CN117124097B - 一种具有高精度定位的垂直移动平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有高精度定位的垂直移动平台，涉及精密仪器技术领域，一种具有高精度定位的垂直移动平台包括基座和第二移动模组，基座顶侧相对设置两第一移动模组，第二移动模组两端分别可滑动的安装在两第一移动模组上方，第二移动模组设有第三移动模组，第三移动模组上可移动的设有装载台，装载台水平设置，第一移动模组、第二移动模组和第三移动模组可实现装载台在三维移动。本发明的目的在于提供一种精度高、移动速度快且散热效果好的一种具有高精度定位的垂直移动平台。

Description

一种具有高精度定位的垂直移动平台

技术领域

本发明属于精密仪器技术领域，具体涉及一种具有高精度定位的垂直移动平台。

背景技术

现代制造技术正朝着高速化、精密化和模块化方向发展，信息等高新技术制造业不仅对加工设备性能提出了越来越高的要求，如定位的精度和速度，而且对生产制作同样提出了越来越严格的要求，如光电子器件、半导体芯片等微电子产品，均要求在超洁净环境下完成加工制作。在微电子封装设备如共晶粘片机、全自动金丝球焊机和IC芯片制作设备如光刻机中，往往需要快速而十分精确的定位和非常精细的运动，因此需要高性能的超精密工作台作为其技术支持。

现有技术如名为《高精度移动平台》的发明专利，此发明专利的公开号为DE69320762T2。此发明包括一可动台，一个驱动螺杆具有其轴线平行于该级的运动的方向，一跟随器螺纹啮合与所述驱动螺杆，和一个线性导轨，用于支撑所述级的一个侧。所述线性导轨具有其轴线平行于所述该级的运动的方向。一个驱动部件被固定到所述级，其具有一对相对设置的接触表面。隔开一预定距离。一个转矩构件被固定到所述从动件，该扭矩件具有一驱动部分。用于放置所述之间的接触表面和移动所述级沿所述导轨。所述驱动部分和所述接触表面具有一个配置，以便提供大致点接触在它们之间。此发明无法实现在三维上高精度定位。

发明内容

本发明的目的在于提供一种精度高、移动速度快且散热效果好的一种具有高精度定位的垂直移动平台。

本发明为实现上述目的所采取的技术方案为：

一种具有高精度定位的垂直移动平台，包括基座和第二移动模组，基座顶侧相对设置两第一移动模组，第二移动模组两端分别可滑动的安装在两第一移动模组上方，

第二移动模组设有第三移动模组，第三移动模组上可移动的设有装载台，装载台水平设置，第一移动模组、第二移动模组和第三移动模组可实现装载台在三维移动。

通过对一种具有高精度定位的垂直移动平台整体设计，基座可选用大理石材质，大理石具有较高的抗压强度和单位体积重以及较低的吸水率和孔隙率，有利于整体装置在使用过程中重心的维持，同时保证基座震动较少，防止在使用的过程中基座共振的情况。基座顶侧设置的两个第一移动模组和一个第二移动模组均采用直线电机实现移动，更进一步的，第一移动模组实现沿第一方向移动，第二移动模组实现沿第二方向移动，第三移动模组实现沿第三方向移动，第一方向与第二方向第三方向两两垂直设置，如此设置可以实现装载台在空间内自由移动，其中，第三移动模组用于实现装载台沿Z轴移动，同时装载台是水平设置的，即装载台上表面与地面平行，通过第三移动模组可以实现在垂直高度装载台移动的精确性。

根据本发明一实施例，第三移动模组包括安装架体，安装架体中部设有第一通槽，安装架体配合设有移动台，移动台一侧设有动子组件，第一通槽内设有定子组件，动子组件与定子组件配合设置，移动台背向动子组件一侧设有制动组件，移动台与装载台固连。

通过上述设计，通过移动台上设置的动子组件与第一通槽内设置的定子组件相配合，实现了移动台沿第一通槽长度方向精准移动。更进一步的，在安装架体的一侧设置有高精密光栅尺，通过高精密光栅尺作为测量标准并通过运动控制系统实现对移动台上下移动的精准定位。制动组件用于实现当移动台相对定子组件停止位移时，通过同步控制制动组件实现移动台上的动子组件和安装架体上的定子组件快速停止，并消除停止时产生的冲击和晃动，制动系统与高精密光栅尺共同作用可以进一步提高整体装置垂直移动精度和效率，以满足本领域的精度需求。

更进一步的，定子组件包括对称间隔设置的第一背铁和第二背铁，第一背铁和第二背铁相对侧分别设置有第一磁铁阵列和第二磁铁阵列，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列均为交替设置的S级磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列位置相对的磁铁的磁性相同，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列之间形成气隙，动子组件在气隙的长度方向做直线运动。通过对定子组件的设计，当第一磁铁阵列和第二磁铁阵列间距增大时，磁密不会变化，便于根据实际需要调整第一磁铁阵列和第二磁铁阵列的间距。

根据本发明一实施例，制动组件包括两相对设置的液压元件，液压元件活动端设有制动板，制动板与安装架体侧方平行设置，制动板靠近安装架体一侧设有制动件，制动件包括辅助制动板，辅助制动板中部设有轴承，辅助制动板与制动板通过轴承转动连接，辅助制动板与安装架体一侧设有辅助制动件。

通过对制动组件设计，液压元件用于调整制动板与安装架体的间距，通过制动板相对安装架体测设置有制动件，当制动板与安装架体在液压元件的作用下减小时，制动件会与安装架体接触，以实现制动的效果，辅助制动板在与安装架体外表面接触的过程中由于辅助制动板能够旋转，能够改变摩擦接触方向以消除或减弱直线电机停止时产生的冲击晃动；由于第三移动模组的直线电机是沿垂直方向设计，移动台与装载台在移动过程中会受到重力影响，即在定子组件与动子组件停止移动的情况下会受到重力的影响，通过制动板以及辅助制动板的设计可以在定子组件和动子组件相对静止的情况下，将移动台和装载台部分重力分散到安装架体，以规避或减轻重力影响制定子组件与动子组件产生位移的问题，确保移动数据更精准。

更进一步的，安装架体与辅助制动间接触表面为有一定弧度的第一面，可以避免辅助制动板与安装架体持续接触，即当液压元件使制动板与安装架体间距减小时，由于辅助制动板与制动板之间通过轴承转动连接，此时，部分辅助制动板与安装架体的第一面相接触，必然辅助制动板会以轴承为轴心进行转动，可以避免辅助制动板持续接触安装架体表面，以减小摩擦产热。

根据本发明一实施例，辅助制动件包括制动柱，制动柱一端周向设有多个滚柱，辅助制动板周向设有多个限位孔，制动柱设有滚柱一端可转动与限位孔配合设置。

通过对辅助制动件的设置，辅助制动柱与限位孔配合设置实现辅助制动柱在滚柱的设置下，可以在收容在限位孔内的情况下转动，同时制动柱远离滚柱一侧表面粗糙度较大，可以实现制动柱端面可以与安装架体表面摩擦实现制动效果。辅助制动柱可转动的设计，可以实现在摩擦制动的过程中，能够改变摩擦接触方向以消除或减弱直线电机停止时产生的冲击晃动。

更进一步的，制动板靠近移动台一侧设有第一弹簧，第一弹簧连接移动台和制动板。通过第一弹簧的设置，可以实现一定的支点效果，防止制动板在液压元件移动的过程中，防止制动板断裂或寿命降低，可以提高制动组件的寿命和制动效果；此外，可以实现在制动的过程中，对制动件与安装架体的摩擦的过程中，会产生部分的震动和冲击，第一弹簧可以实现对震动和冲击的吸收，以实现第三移动组件位移的精度和准确度。

根据本发明一实施例，辅助制动板侧面环绕布设延伸板。

通过上述设计，当辅助制动板与安装架体接触的过程中，辅助制动板会绕轴承转动，此时，辅助制动板在转动的过程中会带动延伸板转动，延伸板能够带动辅助制动板周边气流流动，有助于摩擦块摩擦时的散热以及对安装架体周边气流的带动，辅助安装架体内侧磁体热量排出。

根据本发明一实施例，动子组件包括动子和散热基体，散热基体内设有腔体，腔体内设有第一输送管道，散热基体上设有进水口和出水口，进水口和出水口与第一输送管道首尾相通；

第一进水管道沿长度方向两侧设有多个液囊。

通过上述设计，通过进水口和出水口实现对第一输送管道的输送流动液体，通过第一输送管道可以实现通过液体输送的方式带走壳体空腔内的热量，散热基体与动子直接接触，进而实现对动子的散热。在第一输送管道两侧设有多个液囊，在水体进入到第一输送管道后，液囊会对水体进行存储并液囊向外膨胀，扩大液囊与腔体内的换热面积，提高换热效果。

更进一步的，液囊外侧设有橡胶板，橡胶板可以提过液囊的张力，可以提过液囊存储液体的能力，避免在水体压力波动或压力过大的情况下，液囊破裂；此外，橡胶板可以实现在水体压力的具有微小波动的情况下，对冲击力和震动的吸收，防止微小冲击和震动对第三移动模组的影响，提高整体装置的精度。

根据本发明一实施例，第一输送管道呈U型，进水口和出水口在散热基体一侧，第一输送管道上的液囊两两相对设置，相邻四个液囊之间设有协调组件。

通过上述设计，U型设计的第一输送管道实现对腔体内空间的利用率的提高，同时第一输送管道液囊两两相对设置，协调组件控制液囊膨胀出来的空间范围，避免个别液囊膨胀出来长度不均匀，确保各个位置的换热面积是均衡的；还在相邻的四个液囊之间设有协调组件，协调组件用于实现各个液囊的膨胀大小均匀，同时可以对液囊的震动吸收，实现移动台的稳定。

根据本发明一实施例，协调组件包括支撑架体，支撑架体侧面延伸设有四个第二弹簧柱，第二弹簧柱与液囊相连接，支撑架体内径向设置有四根第三弹簧，第三弹簧与第二弹簧柱一一配合设置，支撑架体内设有移动轴，移动轴用于连接对应设置第二弹簧柱和第三弹簧，支撑架体中心设有配重球，第三弹簧端部与配重球连接。

通过协调组件的设计，当与液囊相连接的第二弹簧柱，当液囊膨胀或收缩过程中，会拉动第二弹簧柱，通过移动轴会将受到的力传递给第三弹簧，第三弹簧进而会改变配置球的位置。可以实现通过液囊的伸缩来确保配重球始终稳定保持在中心位置，避免液囊的晃动对动子移动产生影响；还可以控制液囊伸缩长度。在第三移动模组的直线电机停止状态前，可通过端口进水口进水，协调组件的各个部件恢复弹簧形变，促使液囊快速收缩，挤压水体从出水口排出，进而使散热壳体内部水体快速排出，进而在直线电机停止状态前清空掉散热基体内部水体，以减少或避免垂直状态下停止时受重力影响。

附图说明

图1为一种具有高精度定位的垂直移动平台立体示意图；

图2为一种具有高精度定位的垂直移动平台俯视示意图；

图3为第三移动模组与装载台装配示意图；

图4为第三移动模组立体示意图；

图5为制动件立体示意图；

图6为制动件另一视角立体示意图；

图7为辅助制动件立体示意图；

图8为动子组件内部示意图；

图9为协调组件立体示意图；

图10为减震件配合示意图；

图11为减震件立体示意图。

附图标号：基座1，第二移动模组2，第一移动模组3，第三移动模组4，安装架体41，第一通槽411，移动台42，动子组件43，定子组件44，制动组件45，液压元件451，制动板452，制动件46，辅助制动板461，轴承462，辅助制动件463，制动柱464，滚柱465，限位孔466，延伸板467，动子431，散热基体47，腔体471，第一输送管道472，进水口473，出水口474，液囊475，橡胶板476，装载台5，装载基板51，装载基台52，减震件53，连接柱531，第四弹簧532，弧板533，协调组件6，支撑架体61，第二弹簧柱62，第三弹簧63，配重球64。

具体实施方式

以下结合具体实施方式和附图对本发明的技术方案作进一步详细描述：

实施例1：

如图1-图7所示，一种具有高精度定位的垂直移动平台，包括基座1和第二移动模组2，基座1顶侧相对设置两第一移动模组3，第二移动模组2两端分别可滑动的安装在两第一移动模组3上方，

第二移动模组2设有第三移动模组4，第三移动模组4上可移动的设有装载台5，装载台5水平设置，第一移动模组3、第二移动模组2和第三移动模组4可实现装载台5在三维移动。

通过对一种具有高精度定位的垂直移动平台整体设计，基座1可选用大理石材质，大理石具有较高的抗压强度和单位体积重以及较低的吸水率和孔隙率，有利于整体装置在使用过程中重心的维持，同时保证基座1震动较少，防止在使用的过程中基座1共振的情况。基座1顶侧设置的两个第一移动模组3和一个第二移动模组2均采用直线电机实现移动，更进一步的，第一移动模组3实现沿第一方向移动，第二移动模组2实现沿第二方向移动，第三移动模组4实现沿第三方向移动，第一方向与第二方向第三方向两两垂直设置，如此设置可以实现装载台5在空间内自由移动，其中，第三移动模组4用于实现装载台5沿Z轴移动，同时装载台5是水平设置的，即装载台5上表面与地面平行，通过第三移动模组4可以实现在垂直高度装载台5移动的精确性。

第三移动模组4包括安装架体41，安装架体41中部设有第一通槽411，安装架体41配合设有移动台42，移动台42一侧设有动子组件43，第一通槽411内设有定子组件44，动子组件43与定子组件44配合设置，移动台42背向动子组件43一侧设有制动组件45，移动台42与装载台5固连。

通过上述设计，通过移动台42上设置的动子组件43与第一通槽411内设置的定子组件44相配合，实现了移动台42沿第一通槽411长度方向精准移动。更进一步的，在安装架体41的一侧设置有高精密光栅尺，通过高精密光栅尺作为测量标准并通过运动控制系统实现对移动台42上下移动的精准定位。制动组件45用于实现当移动台42相对定子组件44停止位移时，通过同步控制制动组件45实现移动台42上的动子组件43和安装架体41上的定子组件44快速停止，并消除停止时产生的冲击和晃动，制动系统与高精密光栅尺共同作用可以进一步提高整体装置垂直移动精度和效率，以满足本领域的精度需求。

更进一步的，定子组件44包括对称间隔设置的第一背铁和第二背铁，第一背铁和第二背铁相对侧分别设置有第一磁铁阵列和第二磁铁阵列，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列均为交替设置的S级磁铁、海尔贝克磁铁和N极磁铁，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列位置相对的磁铁的磁性相同，第一磁铁阵列和第二磁铁阵列之间形成气隙，动子组件43在气隙的长度方向做直线运动。通过对定子组件44的设计，当第一磁铁阵列和第二磁铁阵列间距增大时，磁密不会变化，便于根据实际需要调整第一磁铁阵列和第二磁铁阵列的间距。

制动组件45包括两相对设置的液压元件451，液压元件451活动端设有制动板452，制动板452与安装架体41侧方平行设置，制动板452靠近安装架体41一侧设有制动件46，制动件46包括辅助制动板461，辅助制动板461中部设有轴承462，辅助制动板461与制动板452通过轴承462转动连接，辅助制动板461与安装架体41一侧设有辅助制动件463。

通过对制动组件45设计，液压元件451用于调整制动板452与安装架体41的间距，通过制动板452相对安装架体41测设置有制动件46，当制动板452与安装架体41在液压元件451的作用下减小时，制动件46会与安装架体41接触，以实现制动的效果，辅助制动板461在与安装架体41外表面接触的过程中由于辅助制动板461能够旋转，能够改变摩擦接触方向以消除或减弱直线电机停止时产生的冲击晃动；由于第三移动模组4的直线电机是沿垂直方向设计，移动台42与装载台5在移动过程中会受到重力影响，即在定子组件44与动子组件43停止移动的情况下会受到重力的影响，通过制动板452以及辅助制动板461的设计可以在定子组件44和动子组件43相对静止的情况下，将移动台42和装载台5部分重力分散到安装架体41，以规避或减轻重力影响制定子组件44与动子组件43产生位移的问题，确保移动数据更精准。

更进一步的，安装架体41与辅助制动件接触表面为有一定弧度的第一面，可以避免辅助制动板461与安装架体41持续接触，即当液压元件451使制动板452与安装架体41间距减小时，由于辅助制动板461与制动板452之间通过轴承462转动连接，此时，部分辅助制动板461与安装架体41的第一面相接触，必然辅助制动板461会以轴承462为轴心进行转动，可以避免辅助制动板461持续接触安装架体41表面，以减小摩擦产热。

辅助制动件463包括制动柱464，制动柱464一端周向设有多个滚柱465，辅助制动板461周向设有多个限位孔466，制动柱464设有滚柱465一端可转动与限位孔466配合设置。

通过对辅助制动件463的设置，辅助制动柱464与限位孔466配合设置实现辅助制动柱464在滚柱465的设置下，可以在收容在限位孔466内的情况下转动，同时制动柱464远离滚柱465一侧表面粗糙度较大，可以实现制动柱464端面可以与安装架体41表面摩擦实现制动效果。辅助制动柱464可转动的设计，可以实现在摩擦制动的过程中，能够改变摩擦接触方向以消除或减弱直线电机停止时产生的冲击晃动。

更进一步的，制动板452靠近移动台42一侧设有第一弹簧，第一弹簧连接移动台42和制动板452。通过第一弹簧的设置，可以实现一定的支点效果，防止制动板452在液压元件451移动的过程中，防止制动板452断裂或寿命降低，可以提高制动组件45的寿命和制动效果；此外，可以实现在制动的过程中，对制动件46与安装架体41的摩擦的过程中，会产生部分的震动和冲击，第一弹簧可以实现对震动和冲击的吸收，以实现第三移动组件位移的精度和准确度。

辅助制动板461侧面环绕布设延伸板467。

通过上述设计，当辅助制动板461与安装架体41接触的过程中，辅助制动板461会绕轴承462转动，此时，辅助制动板461在转动的过程中会带动延伸板467转动，延伸板467能够带动辅助制动板461周边气流流动，有助于摩擦块摩擦时的散热以及对安装架体41周边气流的带动，辅助安装架体41内侧磁体热量排出。

实施例2：

如图8和图9所示，根据本发明另一实施方式的一种具有高精度定位的垂直移动平台，与实施例1相比不同之处在于，动子组件43包括动子431和散热基体47，散热基体47内设有腔体471，腔体471内设有第一输送管道472，散热基体47上设有进水口473和出水口474，进水口473和出水口474与第一输送管道472首尾相通；

第一输送管道472沿长度方向两侧设有多个液囊475。

通过上述设计，通过进水口473和出水口474实现对第一输送管道472的输送流动液体，通过第一输送管道472可以实现通过液体输送的方式带走壳体空腔内的热量，散热基体47与动子431直接接触，进而实现对动子431的散热。在第一输送管道472两侧设有多个液囊475，在水体进入到第一输送管道472后，液囊475会对水体进行存储并液囊475向外膨胀，扩大液囊475与腔体471内的换热面积，提高换热效果。

更进一步的，液囊475外侧设有橡胶板476，橡胶板476可以提过液囊475的张力，可以提过液囊475存储液体的能力，避免在水体压力波动或压力过大的情况下，液囊475破裂；此外，橡胶板476可以实现在水体压力的具有微小波动的情况下，对冲击力和震动的吸收，防止微小冲击和震动对第三移动模组4的影响，提高整体装置的精度。

第一输送管道472呈U型，进水口473和出水口474在散热基体47一侧，第一输送管道472上的液囊475两两相对设置，相邻四个液囊475之间设有协调组件6。

通过上述设计，U型设计的第一输送管道472实现对腔体471内空间的利用率的提高，同时第一输送管道472液囊475两两相对设置，协调组件6控制液囊475膨胀出来的空间范围，避免个别液囊475膨胀出来长度不均匀，确保各个位置的换热面积是均衡的；还在相邻的四个液囊475之间设有协调组件6，协调组件6用于实现各个液囊475的膨胀大小均匀，同时可以对液囊475的震动吸收，实现移动台42的稳定。

协调组件6包括支撑架体61，支撑架体61侧面延伸设有四个第二弹簧柱62，第二弹簧柱62与液囊475相连接，支撑架体61内径向设置有四根第三弹簧63，第三弹簧63与第二弹簧柱62一一配合设置，支撑架体61内设有移动轴，移动轴用于连接对应设置第二弹簧柱62和第三弹簧63，支撑架体61中心设有配重球64，第三弹簧63端部与配重球64连接。

通过协调组件6的设计，当与液囊475相连接的第二弹簧柱62，当液囊475膨胀或收缩过程中，会拉动第二弹簧柱62，通过移动轴会将受到的力传递给第三弹簧63，第三弹簧63进而会改变配置球的位置。可以实现通过液囊475的伸缩来确保配重球64始终稳定保持在中心位置，避免液囊475的晃动对动子431移动产生影响；还可以控制液囊475伸缩长度。在第三移动模组4的直线电机停止状态前，可通过端口进水口473进水，协调组件6的各个部件恢复弹簧形变，促使液囊475快速收缩，挤压水体从出水口474排出，进而使散热壳体内部水体快速排出，进而在直线电机停止状态前清空掉散热基体47内部水体，以减少或避免垂直状态下停止时受重力影响。

实施例3：

如图10和图11所示，根据本发明另一实施方式的一种具有高精度定位的垂直移动平台，与实施例1相比不同之处在于，装载台5包括装载基板51，装载基板51与移动台42固联，装载基板51顶侧间隔设有装载基台52，装载基板51上设有多个减震件53与装载基台52连接，减震件53包括连接柱531，连接柱531环绕间隔设有第四弹簧532，第四弹簧532两端分别抵接装载基板51顶侧和装载基台52底侧，连接柱531周向设有多个弧板533，弧板533沿连接柱531长度方向设置，弧板533设于连接柱531与第四弹簧532之间，连接柱531与弧板533之间通过多个弹性条连接。

通过上述设计，当整体装置发生空间位移时，装载基台52和装载基板51会在惯性的作用下具有相对位移，第四弹簧532会将微小位移的冲击和震动吸收，提高整体装置的精度；在连接柱531和弧形板之间设有多个弧形板，可以实现在第四弹簧532伸缩的过程中，弧形板可以对第四弹簧532的垂直度进行限制，当第四弹簧532与弧形板发生冲击或摩擦的过程中，弧形板与连接柱531之间的弹性条会将冲击和摩擦吸收，防止对装载基台52产生震动影响，提高整体的精准度，确保第四弹簧532与弹簧柱的重心稳定以及保持同步上下位移，确保上部的装载基台52水平度。

以上所述的实施例对本发明的技术方案进行了详细说明，应理解的是以上所述仅为本发明的具体实施例，并不用于限制本发明，凡在本发明的原则范围内所做的任何修改、补充或类似方式替代等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种具有高精度定位的垂直移动平台，包括基座（1）和第二移动模组（2），所述基座（1）顶侧相对设置两第一移动模组（3），所述第二移动模组（2）两端分别可滑动的安装在两第一移动模组（3）上方，其特征在于，所述第二移动模组（2）设有第三移动模组（4），所述第三移动模组（4）上可移动的设有装载台（5），所述装载台（5）水平设置；

所述第三移动模组（4）包括安装架体（41），所述安装架体（41）中部设有第一通槽（411），所述安装架体（41）配合设有移动台（42），所述移动台（42）一侧设有动子组件（43），所述第一通槽（411）内设有定子组件（44），所述动子组件（43）与定子组件（44）配合设置，所述移动台（42）背向动子组件（43）一侧设有制动组件（45），所述移动台（42）与装载台（5）固连；

所述制动组件（45）包括两相对设置的液压元件（451），所述液压元件（451）活动端设有制动板（452），所述制动板（452）与安装架体（41）侧方平行设置，所述制动板（452）靠近安装架体（41）一侧设有制动件（46），所述制动件（46）包括辅助制动板（461），所述辅助制动板（461）中部设有轴承（462），所述辅助制动板（461）与制动板（452）通过轴承（462）转动连接，所述辅助制动板（461）与安装架体（41）一侧设有辅助制动件（463）；

所述辅助制动件（463）包括制动柱（464），所述制动柱（464）一端周向设有多个滚柱（465），所述辅助制动板（461）周向设有多个限位孔（466），所述制动柱（464）设有所述滚柱（465）一端可转动与限位孔（466）配合设置；

所述动子组件（43）包括动子（431）和散热基体（47），所述散热基体（47）内设有腔体（471），所述腔体（471）内设有第一输送管道（472），所述散热基体（47）上设有进水口（473）和出水口（474），所述进水口（473）和出水口（474）与第一输送管道（472）首尾相通；所述第一输送管道（472）沿长度方向两侧设有多个液囊（475）；

所述第一输送管道（472）呈U型，所述进水口（473）和出水口（474）在散热基体（47）一侧，所述第一输送管道（472）上的液囊（475）两两相对设置，相邻四个所述液囊（475）之间设有协调组件（6）；

所述协调组件（6）包括支撑架体（61），所述支撑架体（61）侧面延伸设有四个第二弹簧柱（62），所述第二弹簧柱（62）与液囊（475）相连接，所述支撑架体（61）内径向设置有四根第三弹簧（63），所述第三弹簧（63）与第二弹簧柱（62）一一配合设置，所述支撑架体（61）内设有移动轴，所述移动轴用于连接对应设置第二弹簧柱（62）和第三弹簧（63），所述支撑架体（61）中心设有配重球（64），所述第三弹簧（63）端部与配重球（64）连接。

2.据权利要求1所述一种具有高精度定位的垂直移动平台，其特征在于，所述辅助制动板（461）侧面环绕布设延伸板（467）。