CN117160123B - 一种光刻胶滤芯更换用管路结构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻胶滤芯更换用管路结构，属于管路结构领域，包括第一连接管道、第二连接管道以及高精度滤芯组件，高精度滤芯组件包括滤芯定位装夹件、活动式滤芯、抽吸件；滤芯定位装夹件包含侧封件、对接结构，活动式滤芯插接至滤芯定位装夹件后，活动式滤芯卡入对接结构中，活动式滤芯拔出滤芯定位装夹件前，侧封件转动并封闭第一连接管道与第二连接管道，不仅能够确保在反应完全停止后才开始更换滤芯，同时在更换滤芯的过程中能够让管道与外界环境处于密闭的状态，从而避免在更换滤芯的过程中出现流体泄漏的现象。

Description

一种光刻胶滤芯更换用管路结构

技术领域

本发明涉及一种管路结构，特别是一种光刻胶滤芯更换用管路结构。

背景技术

光刻胶，又称光致刻蚀剂，是集成电路制造过程中的关键化学品材料，通常由成膜树脂、感光剂、溶剂和添加剂组成，光刻胶主要应用于集成电路、液晶显示、太阳能光伏、微机电系统等电子领域的光刻工艺中，经特定光源照射后发生相应的化学反应，使得曝光区与非曝光区的溶解性、粘附性等发生显著的变化，从而达到图形转移的目的。整个光刻流程中，光刻胶中各类组成物质的纯度、阴阳离子的含量及颗粒等对芯片的良率及可靠性影响巨大。

在光刻胶的制备过程中，需要分别经过萃取、结晶、过滤干燥、酯化反应、中和、晶析、干燥、搅拌溶解、过滤、罐装等步骤，在整个制备过程中，过滤步骤中的过滤滤芯的损耗是最为严重的，滤芯过滤的滤渣主要是原料中混油的不溶性杂质、生产过程中带入的颗粒物及会变形的杂质等，通过精密过滤器中的滤芯对其过滤，滤芯需要定期更换。

在更换滤芯的阶段，需要对旧的滤芯去除，并将新的滤芯装入，在拆卸滤芯的过程中，管道内残留的气体以及原料液会顺着拆卸的位置漏出，不仅容易造成物料洒落的损失，同时又增大了气体曝露的风险，若管道内的流体有腐蚀性或者其他危害属性，则容易影响到周边的环境以及更换的人员，并且由于工人无法了解到管道内的情况，若在反应后期或者还有反应残留，则管道内还有气体残留，在拆卸更换滤芯时的不可控因素更大。

故本案旨在提供一种光刻胶滤芯更换用管路结构，不仅能够确保在反应完全停止后才开始更换滤芯，同时在更换滤芯的过程中能够让管道与外界环境处于密闭的状态，从而避免在更换滤芯的过程中出现流体泄漏的现象。

发明内容

本发明提供了一种光刻胶滤芯更换用管路结构，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

一种光刻胶滤芯更换用管路结构，包括第一连接管道、第二连接管道，以及连接在所述第一连接管道与第二连接管道的高精度滤芯组件，所述高精度滤芯组件包括用于连接所述第一连接管道、第二连接管道的滤芯定位装夹件，以及活动插接在所述滤芯定位装夹件上的活动式滤芯，装设在所述滤芯定位装夹件、活动式滤芯外侧的抽吸件；

所述滤芯定位装夹件包含位于滤芯定位装夹件两侧且分别设置在第一连接管道与第二连接管道轴向上的侧封件，位于所述滤芯定位装夹件前后端的至少一组对接结构，所述活动式滤芯插接至滤芯定位装夹件后，活动式滤芯卡入所述对接结构中，所述活动式滤芯拔出滤芯定位装夹件前，所述侧封件转动并封闭第一连接管道与第二连接管道；

所述活动式滤芯为一精密滤芯，所述精密滤芯为三段滤芯复合构成，分别为两个边侧滤芯与中段滤芯，所述活动式滤芯包含设置在所述活动式滤芯两端的配合结构，所述配合结构固定在边侧的滤芯上，中段的滤芯两端连接贴合设置有与活动式滤芯内腔壁活动配合的随动件，所述随动件在管路结构中有流体通过时受压收缩并抵压在配合结构上使配合结构卡接至侧封件中；

所述抽吸件包含第一抽吸结构与第二抽吸结构，所述第一抽吸结构对应活动式滤芯的安装位置，所述第二抽吸结构对应滤芯定位装夹件的安装位置，所述侧封件封闭第一连接管道与第二连接管道后，所述第一抽吸结构与第二抽吸结构对滤芯定位装夹件、活动式滤芯的内部进行抽吸。

作为进一步改进的，所述侧封件包括设置在所述滤芯定位装夹件边侧的安装腔，设置在所述安装腔内侧的换向电机，连接在所述换向电机转动端的封挡片，所述封挡片的直径与第一连接管道与第二连接管道的内壁等径，所述封挡片转动后密封第一连接管道与第二连接管道。

作为进一步改进的，所述对接结构在水平方向上的投影位置与第一连接管道与第二连接管道错开，所述对接结构包含设置在所述滤芯定位装夹件前后方向上的导向腔，固定端钉紧在所述导向腔内侧面的横向弹簧，所述横向弹簧活动端的最长伸缩距离不超过所述导向腔的长度，所述活动式滤芯插入所述滤芯定位装夹件后配合结构与所述横向弹簧齐平。

作为进一步改进的，所述配合结构包括与所述导向腔内侧壁等径的配合道，所述配合道中设置有导轨，所述配合道内滑动连接有滑动配合块，所述滑动配合块在所述随动件的助推下压缩横向弹簧并滑动至导向腔内。

作为进一步改进的，所述配合结构还包括一倾斜设置在配合道上端与下端并与滑动配合块交错的拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的活动一端固接在随动件上，所述随动件受流体的压力压缩拉伸弹簧并推动滑动配合块往侧向滑动。

作为进一步改进的，所述随动件包括一贴合在中段滤芯上的遮挡片，与所述遮挡片相接的滑动扁块，所述滑动扁块外侧的上下端与拉伸弹簧固接，所述遮挡片滑动后与配合道的外壁贴合，所述滑动扁块滑动后抵接在两个滑动配合块上。

作为进一步改进的，所述滑动扁块靠近流体一侧的方向为弧形面。

作为进一步改进的，所述活动式滤芯顶面的两侧设置有连接耳片，所述活动式滤芯插入滤芯定位装夹件后通过连接耳片锁紧在滤芯定位装夹件上。

作为进一步改进的，所述第二抽吸结构包括与所述滤芯定位装夹件内部相通的第一抽吸管，与所述第一抽吸管相接的第一过滤箱，与所述第一过滤箱相接的尾气处理管。

作为进一步改进的，所述第一抽吸结构包括与所述活动式滤芯内部相通的第二抽吸管，与所述第二抽吸管相接的第二过滤箱，与所述第二过滤箱相接的第三抽吸管，所述第三抽吸管接入所述第一过滤箱中。

本发明的有益效果是：

在滤芯使用一段时间后，滤芯上粘附的杂质会在流体的压力下强行通过滤芯，导致滤芯对流体的过滤效果变差，故在使用一段时间后需要更换滤芯，在滤芯的更换阶段需要拆解设备，将整个滤芯取出后更换新的滤芯，由于不了解管道中的状况，拆解的过程中即便出现泄漏也无法及时知悉，对此，本发明提出在第一连接管道、第二连接管道的中部位置设置高精度滤芯组件，高精度滤芯组件中的侧封件会首先密封高精度滤芯组件与第一连接管道、第二连接管道之间的通路，让高精度滤芯组件形成一单独的空间，尔后再经过抽吸件抽吸滤芯定位装夹件、活动式滤芯中的气体，将所有的气体完全抽出，保证整个管路结构中均没有其他干扰因素后，再将活动式滤芯从滤芯定位装夹件中拔出，在对活动式滤芯中的滤芯更换的过程中无需担心其余因素的干扰；

而若管路结构中还有气流流动，此时气体会对随动件造成压力，将随动件压在配合结构中，令配合结构与对接结构为对接状态，活动式滤芯卡紧在滤芯定位装夹件内，工人即便想强行将活动式滤芯提起都无法提起，管路处于一种锁紧的状态，即便工人走神忘记管路中还在反应也不会出现致命失误，让整个滤芯的更换过程更加的安全。

在抽吸件作用的阶段，若不将与其相通的第一连接管道与第二连接管道封闭住，则需要直接抽吸整个管道内的气体，不仅抽吸量大，并且抽吸的周期长，拖长了整个更换周期，故本发明进一步提出在滤芯定位装夹件对应第一连接管道、第二连接管道的位置上设置侧封件，在正常对气体的过滤阶段，侧封件的封挡片与气体相切，气体能够无碍通过，而在需要更换滤芯时，则让封挡片转动90°，让封挡片封闭两边管道与滤芯定位装夹件之间的通道，让滤芯定位装夹件中形成一个暂时的密闭空间，为第一抽吸结构与第二抽吸结构的作用提供操作空间。

在整个更换滤芯的过程中，滤芯定位装夹件一直是固定不动的，其主要起到的是卡紧固定的作用，为活动式滤芯的动作提供一定的限位固定，即提供一导向腔与一横向弹簧，在活动式滤芯受流体压力动作时能够压缩横向弹簧并通过导向腔卡住活动式滤芯，让活动式滤芯无法被工人直接提出，而在流体压力完全消失后再经横向弹簧将活动式滤芯复位，让活动式滤芯又能够被提出。

而主要起活动作用的活动式滤芯，其动力源是来自管路中流体的动力，在有流体流动时，无论是气体还是液体，均会对随动件造成一定的压力，让随动件内陷，内陷的随动件会挤压到配合道中，将配合道中的滑动配合块往外侧推，使滑动配合块压缩横向弹簧并卡紧到导向腔内，此时由于滑动配合块与导向腔至少有部分重合，故工人在向上提起活动式滤芯时会受到阻碍；

而在流体的压力消失之后，随动件需要复位到原先的位置上，从而接触滑动配合块的拉紧效果，此时若仅仅只是流体动力消失，随动件也无法回归到原先的位置上，故本发明在配合道的上端与下端设置拉伸弹簧，拉伸弹簧避开了滑动配合块的位置，在随动件失去了流体压力之后能够带动随动件复位，从而让实现随动件往复动作。

在随动件被流体冲击的过程中，为了避免流体大量的灌入配合道中，受力的随动件中的遮挡片会密封住整个配合道与活动式滤芯之间的空间，让流体能够正常的流通，而随动件中的滑动扁块则是弧形凸面结构，在遮挡片受压后能够让滑动扁块滑动后推动滑动配合块动作。

在抽吸件抽吸的过程中，并不只是简单的将其中的气体抽出即可，在光刻胶原料的整个制备过程中，经常需要利用到一些有毒气体，若直接将其抽出排放至大气中，则容易造成，对此，本发明首先对相对有害物质较少的滤芯定位装夹件进行抽吸，仅通过第一过滤箱对其进行过滤即可，而对应活动式滤芯的位置上，由于该处位置的过滤产物较多，故形成的气体有害物质也较多，不仅需要进行第二过滤箱的一次过滤，还需经第一过滤箱进行二次过滤，从而才能够保证经抽吸件排出的气体无害，同时又能够减少活动式滤芯拆解时可能造成的危害。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明提供的一种光刻胶滤芯更换用管路结构的结构示意图。

图2是本发明提供的一种滤芯定位装夹件的剖切图(第一状态)。

图3是本发明提供的一种滤芯定位装夹件的剖切图(第二状态)。

图4是本发明提供的一种活动式滤芯的左视结构示意图(第一状态)。

图5是本发明提供的一种活动式滤芯的左视结构示意图(第二状态)。

图6是本发明提供的一种配合结构、随动件的俯视结构示意图。

图7是本发明提供的一种抽吸件的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1～图7所示，一种光刻胶滤芯更换用管路结构，包括第一连接管道10、第二连接管道20，以及连接在所述第一连接管道10与第二连接管道20的高精度滤芯组件，所述高精度滤芯组件包括用于连接所述第一连接管道10、第二连接管道20的滤芯定位装夹件31，以及活动插接在所述滤芯定位装夹件31上的活动式滤芯32，装设在所述滤芯定位装夹件31、活动式滤芯32外侧的抽吸件33；所述滤芯定位装夹件31包含位于滤芯定位装夹件31两侧且分别设置在第一连接管道10与第二连接管道20轴向上的侧封件311，位于所述滤芯定位装夹件31前后端的至少一组对接结构312，所述活动式滤芯32插接至滤芯定位装夹件31后，活动式滤芯32卡入所述对接结构312中，所述活动式滤芯32拔出滤芯定位装夹件31前，所述侧封件311转动并封闭第一连接管道10与第二连接管道20；所述活动式滤芯32为一精密滤芯，所述精密滤芯为三段滤芯复合构成，分别为两个边侧滤芯与中段滤芯，所述活动式滤芯32包含设置在所述活动式滤芯32两端的配合结构321，所述配合结构321固定在边侧的滤芯上，中段的滤芯两端连接贴合设置有与活动式滤芯32内腔壁活动配合的随动件322，所述随动件322在管路结构中有流体通过时受压收缩并抵压在配合结构321上使配合结构321卡接至侧封件311中；所述抽吸件33包含第一抽吸结构331与第二抽吸结构332，所述第一抽吸结构331对应活动式滤芯32的安装位置，所述第二抽吸结构332对应滤芯定位装夹件31的安装位置，所述侧封件311封闭第一连接管道10与第二连接管道20后，所述第一抽吸结构331与第二抽吸结构332对滤芯定位装夹件31、活动式滤芯32的内部进行抽吸。

在本实施例中，高精度滤芯组件可设置于第一连接管道10与第二连接管道20之间的任何位置上，对安装环境的要求极低。

为了安全考虑以及标准化要求，在第一连接管道10或者第二连接管道20上需要设置压力表，对管道内压力进行实时监测。

需要强调的是，本实施例中的活动式滤芯32不单单只是一层滤芯结构，其共包含三层，而随动件322是安装在中段滤芯的位置，即便是在随动件322发生位置移动之后，虽然中段滤芯有部分位置空出，但是流体至少还需要经过两道滤网的精密过滤方才能通过整个滤芯组件。

在滤芯使用一段时间后，滤芯上粘附的杂质会在流体的压力下强行通过滤芯，导致滤芯对流体的过滤效果变差，故在使用一段时间后需要更换滤芯，在滤芯的更换阶段需要拆解设备，将整个滤芯取出后更换新的滤芯，由于不了解管道中的状况，拆解的过程中即便出现泄漏也无法及时知悉，对此，本发明提出在第一连接管道10、第二连接管道20的中部位置设置高精度滤芯组件，高精度滤芯组件中的侧封件311会首先密封高精度滤芯组件与第一连接管道10、第二连接管道20之间的通路，让高精度滤芯组件形成一单独的空间，尔后再经过抽吸件33抽吸滤芯定位装夹件31、活动式滤芯32中的气体，将所有的气体完全抽出，保证整个管路结构中均没有其他干扰因素后，再将活动式滤芯32从滤芯定位装夹件31中拔出，在对活动式滤芯32中的滤芯更换的过程中无需担心其余因素的干扰；

而若管路结构中还有气流流动，此时气体会对随动件322造成压力，将随动件322压在配合结构321中，令配合结构321与对接结构312为对接状态，活动式滤芯32卡紧在滤芯定位装夹件31内，工人即便想强行将活动式滤芯32提起都无法提起，管路处于一种锁紧的状态，即便工人走神忘记管路中还在反应也不会出现致命失误，让整个滤芯的更换过程更加的安全。

在抽吸件33作用的阶段，若不将与其相通的第一连接管道10与第二连接管道20封闭住，则需要直接抽吸整个管道内的气体，不仅抽吸量大，并且抽吸的周期长，拖长了整个更换周期，故本实施例的所述侧封件311包括设置在所述滤芯定位装夹件31边侧的安装腔3111，设置在所述安装腔3111内侧的换向电机3112，连接在所述换向电机3112转动端的封挡片3113，所述封挡片3113的直径与第一连接管道10与第二连接管道20的内壁等径，所述封挡片3113转动后密封第一连接管道10与第二连接管道20，通过在滤芯定位装夹件31对应第一连接管道10、第二连接管道20的位置上设置侧封件311，在正常对气体的过滤阶段，侧封件311的封挡片3113与气体相切，气体能够无碍通过，而在需要更换滤芯时，则让封挡片3113转动90°，让封挡片3113封闭两边管道与滤芯定位装夹件31之间的通道，让滤芯定位装夹件31中形成一个暂时的密闭空间，为第一抽吸结构331与第二抽吸结构332的作用提供操作空间。

在整个更换滤芯的过程中，滤芯定位装夹件31一直是固定不动的，其主要起到的是卡紧固定的作用，为活动式滤芯32的动作提供一定的限位固定，具体的，所述对接结构312在水平方向上的投影位置与第一连接管道10与第二连接管道20错开，所述对接结构312包含设置在所述滤芯定位装夹件31前后方向上的导向腔3121，固定端钉紧在所述导向腔3121内侧面的横向弹簧3122，所述横向弹簧3122活动端的最长伸缩距离不超过所述导向腔3121的长度，所述活动式滤芯32插入所述滤芯定位装夹件31后配合结构321与所述横向弹簧3122齐平，即提供一导向腔3121与一横向弹簧3122，在活动式滤芯32受流体压力动作时能够压缩横向弹簧3122并通过导向腔3121卡住活动式滤芯32，让活动式滤芯32无法被工人直接提出，而在流体压力完全消失后再经横向弹簧3122将活动式滤芯32复位，让活动式滤芯32又能够被提出，其中，对接结构312在水平方向上的投影位置与第一连接管道10与第二连接管道20错开的目的是为了避免正常流动的流体影响到对接结构312设置，故将整个滤芯定位装夹件31制作的比管道本身还大。

而主要起活动作用的活动式滤芯32，其动力源是来自管路中流体的动力，在有流体流动时，无论是气体还是液体，均会对随动件322造成一定的压力，让随动件322内陷，具体的，所述配合结构321包括与所述导向腔3121内侧壁等径的配合道3211，所述配合道3211中设置有导轨，所述配合道3211内滑动连接有滑动配合块3212，所述滑动配合块3212在所述随动件322的助推下压缩横向弹簧3122并滑动至导向腔3121内，所述配合结构321还包括一倾斜设置在配合道3211上端与下端并与滑动配合块3212交错的拉伸弹簧3213，所述拉伸弹簧3213的活动一端固接在随动件322上，所述随动件322受流体的压力压缩拉伸弹簧3213并推动滑动配合块3212往侧向滑动，内陷的随动件322会挤压到配合道3211中，将配合道3211中的滑动配合块3212往外侧推，使滑动配合块3212压缩横向弹簧3122并卡紧到导向腔3121内，此时由于滑动配合块3212与导向腔3121至少有部分重合，故工人在向上提起活动式滤芯32时会受到阻碍；

而在流体的压力消失之后，随动件322需要复位到原先的位置上，从而接触滑动配合块3212的拉紧效果，此时若仅仅只是流体动力消失，随动件322也无法回归到原先的位置上，故本发明在配合道3211的上端与下端设置拉伸弹簧3213，拉伸弹簧3213避开了滑动配合块3212的位置，在随动件322失去了流体压力之后能够带动随动件322复位，从而让实现随动件322往复动作。

其中，活动式滤芯32的顶部设置把手，能够便于工人提起或者下放活动式滤芯32。

滑动配合块3212与配合道3211之间通过导轨配合，滑动配合块3212与配合道3211之间存在一定的摩擦力，让滑动配合块3212不会掉出配合道3211外。

为了让活动式滤芯32在与滤芯定位装夹件31结合时更加的稳定，不容易因为外部干扰以及流体的高速流动而振动，所述活动式滤芯32顶面的两侧设置有连接耳片323，所述活动式滤芯32插入滤芯定位装夹件31后通过连接耳片323锁紧在滤芯定位装夹件31上，在定位了活动式滤芯32的位置之后即进行连接耳片323的锁固，当连接耳片323锁固到位之后，活动式滤芯32与滤芯定位装夹件31的配合也恰巧到位。

在随动件322被流体冲击的过程中，为了避免流体大量的灌入配合道3211中，所述随动件322包括一贴合在中段滤芯上的遮挡片3221，与所述遮挡片3221相接的滑动扁块3222，所述滑动扁块3222外侧的上下端与拉伸弹簧3213固接，所述遮挡片3221滑动后与配合道3211的外壁贴合，所述滑动扁块3222滑动后抵接在两个滑动配合块3212上，受力的随动件322中的遮挡片3221会密封住整个配合道3211与活动式滤芯32之间的空间，让流体能够正常的流通，而随动件322中的滑动扁块3222则是弧形凸面结构，在遮挡片3221受压后能够让滑动扁块3222滑动后推动同样为弧形凸面结构的滑动配合块3212动作。

为了让滑动扁块3222在与流体接触时能够更加顺滑的向内侧动作，所述滑动扁块3222靠近流体一侧的方向为弧形面，在流体冲刷到滑动扁块3222时，能够沿着滑动扁块3222的弧面将其向内冲，从而让其更加的灵敏。

在抽吸件33抽吸的过程中，并不只是简单的将其中的气体抽出即可，在光刻胶原料的整个制备过程中，经常需要利用到一些有毒气体，若直接将其抽出排放至大气中，则容易造成，对此，本发明的所述第二抽吸结构332包括与所述滤芯定位装夹件31内部相通的第一抽吸管3321，与所述第一抽吸管3321相接的第一过滤箱3322，与所述第一过滤箱3322相接的尾气处理管3323，所述第一抽吸结构331包括与所述活动式滤芯32内部相通的第二抽吸管3311，与所述第二抽吸管3311相接的第二过滤箱3312，与所述第二过滤箱3312相接的第三抽吸管3313，所述第三抽吸管3313接入所述第一过滤箱3322中，首先对相对有害物质较少的滤芯定位装夹件31进行抽吸，仅通过第一过滤箱3322对其进行过滤即可，而对应活动式滤芯32的位置上，由于该处位置的过滤产物较多，故形成的气体有害物质也较多，不仅需要进行第二过滤箱3312的一次过滤，还需经第一过滤箱3322进行二次过滤，从而才能够保证经抽吸件33排出的气体无害，同时又能够减少活动式滤芯32拆解时可能造成的危害。

以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种光刻胶滤芯更换用管路结构，其特征在于，包括第一连接管道（10）、第二连接管道（20），以及连接在所述第一连接管道（10）与第二连接管道（20）的高精度滤芯组件，所述高精度滤芯组件包括用于连接所述第一连接管道（10）、第二连接管道（20）的滤芯定位装夹件（31），以及活动插接在所述滤芯定位装夹件（31）上的活动式滤芯（32），装设在所述滤芯定位装夹件（31）、活动式滤芯（32）外侧的抽吸件（33）；

所述滤芯定位装夹件（31）包含位于滤芯定位装夹件（31）两侧且分别设置在第一连接管道（10）与第二连接管道（20）轴向上的侧封件（311），位于所述滤芯定位装夹件（31）前后端的至少一组对接结构（312），所述活动式滤芯（32）插接至滤芯定位装夹件（31）后，活动式滤芯（32）卡入所述对接结构（312）中，所述活动式滤芯（32）拔出滤芯定位装夹件（31）前，所述侧封件（311）转动并封闭第一连接管道（10）与第二连接管道（20）；

所述活动式滤芯（32）为一精密滤芯，所述精密滤芯为三段滤芯复合构成，分别为两个边侧滤芯与中段滤芯，所述活动式滤芯（32）包含设置在所述活动式滤芯（32）两端的配合结构（321），所述配合结构（321）固定在边侧的滤芯上，中段的滤芯两端连接贴合设置有与活动式滤芯（32）内腔壁活动配合的随动件（322），所述随动件（322）在管路结构中有流体通过时受压收缩并抵压在配合结构（321）上使配合结构（321）卡接至侧封件（311）中；

所述抽吸件（33）包含第一抽吸结构（331）与第二抽吸结构（332），所述第一抽吸结构（331）对应活动式滤芯（32）的安装位置，所述第二抽吸结构（332）对应滤芯定位装夹件（31）的安装位置，所述侧封件（311）封闭第一连接管道（10）与第二连接管道（20）后，所述第一抽吸结构（331）与第二抽吸结构（332）对滤芯定位装夹件（31）、活动式滤芯（32）的内部进行抽吸；所述侧封件（311）包括设置在所述滤芯定位装夹件（31）边侧的安装腔（3111），设置在所述安装腔（3111）内侧的换向电机（3112），连接在所述换向电机（3112）转动端的封挡片（3113），所述封挡片（3113）的直径与第一连接管道（10）与第二连接管道（20）的内壁等径，所述封挡片（3113）转动后密封第一连接管道（10）与第二连接管道（20）；所述对接结构（312）在水平方向上的投影位置与第一连接管道（10）与第二连接管道（20）错开，所述对接结构（312）包含设置在所述滤芯定位装夹件（31）前后方向上的导向腔（3121），固定端钉紧在所述导向腔（3121）内侧面的横向弹簧（3122），所述横向弹簧（3122）活动端的最长伸缩距离不超过所述导向腔（3121）的长度，所述活动式滤芯（32）插入所述滤芯定位装夹件（31）后配合结构（321）与所述横向弹簧（3122）齐平；所述配合结构（321）包括与所述导向腔（3121）内侧壁等径的配合道（3211），所述配合道（3211）中设置有导轨，所述配合道（3211）内滑动连接有滑动配合块（3212），所述滑动配合块（3212）在所述随动件（322）的助推下压缩横向弹簧（3122）并滑动至导向腔（3121）内；所述配合结构（321）还包括一倾斜设置在配合道（3211）上端与下端并与滑动配合块（3212）交错的拉伸弹簧（3213），所述拉伸弹簧（3213）的活动一端固接在随动件（322）上，所述随动件（322）受流体的压力压缩拉伸弹簧（3213）并推动滑动配合块（3212）往侧向滑动；所述随动件（322）包括一贴合在中段滤芯上的遮挡片（3221），与所述遮挡片（3221）相接的滑动扁块（3222），所述滑动扁块（3222）外侧的上下端与拉伸弹簧（3213）固接，所述遮挡片（3221）滑动后与配合道（3211）的外壁贴合，所述滑动扁块（3222）滑动后抵接在两个滑动配合块（3212）上。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶滤芯更换用管路结构，其特征在于，所述滑动扁块（3222）靠近流体一侧的方向为弧形面。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶滤芯更换用管路结构，其特征在于，所述活动式滤芯（32）顶面的两侧设置有连接耳片（323），所述活动式滤芯（32）插入滤芯定位装夹件（31）后通过连接耳片（323）锁紧在滤芯定位装夹件（31）上。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶滤芯更换用管路结构，其特征在于，所述第二抽吸结构（332）包括与所述滤芯定位装夹件（31）内部相通的第一抽吸管（3321），与所述第一抽吸管（3321）相接的第一过滤箱（3322），与所述第一过滤箱（3322）相接的尾气处理管（3323）。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶滤芯更换用管路结构，其特征在于，所述第一抽吸结构（331）包括与所述活动式滤芯（32）内部相通的第二抽吸管（3311），与所述第二抽吸管（3311）相接的第二过滤箱（3312），与所述第二过滤箱（3312）相接的第三抽吸管（3313），所述第三抽吸管（3313）接入所述第一过滤箱（3322）中。