CN117063400A - 弹性波装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够抑制无用波所引起的电特性的劣化的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板(12)，包括包含支承基板的支承构件、以及设置在支承构件上并具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面的压电层(14)；至少一个功能电极，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或者第2主面，具有至少1对电极；第1支承体(18)，设置在压电性基板(12)上，使得包围功能电极；至少一个第2支承体(19)，设置在压电性基板(12)上，并配置在被第1支承体(18)包围的部分；和盖部，设置在第1支承体(18)上以及第2支承体(19)上。将相邻的电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从电极对置方向观察时，相邻的电极彼此相互重叠的区域为交叉区域(E)，在从电极对置方向观察时，第2支承体(19)的至少一部分被配置为与交叉区域(E)重叠。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。例如，在下述的专利文献1中，公开了一种利用了作为板波的兰姆波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电基板。压电基板包含LiNbO3或者LiTaO3。在压电基板的上表面设置有IDT(Interdigital Transducer，叉指换能器)电极。在IDT电极的连接于一个电位的多个电极指与连接于另一个电位的多个电极指之间施加电压。由此，可激励兰姆波。在该IDT电极的两侧设置有反射器。由此，构成了利用了兰姆波的弹性波谐振器。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-257019号公报
发明内容
发明要解决的问题
在如专利文献1记载的弹性波装置中，有时产生在压电基板的表面传播的无用波。由于该无用波的影响，弹性波装置的电特性有可能劣化。
本发明的目的在于，提供一种能够抑制无用波所引起的电特性的劣化的弹性波装置。
用于解决问题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板，包括包含支承基板的支承构件、以及设置在所述支承构件上并具有相互对置的第1主面和第2主面的压电层；至少一个功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面或者所述第2主面，具有至少1对电极；第1支承体，设置在所述压电性基板上，使得包围所述功能电极；至少一个第2支承体，设置在所述压电性基板上，并配置在被所述第1支承体包围的部分；和盖部，设置在所述第1支承体上以及所述第2支承体上，将相邻的所述电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从所述电极对置方向观察时，相邻的所述电极彼此相互重叠的区域为交叉区域，在从所述电极对置方向观察时，所述第2支承体的至少一部分被配置为与所述交叉区域重叠。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够抑制无用波所引起的电特性的劣化的弹性波装置。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的简图式主视剖视图。
图2是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
图3是示出本发明的第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的、相当于图1的部分的示意性剖视图。
图4是本发明的第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
图5是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
图6是本发明的第2实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图7是本发明的第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
图8是本发明的第3实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
图9的(a)是示出利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的外观的简图式立体图，图9的(b)是示出压电层上的电极构造的俯视图。
图10是图9的(a)中的沿着A-A线的部分的剖视图。
图11的(a)是用于说明在弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图，图11的(b)是用于说明弹性波装置中的、在压电膜传播的厚度剪切模式的体波的示意性主视剖视图。
图12是示出厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
图13是示出利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的谐振特性的图。
图14是示出将相邻的电极的中心间距离设为p并将压电层的厚度设为d的情况下的d/p和作为谐振器的相对带宽的关系的图。
图15是利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。
图16是示出出现了杂散的参考例的弹性波装置的谐振特性的图。
图17是示出相对带宽和作为杂散的大小的以180度进行了标准化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的图。
图18是示出d/2p和金属化比MR的关系的图。
图19是示出使d/p无限接近于0的情况下的相对带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0°，θ，ψ)的映射的图。
图20是用于说明利用兰姆波的弹性波装置的部分切除立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。
另外，需要指出的是，本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的简图式主视剖视图。图2是第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。在图1中，通过对矩形添加两条对角线的简图来示出后述的IDT电极。在图2中，省略了后述的电介质膜。另外，图1是简图式地示出图2中的沿着I-I线的部分的剖视图。
如图1所示，弹性波装置10具有压电性基板12和作为功能电极的IDT电极11。压电性基板12具有支承构件13和压电层14。在本实施方式中，支承构件13包含支承基板16和中间层15。在支承基板16上设置有中间层15。在中间层15上设置有压电层14。不过，支承构件13也可以仅由支承基板16构成。
作为支承基板16的材料，例如，能够使用硅等半导体、氧化铝等陶瓷等。作为中间层15的材料，能够使用氧化硅或者五氧化二钽等适当的电介质。压电层14例如为LiTaO3层等钽酸锂层、或者LiNbO3层等铌酸锂层。
压电层14具有第1主面14a以及第2主面14b。第1主面14a和第2主面14b相互对置。第1主面14a以及第2主面14b之中的第2主面14b位于支承构件13侧。
在支承构件13设置有第1空洞部10a。更具体地，在中间层15设置有凹部。在中间层15上设置有压电层14，使得堵塞凹部。由此，构成了第1空洞部10a。另外，第1空洞部10a也可以设置于中间层15以及支承基板16，或者，还可以仅设置于支承基板16。只要在支承构件13设置有至少一个第1空洞部10a即可。
如图2所示，在压电层14的第1主面14a设置有多个IDT电极11。由此，构成了多个弹性波谐振器。多个弹性波谐振器包含第1谐振器10A以及第2谐振器10B。本实施方式中的弹性波装置10为滤波器装置。另外，弹性波装置10只要具有至少一个IDT电极11即可。本发明涉及的弹性波装置只要包含至少一个弹性波谐振器即可。
返回图1，在俯视下，IDT电极11的至少一部分与第1空洞部10a重叠。更具体地，在俯视下，各弹性波谐振器的IDT电极11可以与不同的第1空洞部10a重叠，也可以与相同的第1空洞部10a重叠。在本说明书中，所谓俯视，是指从相当于图1中的上方的方向观察。进一步地，所谓俯视，是指沿着后述的第1支承体18以及盖部25被层叠的方向观察。另外，在图1中，例如，支承基板16以及压电层14之中的压电层14侧为上方。
如图2所示，IDT电极11具有第1汇流条28A以及第2汇流条28B、和多个第1电极指29A以及多个第2电极指29B。第1汇流条28A和第2汇流条28B相互对置。多个第1电极指29A的一端分别与第1汇流条28A连接。多个第2电极指29B的一端分别与第2汇流条28B连接。多个第1电极指29A以及多个第2电极指29B相互交错对插。第1电极指29A以及第2电极指29B为本发明中的电极。IDT电极11可以包含单层的金属膜，也可以包含层叠金属膜。
以下，将相邻的第1电极指29A和第2电极指29B相互对置的方向设为电极对置方向。将多个第1电极指29A以及多个第2电极指29B延伸的方向设为电极延伸方向。在本实施方式中，电极对置方向和电极延伸方向相互正交。在从电极对置方向观察时，相邻的第1电极指29A和第2电极指29B相互重叠的区域为交叉区域E。
在压电层14的第1主面14a，设置有第1支承体18以及多个第2支承体19。在本实施方式中，第1支承体18以及第2支承体19分别为多个金属层的层叠体。第1支承体18具有框状的形状。另一方面，第2支承体19具有柱状的形状。第1支承体18设置为包围多个IDT电极11以及多个第2支承体19。更具体地，第1支承体18具有开口部18c。多个IDT电极11以及多个第2支承体19位于开口部18c内。多个第2支承体19之中的1对第2支承体19在电极对置方向上被配置为夹着第1谐振器10A的IDT电极11。
如图1所示，在压电层14与第1支承体18之间，设置有框状的电极层17A。电极层17A与第1支承体18同样地，在俯视下，包围多个IDT电极11以及多个第2支承体19。不过，也可以不设置电极层17A。在第1支承体18上以及多个第2支承体19上，设置有盖部25，使得堵塞开口部18c。由此，设置了由压电性基板12、电极层17A、第1支承体18以及盖部25包围的第2空洞部10b。多个IDT电极11以及多个第2支承体19配置在第2空洞部10b内。
如图2所示，本实施方式的特征在于，在从电极对置方向观察时，第2支承体19的至少一部分被配置为与IDT电极11的交叉区域E重叠。由此，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。以下，对其进行说明。另外，以下，有时将第1汇流条28A以及第2汇流条28B仅记载为汇流条。同样地，有时将第1电极指29A以及第2电极指29B仅记载为电极指。
IDT电极11具有多个激励区域C。通过对IDT电极11施加交流电压，从而在多个激励区域C中激励弹性波。在本实施方式中，各弹性波谐振器构成为能够利用例如厚度剪切1阶模等厚度剪切模式的体波。激励区域C与交叉区域E同样地是在从电极对置方向观察时相邻的电极指彼此相互重叠的区域。另外，各激励区域C分别为1对电极指间的区域。更详细地，激励区域C是从一个电极指的电极对置方向上的中心到另一个电极指的电极对置方向上的中心的区域。因而，交叉区域E包含多个激励区域C。
在弹性波谐振器中，有时在激励主模的同时激励无用波。在无用波中，包含在压电性基板的表面传播的波。
与之相对，在本实施方式中，在交叉区域E的电极对置方向上的延长线上，设置有第2支承体19。因此，在压电性基板12的表面传播的无用波会碰撞到第2支承体19。由此，能够使无用波散射，能够抑制弹性波装置10的电特性的劣化。另外，只要第2支承体19的至少一部分在从电极对置方向观察时被配置为相对于任一个弹性波谐振器与交叉区域E重叠即可。
在本实施方式中，特别地，能够抑制无用波到达位于第1谐振器10A的电极对置方向上的延长线上的弹性波谐振器。由此，能够更可靠地抑制弹性波装置10的电特性的劣化。
以下，对本实施方式的结构的进一步的详情进行说明。
如图1所示，在压电性基板12上设置有电介质膜24，使得覆盖IDT电极11。由此，IDT电极11不易破损。对于电介质膜24，例如，能够使用氧化硅、氮化硅或者氮氧化硅等。在电介质膜24包含氧化硅的情况下，能够改善频率温度特性。另一方面，在电介质膜24包含氮化硅等的情况下，能够将电介质膜24作为频率调整膜使用。另外，也可以不设置电介质膜24。
在压电层14以及电介质膜24，连续地设置有贯通孔20。贯通孔20设置为到达第1空洞部10a。贯通孔20在弹性波装置10制造时，用于将中间层15内的牺牲层除去。不过，也可以不必一定要设置贯通孔20。
盖部25具有盖部主体26和绝缘体层27A以及绝缘体层27B。盖部主体26具有第1主面26a以及第2主面26b。第1主面26a和第2主面26b相互对置。第1主面26a以及第2主面26b之中的第2主面26b位于压电性基板12侧。在第1主面26a设置有绝缘体层27A。在第2主面26b设置有绝缘体层27B。在本实施方式中，盖部主体26以硅为主成分。盖部主体26的材料不限定于上述，但优选以硅等半导体为主成分。在本说明书中，所谓主成分，是指所占的比例超过50重量％的成分。另一方面，绝缘体层27A以及绝缘体层27B例如为氧化硅层。
在盖部25设置有凸块下金属21A。更具体地，在盖部25设置有贯通孔。该贯通孔设置为到达第2支承体19。在该贯通孔内设置有凸块下金属21A。凸块下金属21A的一端与第2支承体19连接。设置有电极焊盘21B，使得与凸块下金属21A的另一端连接。另外，在本实施方式中，凸块下金属21A以及电极焊盘21B设置为一体。不过，凸块下金属21A以及电极焊盘21B也可以设置为分体。在电极焊盘21B接合了凸块22。
更详细地，绝缘体层27A设置为覆盖电极焊盘21B的外周缘附近。在电极焊盘21B中的、未被绝缘体层27A覆盖的部分，接合了凸块22。另外，绝缘体层27A也可以到达电极焊盘21B与盖部主体26之间。进而，绝缘体层27A也可以到达凸块下金属21A与盖部主体26之间。绝缘体层27A以及绝缘体层27B也可以经由盖部主体26的贯通孔而设置为一体。
如上所述，在本实施方式中，第1支承体18以及第2支承体19分别为多个金属层的层叠体。更具体地，第1支承体18具有第1部分18a和第2部分18b。第1部分18a以及第2部分18b之中的第1部分18a位于盖部25侧，第2部分18b位于压电性基板12侧。同样地，第2支承体19也具有第1部分19a和第2部分19b。第1部分19a以及第2部分19b之中的第1部分19a位于盖部25侧，第2部分19b位于压电性基板12侧。各个第1部分18a以及第1部分19a例如包含Au等。各个第2部分18b以及第2部分19b例如包含Al等。在本说明书中，所谓某个构件包含某种材料，包含如下情况，即，包含弹性波装置的电特性不劣化的程度的微量的杂质。
如图2所示，在本实施方式中，在电极延伸方向上相邻的弹性波谐振器共享汇流条。被共享的汇流条在一个弹性波谐振器中成为第1汇流条，在另一个弹性波谐振器中成为第2汇流条。
在压电性基板12上设置有多个布线电极23。多个布线电极23之中的一部分将IDT电极11彼此连接。多个布线电极23之中的另一部分将IDT电极11和第2支承体19电连接。更具体地，如图1所示，在压电性基板12上设置有导电膜17B。在导电膜17B上设置有第2支承体19。因而，布线电极23经由导电膜17B而与第2支承体19电连接。而且，多个IDT电极11经由布线电极23、导电膜17B、第2支承体19、凸块下金属21A、电极焊盘21B以及凸块22而与外部电连接。
多个第2支承体19包含不与凸块下金属21A连接的第2支承体19。无论是否与凸块下金属21A连接，只要第2支承体19的至少一部分在从电极对置方向观察时被配置为与IDT电极11的交叉区域E重叠即可。由此，能够使无用波散射。
如图2所示，第2支承体19只要在从电极对置方向观察时被配置为相对于至少一个弹性波谐振器与交叉区域E重叠即可。优选的是，在从电极对置方向观察时，第2支承体19设置为和与该第2支承体19距离最短的弹性波谐振器的交叉区域E重叠。由此，能够使无用波有效地散射。
本实施方式中的功能电极为IDT电极11。另外，功能电极只要具有至少1对电极指即可。在该情况下，能够利用厚度剪切模式的体波。
另一方面，弹性波装置10的多个弹性波谐振器例如也可以构成为能够利用板波。在各弹性波谐振器利用板波的情况下，IDT电极11的交叉区域E为激励区域。在该情况下，作为压电层14的材料，例如，能够使用铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、氮化铝、石英、或者PZT(锆钛酸铅)等。
以下，示出本实施方式中的优选的结构。
优选1对第2支承体19被配置为在电极对置方向上夹着弹性波谐振器。另外，优选双方的第2支承体19各自的至少一部分从电极对置方向观察被配置为与交叉区域E重叠。由此，能够使无用波有效地散射。
不过，被配置为夹着弹性波谐振器的第2支承体19不限定于1对，也可以为2对以上。或者，上述第2支承体19也可以为1.5对等。所谓弹性波谐振器被1.5对第2支承体19夹着，是指通过在电极对置方向上的一方配置有2个第2支承体19并在另一方配置有一个第2支承体19而被夹着。
如图2所示，多个弹性波谐振器包含第1谐振器10A以及第2谐振器10B。第1谐振器10A和第2谐振器10B在电极对置方向上相邻。优选在第1谐振器10A与第2谐振器10B之间配置有第2支承体19。由此，能够将在第1谐振器10A以及第2谐振器10B各自的IDT电极11中产生的热经由第2支承体19释放到外部。因而，能够提高散热性。除此之外，在各弹性波谐振器中产生的无用波不易到达相邻的弹性波谐振器。另外，第2支承体19也可以在电极延伸方向上配置于弹性波谐振器间。
另一方面，优选至少一个第2支承体19设置在弹性波谐振器与第1支承体18之间，且不设置在多个弹性波谐振器之间。在该情况下，能够通过第2支承体19使从弹性波谐振器泄漏的无用波有效地散射。
在此，将距离L1设为夹着第1谐振器10A的第2支承体19之中的一个第2支承体19与第1谐振器10A中的位于交叉区域E的电极对置方向的一端的电极指之间的距离。将距离L2设为另一个第2支承体19与位于上述交叉区域E的另一端的电极指之间的距离。像本实施方式那样，优选L1≠L2。由此，能够使无用波到达各第2支承体19时的相位相互错开。因此，能够使无用波有效地散射。
上述导电膜17B和布线电极23优选包含相同的材料。在导电膜17B连接有布线电极23的情况下，优选导电膜17B以及布线电极23设置为一体。由此，能够提高生产率。另外，导电膜17B也可以不与布线电极23连接。例如，在本实施方式中，设置在不与凸块下金属21A连接的第2支承体19和压电性基板12之间的导电膜17B不与布线电极23连接。
返回图1，在将沿着压电性基板12、第1支承体18以及盖部25被层叠的方向的尺寸设为高度时，优选第2空洞部10b的高度比第1空洞部10a的高度高。在该情况下，在压电层14从第1空洞部10a侧向第2空洞部10b侧呈凸状变形时，也不易在盖部25粘附压电层14。
不过，第1空洞部10a和第2空洞部10b的高度的关系不限定于上述。在图3所示的第1实施方式的第1变形例中，第1空洞部10a的高度比第2空洞部10b的高度高。在该情况下，在压电层14从第2空洞部10b侧向第1空洞部10a侧呈凸状变形时，也不易在支承构件13粘附压电层14。除此之外，与第1实施方式同样地，能够使无用波散射，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。
在第1实施方式中，将夹着第1谐振器10A的第2支承体19的中央彼此连结的线与电极对置方向平行。不过，不限定于此。在图4所示的第1实施方式的第2变形例中，夹着第1谐振器10A的第2支承体19的配置为非对称。上述非对称指的是，在俯视下，将穿过交叉区域E的电极对置方向上的中央且在电极延伸方向上延伸的轴设为对称轴F时，多个第2支承体19的配置不是线对称。在本变形例中，也能够使无用波散射，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。
另外，在本变形例中，更具体地，一个第2支承体19配置在比交叉区域E的电极延伸方向上的中央靠一个汇流条侧。另一个第2支承体19配置在比上述中央靠另一个汇流条侧。除此之外，与第1实施方式同样地，L1≠L2。即，在本变形例中，夹着第1谐振器10A的1对第2支承体19的配置在电极对置方向以及电极延伸方向这两者上为非对称。不过，在上述1对第2支承体19的配置为非对称的情况下，该配置只要在电极对置方向以及电极延伸方向之中的至少一者上为非对称即可。由此，能够使无用波有效地散射。
优选1对第2支承体19的中心彼此的配置在电极对置方向以及电极延伸方向之中的至少一者上为非对称。在该情况下，能够使无用波更可靠且有效地散射。
在本变形例中，夹着第1谐振器10A的各第2支承体19的一部分在从电极对置方向观察时被配置为与交叉区域E重叠。上述各第2支承体19的另一部分在从电极对置方向观察时不与交叉区域E重叠。在该情况下，也能够使无用波散射。
进而，在本变形例中，在第2支承体19与第1谐振器10A之间设置有布线电极23。在该情况下，能够提高散热性。也可以通过该布线电极23将第2支承体19电连接于第1谐振器10A。由此，能够有效地提高散热性。
另外，如图1所示，在第1实施方式中，第1支承体18以及多个第2支承体19设置在压电性基板12中的压电层14上。不过，第1支承体18的至少一部分也可以设置在压电性基板12中的、未设置压电层14的部分。同样地，第2支承体19的至少一部分也可以设置在压电性基板12中的、未设置压电层14的部分。例如，第1支承体18或者第2支承体19的至少一部分也可以设置在中间层15上或者支承基板16上。
在第1实施方式中，第1支承体18以及多个第2支承体19为金属层的层叠体。另外，第1支承体18的第1部分18a以及第2支承体19的第1部分19a也可以包含树脂。在该情况下，由于第2支承体19的第2部分19b包含金属，因此也能够使无用波散射。因而，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。在第2支承体19的第1部分19a包含树脂的情况下，只要凸块下金属21A设置为贯通第1部分19a即可。
盖部主体26以半导体为主成分。另外，盖部25也可以包含树脂。进而，在第1支承体18的第1部分18a以及第2支承体19的第1部分19a包含树脂的情况下，第1部分18a、第1部分19a以及盖部25优选通过相同的树脂材料而设置为一体。由此，能够提高生产率。
在第1实施方式中，IDT电极11设置在压电层14的第1主面14a。不过，IDT电极11也可以设置在压电层14的第2主面14b。在该情况下，IDT电极11例如位于第1空洞部10a内。
图5是第2实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。图6是第2实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
如图5所示，本实施方式在多个弹性波谐振器的配置以及多个第2支承体19的配置上与第1实施方式不同。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置30具有与第1实施方式的弹性波装置10同样的结构。
如图6所示，弹性波装置30为梯型滤波器。弹性波装置30具有输入端子32以及输出端子33、多个串联臂谐振器、和多个并联臂谐振器。输入端子32以及输出端子33例如可以构成为电极焊盘，也可以构成为布线。在弹性波装置30中，从输入端子32输入信号。
弹性波装置30的多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器分别为分割型的弹性波谐振器。具体地，多个串联臂谐振器为串联臂谐振器S1a、串联臂谐振器S1b、串联臂谐振器S2a以及串联臂谐振器S2b。串联臂谐振器S1a以及串联臂谐振器S1b是一个串联臂谐振器被进行了并联分割的谐振器。同样地，串联臂谐振器S2a以及串联臂谐振器S2b是一个串联臂谐振器被进行了并联分割的谐振器。在输入端子32与输出端子33之间，串联臂谐振器S1a以及串联臂谐振器S1b和串联臂谐振器S2a以及串联臂谐振器S2b相互串联地连接。
多个并联臂谐振器具体地为并联臂谐振器P1a、并联臂谐振器P1b、并联臂谐振器P2a以及并联臂谐振器P2b。并联臂谐振器P1a以及并联臂谐振器P1b是一个并联臂谐振器被进行了并联分割的谐振器。同样地，并联臂谐振器P2a以及并联臂谐振器P2b是一个并联臂谐振器被进行了并联分割的谐振器。在串联臂谐振器S1a和串联臂谐振器S2a间的连接点与接地电位之间，并联臂谐振器P1a和并联臂谐振器P1b相互并联地连接。在输出端子33与接地电位之间，并联臂谐振器P2a和并联臂谐振器P2b相互并联地连接。
另外，弹性波装置30的电路结构不限定于上述。各串联臂谐振器以及各并联臂谐振器也可以是被进行了串联分割的谐振器。或者，各串联臂谐振器以及各并联臂谐振器也可以不是分割型的谐振器。在弹性波装置30为梯型滤波器的情况下，只要多个谐振器包含至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器即可。
如图5所示，多个并联臂谐振器分别与第2支承体19连接。在本实施方式中，多个并联臂谐振器经由第2支承体19而与接地电位连接。
在本实施方式中，在从电极对置方向观察时，各第2支承体19被配置为与串联臂谐振器S1a以及并联臂谐振器P1a各自的IDT电极11的交叉区域E重叠。由此，与第1实施方式同样地，能够使无用波散射，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。
在弹性波装置30中，设置有1对第2支承体19，使得在电极对置方向上夹着串联臂谐振器S1a。由此，能够使在串联臂谐振器S1a中产生的热有效地散热。另一方面，在并联臂谐振器P1a的、电极对置方向上的单侧，设置有第2支承体19。由此，能够减少配置第2支承体19的部分，能够减小压电性基板12的面积。这样的结构在串联臂谐振器S1a与并联臂谐振器P1a相比更要求耐功率性的电路结构中特别适合。具体地，能够提高作为弹性波装置30的整体的耐功率性，且能够使弹性波装置30变得小型。
另外，在电路上，串联臂谐振器S1a是多个弹性波谐振器之中的最靠近输入端子32的弹性波谐振器之一。在该情况下，串联臂谐振器S1a特别容易被要求耐功率性。
如上所述，通过将第2支承体19配置为夹着串联臂谐振器S1a，从而能够有效地提高散热性。由第2支承体19夹着串联臂谐振器S1a的方向不限定于电极对置方向。例如，多个第2支承体19也可以在电极延伸方向上夹着串联臂谐振器S1a。或者，多个第2支承体19也可以在与电极对置方向以及电极延伸方向均交叉的方向上夹着串联臂谐振器S1a。
在本实施方式中，在串联臂谐振器S1a与串联臂谐振器S1b之间设置有第2支承体19。像这样，在分割型的谐振器之间配置有第2支承体19。由此，能够有效地提高散热性。另外，也可以在串联臂谐振器S1a与串联臂谐振器S1b之间设置有多个第2支承体19。
图7是第3实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。图8是第3实施方式涉及的弹性波装置的电路图。
如图7所示，本实施方式在多个弹性波谐振器的配置以及多个第2支承体19的配置上与第2实施方式不同。另外，如图8所示，本实施方式作为电路结构而在多个并联臂谐振器的配置上与第2实施方式不同。除了上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置40具有与第2实施方式的弹性波装置30同样的结构。
在弹性波装置40中，在输入端子32与接地电位之间，并联臂谐振器P1a以及并联臂谐振器P1b相互并联地连接。在串联臂谐振器S1a和串联臂谐振器S2a间的连接点与接地电位之间，并联臂谐振器P2a以及并联臂谐振器P2b相互并联地连接。
在本实施方式中，在从电极对置方向观察时，各第2支承体19被配置为与串联臂谐振器S1a以及并联臂谐振器P1a各自的IDT电极11的交叉区域E重叠。由此，与第2实施方式同样地，能够使无用波散射，能够抑制无用波所引起的电特性的劣化。
在弹性波装置40中，设置有1对第2支承体19，使得在电极对置方向上夹着并联臂谐振器P1a。由此，能够使在并联臂谐振器P1a中产生的热有效地散热。另一方面，在串联臂谐振器S1a的、电极对置方向上的单侧，设置有第2支承体19。由此，能够减少配置第2支承体19的部分，能够减小压电性基板12的面积。这样的结构在并联臂谐振器P1a与串联臂谐振器S1a相比更要求耐功率性的电路结构中特别合适。具体地，能够提高作为弹性波装置40的整体的耐功率性，且能够使弹性波装置30变得小型。
另外，在电路上，并联臂谐振器P1a是多个弹性波谐振器之中的最靠近输入端子32的弹性波谐振器之一。在该情况下，并联臂谐振器P1a特别容易被要求耐功率性。
以下，对厚度剪切模式以及板波的详情进行说明。另外，以下的例子中的电极相当于上述电极指。以下的例子中的支承构件相当于本发明中的支承基板。
图9的(a)是示出利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的外观的简图式立体图，图9的(b)是示出压电层上的电极构造的俯视图，图10是图9的(a)中的沿着A-A线的部分的剖视图。
弹性波装置1具有包含LiNbO3的压电层2。压电层2也可以包含LiTaO3。LiNbO3、LiTaO3的切割角为Z切割，但也可以为旋转Y切割、X切割。压电层2的厚度没有特别限定，但为了有效地激励厚度剪切模式，优选为40nm以上且1000nm以下，更优选为50nm以上且1000nm以下。压电层2具有相互对置的第1主面2a和第2主面2b。在第1主面2a上设置有电极3以及电极4。在此，电极3是“第1电极”的一个例子，电极4是“第2电极”的一个例子。在图9的(a)以及图9的(b)中，多个电极3与第1汇流条5连接。多个电极4与第2汇流条6连接。多个电极3以及多个电极4相互交错对插。电极3以及电极4具有矩形形状，具有长度方向。在与该长度方向正交的方向上，电极3和相邻的电极4对置。电极3、4的长度方向、以及与电极3、4的长度方向正交的方向均是与压电层2的厚度方向交叉的方向。因此，也可以说，电极3和相邻的电极4在与压电层2的厚度方向交叉的方向上对置。此外，电极3、4的长度方向也可以和图9的(a)以及图9的(b)所示的与电极3、4的长度方向正交的方向调换。即，在图9的(a)以及图9的(b)中，也可以使电极3、4在第1汇流条5以及第2汇流条6延伸的方向上延伸。在该情况下，第1汇流条5以及第2汇流条6在图9的(a)以及图9的(b)中变得在电极3、4延伸的方向上延伸。而且，连接于一个电位的电极3和连接于另一个电位的电极4相邻的1对构造在与上述电极3、4的长度方向正交的方向上设置有多对。在此所谓电极3和电极4相邻，并不是指电极3和电极4被配置为直接接触的情况，而是指电极3和电极4隔着间隔而配置的情况。此外，在电极3和电极4相邻的情况下，在电极3与电极4之间不配置包括其他电极3、4在内的、与信号电极、接地电极连接的电极。该对数无需为整数对，也可以为1.5对、2.5对等。电极3、4间的中心间距离即间距优选1μm以上且10μm以下的范围。此外，电极3、4的宽度、即电极3、4的对置方向的尺寸优选为50nm以上且1000nm以下的范围，更优选为150nm以上且1000nm以下的范围。另外，所谓电极3、4间的中心间距离，成为将与电极3的长度方向正交的方向上的电极3的尺寸(宽度尺寸)的中心和与电极4的长度方向正交的方向上的电极4的尺寸(宽度尺寸)的中心连结的距离。
此外，在弹性波装置1中，由于使用了Z切割的压电层，因此与电极3、4的长度方向正交的方向成为与压电层2的极化方向正交的方向。在作为压电层2而使用了其他切割角的压电体的情况下，不限于此。在此，所谓“正交”，并非仅限定于严格正交的情况，也可以大致正交(与电极3、4的长度方向正交的方向和极化方向所成的角度例如在90°±10°的范围内)。
在压电层2的第2主面2b侧隔着绝缘层7层叠有支承构件8。绝缘层7以及支承构件8具有框状的形状，如图10所示，具有贯通孔7a、8a。由此，形成了空洞部9。空洞部9为了不妨碍压电层2的激励区域C的振动而设置。因此，上述支承构件8在不与设置有至少1对电极3、4的部分重叠的位置，隔着绝缘层7层叠于第2主面2b。另外，也可以不设置绝缘层7。因此，支承构件8可以直接或间接地层叠于压电层2的第2主面2b。
绝缘层7包含氧化硅。不过，除了氧化硅之外，还能够使用氮氧化硅、矾土等适当的绝缘性材料。支承构件8包含Si。Si的压电层2侧的面中的面方位可以为(100)、(110)，也可以为(111)。构成支承构件8的Si优选为电阻率4kΩcm以上的高电阻。不过，关于支承构件8也能够使用适当的绝缘性材料、半导体材料而构成。
作为支承构件8的材料，例如，能够使用氧化铝、钽酸锂、铌酸锂、石英等压电体、矾土、氧化镁、蓝宝石、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、莫来石、块滑石、镁橄榄石等各种陶瓷、金刚石、玻璃等电介质、氮化镓等半导体等。
上述多个电极3、4以及第1汇流条5和第2汇流条6包含Al、AlCu合金等适当的金属或者合金。在本实施方式中，电极3、4以及第1汇流条5和第2汇流条6具有在Ti膜上层叠了Al膜的构造。另外，也可以使用Ti膜以外的密接层。
在驱动时，在多个电极3与多个电极4之间施加交流电压。更具体地，在第1汇流条5与第2汇流条6之间施加交流电压。由此，能够得到利用了在压电层2中被激励的厚度剪切模式的体波的谐振特性。此外，在弹性波装置1中，在将压电层2的厚度设为d并将多对电极3、4之中的任意相邻的电极3、4的中心间距离设为p的情况下，d/p被设为0.5以下。因此，可有效地激励上述厚度剪切模式的体波，能够得到良好的谐振特性。更优选的是，d/p为0.24以下，在该情况下，能够得到更加良好的谐振特性。
在弹性波装置1中，由于具备上述结构，因此即使欲谋求小型化而减少了电极3、4的对数，也不易产生Q值的下降。这是因为，即使减少两侧的反射器中的电极指的根数，传播损耗也较少。此外，能够减少上述电极指的根数是因为利用了厚度剪切模式的体波。参照图11的(a)以及图11的(b)，对在弹性波装置中利用的兰姆波和上述厚度剪切模式的体波的差异进行说明。
图11的(a)是用于说明在日本公开专利公报特开2012-257019号公报记载的那样的弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图。在此，波在压电膜201中如箭头所示那样传播。在此，在压电膜201中，第1主面201a和第2主面201b对置，将第1主面201a和第2主面201b连结的厚度方向为Z方向。X方向是IDT电极的电极指排列的方向。如图11的(a)所示，对于兰姆波而言，波如图示那样，在X方向上不断传播。由于是板波，因此虽然压电膜201作为整体而振动，但是波在X方向上传播，因而在两侧配置反射器，得到了谐振特性。因此，产生波的传播损耗，在谋求了小型化的情况下，即，减少了电极指的对数的情况下，Q值下降。
与之相对，如图11的(b)所示，在弹性波装置1中，振动位移是厚度剪切方向，因此波大致在将压电层2的第1主面2a和第2主面2b连结的方向、即Z方向上传播并谐振。即，波的X方向成分与Z方向成分相比明显小。而且，由于通过该Z方向的波的传播可得到谐振特性，因此即使减少反射器的电极指的根数，也不易产生传播损耗。进而，即使假设欲推进小型化而减少了包含电极3、4的电极对的对数，也不易产生Q值的下降。
另外，如图12所示，厚度剪切模式的体波的振幅方向在压电层2的激励区域C所包含的第1区域451、和激励区域C所包含的第2区域452中变得相反。在图12中，示意性地示出了在电极3与电极4之间施加了电极4与电极3相比成为高电位的电压的情况下的体波。第1区域451是激励区域C之中的、与压电层2的厚度方向正交且将压电层2分成两部分的虚拟平面VP1和第1主面2a之间的区域。第2区域452是激励区域C之中的、虚拟平面VP1和第2主面2b之间的区域。
如上所述，在弹性波装置1中，虽然配置有包含电极3和电极4的至少1对电极，但并非使波在X方向上传播，因此包含该电极3、4的电极对的对数无需有多对。即，只要设置有至少1对电极即可。
例如，上述电极3是连接于信号电位的电极，电极4是连接于接地电位的电极。不过，也可以是，电极3连接于接地电位，电极4连接于信号电位。在本实施方式中，如上所述，至少1对电极是连接于信号电位的电极或连接于接地电位的电极，未设置浮置电极。
图13是示出图10所示的弹性波装置的谐振特性的图。另外，得到了该谐振特性的弹性波装置1的设计参数如下。
压电层2：欧拉角(0°，0°，90°)的LiNbO3，厚度＝400nm。
在与电极3和电极4的长度方向正交的方向上观察时，电极3和电极4重叠的区域、即激励区域C的长度＝40μm，包含电极3、4的电极的对数＝21对，电极间中心距离＝3μm，电极3、4的宽度＝500nm，d/p＝0.133。
绝缘层7：1μm的厚度的氧化硅膜。
支承构件8：Si。
另外，所谓激励区域C的长度，是激励区域C的沿着电极3、4的长度方向的尺寸。
在本实施方式中，包含电极3、4的电极对的电极间距离在多对中设为全部相等。即，以等间距配置了电极3和电极4。
根据图13可以明确，尽管不具有反射器，但是得到了相对带宽为12.5％的良好的谐振特性。
另外，在将上述压电层2的厚度设为d并将电极3和电极4的电极的中心间距离设为p的情况下，如前所述，在本实施方式中，d/p为0.5以下，更优选为0.24以下。参照图14对此进行说明。
与得到了图13所示的谐振特性的弹性波装置同样，但是使d/p变化，得到了多个弹性波装置。图14是示出该d/p和作为弹性波装置的谐振器的相对带宽的关系的图。
根据图14可以明确，若d/p＞0.5，则即使调整d/p，相对带宽也不足5％。与之相对，在d/p≤0.5的情况下，如果在该范围内使d/p变化，则能够使相对带宽成为5％以上，即能够构成具有高耦合系数的谐振器。此外，在d/p为0.24以下的情况下，能够将相对带宽提高到7％以上。而且，如果在该范围内调整d/p，则能够得到相对带宽更宽的谐振器，能够实现具有更高的耦合系数的谐振器。因此，可知，通过将d/p设为0.5以下，从而能够构成利用了上述厚度剪切模式的体波的、具有高耦合系数的谐振器。
图15是利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。在弹性波装置80中，在压电层2的第1主面2a上，设置有具有电极3和电极4的1对电极。另外，图15中的K成为交叉宽度。如前所述，在本发明的弹性波装置中，电极的对数也可以为1对。即使在该情况下，如果上述d/p为0.5以下，则也能够有效地激励厚度剪切模式的体波。
在弹性波装置1中，优选的是，在多个电极3、4中，任意相邻的电极3、4相对于上述相邻的电极3、4在对置的方向上观察时重叠的区域即激励区域C的金属化比MR满足MR≤1.75(d/p)+0.075为宜。在该情况下，能够有效地减小杂散。参照图16以及图17对此进行说明。图16是示出上述弹性波装置1的谐振特性的一个例子的参考图。箭头B所示的杂散出现在谐振频率与反谐振频率之间。另外，设d/p＝0.08，并且设LiNbO3的欧拉角(0°，0°，90°)。此外，设上述金属化比MR＝0.35。
参照图9的(b)，对金属化比MR进行说明。在图9的(b)的电极构造中，在着眼于1对电极3、4的情况下，设仅设置有这1对电极3、4。在该情况下，被单点划线包围的部分成为激励区域C。所谓该激励区域C，是在与电极3、4的长度方向正交的方向即对置方向上观察电极3和电极4时电极3中的与电极4相互重叠的区域、电极4中的与电极3相互重叠的区域、以及电极3与电极4之间的区域中的电极3和电极4相互重叠的区域。而且，激励区域C内的电极3、4的面积相对于该激励区域C的面积成为金属化比MR。即，金属化比MR是金属化部分的面积相对于激励区域C的面积的比。
另外，在设置有多对电极的情况下，只要将全部激励区域所包含的金属化部分相对于激励区域的面积的合计的比例设为MR即可。
图17是示出按照本实施方式构成了许多弹性波谐振器的情况下的相对带宽和作为杂散的大小的以180度进行了标准化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的图。另外，关于相对带宽，对压电层的膜厚、电极的尺寸进行各种变更而进行了调整。此外，图17是使用了包含Z切割的LiNbO3的压电层的情况下的结果，但即使在使用了其他切割角的压电层的情况下，也成为同样的倾向。
在图17中的椭圆J所包围的区域中，杂散变大到1.0。根据图17可以明确，若相对带宽超过0.17、即若超过17％，则即使假设使构成相对带宽的参数变化，杂散电平为1以上的较大的杂散也出现在通带内。即，如图16所示的谐振特性那样，箭头B所示的较大的杂散出现在通带内。因此，相对带宽优选为17％以下。在该情况下，能够通过调整压电层2的膜厚、电极3、4的尺寸等来减小杂散。
图18是示出d/2p、金属化比MR、和相对带宽的关系的图。在上述弹性波装置中，构成d/2p和MR不同的各种各样的弹性波装置，并测定了相对带宽。图18的虚线D的右侧的标注影线而示出的部分是相对带宽为17％以下的区域。该标注影线的区域和未标注影线的区域的边界由MR＝3.5(d/2p)+0.075来表示。即，MR=1.75(d/p)+0.075。因此，优选的是，MR≤1.75(d/p)+0.075。在该情况下，容易使相对带宽成为17％以下。更优选的是，图18中的单点划线D1所示的MR＝3.5(d/2p)+0.05的右侧的区域。即，如果MR≤1.75(d/p)+0.05，则能够使相对带宽可靠地成为17％以下。
图19是示出使d/p无限接近于0的情况下的相对带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0°，θ，ψ)的映射的图。图19的标注影线而示出的部分是可得到至少5％以上的相对带宽的区域，若对该区域的范围进行近似，则成为由下述的式(1)、式(2)以及式(3)表示的范围。
(0°±10°，0°～20°，任意的ψ)…式(1)
(0°±10°，20°～80°，0°～60°(1-(θ-50)2/900)1/2)或者(0°±10°，20°～80°，[180°-60°(1-(θ-50)2/900)1/2]～180°)…式(2)
(0°±10°，[180°-30°(1-(ψ-90)2/8100)1/2]～180°，任意的ψ)…式(3)
因此，在上述式(1)、式(2)或者式(3)的欧拉角范围的情况下，能够使相对带宽充分变宽，是优选的。在压电层2为钽酸锂层的情况下也是同样的。
图20是用于说明利用兰姆波的弹性波装置的部分切除立体图。
弹性波装置81具有支承基板82。在支承基板82设置有在上表面敞开的凹部。在支承基板82上层叠有压电层83。由此，构成了空洞部9。在该空洞部9的上方，在压电层83上设置有IDT电极84。在IDT电极84的弹性波传播方向两侧设置有反射器85、86。在图20中，用虚线示出空洞部9的外周缘。在此，IDT电极84具有第1汇流条84a、第2汇流条84b、和多根第1电极指84c以及多根第2电极指84d。多根第1电极指84c与第1汇流条84a连接。多根第2电极指84d与第2汇流条84b连接。多根第1电极指84c和多根第2电极指84d交错对插。
在弹性波装置81中，通过对上述空洞部9上的IDT电极84施加交流电场，从而可激励作为板波的兰姆波。而且，由于反射器85、86设置于两侧，因此能够得到基于上述兰姆波的谐振特性。
像这样，本发明的弹性波装置也可以利用板波。在该情况下，只要在上述第1～第3实施方式或者各变形例中的压电层上设置有图20所示的IDT电极84、反射器85以及反射器86即可。
在具有利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器的第1～第3实施方式或者各变形例的弹性波装置中，如上所述，d/p优选为0.5以下，更优选为0.24以下。由此，能够得到更良好的谐振特性。进而，在具有利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器的第1～第3实施方式或者各变形例的弹性波装置中，如上所述，优选满足MR≤1.75(d/p)+0.075。在该情况下，能够更可靠地抑制杂散。
具有利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器的第1～第3实施方式或者各变形例的弹性波装置中的压电层优选为铌酸锂层或者钽酸锂层。而且，构成该压电层的铌酸锂或者钽酸锂的欧拉角优选处于上述的式(1)、式(2)或者式(3)的范围。在该情况下，能够使相对带宽充分变宽。
附图标记说明
1：弹性波装置；
2：压电层；
2a、2b：第1、第2主面；
3、4：电极；
5、6：第1、第2汇流条；
7：绝缘层；
7a：贯通孔；
8：支承构件；
8a：贯通孔；
9：空洞部；
10：弹性波装置；
10A、10B：…第1、第2谐振器；
10a、10b：第1、第2空洞部；
11：IDT电极；
12：压电性基板；
13：支承构件；
14：压电层；
14a、14b：第1、第2主面；
15：中间层；
16：支承基板；
17A：电极层；
17B：导电膜；
18：第1支承体；
18a、18b：第1、第2部分；
18c：开口部；
19：第2支承体；
19a、19b：第1、第2部分；
20：贯通孔；
21A：凸块下金属；
21B：电极焊盘；
22：凸块；
23：布线电极；
24：电介质膜；
25：盖部；
26：盖部主体；
26a、26b：第1、第2主面；
27A、27B：绝缘体层；
28A、28B：第1、第2汇流条；
29A、29B：第1、第2电极指；
30：弹性波装置；
32：输入端子；
33：输出端子；
40：弹性波装置；
80、81：弹性波装置；
82：支承基板；
83：压电层；
84：IDT电极；
84a、84b：第1、第2汇流条；
84c、84d：第1、第2电极指；
85、86：反射器；
201：压电膜；
201a、201b：第1、第2主面；
451、452：第1、第2区域；
C：激励区域；
E：交叉区域；
P1a、P1b、P2a、P2b：并联臂谐振器；
S1a、S1b、S2a、S2b：串联臂谐振器；
VP1：虚拟平面。

Claims (25)

1.一种弹性波装置，具备：
压电性基板，包含：支承构件，包含支承基板；和压电层，设置在所述支承构件上，具有相互对置的第1主面和第2主面；
至少一个功能电极，设置在所述压电层的所述第1主面或者所述第2主面，具有至少1对电极；
第1支承体，设置在所述压电性基板上，使得包围所述功能电极；
至少一个第2支承体，设置在所述压电性基板上，并配置在被所述第1支承体包围的部分；和
盖部，设置在所述第1支承体上以及所述第2支承体上，
将相邻的所述电极彼此对置的方向设为电极对置方向，在从所述电极对置方向观察时，相邻的所述电极彼此相互重叠的区域为交叉区域，
在从所述电极对置方向观察时，所述第2支承体的至少一部分被配置为与所述交叉区域重叠。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
具备多个所述功能电极，
构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，
在两个所述谐振器之间配置有至少一个所述第2支承体。
3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，
所述多个谐振器包含分割型的多个谐振器，
在分割型的两个所述谐振器之间配置有至少一个所述第2支承体。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，
具备多个所述功能电极，
构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，
在所述压电性基板上的、除了两个所述谐振器之间以外的部分，配置有至少一个所述第2支承体。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，
至少一个所述第2支承体与所述功能电极电连接。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波装置，其中，
具备：
多个所述功能电极；和
多个所述第2支承体，
构成了分别具有所述功能电极的多个谐振器，
至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述谐振器。
7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，
所述多个谐振器包含至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器，
至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述串联臂谐振器。
8.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，
所述多个谐振器包含至少一个串联臂谐振器以及至少一个并联臂谐振器，
至少1对所述第2支承体被配置为夹着一个所述并联臂谐振器。
9.根据权利要求6～8中任一项所述的弹性波装置，其中，
至少1对所述第2支承体被配置为夹着最靠近输入信号的输入端子的所述谐振器。
10.根据权利要求6～9中任一项所述的弹性波装置，其中，
将穿过所述谐振器的所述交叉区域的所述电极对置方向上的中央且在与所述电极对置方向正交的方向上延伸的轴设为对称轴时，设置为夹着所述谐振器的所述至少1对第2支承体被配置为不成为线对称。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的弹性波装置，其中，
在至少一个所述第2支承体与至少一个所述谐振器之间，设置有布线电极。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述支承构件设置有至少一个第1空洞部，所述第1空洞部在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠，
设置有由所述压电性基板、所述第1支承体以及所述盖部包围的第2空洞部，
在将沿着所述压电性基板、所述第1支承体以及所述盖部被层叠的方向的尺寸设为高度时，所述第1空洞部的高度比所述第2空洞部的高度高。
13.根据权利要求1～11中任一项所述的弹性波装置，其中，
在所述支承构件设置有至少一个第1空洞部，所述第1空洞部在俯视下与所述功能电极的至少一部分重叠，
设置有由所述压电性基板、所述第1支承体以及所述盖部包围的第2空洞部，
在将沿着所述压电性基板、所述第1支承体以及所述盖部被层叠的方向的尺寸设为高度时，所述第2空洞部的高度比所述第1空洞部的高度高。
14.根据权利要求1～13中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述支承构件包含设置在所述支承基板与所述压电层之间的中间层。
15.根据权利要求12或13所述的弹性波装置，其中，
所述支承构件包含设置在所述支承基板与所述压电层之间的中间层，所述第1空洞部的至少一部分设置于所述中间层。
16.根据权利要求1～15中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述盖部包含以半导体为主成分的盖部主体。
17.根据权利要求1～16中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电层为钽酸锂层或者铌酸锂层。
18.根据权利要求1～17中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述功能电极具有相互对置的第1汇流条和第2汇流条、与所述第1汇流条连接的一个以上的第1电极指、以及与所述第2汇流条连接的一个以上的第2电极指。
19.根据权利要求18所述的弹性波装置，其中，
所述功能电极是分别具有多个所述第1电极指以及所述第2电极指的IDT电极。
20.根据权利要求19所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置构成为能够利用板波。
21.根据权利要求18或19所述的弹性波装置，其中，
所述弹性波装置构成为能够利用厚度剪切模式的体波。
22.根据权利要求18或19所述的弹性波装置，其中，
在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指和所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。
23.根据权利要求22所述的弹性波装置，其中，
d/p为0.24以下。
24.根据权利要求21～23中任一项所述的弹性波装置，其中，
在从所述电极对置方向观察时，相邻的所述第1电极指和所述第2电极指相互重叠的区域为激励区域，
在将所述一个以上的第1电极指以及所述一个以上的第2电极指相对于所述激励区域的金属化比设为MR时，满足MR≤1.75(d/p)+0.075。
25.根据权利要求21～24中任一项所述的弹性波装置，其中，
所述压电层为钽酸锂层或者铌酸锂层，
构成所述压电层的铌酸锂或者钽酸锂的欧拉角处于以下的式(1)、式(2)或者式(3)的范围，
(0°±10°，0°～20°，任意的ψ)…式(1)
(0°±10°，20°～80°，0°～60°(1-(θ-50)2/900)1/2)或者(0°±10°，20°～80°，[180°-60°(1-(θ-50)2/900)1/2]～180°)…式(2)
(0°±10°，[180°-30°(1-(ψ-90)2/8100)1/2]～180°，任意的ψ)…式(3)。
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