CN117101254B - 一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于光刻胶技术领域，且公开了一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，包括处理筒，所述处理筒的内部套设有初滤板，所述处理筒的内部固定套接有一号引导套，所述初滤板的底面固定连通有套杆。本发明通过同时配合底部活动安装的连通机构，将二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液再次引导至多组色谱柱中，进行色谱分离，实际三次不同类型的分离过程一起合成，且三组过滤方式集成在处理筒的内部和底部，大大减少了中间操作，在投入初始光刻胶成膜树脂溶液后直接从底部盛接多级过滤纯化后的光刻胶成膜树脂溶液，且在实际处理过程中同步完成初级过滤的加强处理，实际过滤纯化效率高，集成化下的纯化装置体积小，减小空间占比，使用效果好。
Description
技术领域
本发明属于光刻胶技术领域，具体为一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法。
背景技术
光刻胶是一种用于微电子制造中的材料，它可以通过光刻技术制造微小的结构和线路。光刻胶通常由聚合物、单体、溶剂和光敏剂等组成。在光刻过程中，光敏剂会吸收光能并引起化学反应，从而使光刻胶产生化学或物理变化，形成所需的微结构和线路，光刻胶是目前制造先进集成电路的关键材料，光刻胶的成膜材料是各类光刻胶树脂，目前主流的ArF和KrF光刻胶都是通过自由基聚合制备出树脂溶液，并通过进行过滤纯化得到高质量光刻胶。
现有技术中的光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，在使用过程中，通常需要经过初级过滤、离心分离和色谱柱分离，进行从低到高精度的过滤纯化，然而目前的过滤纯化过程中需要单独依次进行多重分离纯化的步骤，实际在完成初级过滤后进行后续等纯化操作时，均需要进行不同容器的装载和转移，使得光刻胶成膜树脂进行过滤纯化时的效率较低，多步骤协同处理的连续性较差，整体装置的集成度较低，使得中间操作时间大大增加，降低处理效率的同时大大增加了安装布置的空间体积，实际使用效果不佳。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法，包括处理筒，所述处理筒的内部套设有初滤板，所述处理筒的内部固定套接有一号引导套，所述初滤板的底面固定连通有套杆，所述套杆的下端穿过一号引导套并延伸至下方且固定连接有挡板，所述挡板的顶面与一号引导套的底面之间固定连接有弹簧，所述初滤板的内部活动套接有转轴，所述转轴的外表面固定套接有离心筒，所述离心筒位于一号引导套的下方且与一号引导套相连通，所述处理筒的顶部固定安装有转动机构，所述转动机构的输出轴与转轴的上端固定连接，所述初滤板的顶面固定安装有引导弧板，所述引导弧板环形等间距分布在初滤板的顶部，所述转轴的外表面固定套接有推动机构，所述推动机构包括固定环、中间板、一号环板和推杆，所述推杆的下端位于引导弧板的上方，所述处理筒的底面螺纹套接有安装套，所述安装套的内表面固定套接有二号引导套，所述二号引导套的底面固定连通有导出管，所述导出管的下方套设有连通机构，所述连通机构包括有连通套、曲管、连通框、压板和顶部杆，所述顶部杆的顶面固定安装有连接机构，所述处理筒的外表面固定连接有侧板，所述侧板的底面固定连接有电动推杆，所述电动推杆的下端与连接机构可拆卸连接，所述连通机构的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的外表面套设有出料机构，所述出料机构包括出料套、安装孔、中间腔、出口孔和套孔，所述出料套活动套设在固定杆的外表面上，所述固定杆的外表面螺纹套接有螺纹套，所述安装孔的内表面活动套设有色谱柱，所述色谱柱的上端与连通机构相连通，所述处理筒外表面的上方设有缺口。
优选的，所述转动机构包括安装架、电机架和电机，所述安装架固定安装在处理筒的顶部，所述电机架固定安装在安装架的顶部，所述电机固定安装在电机架的内部，所述电机的输出轴与转轴固定连接。
优选的，所述固定环固定套接在转轴的外表面上，所述一号环板位于固定环的外侧，所述中间板的两端分别与一号环板和固定环固定连接，所述推杆固定安装在一号环板的底面上。
优选的，所述转轴的外表面固定套接有套管，所述套管的外表面固定连接有环形分布的搅动板，所述搅动板位于初滤板的顶部。
优选的，所述连通套活动套接在导出管的外侧，所述曲管固定连通在连通套的底面上，所述连通框的侧面与曲管的外端固定连通，所述压板活动套接在连通框的内部，所述顶部杆活动套接在连通框的顶部，所述顶部杆的下端与压板固定连接，所述连通框的底部与色谱柱相连通。
优选的，所述连接机构包括二号环板、顶部套和螺栓，所述二号环板的底面与顶部杆固定连接，所述顶部套固定连接在二号环板的顶面，所述顶部套套设在电动推杆下端的外侧，所述螺栓螺纹套接在顶部套的外表面上。
优选的，所述出料机构还包括有套孔，所述套孔的内表面与固定杆活动套接，所述中间腔开设在出料套的内部，所述安装孔和出口孔分别开设在出料套的上下面上，所述安装孔和出口孔均于中间腔相连通，所述套孔贯穿出料套的上表面且与中间腔相连通，所述螺纹套位于出口孔中。
优选的，所述处理筒的底面开设有环槽，所述环槽的内表面开设有螺纹，所述环槽的内表面与安装套螺纹套接。
一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化方法，包括以下操作方法：
第一步：初级过滤、将处理后的光刻胶成膜树脂溶液从处理筒顶部投入，并填充至初滤板的顶部，使得大颗粒杂质过滤在初滤板的顶部，过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下渗透，同时启动转动机构，使得电机带动转轴旋转，转轴旋转时同时带动推动机构和套管旋转，使得推动机构中的推杆沿着初滤板的顶部边缘旋转，并间歇的沿着引导弧板顶部转动，同时压缩初滤板向下移动，随着间歇下压引导弧板以及初滤板底部弹簧的形变，使得初滤板振动过滤；
第二步：离心分离、随着振动过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下掉落至一号引导套的内部，并沿着其内壁向下滑落至离心筒中，同时随着转轴的旋转，使得转轴带动离心筒旋转，将离心筒的光刻胶成膜树脂溶液中的悬浮物和不溶性物质过滤在离心筒的内部，二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液通过离心筒外侧渗透出并向下滑落至二号引导套中，且沿着其内壁向下滑落至连通机构中；
第三步：色谱分离、随着离心分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下流动至连通机构中，并沿着多组曲管进入到连通框中，使得光刻胶成膜树脂溶液进入到连通框底部对中连通的色谱柱中，并在色谱柱中进行杂质分离，分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下汇聚在出料机构中，并通过出料机构底面的出口孔向下流出，采用外接容器完成盛接即可。
本发明的有益效果如下：
1、本发明通过利用内置于处理筒中的初滤板与转轴活动套接，且利用转动机构中的电机带动转轴旋转时，同时带动转轴外表面上固定套接的离心筒旋转，在转轴的旋转下实现离心筒旋转时，随着初级过滤后的光刻胶成膜树脂溶液引导落入处理筒内部的离心筒中，实现过滤后的快速离心分离，并得到二次过滤的光刻胶成膜树脂溶液，同时配合底部活动安装的连通机构，将二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液再次引导至多组色谱柱中，进行色谱分离，实际三次不同类型的分离过程一起合成，且三组过滤方式集成在处理筒的内部和底部，大大减少了中间操作，在投入初始光刻胶成膜树脂溶液后直接从底部盛接多级过滤纯化后的光刻胶成膜树脂溶液，且在实际处理过程中同步完成初级过滤的加强处理，实际过滤纯化效率高，集成化下的纯化装置体积小，减小空间占比，使用效果好。
2、本发明通过再次利用转轴旋转时带动外表面套接的推动机构旋转，且配合初滤板顶面环形分布的引导弧板，在过滤并且旋转过程中，使得推动机构中的推杆间歇推动初滤板向下移动，且配合弹簧的弹性推力，实现初滤板的间歇振动，在不额外增加振动动力组件的情况下实现震动的初级过滤，减小辅助设备的采购和布置，使用效果好。
3、本发明通过配合处理筒外侧面上的电动推杆，并与连接机构通过螺栓固定夹紧，在色谱柱内部堵塞下通过启动电动推杆并推动连接机构下行，同时带动压板在连通框中挤压内部的光刻胶成膜树脂溶液，使得增压下将色谱柱内部堵塞物推出，实现便捷高效的清堵，维持稳定的色谱过滤效果，稳定实际纯化过程中，使用效果好。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的剖视示意图；
图3为本发明处理筒的底部示意图；
图4为本发明转轴和初滤板的套接示意图；
图5为本发明初滤板与一号引导套的爆炸示意图；
图6为本发明转动机构的示意图；
图7为本发明安装套和二号引导套之间的爆炸示意图；
图8为本发明连接机构和连通机构的连接示意图；
图9为本发明连通机构的爆炸示意图；
图10为本发明出料机构的剖视示意图；
图11为本发明推动机构的示意图。
图中：1、处理筒；2、初滤板；3、一号引导套；4、套杆；5、挡板；6、弹簧；7、转轴；8、套管；9、搅动板；10、离心筒；11、转动机构；111、安装架；112、电机架；113、电机；12、引导弧板；13、推动机构；131、固定环；132、中间板；133、一号环板；134、推杆；14、安装套；15、二号引导套；16、导出管；17、连接机构；171、二号环板；172、顶部套；173、螺栓；18、连通机构；181、连通套；182、曲管；183、连通框；184、压板；185、顶部杆；19、固定杆；20、出料机构；201、出料套；202、安装孔；203、中间腔；204、出口孔；205、套孔；21、色谱柱；22、螺纹套；23、环槽；24、缺口；25、侧板；26、电动推杆。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1至图11所示，本发明实施例提供了一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置及方法，包括处理筒1，处理筒1的内部套设有初滤板2，处理筒1的内部固定套接有一号引导套3，初滤板2的底面固定连通有套杆4，套杆4的下端穿过一号引导套3并延伸至下方且固定连接有挡板5，挡板5的顶面与一号引导套3的底面之间固定连接有弹簧6，初滤板2的内部活动套接有转轴7，转轴7的外表面固定套接有离心筒10，离心筒10位于一号引导套3的下方且与一号引导套3相连通，处理筒1的顶部固定安装有转动机构11，转动机构11的输出轴与转轴7的上端固定连接，初滤板2的顶面固定安装有引导弧板12，引导弧板12环形等间距分布在初滤板2的顶部，转轴7的外表面固定套接有推动机构13，推动机构13包括固定环131、中间板132、一号环板133和推杆134，推杆134的下端位于引导弧板12的上方，处理筒1的底面螺纹套接有安装套14，安装套14的内表面固定套接有二号引导套15，二号引导套15的底面固定连通有导出管16，导出管16的下方套设有连通机构18，连通机构18包括有连通套181、曲管182、连通框183、压板184和顶部杆185，顶部杆185的顶面固定安装有连接机构17，处理筒1的外表面固定连接有侧板25，侧板25的底面固定连接有电动推杆26，电动推杆26的下端与连接机构17可拆卸连接，连通机构18的底部固定连接有固定杆19，固定杆19的外表面套设有出料机构20，出料机构20包括出料套201、安装孔202、中间腔203、出口孔204和套孔205，出料套201活动套设在固定杆19的外表面上，固定杆19的外表面螺纹套接有螺纹套22，安装孔202的内表面活动套设有色谱柱21，色谱柱21的上端与连通机构18相连通，处理筒1外表面的上方设有缺口24，通过利用缺口24方便从上方操作，并对处理筒1内部进行清洁维护。
第一实施例：将处理后的光刻胶成膜树脂溶液从处理筒1顶部投入，并填充至初滤板2的顶部，使得大颗粒杂质过滤在初滤板2的顶部，过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下渗透，同时启动转动机构11，使得电机113带动转轴7旋转，转轴7旋转时同时带动固定套接在其外表面上的固定环131和套管8旋转，使得推动机构13中的固定环131通过中间板132和一号环板133带动推杆134旋转，从而使得推杆134沿着初滤板2的顶部边缘旋转，并间歇的沿着引导弧板12顶部转动，当推杆134滑动至引导弧板12顶部时向下压动初滤板2，使得初滤板2向下移动并使得套杆4向下拉伸弹簧6，当推杆134从引导弧板12顶部移开时，弹簧6弹性复位，使得初滤板2受推动上移，随着间歇下压引导弧板12以及配合初滤板2底部弹簧6的形变，使得初滤板2振动并进行过滤，且套管8的旋转使得外表面上环形分布的搅动板9一边搅动给入的光刻胶成膜树脂溶液，一边刮动间隙的刮动初滤板2顶部，随着振动过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下掉落至一号引导套3的内部，并沿着其内壁向下滑落至离心筒10中，同时随着转轴7的旋转，使得转轴7带动离心筒10旋转，将离心筒10的光刻胶成膜树脂溶液中的悬浮物和不溶性物质过滤在离心筒10的内部，二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液通过离心筒10外侧渗透出并向下滑落至二号引导套15中，且沿着其内壁向下滑落至连通机构18中，随着离心分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下流动至连通机构18中，并沿着多组曲管182进入到连通框183中，使得光刻胶成膜树脂溶液进入到连通框183底部对中连通的色谱柱21中，并在色谱柱21中进行杂质分离，分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下通过出料套201顶部的安装孔202流通至中间腔203中，并汇聚在出料机构20中间腔203中，且沿着出料套201底面的出口孔204向下流出，采用外接容器完成盛接即可，完成连续三次过滤并实现纯化操作。
首先，通过利用内置于处理筒1中的初滤板2与转轴7活动套接，且利用转动机构11中的电机113带动转轴7旋转时，同时带动转轴7外表面上固定套接的离心筒10旋转，在转轴7的旋转下实现离心筒10旋转时，随着初级过滤后的光刻胶成膜树脂溶液引导落入处理筒1内部的离心筒10中，实现过滤后的快速离心分离，并得到二次过滤的光刻胶成膜树脂溶液，同时配合底部活动安装的连通机构，将二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液再次引导至多组色谱柱21中，进行色谱分离，实际三次不同类型的分离过程一起合成，且三组过滤方式集成在处理筒1的内部和底部，大大减少了中间操作，在投入初始光刻胶成膜树脂溶液后直接从底部盛接多级过滤纯化后的光刻胶成膜树脂溶液，且在实际处理过程中同步完成初级过滤的加强处理，实际过滤纯化效率高，集成化下的纯化装置体积小，减小空间占比，使用效果好。
此外，通过再次利用转轴7旋转时带动外表面套接的推动机构13旋转，且配合初滤板2顶面环形分布的引导弧板12，在过滤并且旋转过程中，使得推动机构13中的推杆134间歇推动初滤板2向下移动，且配合弹簧6的弹性推力，实现初滤板的间歇振动，在不额外增加振动动力组件的情况下实现震动的初级过滤，减小辅助设备的采购和布置，使用效果好。
如图1、图2、图3、图4、图6、图5和图11所示，转动机构11包括安装架111、电机架112和电机113，安装架111固定安装在处理筒1的顶部，电机架112固定安装在安装架111的顶部，电机113固定安装在电机架112的内部，电机113的输出轴与转轴7固定连接，固定环131固定套接在转轴7的外表面上，一号环板133位于固定环131的外侧，中间板132的两端分别与一号环板133和固定环131固定连接，推杆134固定安装在一号环板133的底面上，转轴7的外表面固定套接有套管8，套管8的外表面固定连接有环形分布的搅动板9，搅动板9位于初滤板2的顶部。
在使用过程中，利用转动机构11提供离心筒10的旋转离心，同时带动推动机构13旋转，配合弹簧6的弹性实现初滤板2的振动控制，通过利用搅动板9，在旋转的同时混匀光刻胶成膜树脂溶液，同时刮动初滤板2，避免堵塞，加强过滤。
如图1、图2、图3、图8、图9和图10所示，连通套181活动套接在导出管16的外侧，曲管182固定连通在连通套181的底面上，连通框183的侧面与曲管182的外端固定连通，压板184活动套接在连通框183的内部，顶部杆185活动套接在连通框183的顶部，顶部杆185的下端与压板184固定连接，连通框183的底部与色谱柱21相连通，连接机构17包括二号环板171、顶部套172和螺栓173，二号环板171的底面与顶部杆185固定连接，顶部套172固定连接在二号环板171的顶面，顶部套172套设在电动推杆26下端的外侧，螺栓173螺纹套接在顶部套172的外表面上，出料机构20还包括有套孔205，套孔205的内表面与固定杆19活动套接，中间腔203开设在出料套201的内部，安装孔202和出口孔204分别开设在出料套201的上下面上，安装孔202和出口孔204均于中间腔203相连通，套孔205贯穿出料套201的上表面且与中间腔203相连通，螺纹套22位于出口孔204中，处理筒1的底面开设有环槽23，环槽23的内表面开设有螺纹，环槽23的内表面与安装套14螺纹套接。
在使用过程中，通过利用压板184的移动，实现连通框183中液体的挤压，在对应色谱柱21内部堵塞情况下，利用压力增强实现清堵，且通过可拆卸的连接机构17便于与电动推杆26拆卸开，从而连同连通机构18一同从二号引导套15底部拆除，方便检修维护，通过利用出料机构20完成汇聚出料，且配合固定杆19和螺纹套22完成出料机构20的锁紧固定，且同时可以实现拆卸，并直接将色谱柱21从安装孔202中拆出，拆装便捷，同时利用螺纹套接的安装套14，实现处理筒1底部的拆除打开，方便从底部对处理筒1内部进行检修维护。
第二实施例：当多组色谱柱21在三次过滤纯化时出现堵塞时，启动处理筒1外侧面上的电动推杆26，随着电动推杆26动作并向下推动连接机构17中的二号环板171下移，从而使得二号环板171带动底面固定连接的顶部杆185下移，且使得顶部杆185向下带动压板184下移，随着压板184沿着连通框183下行，压缩内部的光刻胶成膜树脂溶液，在色谱柱21内部堵塞下内部压强增加，将堵塞物推出，完成清堵并保持继续稳定的色谱过滤。
首先，通过配合处理筒1外侧面上的电动推杆26，并与连接机构17通过螺栓173固定夹紧，在色谱柱21内部堵塞下通过启动电动推杆26并推动连接机构17下行，同时带动压板184在连通框183中挤压内部的光刻胶成膜树脂溶液，使得增压下将色谱柱21内部堵塞物推出，实现便捷高效的清堵，维持稳定的色谱过滤效果，稳定实际纯化过程中，使用效果好。
一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化方法，包括以下操作方法：
第一步：初级过滤、将处理后的光刻胶成膜树脂溶液从处理筒1顶部投入，并填充至初滤板2的顶部，使得大颗粒杂质过滤在初滤板2的顶部，过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下渗透，同时启动转动机构11，使得电机113带动转轴7旋转，转轴7旋转时同时带动推动机构13和套管8旋转，使得推动机构13中的推杆134沿着初滤板2的顶部边缘旋转，并间歇的沿着引导弧板12顶部转动，同时压缩初滤板2向下移动，随着间歇下压引导弧板12以及初滤板2底部弹簧6的形变，使得初滤板2振动过滤；
第二步：离心分离、随着振动过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下掉落至一号引导套3的内部，并沿着其内壁向下滑落至离心筒10中，同时随着转轴7的旋转，使得转轴7带动离心筒10旋转，将离心筒10的光刻胶成膜树脂溶液中的悬浮物和不溶性物质过滤在离心筒10的内部，二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液通过离心筒10外侧渗透出并向下滑落至二号引导套15中，且沿着其内壁向下滑落至连通机构18中；
第三步：色谱分离、随着离心分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下流动至连通机构18中，并沿着多组曲管182进入到连通框183中，使得光刻胶成膜树脂溶液进入到连通框183底部对中连通的色谱柱21中，并在色谱柱21中进行杂质分离，分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下汇聚在出料机构20中，并通过出料机构20底面的出口孔204向下流出，采用外接容器完成盛接即可。
Claims (7)
1.一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，包括处理筒（1），其特征在于：所述处理筒（1）的内部套设有初滤板（2），所述处理筒（1）的内部固定套接有一号引导套（3），所述初滤板（2）的底面固定连通有套杆（4），所述套杆（4）的下端穿过一号引导套（3）并延伸至下方且固定连接有挡板（5），所述挡板（5）的顶面与一号引导套（3）的底面之间固定连接有弹簧（6），所述初滤板（2）的内部活动套接有转轴（7），所述转轴（7）的外表面固定套接有离心筒（10），所述离心筒（10）位于一号引导套（3）的下方且与一号引导套（3）相连通，所述处理筒（1）的顶部固定安装有转动机构（11），所述转动机构（11）的输出轴与转轴（7）的上端固定连接，所述初滤板（2）的顶面固定安装有引导弧板（12），所述引导弧板（12）环形等间距分布在初滤板（2）的顶部，所述转轴（7）的外表面固定套接有推动机构（13），所述推动机构（13）包括固定环（131）、中间板（132）、一号环板（133）和推杆（134），所述推杆（134）的下端位于引导弧板（12）的上方，所述处理筒（1）的底面螺纹套接有安装套（14），所述安装套（14）的内表面固定套接有二号引导套（15），所述二号引导套（15）的底面固定连通有导出管（16），所述导出管（16）的下方套设有连通机构（18），所述连通机构（18）包括有连通套（181）、曲管（182）、连通框（183）、压板（184）和顶部杆（185），所述顶部杆（185）的顶面固定安装有连接机构（17），所述处理筒（1）的外表面固定连接有侧板（25），所述侧板（25）的底面固定连接有电动推杆（26），所述电动推杆（26）的下端与连接机构（17）可拆卸连接，所述连通机构（18）的底部固定连接有固定杆（19），所述固定杆（19）的外表面套设有出料机构（20），所述出料机构（20）包括出料套（201）、安装孔（202）、中间腔（203）、出口孔（204）和套孔（205），所述出料套（201）活动套设在固定杆（19）的外表面上，所述固定杆（19）的外表面螺纹套接有螺纹套（22），所述安装孔（202）的内表面活动套设有色谱柱（21），所述色谱柱（21）的上端与连通机构（18）相连通，所述处理筒（1）外表面的上方设有缺口（24）；
所述连通套（181）活动套接在导出管（16）的外侧，所述曲管（182）固定连通在连通套（181）的底面上，所述连通框（183）的侧面与曲管（182）的外端固定连通，所述压板（184）活动套接在连通框（183）的内部，所述顶部杆（185）活动套接在连通框（183）的顶部，所述顶部杆（185）的下端与压板（184）固定连接，所述连通框（183）的底部与色谱柱（21）相连通；
所述连接机构（17）包括二号环板（171）、顶部套（172）和螺栓（173），所述二号环板（171）的底面与顶部杆（185）固定连接，所述顶部套（172）固定连接在二号环板（171）的顶面，所述顶部套（172）套设在电动推杆（26）下端的外侧，所述螺栓（173）螺纹套接在顶部套（172）的外表面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述转动机构（11）包括安装架（111）、电机架（112）和电机（113），所述安装架（111）固定安装在处理筒（1）的顶部，所述电机架（112）固定安装在安装架（111）的顶部，所述电机（113）固定安装在电机架（112）的内部，所述电机（113）的输出轴与转轴（7）固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述固定环（131）固定套接在转轴（7）的外表面上，所述一号环板（133）位于固定环（131）的外侧，所述中间板（132）的两端分别与一号环板（133）和固定环（131）固定连接，所述推杆（134）固定安装在一号环板（133）的底面上。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述转轴（7）的外表面固定套接有套管（8），所述套管（8）的外表面固定连接有环形分布的搅动板（9），所述搅动板（9）位于初滤板（2）的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述出料机构（20）还包括有套孔（205），所述套孔（205）的内表面与固定杆（19）活动套接，所述中间腔（203）开设在出料套（201）的内部，所述安装孔（202）和出口孔（204）分别开设在出料套（201）的上下面上，所述安装孔（202）和出口孔（204）均于中间腔（203）相连通，所述套孔（205）贯穿出料套（201）的上表面且与中间腔（203）相连通，所述螺纹套（22）位于出口孔（204）中。
6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化装置，其特征在于：所述处理筒（1）的底面开设有环槽（23），所述环槽（23）的内表面开设有螺纹，所述环槽（23）的内表面与安装套（14）螺纹套接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种用于光刻胶成膜树脂的过滤纯化方法，其特征在于：包括以下操作方法：
第一步：初级过滤、将处理后的光刻胶成膜树脂溶液从处理筒（1）顶部投入，并填充至初滤板（2）的顶部，使得大颗粒杂质过滤在初滤板（2）的顶部，过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下渗透，同时启动转动机构（11），使得电机（113）带动转轴（7）旋转，转轴（7）旋转时同时带动推动机构（13）和套管（8）旋转，使得推动机构（13）中的推杆（134）沿着初滤板（2）的顶部边缘旋转，并间歇的沿着引导弧板（12）顶部转动，同时压缩初滤板（2）向下移动，随着间歇下压引导弧板（12）以及初滤板（2）底部弹簧（6）的形变，使得初滤板（2）振动过滤；
第二步：离心分离、随着振动过滤后的光刻胶成膜树脂溶液向下掉落至一号引导套（3）的内部，并沿着其内壁向下滑落至离心筒（10）中，同时随着转轴（7）的旋转，使得转轴（7）带动离心筒（10）旋转，将离心筒（10）的光刻胶成膜树脂溶液中的悬浮物和不溶性物质过滤在离心筒（10）的内部，二次过滤后的光刻胶成膜树脂溶液通过离心筒（10）外侧渗透出并向下滑落至二号引导套（15）中，且沿着其内壁向下滑落至连通机构（18）中；
第三步：色谱分离、随着离心分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下流动至连通机构（18）中，并沿着多组曲管（182）进入到连通框（183）中，使得光刻胶成膜树脂溶液进入到连通框（183）底部对中连通的色谱柱（21）中，并在色谱柱（21）中进行杂质分离，分离后的光刻胶成膜树脂溶液向下汇聚在出料机构（20）中，并通过出料机构（20）底面的出口孔（204）向下流出，采用外接容器完成盛接即可。
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