位置)对称的位置SW1、SW2的时刻，磁尺C的测位主体从磁传感器S0切换到磁传感器S1。

第1切换位置SW1是距离左端部EL与标尺主体AB之间的边界规定距离的标尺主体AB内的位置，第2切换位置SW2是距离右端部ER与标尺主体AB之间的边界规定距离的标尺主体AB内的位置。在图示的例子中，第1切换位置SW1距标尺主体AB的左端的距离和第2切换位置SW2距标尺主体AB的右端的距离例如为1mm。此时，第1切换位置SW1距标尺主体AB的中央的距离和第2切换位置SW2距标尺主体AB的中央的距离为15mm，其和(30mm)与磁传感器S0、S1的间隔X_0/1一致。

在磁尺C的测位主体从磁传感器S0切换到磁传感器S1时，移动源的磁传感器S0的计数部50的计数值被移动目的地的磁传感器S1的计数部51的计数值接替。以下，将各磁传感器S0～S3检测出磁尺C的中央(参考标记Z的位置)时的各计数部50～53的计数值设为零，将各磁传感器S0～S3在比磁尺C的中央更靠与可动件C的移动方向侧相反的一侧(图3中的左侧)检测出磁刻度时的各计数部50～53的计数值设为正，将各磁传感器S0～S3在比磁尺C的中央更靠可动件C的移动方向侧(图3中的右侧)检测出磁刻度时的各计数部50～53的计数值设为负。

在图示的例子中，参考标记Z的位置对应于计数值“0”，第1切换位置SW1例如对应于相当于与参考标记Z之间的距离(15mm)的正的计数值“+15,000”，第2切换位置SW2例如对应于相当于与参考标记Z之间的距离(15mm)的负的计数值“-15,000”。另外，将计数值变化的绝对值(15,000)与物理距离(15mm)之比还称为传感器分辨率R，在本实施方式中，R＝1,000(＝15,000/15)且恒定。并且，将第1切换位置SW1的计数值还称为切换计数值，将第2切换位置SW2的计数值还称为开始计数值。在图示的例子中，切换计数值和开始计数值只有正负符号不同。如图示的状态所示，若磁尺C的第1切换位置SW1来到了磁传感器S0之上，则其计数部50的切换计数值“+15,000”转换为位于第2切换位置SW2处的磁传感器S1的计数部51的开始计数值“-15,000”。之后，磁传感器S1成为磁尺C的测位主体，其计数部51从开始计数值“-15,000”计数到切换到下一个磁传感器的切换计数值“+15,000”。

如图1所示，线性输送系统1中的导轨或轨道不仅可以包括直线部，还可以包括曲线部。图4是示意性地表示导轨的曲线部上的多个磁传感器S4～S6的典型配置和磁尺C的移动情况的俯视图。在图4的例子中，磁尺C沿着半径r的导轨的曲线部按照标尺位置C1～C5的顺序移动。在各标尺位置C1～C5中的磁尺C(以下为了便于说明，还称为磁尺C1～C5)的沿长边方向上延伸的标尺中心线L1～L5通过磁尺C或可动件C的中央(参考标记Z的位置)。并且，半径r的路径RT是磁尺C或可动件C的中央(参考标记Z的位置)通过的轨迹。多个(图示的例子中为三个)磁传感器S4～S6实质上等间隔配置在磁尺C的中央的轨迹RT上。具体而言，磁传感器S4与磁传感器S5之间的间隔、以及磁传感器S5与磁传感器S6之间的间隔均由半径r的扇形中的中心角2θ和/或弧长l(＝2πr×2θ/360)来表示。

在磁尺C位于标尺位置C1时，其中央和/或标尺中心线L1位于磁传感器S4的正上方。此时，磁尺C1的中央与磁传感器S4之间的距离实质上为“0”。并且，如上所述，该状态下的磁传感器S4的未图示的计数部的计数值成为“0”。在磁尺C位于标尺位置C3时，其中央和/或标尺中心线L3位于磁传感器S5的正上方。此时，磁尺C3的中央与磁传感器S5之间的距离实质上为“0”。并且，如上所述，该状态下的磁传感器S5的未图示的计数部的计数值成为“0”。在磁尺C位于标尺位置C5时，其中央和/或标尺中心线L5位于磁传感器S6的正上方。此时，磁尺C5的中央与磁传感器S6之间的距离实质上为“0”。并且，如上所述，该状态下的磁传感器S6的未图示的计数部的计数值成为“0”。

图5示意性地表示位于标尺位置C2、C4上的磁尺C。标尺位置C2是上述标尺位置C1与标尺位置C3之间的中点，其分别与标尺位置C1以及标尺位置C3所成的半径r的扇形中的中心角均为θ，弧长均为l/2。并且，相对于磁尺C2的磁传感器S4、S5分别对应于图3中的相对于磁尺C的磁传感器S0、S1。即，如上所述，在磁传感器S4、S5位于相对于磁尺C2的移动方向上的中央对称的位置SW1、SW2的标尺位置C2上，磁尺C2的测位主体从磁传感器S4切换到磁传感器S5。标尺位置C4是上述标尺位置C3与标尺位置C5之间的中点，其与标尺位置C3以及标尺位置C5分别所成的半径r的扇形中的中心角均为θ，弧长均为l/2。并且，相对于磁尺C4的磁传感器S5、S6分别对应于图3中的相对于磁尺C的磁传感器S0、S1。即，如上所述，在磁传感器S5、S6位于相对于磁尺C4的移动方向上的中央对称的位置SW1、SW2的标尺位置C4上，磁尺C4的测位主体从磁传感器S5切换到磁传感器S6。

在这些标尺位置C2、C4上，磁传感器S4～S6检测磁尺C的两端部。此时，磁尺C的各端部与各磁传感器S4～S6在径向或横向上错开距离“a”(图5中，为了便于说明，仅示出了磁传感器S5侧)。另外，根据几何学关系，表示为“a＝r/cosθ-r”。

如上所述，在磁尺C沿着半径r的导轨的曲线部按照标尺位置C1～C5的顺序移动时，磁尺C与磁传感器S4～S6之间的距离在标尺位置C1、C3、C5处的“0”与标尺位置C2、C4处的“a”之间较大地变动。尤其，由于标尺位置C2、C4处的偏差“a”，磁尺C的端部有可能会从配置在曲线轨道RT上的磁传感器S4～S6偏离。因此，例如可以考虑将曲线部上的磁传感器S4～S6之间的间隔(弧长l)设为小于直线部上的磁传感器之间的间隔，但是这样会导致磁传感器S4～S6的配置数量的增加，因此成本会变高。以下说明的本实施方式的目的在于提供一种能够抑制导轨的曲线部上的磁传感器S4～S6等位置检测部的增加的测位装置4。

图6是示意性地表示本实施方式所涉及的测位装置4中的多个磁传感器S4～S6的配置和磁尺C的移动情况的俯视图。在本实施方式中，也与图4相同地，磁尺C按照标尺位置C1～C5的顺序移动，但在图6中，为了便于说明，与图5相同地仅示出了标尺位置C2、C4。虽然省略了标尺位置C1、C3、C5的图示，但代表性地示出了各磁尺C的中央位置C1’、C3’、C5’。在本实施方式中，至少一个磁传感器S4～S6配置在导轨的曲线部上的比磁尺C的中央的轨迹RT更向外侧(径向外侧)错开的位置。在图6的例子中，所有磁传感器S4～S6均配置在从磁尺C的中央的轨迹RT向外侧错开实质上相等的距离“a/2”的位置。该距离“a/2”是图5中的标尺位置C2、C4处的磁尺C的各端部与各磁传感器S4～S6之间的径向偏差“a”的一半。

在磁尺C位于标尺位置C1时，其中央(C1’)与磁传感器S4之间的距离为“a/2”。在磁尺C位于标尺位置C3时，其中央(C3’)与磁传感器S5之间的距离为“a/2”。在磁尺C位于标尺位置C5时，其中央(C5’)与磁传感器S6之间的距离为“a/2”。

在标尺位置C2上，磁传感器S4检测磁尺C2的一端部(图6中的上端部或左端部)，磁传感器S5检测磁尺C2的另一端部(图6中的下端部或右端部)。此时，为了便于说明只针对磁传感器S5示出的那样，磁尺C2的另一端部(C2”)与磁传感器S5在径向或横向上错开距离“a/2”。在此，另一端部C2”是指磁尺C2的标尺中心线L2与通过磁传感器S5的中央的径向直线的交点。同样地，磁尺C2的一端部(C2’)与磁传感器S4在径向或横向上错开距离“a/2”。在此，一端部C2’是指磁尺C2的标尺中心线L2与通过磁传感器S4的中央的径向直线的交点。如此，在磁尺C2的中央位于距相邻的磁传感器S4、S5相等的距离(标尺位置C2)时的该磁尺C2的端部(C2’和/或C2”)与该各磁传感器S4、S5之间的距离“a/2”和在磁尺C的中央最靠近各磁传感器S4、S5时的该磁尺C1、C3的中央(C1’、C3’)与该各磁传感器S4、S5之间的距离“a/2”实质上相等。

在标尺位置C4上，磁传感器S5检测磁尺C4的一端部(图6中的上端部或右端部)，磁传感器S6检测磁尺C4的另一端部(图6中的下端部或左端部)。此时，为了便于说明只针对磁传感器S5示出的那样，磁尺C4的一端部(C4’)与磁传感器S5在径向或横向上错开距离“a/2”。在此，一端部C4’是指磁尺C4的标尺中心线L4与通过磁传感器S5的中央的径向直线的交点。同样地，磁尺C4的另一端部(C4”)与磁传感器S6在径向或横向上错开距离“a/2”。在此，另一端部C4”是指磁尺C4的标尺中心线L4与通过磁传感器S6的中央的径向直线的交点。如此，在磁尺C4的中央位于距相邻的磁传感器S5、S6相等的距离(标尺位置C4)时的该磁尺C4的端部(C4’和/或C4”)与该各磁传感器S5、S6之间的距离“a/2”和在磁尺C的中央最靠近各磁传感器S5、S6时的该磁尺C3、C5的中央(C3’、C5’)与该各磁传感器S5、S6之间的距离“a/2”实质上相等。

如上所述，在磁尺C沿着半径r的导轨的曲线部按照标尺位置C1～C5的顺序移动时，磁尺C与磁传感器S4～S6之间的距离在各标尺位置C1～C5处为“a/2”且实质上恒定。在图5的例子中，磁尺C与磁传感器S4～S6之间的偏差的最大值在标尺位置C2、C4处为“a”，相对于此，在本实施方式中，磁尺C与磁传感器S4～S6的偏差的最大值在图示的所有标尺位置C1～C5处均减小到了一半的“a/2”。因此，磁尺C1～C5变得难以从磁传感器S4～S6偏离，无需像图5那样减小磁传感器S4～S6之间的间隔(中心角2θ和/或弧长l)。因此，根据本实施方式，能够抑制导轨的曲线部上的磁传感器S4～S6的增加。

在图6的例子中，磁传感器S4～S6配置在从磁尺C的中央的轨迹RT向外侧错开距离“a/2”的位置上，但是该距离并不只限于“a/2”，只要大于“0”且小于“a”均可得到与上述相同的效果。例如，该距离优选大于“a/3”且小于“2a/3”，更优选大于“2a/5”且小于“3a/5”，最优选为“a/2”。

另外，图6中的磁传感器S4～S6实质上等间隔(中心角2θ)配置在半径为“r+a/2”的圆周上。各磁传感器S4～S6之间的弧长l’表示为“2π(r+a/2)×2θ/360”。该弧长l’小于磁尺C的移动方向或轨道方向上的长度(48mm)，优选小于磁尺C的标尺主体AB的移动方向或轨道方向上的长度(32mm)。并且，在图6的导轨的曲线部中，磁传感器S4～S6配置在比磁尺C的中央的轨迹RT更向外侧错开的位置，但在图2示意性地表示的导轨的直线部中，优选磁传感器S0～S3配置在磁尺C的中央的轨迹RT上。

以上，根据实施方式说明了本发明。本领域技术人员应当可以理解，作为示例的实施方式中的各构成要件或各处理的组合可以存在各种变形例，并且这样的变形例也包含在本发明的范围内。

在实施方式中例示了基于设置在可动件上的永久磁铁和设置在固定件上的电磁铁之间的磁力来驱动可动件的线性输送系统，但是，本发明也可以应用于基于磁力以外的任意原理(例如电或流体)的任意驱动装置。

此外，在实施方式中说明的各装置或各方法的结构、作用和功能可以通过硬件资源或软件资源、或者硬件资源与软件资源的协作来实现。作为硬件资源，例如，可以使用处理器、ROM、RAM和各种集成电路。作为软件资源，例如，可以使用操作系统、应用等程序。

Claims (6)

1.一种测位装置，其特征在于，

具备多个位置检测部，所述多个位置检测部为了对安装在能够沿轨道移动的可动件上的测位标尺进行测位而配置在所述轨道上，并且其间隔小于所述测位标尺的轨道方向上的长度，

至少一个所述位置检测部配置在所述轨道的曲线部上的比所述测位标尺的中央的轨迹更向外侧错开的位置。

2.根据权利要求1所述的测位装置，其特征在于，

所述曲线部上的多个所述位置检测部配置在从所述测位标尺的中央的轨迹向外侧错开实质上相等的距离的位置上。

3.根据权利要求2所述的测位装置，其特征在于，

所述测位标尺的中央位于距相邻的所述位置检测部相等的距离时的所述测位标尺的端部与各位置检测部之间的距离和所述测位标尺的中央最靠近所述各位置检测部时的所述测位标尺的中央与所述各位置检测部之间的距离实质上相等。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的测位装置，其特征在于，

所述曲线部上的多个所述位置检测部之间的间隔实质上恒定。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的测位装置，其特征在于，

所述位置检测部配置在所述轨道的直线部上的所述测位标尺的中央的轨迹上。

6.一种驱动装置，其特征在于，具备：

可动件，其被驱动成沿轨道移动；以及

多个位置检测部，其为了对安装在所述可动件上的测位标尺进行测位而配置在所述轨道上，并且其间隔小于所述测位标尺的轨道方向上的长度，

至少一个所述位置检测部配置在所述轨道的曲线部上的比所述测位标尺的中央的轨迹更向外侧错开的位置。