CN117040465A - 一种大功率射频自动匹配器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种大功率射频自动匹配器，包括：中央处理模块、反射系数检测模块、第一驱动器、第二驱动器、第一可调电容、第二可调电容、电感、第一射频节点、第二射频节点、第一负载节点和第二负载节点；第一可调电容的一端与电感的一端连接，第一可调电容的另一端与第二负载节点连接，第二可调电容的一端与电感的另一端连接，第二可调电容的另一端与第一负载节点连接；第二射频节点与第二负载节点连接；本发明通过中央处理模块通过第一驱动器和第二驱动器来对第一可调电容和第二可调电容的控制，以使得电压反射系数小于设定的目标阈值。从而实现了阻抗的自动匹配的目的。主要用于射频技术领域。

Description

一种大功率射频自动匹配器

技术领域

本发明涉及射频技术领域，具体是涉及一种大功率射频自动匹配器。

背景技术

射频电源技术的快速发展，使射频电源在各个领域得到广泛应用。特别是射频放电、射频溅射、射频加热、低温消毒和污水处理等方面，有着不可代替的地位。该类特种电源主要由射频信号源、射频功率放大器及阻抗匹配器组成，其中射频功率放大器是射频电源的核心。吸收负载是否能够稳定、可靠工作会影响加速器的使用寿命长短和工作效率高低，一款可靠稳定的匹配器是保证射频电源系统稳定工作的关键。

匹配器是射频功率源系统的重要组成设备，安装在源端与负载端之间，理论上使得功率源产生的全部功率无损耗传输到负载而无反射产生。现有的匹配器的匹配元器件设计好之后就固定下来，在使用过程中不可调节，一般用于点频射频功率源系统。此种匹配器使用不灵活，负载端的变化引起的频率偏移会造成大的反射。因此，如何使得匹配器进行灵活的阻抗匹配是行业内亟需解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种大功率射频自动匹配器，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。

本发明提供一种大功率射频自动匹配器，包括：中央处理模块、反射系数检测模块、第一驱动器、第二驱动器、第一可调电容、第二可调电容、电感、第一射频节点、第二射频节点、第一负载节点和第二负载节点；

所述第一射频节点和第二射频节点用于与外部射频源连接，所述第一负载节点和第二负载节点用于与外部负载连接；所述第一可调电容的一端与电感的一端连接，所述第一可调电容的另一端与第二负载节点连接，所述第二可调电容的一端与电感的另一端连接，所述第二可调电容的另一端与第一负载节点连接；所述第二射频节点与第二负载节点连接；

所述中央处理模块分别与反射系数检测模块、第一驱动器和第二驱动器连接；所述第一驱动器的驱动端与第一可调电容连接，所述第二驱动器的驱动端与第二可调电容连接；所述反射系数检测模块用于检测入射电压和反射电压，所述中央处理模块内部存储有阻抗自动匹配算法；

所述中央处理模块用于根据所述入射电压和反射电压确定电压反射系数，利用所述阻抗自动匹配算法对第一可调电容的电容量和第二可调电容的电容量进行调整，直至所述电压反射系数小于设定的目标阈值。

进一步，所述第一驱动器包括：第一电机、第一编码器和第一齿轮组，所述第一齿轮组包括：第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机的转轴通过第一齿轮与第一可调电容连接，所述第一编码器的转轴与第二齿轮连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第一电机的转轴可带动第一齿轮转动；所述第一电机的控制端与所述中央处理模块的输出端连接，所述第一编码器的输出端与所述中央处理模块的输入端连接。

进一步，所述第二驱动器包括：第二电机、第二编码器和第二齿轮组，所述第二齿轮组包括：第三齿轮和第四齿轮，所述第二电机的转轴通过第三齿轮与第二可调电容连接，所述第二编码器的转轴与第四齿轮连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合，所述第二电机的转轴可带动第三齿轮转动；所述第二电机的控制端与所述中央处理模块的输出端连接，所述第二编码器的输出端与所述中央处理模块的输入端连接。

进一步，所述第一可调电容包括：第一丝杆、第一定位杆组、第一内极盖板、第一电容外极、第一电容内极、第一外极盖板和第一绝缘介质；所述第一电容外极和第一电容内极均呈桶状，所述第一电容内极套接在第一电容外极的内部，所述第一绝缘介质覆盖在第一电容内极的表面；所述第一内极盖板与所述第一电容内极的左端部连接，所述第一外极盖板与所述第一电容外极的右端部连接；所述第一丝杆的一端与所述第一内极盖板连接，所述第一定位杆组分别与第一电容外极和第一内极盖板连接；第一电容内极与电感的一端连接，第一电容外极与电感的另一端连接；所述第一丝杆的另一端与第一电机的转轴连接。

进一步，所述第二可调电容包括：第二丝杆、第二定位杆组、第二内极盖板、第二电容外极、第二电容内极、第二外极盖板和第二绝缘介质；所述第二电容外极和第二电容内极均呈桶状，所述第二电容内极套接在第二电容外极的内部，所述第二绝缘介质覆盖在第二电容内极的表面；所述第二内极盖板与所述第二电容内极的左端部连接，所述第二外极盖板与所述第二电容外极的右端部连接；所述第二丝杆的一端与所述第二内极盖板连接，所述第二定位杆组分别与第二电容外极和第二内极盖板连接；第二电容内极与电感的另一端连接，第二电容外极与第一负载节点连接；所述第二丝杆的另一端与第二电机的转轴连接。

进一步，本大功率射频自动匹配器还包括第一散热器，所述第一散热器与第一外极盖板导热连接。

进一步，本大功率射频自动匹配器还包括第二散热器，所述第二散热器与第二外极盖板导热连接。

进一步，本大功率射频自动匹配器还包括机箱，所述中央处理模块、反射系数检测模块、第一驱动器、第二驱动器、第一可调电容、第二可调电容和电感均安装在机箱中。

进一步，所述机箱的周侧壁设置有通风孔。

进一步，所述机箱的顶侧壁设置有通风口，所述通风口上设置有散热风扇。

本发明至少具有以下有益效果：本发明通过反射系数检测模块来对入射电压和反射电压进行检测，从而得到反映匹配程度的电压反射系数，中央处理模块通过第一驱动器和第二驱动器来对第一可调电容和第二可调电容的控制，以使得电压反射系数小于设定的目标阈值。从而实现了阻抗的自动匹配的目的。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1是大功率射频自动匹配器的系统结构示意图；

图2是大功率射频自动匹配器在机箱内部的结构示意图；

图3是大功率射频自动匹配器的立体结构示意图；

图4是第一可调电容的剖面结构示意图；

图5是电感的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，虽然在系统示意图中进行了功能模块划分，在流程图中示出了逻辑顺序，但是在某些情况下，可以以不同于系统中的模块划分，或流程图中的顺序执行所示出或描述的步骤。说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。

参考图1，图1是大功率射频自动匹配器的系统结构示意图。本发明的主要目的是实现阻抗的灵活匹配。为了实现这个目的，本发明提供了一种大功率射频自动匹配器，包括：中央处理模块300、反射系数检测模块200、第一驱动器410、第二驱动器420、第一可调电容401、第二可调电容402、电感500、第一射频节点、第二射频节点、第一负载节点和第二负载节点。

其中，所述第一射频节点和第二射频节点用于与外部射频源900连接，所述第一负载节点和第二负载节点用于与外部负载800连接。第一射频节点第二射频节点为外部射频源900的输入接口，第一负载节点和第二负载节点则为外部负载800的连接接口。

所述第一驱动器410的驱动端与第一可调电容401连接，所述第二驱动器420的驱动端与第二可调电容402连接。所述第一可调电容401的一端与电感500的一端连接，所述第一可调电容401的另一端与第二负载节点连接，所述第二可调电容402的一端与电感500的另一端连接，所述第二可调电容402的另一端与第一负载节点连接；所述第二射频节点与第二负载节点连接。

所述第一可调电容401为电容量可以在一定的范围内进行调整的电容装置。所述第二可调电容402为电容量可以在一定的范围内进行调整的电容装置。在本具体实施例中，第一可调电容401和第二可调电容402均为可调圆柱介质电容器。

所述第一驱动器410为可以通过电控并对第一可调电容401进行驱动，以使得第一可调电容401改变其的电容量的装置。所述第二驱动器420为可以通过电控并对第二可调电容402进行驱动，以使得第二可调电容402改变其的电容量的装置。

所述中央处理模块300分别与反射系数检测模块200、第一驱动器410和第二驱动器420连接。所述反射系数检测模块200用于检测入射电压和反射电压，所述中央处理模块300内部存储有阻抗自动匹配算法；在实际工作中，所述反射系数检测模块200可以通过第一射频节点和第二射频节点检测得到入射电压和反射电压。通过入射电压和反射电压可以得到电压反射系数。电压反射系数是衡量匹配程度的一个重要指标，反射系数越小，表示匹配程度越好，反之则越差。所述中央处理模块300用于根据所述入射电压和反射电压确定电压反射系数，利用所述阻抗自动匹配算法对第一可调电容401的电容量和第二可调电容402的电容量进行调整，直至所述电压反射系数小于设定的目标阈值。

本发明通过反射系数检测模块200来对入射电压和反射电压进行检测，从而得到反映匹配程度的电压反射系数，中央处理模块300通过第一驱动器410和第二驱动器420来对第一可调电容401和第二可调电容402的控制，以使得电压反射系数小于设定的目标阈值。从而实现了阻抗的自动匹配的目的。

参考图2、图3和图4，其中，图2是大功率射频自动匹配器在机箱内部的结构示意图；图3是大功率射频自动匹配器的立体结构示意图；图4是第一可调电容的剖面结构示意图。

本发明的大功率射频自动匹配器可以集成为一个整体装置，其中，通过机箱100将中央处理模块300、反射系数检测模块200、第一驱动器410、第二驱动器420、第一可调电容401、第二可调电容402和电感500进行装载。

在机箱100的内部，通过隔板700分成左侧安装区和右侧安装区。其中，中央处理模块300和反射系数检测模块200安装在左侧安装区中。第一可调电容401、第二可调电容402和电感500均安装在右侧安装区中。第一驱动器410和第二驱动器420利用隔板700分别安装在左侧安装区和右侧安装区之间。

机箱100的材质使用6061铝合金。射频功率由L29或者N型的第一射频接头输入，经由机箱100内部的L29或者N型的第二射频接头通过铜带连接到电感500上。

参考图5，图5是电感的结构示意图。其中，所述电感500为铜材质螺旋形电感，第二射频接头通过铜带连接在电感500的一端，电感500的另一端与第二可调电容402连接。为了使得电感500的电感量也可以调节，故在一些进一步的具体实施例中，在电感500上设计了多个接线端子510。当电感量过大或者过小时，改变铜皮的接线端子510即可。

电感500的一端除了连接第二射频接头内导体出来的铜皮之外，还连接了第一可调电容401的一极连接过来的铜皮。第一可调电容401的另一极通过金属接到机箱100。电感500、第一可调电容401和第二可调电容402形成了L型匹配电路。

外部射频源900通过电感500、第一可调电容401和第二可调电容402输入到外部负载800中。

第一可调电容401通过第一驱动器410与中央处理模块300连接，第二可调电容402通过第二驱动器420与中央处理模块300连接。

其中，第一驱动器410的结构包括：第一电机412、第一编码器411和第一齿轮组，所述第一齿轮组包括：第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机412的转轴通过第一齿轮与第一可调电容401连接，所述第一编码器411的转轴与第二齿轮连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第一电机412的转轴可带动第一齿轮转动；所述第一电机412的控制端与所述中央处理模块300的输出端连接，所述第一编码器411的输出端与所述中央处理模块300的输入端连接。

第二驱动器420的结构包括：第二电机422、第二编码器421和第二齿轮组，所述第二齿轮组包括：第三齿轮和第四齿轮，所述第二电机422的转轴通过第三齿轮与第二可调电容402连接，所述第二编码器421的转轴与第四齿轮连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合，所述第二电机422的转轴可带动第三齿轮转动；所述第二电机422的控制端与所述中央处理模块300的输出端连接，所述第二编码器421的输出端与所述中央处理模块300的输入端连接。

在需要对第一可调电容401的电容量进行调整的时候。中央处理模块300会对第一电机412进行控制，第一电机412转动的时候，其的转轴驱动第一可调电容401改变其的电容量。由于在可调圆柱介质电容器中，第一可调电容401的电容量与第一电机412的转动角度存在关系。因此，为了使得中央处理模块300及时掌握到第一可调电容401的电容量。故设置第一编码器411，而且第一编码器411与第二齿轮连接，第一电机412的转轴与第一齿轮连接，第一齿轮与第二齿轮啮合。通过设置第一齿轮和第二齿轮，从而使得第一编码器411可以反映出第一电机412的转动情况，继而确定第一可调电容401的电容量。从而方便中央处理模块300对第一可调电容401进行控制。

在需要对第二可调电容402的电容量进行调整的时候。中央处理模块300会对第二电机422进行控制，第二电机422转动的时候，其的转轴驱动第二可调电容402改变其的电容量。由于在可调圆柱介质电容器中，第二可调电容402的电容量与第二电机422的转动角度存在关系。因此，为了使得中央处理模块300及时掌握到第二可调电容402的电容量。故设置第二编码器421，而且第二编码器421与第四齿轮连接，第二电机422的转轴与第三齿轮连接，第三齿轮与第四齿轮啮合。通过设置第三齿轮和第四齿轮，从而使得第二编码器421可以反映出第二电机422的转动情况，继而确定第二可调电容402的电容量。从而方便中央处理模块300对第二可调电容402进行控制。

对于第一可调电容401的结构，在一些进一步的具体实施例中，所述第一可调电容401包括：第一丝杆411、第一定位杆组421、第一内极盖板431、第一电容外极441、第一电容内极461、第一外极盖板451和第一绝缘介质471；所述第一电容外极441和第一电容内极461均呈桶状，所述第一电容内极461套接在第一电容外极441的内部，所述第一绝缘介质471覆盖在第一电容内极461的表面；所述第一内极盖板431与所述第一电容内极461的左端部连接，所述第一外极盖板451与所述第一电容外极441的右端部连接；所述第一丝杆411的一端与所述第一内极盖板431连接，所述第一定位杆组421分别与第一电容外极441和第一内极盖板431连接；所述第一丝杆411的另一端与第一电机412的转轴连接；所述第一丝杆411用于通过转动带动第一内极盖板431沿着所述第一定位杆组421线性移动，以使得第一电容内极461和第一电容外极441之间的重叠区面积产生变化。

当中央处理模块300需要调大第一可调电容401的电容量的时候，其可以通过第一电机412来带动第一丝杆411转动（本具体实施例为顺时针转动）。第一丝杆411转动过程中，由于受到第一定位杆组421的作用，使得第一内极盖板431朝靠近第一外极盖板451方向移动。这样一来，第一电容内极461与第一电容外极441的重叠区面积就会增大。由于第一电容内极461与电感500的一端连接，第一电容外极441与电感500的另一端连接。根据电容计算原理，第一电容内极461与第一电容外极441之间的重叠区面积越大，第一可调电容401的电容量越大。故，中央处理模块300可以通过对第一丝杆411的控制，以增大第一电容内极461和第一电容外极441的重叠区面积的方式，以提高第一可调电容401的电容量。

当中央处理模块300需要调小第一可调电容401的电容量的时候，其可以通过第一电机412来带动第一丝杆411转动（本具体实施例为逆时针转动）。第一丝杆411转动过程中，由于受到第一定位杆组421的作用，使得第一内极盖板431朝离开第一外极盖板451处方向移动。这样一来，第一电容内极461与第一电容外极441的重叠区面积就会减小。由于第一电容内极461与电感500的一端连接，第一电容外极441与电感500的另一端连接。根据电容计算原理，第一电容内极461与第一电容外极441之间的重叠区面积越小，第一可调电容401的电容量越小。故，中央处理模块300可以通过对第一丝杆411的控制，以减小第一电容内极461和第一电容外极441的重叠区面积的方式，以降低第一可调电容401的电容量。

对于第二可调电容402的结构，在一些进一步的具体实施例中，所述第二可调电容402包括：第二丝杆、第二定位杆组、第二内极盖板、第二电容外极、第二电容内极、第二外极盖板和第二绝缘介质；所述第二电容外极和第二电容内极均呈桶状，所述第二电容内极套接在第二电容外极的内部，所述第二绝缘介质覆盖在第二电容内极的表面；所述第二内极盖板与所述第二电容内极的左端部连接，所述第二外极盖板与所述第二电容外极的右端部连接；所述第二丝杆的一端与所述第二内极盖板连接，所述第二定位杆组分别与第二电容外极和第二内极盖板连接；第二电容内极与电感500的另一端连接，第二电容外极与第一负载节点连接；所述第二丝杆的另一端与第二电机422的转轴连接；所述第二丝杆用于通过转动带动第二内极盖板沿着所述第二定位杆组线性移动，以使得第二电容内极和第二电容外极之间的重叠区面积产生变化。

当中央处理模块300需要调大第二可调电容402的电容量的时候，其可以通过第二电机422来带动第二丝杆转动（本具体实施例为顺时针转动）。第二丝杆转动过程中，由于受到第二定位杆组的作用，使得第二内极盖板朝靠近第二外极盖板方向移动。这样一来，第二电容内极与第二电容外极的重叠区面积就会增大。由于第二电容内极与电感500的另一端连接，第二电容外极与第一负载节点连接。根据电容计算原理，第二电容内极与第二电容外极之间的重叠区面积越大，第二可调电容402的电容量越大。故，中央处理模块300可以通过对第二丝杆的控制，以增大第二电容内极和第二电容外极的重叠区面积的方式，以提高第二可调电容402的电容量。

当中央处理模块300需要调小第二可调电容402的电容量的时候，其可以通过第二电机422来带动第二丝杆转动（本具体实施例为逆时针转动）。第二丝杆转动过程中，由于受到第二定位杆组的作用，使得第二内极盖板朝离开第二外极盖板处方向移动。这样一来，第二电容内极与第二电容外极的重叠区面积就会减小。由于第二电容内极与电感500的另一端连接，第二电容外极与第一负载节点连接。根据电容计算原理，第二电容内极与第二电容外极之间的重叠区面积越小，第二可调电容402的电容量越小。故，中央处理模块300可以通过对第二丝杆的控制，以减小第二电容内极和第二电容外极的重叠区面积的方式，以降低第二可调电容402的电容量。

在一些进一步的具体实施例中，本大功率射频自动匹配器还包括第一散热器601，所述第一散热器601与第一外极盖板451导热连接。本大功率射频自动匹配器还包括第二散热器602，所述第二散热器602与第二外极盖板导热连接。

在一些进一步的具体实施例中，所述机箱100整体呈长方体，所述机箱100的周侧壁设置有通风孔101。所述机箱100的顶侧壁设置有通风口，所述通风口上设置有散热风扇110。

尽管本申请的描述已经相当详尽且特别对几个所述实施例进行了描述，但其并非旨在局限于任何这些细节或实施例或任何特殊实施例，而是应当将其视作是通过参考所附权利要求，考虑到现有技术为这些权利要求提供广义的可能性解释，从而有效地涵盖本申请的预定范围。此外，上文以发明人可预见的实施例对本申请进行描述，其目的是为了提供有用的描述，而那些目前尚未预见的对本申请的非实质性改动仍可代表本申请的等效改动。

Claims (10)

1.一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，包括：中央处理模块（300）、反射系数检测模块（200）、第一驱动器（410）、第二驱动器（420）、第一可调电容（401）、第二可调电容（402）、电感（500）、第一射频节点、第二射频节点、第一负载节点和第二负载节点；

所述第一射频节点和第二射频节点用于与外部射频源（900）连接，所述第一负载节点和第二负载节点用于与外部负载（800）连接；所述第一可调电容（401）的一端与电感（500）的一端连接，所述第一可调电容（401）的另一端与第二负载节点连接，所述第二可调电容（402）的一端与电感（500）的另一端连接，所述第二可调电容（402）的另一端与第一负载节点连接；所述第二射频节点与第二负载节点连接；

所述中央处理模块（300）分别与反射系数检测模块（200）、第一驱动器（410）和第二驱动器（420）连接；所述第一驱动器（410）的驱动端与第一可调电容（401）连接，所述第二驱动器（420）的驱动端与第二可调电容（402）连接；所述反射系数检测模块（200）用于检测入射电压和反射电压，所述中央处理模块（300）内部存储有阻抗自动匹配算法；

所述中央处理模块（300）用于根据所述入射电压和反射电压确定电压反射系数，利用所述阻抗自动匹配算法对第一可调电容（401）的电容量和第二可调电容（402）的电容量进行调整，直至所述电压反射系数小于设定的目标阈值。

2.根据权利要求1所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述第一驱动器（410）包括：第一电机（412）、第一编码器（411）和第一齿轮组，所述第一齿轮组包括：第一齿轮和第二齿轮，所述第一电机（412）的转轴通过第一齿轮与第一可调电容（401）连接，所述第一编码器（411）的转轴与第二齿轮连接，所述第一齿轮与所述第二齿轮啮合，所述第一电机（412）的转轴可带动第一齿轮转动；所述第一电机（412）的控制端与所述中央处理模块（300）的输出端连接，所述第一编码器（411）的输出端与所述中央处理模块300的输入端连接。

3.根据权利要求1所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述第二驱动器（420）包括：第二电机（422）、第二编码器（421）和第二齿轮组，所述第二齿轮组包括：第三齿轮和第四齿轮，所述第二电机（422）的转轴通过第三齿轮与第二可调电容（402）连接，所述第二编码器（421）的转轴与第四齿轮连接，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合，所述第二电机（422）的转轴可带动第三齿轮转动；所述第二电机（422）的控制端与所述中央处理模块（300）的输出端连接，所述第二编码器（421）的输出端与所述中央处理模块（300）的输入端连接。

4.根据权利要求2所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述第一可调电容（401）包括：第一丝杆（411）、第一定位杆组（421）、第一内极盖板（431）、第一电容外极（441）、第一电容内极（461）、第一外极盖板（451）和第一绝缘介质（471）；所述第一电容外极（441）和第一电容内极（461）均呈桶状，所述第一电容内极（461）套接在第一电容外极（441）的内部，所述第一绝缘介质（471）覆盖在第一电容内极（461）的表面；所述第一内极盖板（431）与所述第一电容内极（461）的左端部连接，所述第一外极盖板（451）与所述第一电容外极（441）的右端部连接；所述第一丝杆（411）的一端与所述第一内极盖板（431）连接，所述第一定位杆组（421）分别与第一电容外极（441）和第一内极盖板（431）连接；第一电容内极（461）与电感（500）的一端连接，第一电容外极（441）与电感（500）的另一端连接；所述第一丝杆（411）的另一端与第一电机（412）的转轴连接。

5.根据权利要求3所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述第二可调电容（402）包括：第二丝杆、第二定位杆组、第二内极盖板、第二电容外极、第二电容内极、第二外极盖板和第二绝缘介质；所述第二电容外极和第二电容内极均呈桶状，所述第二电容内极套接在第二电容外极的内部，所述第二绝缘介质覆盖在第二电容内极的表面；所述第二内极盖板与所述第二电容内极的左端部连接，所述第二外极盖板与所述第二电容外极的右端部连接；所述第二丝杆的一端与所述第二内极盖板连接，所述第二定位杆组分别与第二电容外极和第二内极盖板连接；第二电容内极与电感（500）的另一端连接，第二电容外极与第一负载节点连接；所述第二丝杆的另一端与第二电机（422）的转轴连接。

6.根据权利要求4所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，还包括第一散热器（601），所述第一散热器（601）与第一外极盖板（451）导热连接。

7.根据权利要求5所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，还包括第二散热器（602），所述第二散热器（602）与第二外极盖板导热连接。

8.根据权利要求1所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，还包括机箱（100），所述中央处理模块（300）、反射系数检测模块（200）、第一驱动器（410）、第二驱动器（420）、第一可调电容（401）、第二可调电容（402）和电感（500）均安装在机箱（100）中。

9.根据权利要求8所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述机箱（100）的周侧壁设置有通风孔（101）。

10.根据权利要求8所述的一种大功率射频自动匹配器，其特征在于，所述机箱（100）的顶侧壁设置有通风口，所述通风口上设置有散热风扇（110）。