CN117043491A - 致动器装置的制造方法以及致动器装置 - Google Patents

Abstract

内筒内的压力在杆最大程度地插入到内筒内的最小长度时比大气压高，在杆从内筒内最大程度地排出的最大长度时比大气压低。因此，如下所述组装电磁致动器。即，将杆插入到内筒内。而且，在内筒的另一端部(上端部)固定封闭部件，在可动件与固定件的相对位置成为最大的最大长度以及成为最小的最小长度以外的位置处，向内筒内放入体积因压力而变化的作为第一流体的空气进行封闭。

Description

致动器装置的制造方法以及致动器装置

技术领域

本公开涉及例如致动器装置的制造方法以及致动器装置。

背景技术

例如，在汽车、铁路车辆等车辆中设置有作为缓冲器的致动器装置。致动器装置设置在相对移动的两个部件之间，例如设置在成为簧上侧的车身与成为簧下侧的车轮之间、成为簧上侧的车身与成为簧下侧的转向架之间、或者成为簧上侧的转向架与成为簧下侧的车轮(车轴、轮轴)之间。专利文献1-4的致动器装置具有供杆出入的空气室。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-167320号公报

专利文献2：日本特开2007-274820号公报

专利文献3：日本特开2011-033124号公报

专利文献4：日本特开2005-256924号公报

发明内容

发明要解决的课题

为了抑制因结露而产生的水混入油中，供杆出入的空气室优选为密闭结构。但是，在该情况下，杆出入空气室内，由此空气室内的压力发生变化。因此，例如，若在最大伸长状态下进行杆的组装(即，若在最大伸长状态下将空气室密闭)，则在致动器装置转移到缩小行程时对杆施加较大的反作用力(空气反作用力)。由此，在致动器装置的伸长行程和缩小行程中推力有可能产生偏差。

本发明的一实施方式的目的在于提供一种能够降低推力的偏差的致动器装置的制造方法以及致动器装置。

用于解决课题的手段

本发明的一实施方式涉及致动器装置的制造方法，其中，所述致动器装置设置在相对移动的两个部件之间，而且，所述致动器装置具有安装于所述两个部件中的一方的第一部件以及安装于所述两个部件中的另一方的第二部件，所述第一部件具有：第一缸，所述第一缸在一端设置有底部，另一端开口；以及杆，所述杆从所述第一缸内的底部朝向开口的另一端侧延伸，所述第二部件具有：第二缸，所述第二缸供所述杆插入，与该杆的外周滑动并且一端被封闭；以及封闭部件，所述封闭部件设置在所述第二缸的另一端，所述致动器装置的制造方法具有：将所述杆插入到所述第二缸内的工序；以及将所述封闭部件固定于所述第二缸的另一端部，在所述第一部件与所述第二部件的相对位置成为最大的最大长度以及成为最小的最小长度以外的位置处，向所述第二缸内放入体积因压力而变化的第一流体进行封闭的工序。

另外，本发明的一实施方式涉及致动器装置，其中，所述致动器装置设置在相对移动的两个部件之间，而且，致动器装置具有：第一部件，所述第一部件安装于所述两个部件中的一方；第二部件，所述第二部件安装于所述两个部件中的另一方；以及动力构件，所述动力构件以所述第一部件和所述第二部件相对移动的方式进行动作，所述第一部件具有：第一缸，所述第一缸在一端设置有底部，另一端开口；以及杆，所述杆从所述第一缸内的底部朝向开口的另一端侧延伸，所述第二部件具有：第二缸，所述第二缸供所述杆插入，与该杆的外周滑动并且一端被封闭；以及封闭部件，所述封闭部件设置在所述第二缸的另一端，在所述第二缸内封入有体积因压力而变化的第一流体，所述第二缸内的压力在所述杆最大程度地插入到该第二缸内的最小长度时比大气压高，在所述杆从该第二缸内最大程度地排出的最大长度时比大气压低。

根据本发明的一实施方式，能够降低推力的偏差。

附图说明

图1是表示第一实施方式的致动器装置(电磁致动器)的纵剖视图。

图2是以最大长度状态(最大伸长状态)表示图1中的致动器装置的纵剖视图。

图3是以最小长度状态(最大缩小状态)表示图1中的致动器装置的纵剖视图。

图4是按照(1)、(2)、(3)的顺序表示致动器装置的组装工序的纵剖视图。

图5是按照(4)、(5)、(6)的顺序表示接着图4中的(3)的组装工序的纵剖视图。

图6是按照(6)、(7)的顺序表示从图5中的(6)开始的组装工序的纵剖视图。

图7是按照(8)、(9)的顺序表示接着图6中的(7)的组装工序的纵剖视图。

图8是按照(7)、(8)、(9)的顺序表示第二实施方式的致动器装置的组装工序的纵剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式的致动器装置的制造方法以及致动器装置进行说明。

图1至图7表示第一实施方式。在图1中，作为致动器装置的电磁致动器1构成为电动线性马达(电动线性致动器)。图2以最大长度状态(最大伸长状态)表示电磁致动器1，图3以最小长度状态(最大缩小状态)表示电磁致动器1。

电磁致动器1例如搭载于铁路车辆、汽车等车辆，与未图示的弹簧(悬架弹簧、螺旋弹簧、空气弹簧)一起构成电磁悬架装置。即，虽然省略图示，但电磁致动器1与弹簧一起例如设置在成为簧上侧的车身与成为簧下侧的车轮之间、成为簧上侧的车身与成为簧下侧的转向架之间、或者成为簧上侧的转向架与成为簧下侧的车轮(车轴、轮轴)之间。以下，将车身、转向架等簧上侧的部件称为“簧上部件”。另外，将转向架、车轮、车轴、轮轴等簧下侧的部件称为“簧下部件”。

电磁致动器1例如具备配置在簧上侧的固定件2和配置在簧下侧的可动件21。电磁致动器1通过设置于成为第一部件的可动件21的永磁铁22、22和设置于成为第二部件的固定件2的电枢13的线圈部件15(线圈15A、15B、15C)构成三相线性马达(三相线性同步马达)。

更具体地说，电磁致动器1构成为由能够相对位移的同轴状的一对筒部件构成的筒状线性电磁式致动器，并夹设在相对移动的“簧上部件”与“簧下部件”之间。在该情况下，电磁致动器1具备：设置于与第一缸对应的外筒23的作为磁性部件的永磁铁22、22；以及由隔着芯部件14设置于与第二缸对应的内筒3的多相的线圈组构成的线圈部件15(线圈15A、15B、15C)。线圈部件15遍及整周地与永磁铁22、22在径向上面对地配置。

电磁致动器1的固定件2和可动件21分别安装于相对移动的两个部件之间(例如，成为两个部件中的一方的簧下部件与成为两个部件中的另一方的簧上部件之间)。固定件2和可动件21以能够呈直线状地相互相对位移(相对移动)的方式配置在簧上部件与簧下部件之间，在成为行程方向的轴向、即相对位移的方向即图1的上下方向上产生推力。

在实施方式中，例示出将电磁致动器1的第一部件和第二部件中的第一部件设为可动件21、将第二部件设为固定件2的情况。但是，并不限于此，也可以将第一部件设为固定件，将第二部件设为可动件。即，也可以在簧下部件(两个部件中的一方)安装固定件，在簧上部件(两个部件中的另一方)安装可动件。另外，也可以将两个部件中的一方(一侧部件)设为簧上部件，将两个部件中的另一方(另一侧部件)设为簧下部件。另外，在以下的说明中，将电磁致动器1的轴向的一端侧设为下端侧(图1的下端侧)，将轴向的另一端侧设为上端侧(图1的上端侧)，但也可以将电磁致动器的轴向的一端侧设为上端侧，将轴向的另一端侧设为下端侧。

电磁致动器1的固定件2在成为其一端侧的下端侧具有电枢13。即，作为第二部件的固定件2具备内筒3、作为罩部件的外壳4、成为第三缸的中间筒5、底部部件6、封闭部件7、电枢13以及环形部件12。内筒3形成为沿上下方向(轴向)延伸的筒状(圆筒状)的筒部件(圆筒部件)。在内筒3的径向外侧配置有固定件2的中间筒5以及可动件21的外筒23。反过来说，内筒3配置在外筒23以及中间筒5的径向内侧。由此，内筒3以能够在外筒23的轴线方向上相对移动的方式配置于外筒23的内周。

在成为内筒3的一端部的下端部设置有电枢13。内筒3的下端侧在电枢13(芯部件14)的内周侧沿轴向延伸，并插入到芯部件14的内侧。即，内筒3的下端部延伸至电枢13，位于电枢13的内周侧。在内筒3的下端侧固定有将内筒3的下端侧封闭的底部部件6。内筒3以及底部部件6构成第二缸，底部部件6与将第二缸的一端封闭的封闭部(底部)对应。底部部件6具备插入到内筒3的下端侧的小径部6A和具有与电枢13的芯部件14大致相同的外径尺寸的大径部6B。

小径部6A的外周成为外螺纹部6C。外螺纹部6C与设置在内筒3的下端侧的内螺纹部3A拧合。即，底部部件6通过小径部6A的外螺纹部6C与内筒3的内螺纹部3A的拧合而固定于内筒3。在底部部件6设置有沿轴向贯通小径部6A以及大径部6B的贯通孔6D。在底部部件6的贯通孔6D以及内筒3插入有杆24。在贯通孔6D内设置有与杆24的外周面以低摩擦滑动的滑动部件(未图示)。另外，在贯通孔6D内设置有将杆24与贯通孔6D之间密封的密封部件6E。

成为内筒3的另一端部的上端部安装于簧上部件(两个部件中的另一方)。在该情况下，内筒3的上端侧被封闭部件7封闭。即，在内筒3的另一端(上端)设置有封闭部件7。封闭部件7利用螺栓9固定于上部部件10。由此，内筒3的上端部经由封闭部件7安装于上部部件10。

封闭部件7具备插入到内筒3的上端侧的小径部7A、插入到中间筒5的上端侧的大径部7B、以及从大径部7B的径向的中央位置朝向上侧突出的突出部7C。小径部7A的外周成为外螺纹部7D。外螺纹部7D与设置在内筒3的上端侧的内螺纹部3B拧合。即，封闭部件7通过小径部7A的外螺纹部7D与内筒3的内螺纹部3B的拧合而固定于内筒3。

另外，大径部7B的外周成为外螺纹部7E。外螺纹部7E与设置在中间筒5的上端侧的内螺纹部5A拧合。即，封闭部件7通过大径部7B的外螺纹部7E与中间筒5的内螺纹部5A的拧合而固定于中间筒5。突出部7C插通于在上部部件10设置的插通孔10A。

在封闭部件7设置有沿轴向贯通小径部7A、大径部7B以及突出部7C的贯通孔7F。贯通孔7F与将内筒3内与外部连通的连通孔对应。贯通孔7F的成为上端侧的突出部7C侧的开口被螺栓11封闭。即，贯通孔7F的上端侧(突出部7C侧)成为内螺纹，螺栓11拧合于该内螺纹。螺栓11与用于开闭贯通孔7F的栓部件对应。

成为第二端部部件的上部部件10具备圆板部10B，该圆板部10B具有比可动件21的外筒23大的直径尺寸。在圆板部10B的径向的中心位置，设置有供封闭部件7的突出部7C以及螺栓11插通的插通孔10A。另外，上部部件10具备例如安装于车辆的簧上部件的安装环10C。安装环10C一体地设置于圆板部10B。上部部件10与封闭部件7一起构成用于将内筒3、中间筒5以及外壳4安装于簧上部件的安装部件。

在圆板部10B的外周缘安装有遍及整周地朝向下方延伸的圆筒状的外壳4。外壳4覆盖中间筒5。另外，外壳4覆盖可动件21的外筒23的上侧或上半部。由此，在固定件2设置有位于外筒23的外周侧的作为罩部件的外壳4。上部部件10以及外壳4在车辆行驶时保护中间筒5以及外筒23免受飞石等的影响。

中间筒5形成为沿上下方向(轴向)延伸的筒状(圆筒状)的筒部件(圆筒部件)。中间筒5设置在内筒3的外周侧。中间筒5的上端侧安装于封闭部件7的大径部7B。即，中间筒5的上端侧被封闭部件7封闭。中间筒5的下端部与设置在电枢13的上侧的环形部件12连接。中间筒5通过与封闭部件7的大径部7B的拧合，经由环形部件12将电枢13朝向底部部件6按压。由此，电枢13与底部部件6、环形部件12、中间筒5、内筒3以及封闭部件7成为一体而构成作为第一部件的固定件2。

电枢13形成为环形。在电枢13的内周部(内周侧的空间)插入有内筒3。电枢13通过例如由磁性体构成的大致筒状的芯部件14和设置于芯部件14且构成线圈部件15的多个线圈15A、15B、15C(即，u相线圈15A、v相线圈15B、w相线圈15C)构成。芯部件14设置在内筒3的下端侧。芯部件14在外周具有线圈部件15、即线圈15A、15B、15C。需要说明的是，线圈15A、15B、15C的个数不限于3个，例如可以根据设计规格等适当变更为6个、9个、12个等。

虽然省略图示，但在环形部件12的外周侧设置有检测电磁致动器1的行程量的行程传感器。行程传感器测定电枢13与可动件21(永磁铁22、22)之间的轴向的绝对位置或相对位置。行程传感器例如能够由利用磁阻的变化、霍尔效应等来检测磁场(磁场、磁通)、极性(磁极)的磁阻元件、霍尔元件(霍尔IC)等磁传感器构成。

行程传感器检测相对于行程传感器沿轴向位移的可动件21的永磁铁22、22的磁场、极性等。由此，能够运算永磁铁22、22的轴向位置(行程位置)，能够根据该位置向固定件2的线圈15A、15B、15C供给所需的电流。需要说明的是，行程传感器不限于磁传感器，可以使用激光位移计等能够测定电枢13与可动件21之间的轴向的相对位置或绝对位置的各种行程传感器(位移传感器)。

可动件21的下端侧与车辆的簧下部件连接。在可动件21设置有由沿可动件21的轴向延伸并形成为环形的多个永磁铁22、22构成的磁场。可动件21具有成为圆筒状的部件的外筒23以及将外筒23的下端侧封闭的下部部件25。即，可动件21具备：配置在电枢13(芯部件14以及线圈15A、15B、15C)的外周侧的作为磁轭的外筒23；固定在外筒23的下端侧的下部部件25；位于外筒23的内侧且从下部部件25沿轴向延伸的杆24；以及设置于外筒23且相对于线圈15A、15B、15C在径向上隔开间隙而相向的作为磁性部件的多个永磁铁22、22。另外，可动件21具有安装在外筒23的上端侧的环形部件26。

外筒23以及下部部件25构成第一缸，下部部件25与第一缸的底部对应。外筒23例如使用当置于磁场中时形成磁路的磁性材料来形成。在外筒23的径向内侧，沿轴向排列配置有多个永磁铁22、22。外筒23通过使用磁性材料而形成电磁致动器1的磁路，并且也具有作为用于使永磁铁22、22的磁通不向外部泄漏的罩的功能。外筒23形成为沿上下方向(轴向)延伸的筒状(圆筒状)的筒部件(圆筒部件)。外筒23设置在固定件2的内筒3以及中间筒5的外周侧。

成为外筒23的一端部的下端部安装于簧下部件(两个部件中的一方)。在该情况下，外筒23的下端侧固定于下部部件25。即，外筒23的下端部沿轴向延伸至下部部件25的位置，并被下部部件25封闭。外筒23的下端侧利用螺栓27固定于下部部件25。

成为第一端部部件的下部部件25具备圆板部25A，该圆板部25A具有比固定件2的内筒3(以及中间筒5)大的直径尺寸。在圆板部25A设置有供螺栓27插通的螺栓插通孔25B。在外筒23的下端部，与圆板部25A的螺栓插通孔25B对应地设置有螺纹孔23A。外筒23和圆板部25A通过插通于圆板部25A的螺栓插通孔25B并且与外筒23的螺纹孔23A拧合的螺栓27而固定。

另外，在圆板部25A设置有位于比螺栓插通孔25B靠内径侧且沿轴向贯通的贯通孔25C。贯通孔25C与将外筒23内与外部连通的第二连通孔对应。贯通孔25C被螺栓28封闭。即，贯通孔25C成为内螺纹，螺栓28拧合于该内螺纹。螺栓28与用于开闭贯通孔25C的第二栓部件对应。

下部部件25例如具备安装于车辆的簧下部件的安装环25D。安装环25D一体地设置于圆板部25A。下部部件25构成用于将外筒23安装于簧下部件的安装部件。在下部部件25设置有杆24，该杆24位于与安装环25D在轴向上相反的一侧，并从下部部件25在电枢13的内侧沿轴向延伸。

杆24位于外筒23的内侧。在该情况下，杆24插入到内筒3中。即，杆24从下部部件25(圆板部25A)朝向外筒23的开口侧、即环形部件26侧延伸。杆24的成为一端部的下端部安装于下部部件25(圆板部25A)。杆24的成为另一端部的上端部通过底部部件6的贯通孔6D向成为电枢13的内周部的内筒3内延伸。杆24例如能够采用与下部部件25一体形成的结构、或者通过拧合将与下部部件25分体的杆24固定于下部部件25的结构。

在杆24的前端侧设置有活塞29。活塞29与内筒3的内表面滑动，将内筒3内划分为两个室。另外，在活塞29的外周设置有将由活塞29划分出的两个室连通的连通路29A。杆24在内筒3内沿轴向相对位移。在该情况下，活塞29的外周面与内筒3的内周面滑动，并且杆24的外周面与设置于底部部件6(贯通孔6D)的滑动部件滑动，由此杆24被内筒3引导。

环形部件26设置在成为外筒23的另一端部的上端部。环形部件26形成为圆环状，例如通过拧合、铆接等固定地安装于外筒23。环形部件26将中间筒5的外周与外部隔开。另外，环形部件26例如抑制永磁铁22、22从外筒23内脱出，并且进行永磁铁22、22的轴向的定位。

在环形部件26的内周侧，设置有与中间筒5的外周面以低摩擦滑动的滑动部件(未图示)。另外，在环形部件26的内周面，设置有将中间筒5与环形部件26之间密封的密封部件26A。中间筒5相对于环形部件26在轴向上相对位移。在该情况下，中间筒5的外周面与设置在环形部件26的内周侧的滑动部件滑动，由此中间筒5被环形部件26(即，外筒23)引导。

成为磁场的多个永磁铁22、22设置于可动件21。永磁铁22、22是产生磁场的磁性部件，配置于外筒23。在该情况下，永磁铁22、22分别形成为圆环状。永磁铁22、22例如能够由一体地形成为圆筒状的环形磁铁、通过将圆弧形的多个磁铁元件沿周向排列而构成为圆环状的分割型的扇形磁铁等构成。

永磁铁22、22在外筒23的内周面侧沿着轴向排列设置。在轴向上相邻的各永磁铁22、22为彼此相反的极性。例如，在内周面侧为N极且外周面侧为S极的永磁铁的旁边，配置有内周面侧为S极且外周面侧为N极的永磁铁。需要说明的是，永磁铁22、22的个数并不限于图示的例子。例如，能够根据行程量排列所需个数的永磁铁22、22。

接着，对电磁致动器1的工作进行说明。例如，电磁致动器1与未图示的弹簧一起构成车辆的电磁悬架装置。电磁悬架装置例如能够在上下方向上以纵向放置状态(作为倒立型)介于车辆的簧上部件(车身侧)与簧下部件(车轮侧)之间。在该情况下，当车辆在上下方向上振动时，力在行程方向(轴向)上作用于电磁悬架装置。根据该力，电磁致动器1的固定件2与可动件21相对移动。此时，电磁致动器1通过根据线圈15A、15B、15C和永磁铁22、22的磁极位置使规定的电流流过线圈15A、15B、15C，能够调整电磁致动器1的推力(衰减力)。其结果是，能够提高车辆的乘坐舒适性、操纵稳定性。

然而，为了抑制因结露而产生的水混入油中，供杆24移动的内筒3优选为密闭结构。但是，若将内筒3设为密闭结构，则杆24在内筒3内移动，由此内筒3内的压力、即图1中标注了“A”的空间的压力发生变化。因此，例如，若在最大伸长状态下进行杆24的组装(即，若在最大伸长状态下将内筒3密闭)，则在可动件21(杆24)缩小时对杆24施加较大的反作用力(空气反作用力)。由此，在电磁致动器1的伸长行程和缩小行程中推力有可能产生偏差。

另外，若将外筒23设为密闭结构，则固定件2在外筒23内移动，由此外筒23内的压力、即图1中标注了“B”的空间的压力发生变化。因此，例如，若在最大伸长状态下进行固定件2与可动件21的组装(即，若在最大伸长状态下将外筒23密闭)，则在固定件2和可动件21缩小时对固定件2和可动件21施加较大的反作用力(空气反作用力)。由此，在电磁致动器1的伸长行程和缩小行程中推力有可能产生偏差。

因此，在实施方式中，以中间长度(最大长度以及最小长度以外的长度)进行杆24的组装、即内筒3的密闭。另外，为了提高进行内筒3的密闭时的长度(行程)的自由度，具备进行内筒3的密闭的螺栓11。另外，以中间长度(最大长度以及最小长度以外的长度)进行外筒23的组装、即外筒23的密闭。另外，为了提高进行外筒23的密闭时的长度(行程)的自由度，具备进行外筒23的密闭的螺栓28。以下，对用于抑制电磁致动器1的推力产生偏差的结构进行详细说明。

首先，电磁致动器1设置在相对移动的两个部件之间(例如，车辆的簧下部件与簧上部件之间)。电磁致动器1具有安装于两个部件中的一方(例如，簧下部件)的作为第一部件的可动件21以及安装于两个部件中的另一方(例如，簧上部件)的作为第二部件的固定件2。另外，电磁致动器1具有作为以可动件21与固定件2相对移动的方式进行动作的动力构件的线圈部件15(线圈15A、15B、15C)以及永磁铁22、22。

可动件21具有作为第一缸的外筒23和下部部件25以及杆24。第一缸在一端(下端)设置有成为底部的下部部件25。即，第一缸的底部由能够相对于外筒23装卸的作为第一端部部件的下部部件25形成。第一缸的另一端(上端)开口。杆24从第一缸内的底部(下部部件25)朝向开口的另一端侧(上端侧)延伸。在杆24上安装有活塞29。即，杆24在前端侧具有活塞29。

固定件2具有作为第二缸的内筒3和及底部部件6以及封闭部件7。在第二缸中插入有杆24。第二缸与杆24的外周滑动，并且一端(下端)被封闭。在该情况下，内筒3与设置于杆24的活塞29的外周滑动。即，在杆24固定有活塞29，该活塞29与内筒3的内周滑动，将内筒3内划分为两个室，并且具备将该两个室连通的连通路29A。另外，内筒3的一端(下端)被底部部件6封闭。即，第二缸的一端(下端)由能够装卸的底部部件6形成。底部部件6的贯通孔6D经由滑动部件与杆24的外周滑动。另一方面，封闭部件7设置于第二缸的另一端(上端)。

在第二缸(内筒3以及底部部件6)内封入有体积因压力而变化的作为第一流体的空气。另外，在第二缸(内筒3以及底部部件6)内封入有作为第二流体的润滑剂(例如，仅在图2中示出的润滑油30)，作为第二流体的润滑剂的基于压力的压缩性与作为第一流体的空气不同。作为润滑剂，除了润滑油30以外，还能够使用例如润滑脂等各种润滑剂。在封闭部件7设置有将第二缸(内筒3以及底部部件6)内与外部连通的作为连通孔的贯通孔7F。封闭部件7具有能够任意地开闭贯通孔7F的作为栓部件的螺栓11。在实施方式中，第二缸(内筒3以及底部部件6)内的压力、即图1中标注了“A”的空间的压力在杆24最大程度地插入到内筒3内的最小长度时比大气压高，在杆24从内筒3内最大程度地排出的最大长度时比大气压低。即，内筒3内的空气室的压力在最小长度时为正压，在最大长度时为负压。

另外，在实施方式中，在第一缸(外筒23以及下部部件25)内也封入有体积因压力而变化的作为第一流体的空气。在作为第一端部部件的下部部件25(圆板部25A)，设置有将第一缸(外筒23以及下部部件25)内与外部连通的作为第二连通孔的贯通孔25C。下部部件25具有能够任意地开闭贯通孔25C的作为第二栓部件的螺栓28。在实施方式中，第一缸(外筒23以及下部部件25)内的压力、即图1中标注了“B”的空间的压力在可动件21与固定件2的相对位置为最小的最小长度时比大气压高，在可动件21与固定件2的相对位置为最大的最大长度时比大气压低。即，外筒23内的空气室的压力在最小长度时为正压，在最大长度时为负压。

接着，参照图4至图7对作为致动器装置的电磁致动器1的组装工序(制造工序)进行说明。在图4至图7中，从(1)至(9)依次示出电磁致动器1的组装工序。另外，在图4以及图5中，省略了在之后的工序中组装的外筒23、上部部件10等的图示。图5的(6)和图6的(6)在外筒23、上部部件10等被省略还是被图示这一点上不同。

图4的(1)以将固定件2的一部分以及可动件21的一部分分解的状态示出。在图4的(1)至(2)的工序中，将底部部件6插入固定有下部部件25和杆24的“杆组件”的杆24。在图4的(2)至(3)的工序中，在杆24的前端安装活塞29。这样，在实施方式中，在将底部部件6插入杆24之后，将活塞29安装于杆24。

在图4的(3)至图5的(4)的工序中，将由内筒3和电枢13(芯部件14以及线圈部件15)构成的“第二缸组件”插入杆24，将内筒3和底部部件6螺纹紧固。即，在图4的(3)至图5的(4)的工序中，将杆24插入内筒3。然后，如图5的(4)所示，通过将内筒3的内螺纹部3A与底部部件6的外螺纹部6C拧合，从而将内筒3与底部部件6固定。

需要说明的是，“第二缸组件”的内筒3和电枢13未被固定。另外，“第二缸组件”也可以由内筒3、电枢13以及环形部件12构成。即，也可以将由内筒3、电枢13以及环形部件12构成的“第二缸组件”插入杆24。另外，也可以将内筒3插通于杆24，将内筒3与底部部件6螺纹紧固后，将电枢13和环形部件12依次插入杆24。总之，在内筒3内插通杆24之前，将底部部件6插入杆24。

在图5的(4)至(5)的工序中，将封闭部件7安装于内筒3。即，将封闭部件7的小径部7A插入内筒3并进行螺纹紧固。在该情况下，如图5的(5)所示，通过将内筒3的内螺纹部3B与封闭部件7的外螺纹部7D拧合，从而将内筒3与封闭部件7固定。需要说明的是，向内筒3内放入作为第二流体的润滑油30(参照图2)。将该润滑油30放入内筒3内的工序在将封闭部件7固定于内筒3之前进行。即，润滑油30在图5的(5)的状态之前、即在将封闭部件7安装于内筒3之前进行。另外，在使用润滑油30的粘性高、流动性低的特性的材料、例如润滑脂的情况下，可以在将杆24插入内筒3之前放入内筒3内，也可以在将内筒3与底部部件6固定之后放入内筒3内。

另外，在使用润滑油30的粘性高、流动性低的特性的材料、例如润滑脂的情况下，也可以在将杆24插入内筒3之前和将内筒3与底部部件6固定之后这两方向内筒3内放入润滑油30。例如，通过在将内筒3与底部部件6固定之前向内筒3内放入润滑油30，能够减小将杆24插入内筒3时的活塞29与内筒3的滑动阻力。另外，通过在将内筒3与底部部件6固定之后放入润滑油30，能够避免润滑油30从内筒3内泄漏。

润滑油30的量设为如下量：在最小长度时，内筒3的内压上升，杆24不再移动(锁定)，从而能够防止内筒3破损。具体而言，润滑油30的量设为比最小长度时的内筒3内的容量(内筒3内的体积-插入到内筒3内的杆24的体积-活塞29的体积)少的量。例如，如图2所示，为了保持润滑性，润滑油30优选以在最大长度时杆24的端部或活塞29的整体浸入润滑油30内的程度注入。

在图5的(5)至(6)的工序中，将中间筒5安装于封闭部件7。即，将封闭部件7插入到中间筒5内并进行螺纹紧固。在该情况下，如图5的(6)以及图6的(6)所示，通过将中间筒5的内螺纹部5A与封闭部件7的外螺纹部7E拧合，从而将中间筒5与封闭部件7固定。此时，环形部件12和电枢13被中间筒5和底部件6夹持，轴向位置被固定。在图6的(6)至(7)的工序中，将外筒23与下部部件25连接。即，将图5的(6)所示的组装体插入到外筒23内，将外筒23与下部部件25螺栓固定。具体而言，在将外筒23的下端抵接于下部部件25的状态下，将螺栓27与外筒23的螺纹孔23A拧合，由此将外筒23与下部部件25固定。

在图6的(7)至图7的(8)的工序中，在可动件21与固定件2的相对位置为最大长度以及最小长度以外的位置、例如最大长度与最小长度之间的一半(大致一半)的长度的状态下，将贯通孔7F以及贯通孔25C堵塞。即，使可动件21与固定件2的相对位置从图6的(7)的状态向图7的(8)的状态延伸，向内筒3内放入空气。而且，在可动件21与固定件2的相对位置为图7的(8)的状态下，将成为栓部件的螺栓11拧合于封闭部件7的贯通孔7F，将内筒3内密闭。另外，将成为栓部件的螺栓28拧合于下部部件25的贯通孔25C，将外筒23内密闭。最大长度(最大伸长)例如与活塞29的下表面抵接于在内筒3的下端的内周面设置的台阶部(或底部部件6的小径部6A的上表面)的状态(图2)对应。最小长度(最大缩小)例如与底部部件6的下表面抵接于下部部件25(圆板部25A)的上表面的状态对应。

进行内筒3的密闭的中间长度以及/或者进行外筒23的密闭的中间长度只要是最大长度以及最小长度以外的长度即可。例如，中间长度能够设为最大长度与最小长度之间的一半(大致一半)的长度。但是，并不限于此，中间长度也可以从最大长度与最小长度之间的一半(大致一半)偏离。中间长度例如能够在最大长度与最小长度之间设定，以使伸长行程以及缩小行程的反作用力(推力)处于所希望的范围。另外，也可以使将内筒3内密闭时的中间长度与将外筒23内密闭时的中间长度不同。

在图7的(8)至(9)的工序中，将上部部件10螺栓固定于封闭部件7。即，在将上部部件10(圆板部10B)的下表面抵接于封闭部件7(大径部7B)的上表面的状态下，利用螺栓9将上部部件10(圆板部10B)与封闭部件7(大径部7B)固定。

这样，实施方式的组装工序(制造工序)具有以下的(A)、(B)、(C)、(D)、(E)的工序。(A)将杆24插入到第二缸(内筒3、底部部件6)内的工序。即，图4的(1)至(2)的工序、图4的(3)至图5的(4)的工序。(B)在内筒3的另一端部(上端部)固定封闭部件7，在可动件21与固定件2的相对位置成为最大的最大长度以及成为最小的最小长度以外的位置(最大长度以外且最小长度以外的位置)，向内筒3内放入体积因压力而变化的作为第一流体的空气进行封闭的工序。即，图5的(4)至(5)的工序以及图6的(7)至图7的(8)的工序。(C)在将封闭部件7固定之前，向内筒3内放入基于压力的压缩性与空气不同的作为第二流体的润滑油30的工序。即，在图4的(1)至图5的(4)中的任一状态下向内筒3内放入润滑油30的工序。例如，在使用粘性高、流动性低的特性的润滑脂作为润滑油30的情况下，能够在图4的(1)至图5的(4)中的至少任一个中放入润滑油30。例如，在润滑油30的粘性低、流动性高的特性的情况下，能够在图5的(4)中放入润滑油30。(D)在将杆24插入到内筒3内之前，将底部部件6插入杆24的工序。即，图4的(1)至(2)的工序。(E)在将底部部件6插入杆24之后，将活塞29安装于杆24的工序。即，图4的(2)至(3)的工序。

并且，实施方式的组装工序(制造工序)具有以下的(F)的工序。(F)在外筒23的一端(下端)固定下部部件25，在可动件21与固定件2的相对位置成为最大的最大长度以及成为最小的最小长度以外的位置(最大长度以外且最小长度以外的位置)，向外筒23内放入体积因压力而变化的作为第一流体的空气进行封闭的工序。即，图6的(6)至(7)的工序以及图6的(7)至图7的(8)的工序。

如上所述，根据实施方式，在内筒3的另一端部(上端部)固定封闭部件7，在可动件21与固定件2的相对位置为“最大长度以外且最小长度以外的位置”处，向内筒3内放入空气而将内筒3的空气室(图1以及图7中标注了“A”的空间)封闭。因此，若将封闭内筒3时的杆24的轴向位置设为中间长度(封闭位置)，将此时的内筒3内的压力成为大气压(封闭压力)，则内筒3内的压力伴随着杆24从中间长度(封闭位置)向缩小侧位移而变得高于大气压。另外，内筒3内的压力伴随着杆24从中间长度(封闭位置)向伸长侧位移而变得低于大气压。

即，内筒3内的压力(图1以及图7中标注了“A”的空间的压力)并不是伴随着杆24的位移而相对于大气压“仅增大”或“仅减少”，而是相对于大气压“增大以及减少”。因此，例如，与以最大长度将内筒3封闭的情况相比，能够降低基于内筒3内的气体(空气)的压力的反作用力(施加于杆24的空气反作用力)。其结果是，能够降低反作用力的偏差，进而降低电磁致动器1的推力的偏差。

根据实施方式，在外筒23的一端(下端)固定下部部件25，在可动件21与固定件2的相对位置为“最大长度以外且最小长度以外的位置”处，向外筒23内放入空气而将外筒23的空气室(图1以及图7中标注了“B”的空间)封闭。因此，若将封闭外筒23时的相对位置设为中间长度(封闭位置)，将此时的外筒23内的压力设为大气压(封闭压力)，则外筒23内的压力伴随着可动件21和固定件2从中间长度(封闭位置)向缩小侧相对位移而变得高于大气压。另外，外筒23内的压力伴随着可动件21和固定件2从中间长度(封闭位置)向伸长侧位移而变得低于大气压。

即，外筒23内的压力(图1以及图7中标注了“B”的空间的压力)并不是伴随着可动件21与固定件2的相对位移而相对于大气压“仅增大”或“仅减少”，而是相对于大气压“增大以及减少”。因此，例如，与以最大长度将外筒23封闭的情况相比，能够降低基于外筒23内的气体(空气)的压力的反作用力(施加于可动件21和固定件2的空气反作用力)。其结果是，从这方面来看，也能够降低反作用力的偏差，进而降低电磁致动器1的推力的偏差。

根据实施方式，在将封闭部件7固定于内筒3之前，向内筒3内放入润滑油30。因此，在内筒3内不仅能够放入空气，还能够放入润滑油30。即，能够在内筒3内封入润滑油30。由此，能够降低内筒3与杆24之间的滑动阻力，能够抑制由滑动引起的磨损。

根据实施方式，在将杆24插入到内筒3内之前，将底部部件6插入杆24，之后，将活塞29安装于杆24。因此，能够将外径尺寸比底部部件6的内径尺寸(换言之，杆24的外径尺寸)大的活塞29安装于杆24。在该情况下，通过将活塞29的外径尺寸设为能够与内筒3的内周滑动的大小，从而在横向力施加于可动件21与固定件2之间时，能够抑制可动件21和固定件2因活塞29而欲向折弯的方向移动。

根据实施方式，内筒3内的压力在最小长度时比大气压高，在最大长度时比大气压低。即，内筒3内的压力并不是伴随着杆24的位移而相对于大气压“仅增大”或“仅减少”，而是相对于大气压“增大以及减少”。因此，例如，与内筒3内的压力在最大长度时成为大气压的情况相比，能够降低基于内筒3内的气体(空气)的压力的反作用力(施加于杆24的空气反作用力)。其结果是，能够降低反作用力的偏差，进而降低电磁致动器1的推力的偏差。

根据实施方式，外筒23内的压力在最小长度时比大气压高，在最大长度时比大气压低。即，外筒23内的压力并不是伴随着可动件21与固定件2的相对位移而相对于大气压“仅增大”或“仅减少”，而是相对于大气压“增大以及减少”。因此，例如，与外筒23内的压力在最大长度时成为大气压的情况相比，能够降低基于外筒23内的气体(空气)的压力的反作用力(施加于可动件21和固定件2的空气反作用力)。其结果是，从这方面来看，也能够降低反作用力的偏差，进而降低电磁致动器1的推力的偏差。

根据实施方式，在杆24固定有与内筒3的内周滑动的活塞29，活塞29具备将内筒3内的两个室连通的连通路29A。因此，在横向力施加于可动件21与固定件2之间时，能够抑制可动件21和固定件2因活塞29而欲向折弯的方向移动。另外，通过活塞29的连通路29A将内筒3内的两个室连通，因此，能够抑制内筒3内的两个室的压力差变大。由此，从这方面来看，也能够降低反作用力的偏差，进而降低电磁致动器1的推力的偏差。

根据实施方式，封闭部件7具有将内筒3内与外部连通的贯通孔7F和能够任意地开闭贯通孔7F的螺栓11。因此，能够在使可动件21与固定件2的相对位置(即，杆24的轴向位置)处于所希望的位置的状态下封闭内筒3。例如，在贯通孔7F打开的状态下将可动件21与固定件2的相对位置(即，杆24的轴向位置)设为中间长度(所希望的长度)，在该状态下利用螺栓11将贯通孔7F关闭。由此，能够以中间长度(所希望的长度)在大气压下封闭内筒3。在该情况下，该作业能够通过利用螺栓11开闭贯通孔7F而容易地进行。因此，除了能够提高将内筒3封闭时的作业性之外，还能够提高将内筒3封闭时的可动件21与固定件2的相对位置(即，杆24的轴向位置)的自由度。

根据实施方式，下部部件25(圆板部25A)具有将外筒23内与外部连通的贯通孔25C和能够任意地开闭贯通孔25C的螺栓28。因此，能够在使可动件21与固定件2的相对位置处于所希望的位置的状态下封闭外筒23。例如，在贯通孔25C打开的状态下将可动件21与固定件2的相对位置设为中间长度(所希望的长度)，在该状态下利用螺栓28将贯通孔25C关闭。由此，能够以中间长度(所希望的长度)在大气压下封闭外筒23。在该情况下，该作业能够通过利用螺栓28开闭贯通孔25C而容易地进行。因此，除了能够提高将外筒23封闭时的作业性之外，还能够提高将外筒23封闭时的可动件21与固定件2的相对位置的自由度。

接着，图8表示第二实施方式。第二实施方式的特征在于，在将第一缸的外筒与第一端部部件连接(固定)之前，在第一部件与第二部件的相对位置为最大长度以及最小长度以外的位置处，向第二缸内放入空气而将第二缸封闭。需要说明的是，在第二实施方式中，对与上述第一实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记，并省略其说明。

在上述第一实施方式中，在图6的(6)至(7)的工序中，在利用螺栓27将外筒23与下部部件25固定之后，在图6的(7)至图8的(8)的工序中，将可动件21与固定件2的相对位置设为中间长度，将贯通孔7F以及贯通孔25C堵塞。与此相对，在第二实施方式中，从图5的(6)进入图8的(7)。即，在第二实施方式中，在利用螺栓27将外筒23与下部部件31固定之前，将可动件21与固定件2的相对位置设为中间长度，将贯通孔7F堵塞。另外，与此同时，在第二实施方式中，下部部件31不具备第一实施方式的下部部件25那样的贯通孔25C以及螺栓28。

即，在第二实施方式中，与第一缸的底部(第一端部部件)对应的下部部件31具有圆板部31A和安装环31C。在圆板部31A设置有供用于固定下部部件31和外筒23的螺栓27插通的螺栓插通孔31B，但未设置将外筒23内与外部连通的连通孔(第二连通孔)。需要说明的是，例如，从部件通用化等观点出发，在第二实施方式中也可以使用第一实施方式的下部部件25。即，在第二实施方式中，也可以使用具有贯通孔25C以及螺栓28的下部部件25。

接着，对第二实施方式的组装工序(制造工序)进行说明。需要说明的是，在图8中，作为第二实施方式的组装工序(制造工序)，示出从(7)开始的组装工序。(1)至(6)的工序与第一实施方式的图4以及图5所示的(1)至(6)的工序相同。在图5的(6)至图8的(7)的工序中，在可动件21与固定件2的相对位置为最大长度以及最小长度以外的位置、例如最大长度与最小长度之间的一半(大致一半)的长度的状态下，将贯通孔7F堵塞。即，使可动件21与固定件2的相对位置从图5的(6)的状态向图8的(7)的状态延伸，向内筒3内放入空气。而且，在可动件21与固定件2的相对位置为图8的(7)的状态下，将成为栓部件的螺栓11拧合于封闭部件7的贯通孔7F，将内筒3内密闭。

在图8的(7)至(8)的工序中，将外筒23与下部部件31连接。即，将图8的(7)所示的组装体插入到外筒23内，将外筒23与下部部件31螺栓固定。具体而言，在将外筒23的下端抵接于下部部件31的状态下，将螺栓27拧合于外筒23的螺纹孔23A，由此将外筒23与下部部件31固定。在图8的(8)至(9)的工序中，利用螺栓9将上部部件10螺栓固定于封闭部件7。

第二实施方式通过如上所述的组装工序来组装电磁致动器1，其基本作用与上述第一实施方式没有特别的差异。特别是，在第二实施方式中，在利用螺栓27将外筒23与下部部件31固定之前，将可动件21与固定件2的相对位置设为中间长度，将贯通孔7F堵塞。因此，在将可动件21和固定件2设为中间长度时，电枢13(芯部件14、线圈部件15)与永磁铁22、22未接近相向，因此，能够以较小的力进行设为该中间长度的作业。另外，也可以不在下部部件31的圆板部31A设置连通孔(第二连通孔)，并且也不需要用于堵塞该连通孔的螺栓。由此，能够减少加工工序数以及部件数量。

需要说明的是，在第一实施方式以及第二实施方式中，以使用螺栓11作为将内筒3密闭的栓部件的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，除了螺栓以外，例如也可以销部件、插入插头等只要能够将内筒3内密闭即可的各种栓部件。这对于将第一实施方式的外筒23密闭的螺栓28也是同样的。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以将活塞29固定(安装)于杆24的情况、即构成为经由活塞29使杆24的外周在内筒3滑动的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，也可以省略活塞。例如，也可以采用使杆的外周仅在底部部件的贯通孔中滑动的结构、或者使杆的外周在内筒的内周滑动的结构。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以将放入内筒3内的第一流体设为空气、将第二流体设为润滑油的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，作为第一流体，也可以使用氮气等空气以外的气体，作为第二流体，也可以使用润滑脂等液体以外的流体(半固体状的流体)。另外，作为第一流体，除了气体以外，例如还能够使用将气体(例如空气、氮气)与液体(例如润滑油)混合而成的流体等各种流体。这对于第二流体也是同样的。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以由设置于固定件2侧的芯部件14的线圈15A、15B、15C(线圈部件15)和设置于可动件21侧的外筒23的永磁铁22、22(磁性部件)构成筒状线性电磁式致动器的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，也可以由设置在可动件侧的线圈(线圈部件)和设置在固定件侧的永磁铁(磁性部件)构成筒状线性电磁式致动器。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以构成为将固定件2安装于车辆的簧上部件并且将可动件21安装于车辆的簧下部件的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，也可以构成为将固定件安装于车辆的簧下部件，并且将可动件安装于车辆的簧上部件。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以构成为将电磁致动器1以纵向放置状态安装于铁路车辆、汽车等车辆的情况为例进行了说明，但并不限于此，例如，也可以构成为将电磁致动器以横向放置状态安装于铁路车辆等车辆。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以构成为将电磁致动器1安装于车辆的情况为例进行了说明，但并不限于此，电磁致动器例如也可以用作成为振动源的各种机械、建筑物等的缓冲器。另外，电磁致动器并不限定于缓冲器，能够用作驱动各种设备的致动器装置(驱动装置)。

在第一实施方式以及第二实施方式中，以将横截面形状为圆形的线性马达、即固定件2以及可动件21形成为圆筒状的情况为例进行了说明。但是，并不限于此，例如，也可以由横截面形状为I字状(平板状)、矩形、H字状的线性马达等横截面形状为圆形以外的筒状(缸状)的线性马达构成。

并且，在第一实施方式以及第二实施方式中，作为致动器装置，以构成为线性马达的电磁致动器1为例进行了说明。但是，并不限于此，作为致动器装置，例如也可以采用通过电动马达(旋转马达)驱动滚珠丝杠机构(旋转直动转换机构)的杆的结构。即，致动器装置的动力构件不限于将线圈15A、15B、15C以及永磁铁22、22沿轴向配置的电动线性马达，也可以采用由电动马达(旋转马达)和旋转直动转换机构构成等各种动力构件。

根据以上说明的实施方式，在第二缸的另一端部固定封闭部件，在第一部件与第二部件的相对位置为最大长度以及最小长度以外的位置处，向第二缸内放入第一流体而将第二缸封闭。因此，若将封闭第二缸时的杆的轴向位置设为“封闭位置”，将此时的第二缸内的压力设为“封闭压力”，则第二缸内的压力伴随着杆从封闭位置向缩小侧位移而从封闭压力变大。另外，第二缸内的压力伴随着杆从封闭位置向伸长侧位移而从封闭压力变小。即，第二缸内的压力并不是伴随着杆的位移而相对于封闭压力“仅增大”或“仅减少”，而是相对于封闭压力“增大以及减少”。例如，考虑在将杆的位置设为最大长度与最小长度之间的一半(大致一半)的长度时，在大气压下封闭第二缸的情况。在该情况下，第二缸内的压力伴随着杆从一半的长度向缩小侧位移而变得高于大气压，伴随着杆从一半的长度向伸长侧位移而变得低于大气压。因此，例如，与以最大长度将第二缸封闭的情况相比，能够降低基于第二缸内的第一流体的压力的反作用力(施加于杆的空气反作用力)。其结果是，能够降低反作用力的偏差，进而降低致动器装置的推力的偏差。

根据实施方式，在将封闭部件固定之前，向第二缸内放入第二流体。因此，在第二缸内不仅能够放入第一流体，还能够放入第二流体。在该情况下，作为第二流体，通过放入润滑剂(例如，油、润滑脂)，能够降低第二缸与杆之间的滑动阻力，能够抑制由滑动引起的磨损。

根据实施方式，在将杆插入第二缸内之前，将底部部件插入杆，之后，将活塞安装于杆。因此，能够将外径尺寸比底部部件的内径尺寸(换言之，杆的外径尺寸)大的活塞安装于杆。在该情况下，例如，通过将活塞的外径尺寸设为能够与第二缸的内周滑动的大小，从而在横向力施加于第一部件与第二部件之间时，能够抑制第一部件和第二部件因活塞而欲向折弯的方向移动。

根据实施方式，第二缸内的压力在最小长度时比大气压高，在最大长度时比大气压低。即，第二缸内的压力并不是伴随着杆的位移而相对于大气压“仅增大”或“仅减少”，而是相对于大气压“增大以及减少”。因此，例如，与第二缸内的压力在最大长度时成为大气压的情况相比，能够降低基于第二缸内的第一流体的压力的反作用力(施加于杆的空气反作用力)。其结果是，能够降低反作用力的偏差，进而降低致动器装置的推力的偏差。

根据实施方式，在杆固定有与第二缸的内周滑动的活塞，活塞具备将第二缸内的两个室连通的连通路。因此，在横向力施加于第一部件与第二部件之间时，能够抑制第一部件和第二部件因活塞而欲向折弯的方向移动。另外，通过活塞的连通路将第二缸内的两个室连通，因此，能够抑制第二缸内的两个室的压力差变大。由此，从这方面来看，也能够降低反作用力的偏差，进而降低致动器装置的推力的偏差。

根据实施方式，在第二缸内封入有第二流体。因此，通过封入润滑剂(例如，油、润滑脂)作为第二流体，能够降低第二缸与杆之间的滑动阻力，能够抑制由滑动引起的磨损。

根据实施方式，封闭部件具有将第二缸内与外部连通的连通孔和能够任意地开闭连通孔的栓部件。因此，能够在使第一部件与第二部件的相对位置(即，杆的轴向位置)处于所希望的位置的状态下封闭第二缸。例如，在连通孔打开的状态下将第一部件与第二部件的相对位置(即，杆的轴向位置)设为中间长度(所希望的长度)，在该状态下利用栓部件将连通孔关闭。由此，能够以中间长度(所希望的长度)在大气压下封闭第二缸。在该情况下，该作业能够通过利用栓部件开闭连通孔而容易地进行的。因此，除了能够提高将第二缸封闭时的作业性之外，还能够提高将第二缸封闭时的第一部件与第二部件的相对位置(即，杆的轴向位置)的自由度。

另外，本发明并不限定于上述实施方式，包括各种变形例。例如，上述实施方式为了容易理解地说明本发明而详细地进行了说明，但并不限定于必须具备已说明的全部结构。另外，可以将某实施方式的结构的一部分替换为其他实施方式的结构，另外，也可以在某实施方式的结构上增加其他实施方式的结构。另外，关于各实施方式的结构的一部分，能够进行其他结构的追加、删除、替换。

本申请要求2021年4月28日提出的日本专利申请第2021-076008号的优先权。包括2021年4月28日提出的日本专利申请第2021-076008号的说明书、权利要求书、附图以及摘要在内的全部公开内容通过参照而作为整体被引入本申请中。

附图标记说明

1电磁致动器(致动器装置)2固定件(第二部件)3内筒(第二缸)6底部部件(第二缸的一端)7封闭部件7F贯通孔(连通孔)11螺栓15线圈部件(动力构件)21可动件(第一部件)22永磁铁(动力构件)23外筒(第一缸)24杆25、31下部部件(第一缸的底部)29活塞29A连通路

Claims (7)

1.一种致动器装置的制造方法，其中，

所述致动器装置设置在相对移动的两个部件之间，

而且，所述致动器装置具有安装于所述两个部件中的一方的第一部件以及安装于所述两个部件中的另一方的第二部件，

所述第一部件具有：

第一缸，所述第一缸在一端设置有底部，另一端开口；以及

杆，所述杆从所述第一缸内的底部朝向开口的另一端侧延伸，

所述第二部件具有：

第二缸，所述第二缸供所述杆插入，与该杆的外周滑动并且一端被封闭；以及

封闭部件，所述封闭部件设置在所述第二缸的另一端，

所述致动器装置的制造方法具有：

将所述杆插入到所述第二缸内的工序；以及

将所述封闭部件固定于所述第二缸的另一端部，在所述第一部件与所述第二部件的相对位置成为最大的最大长度以及成为最小的最小长度以外的位置处，向所述第二缸内放入体积因压力而变化的第一流体进行封闭的工序。

2.如权利要求1所述的致动器装置的制造方法，其中，

所述致动器装置的制造方法还具有如下工序：在固定所述封闭部件之前，向所述第二缸内放入基于压力的压缩性与所述第一流体不同的第二流体。

3.如权利要求1或2所述的致动器装置的制造方法，其中，

所述致动器装置具有安装于所述杆的活塞，

所述第二缸的一端由能够装卸的底部部件形成，

致动器装置的制造方法还具有：

在将所述杆插入到所述第二缸内之前，将所述底部部件插入所述杆的工序；以及

在将所述底部部件插入所述杆之后，将所述活塞安装于所述杆的工序。

4.一种致动器装置，其中，

所述致动器装置设置在相对移动的两个部件之间，

而且，所述致动器装置具有：

第一部件，所述第一部件安装于所述两个部件中的一方；

第二部件，所述第二部件安装于所述两个部件中的另一方；以及

动力构件，所述动力构件以所述第一部件和所述第二部件相对移动的方式进行动作，

所述第一部件具有：

第一缸，所述第一缸在一端设置有底部，另一端开口；以及

杆，所述杆从所述第一缸内的底部朝向开口的另一端侧延伸，

所述第二部件具有：

第二缸，所述第二缸供所述杆插入，与该杆的外周滑动并且一端被封闭；以及

封闭部件，所述封闭部件设置在所述第二缸的另一端，

在所述第二缸内封入有体积因压力而变化的第一流体，

所述第二缸内的压力在所述杆最大程度地插入到该第二缸内的最小长度时比大气压高，在所述杆从该第二缸内最大程度地排出的最大长度时比大气压低。

5.如权利要求4所述的致动器装置，其中，

在所述杆固定有活塞，所述活塞与所述第二缸的内周滑动，将该第二缸内划分为两个室，并且具备将该两个室连通的连通路。

6.如权利要求4或5所述的致动器装置，其中，

在所述第二缸内封入有基于压力的压缩性与所述第一流体不同的第二流体。

7.如权利要求4～6中任一项所述的致动器装置，其中，

在所述封闭部件设置有将所述第二缸内与外部连通的连通孔，

所述封闭部件具有能够任意地开闭所述连通孔的栓部件。