CN117026147A - 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法 - Google Patents

一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN117026147A
CN117026147A CN202310681051.4A CN202310681051A CN117026147A CN 117026147 A CN117026147 A CN 117026147A CN 202310681051 A CN202310681051 A CN 202310681051A CN 117026147 A CN117026147 A CN 117026147A
Authority
CN
China
Prior art keywords
equal
coating
layer
less
cutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310681051.4A
Other languages
English (en)
Inventor
于忠光
浦荣
严景峰
于浩楠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guohong Tools System Wuxi Co ltd
Original Assignee
Guohong Tools System Wuxi Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guohong Tools System Wuxi Co ltd filed Critical Guohong Tools System Wuxi Co ltd
Priority to CN202310681051.4A priority Critical patent/CN117026147A/zh
Publication of CN117026147A publication Critical patent/CN117026147A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3464—Sputtering using more than one target

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

本发明公开了一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，包括刀具基体和沉积于基体上的多层涂层，多层涂层由基体侧朝向所述多层涂层的表面侧依次包含有过渡层、周期复合层以及功能层，周期复合层具有由第一复合层和第二复合层交替重复两次以上的交替层叠结构。过渡层与第一复合层具有相同的化学成分，并由以TiaAlbCrcN表示的化合物构成；第二复合层与功能层具有相同的化学成分，并由以TidAleCrfMgLhN表示的化合物构成。本发明提供的一种高温合金切削涂层刀具兼具较高的耐磨损性能、耐崩裂性能、耐高温性能与耐氧化性能，并且涂层与基体间结合强度高，生产工艺简单，生产成本低。

Description

一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种涂层刀具及其制备方法技术领域，具体为一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法。
背景技术
自上世纪60年代以来，刀具涂层开始飞速发展。涂层成分上，在传统TiN、AlN涂层的基础上通过添加Cr、Si、C、O等元素开发出了大量高性能涂层，例如AlTiN、AlCrN、TiSiN以及TiCN等。涂层结构上，在单层涂层的基础上逐渐发展出了双层涂层、多层涂层、叠层复合涂层以及纳米复合涂层等具有复杂结构的涂层。配合近年来先进的涂覆工艺，涂层技术不断创新，涂层体系不断丰富，涂层性能日趋强大。
高熵合金(HEA)是一种新型高性能合金材料，其主要特征在于合金由5种以上主要元素所构成。多主元使其具有较高的混合熵，材料趋向于形成简单固溶体或是非晶结构。通过扩散迟滞、晶格畸变、鸡尾酒效应等强化机制，高熵合金可以表现出良好的耐崩裂性能、耐高温性能、耐氧化性能等特性。
涂层高熵合金化是提升涂层性能的最新手段之一，通过添加更多的难熔金属元素、稀土元素、类金属元素与非金属元素等，可以进一步强化涂层的高温性能与力学性能。发明专利CN115341175A报道了一种稀土掺杂高熵合金涂层，该专利描述了一种类高熵合金的高熵涂层，其特征在于涂层具有具有以高熵合金为主，并加入少量稀土元素与非金属元素，该涂层具有致密、强度高、抗氧化性号、膜基结合力强等优点。但是该专利所述高熵合金涂层未脱离高熵合金的范畴，且硬度较低、耐磨损性能较差，不适合作为刀具涂层使用。高熵氮化物涂层是基于高熵合金的强化原理开发出的氮化物涂层，与高熵陶瓷类似，虽然拥有较高的N含量，但仍然可以形成简单固溶体形式的多元氮化物，具有较强的高温稳定性能。发明专利CN111902231A报道了一种表面包覆切削工具，其特征在于该涂层包含有(Al,Ti,Cr,Si,Y)N层与(Al,Ti)N层构成的交替层叠结构层与下部层。通过在传统叠层复合涂层中加入高熵合金涂层，使得该涂层具备优异的耐熔敷性、耐崩刃性、耐缺损性以及耐磨性。但该涂层整体硬度偏低，且缺少减磨性能，在加工高硬镍基合金或低速切削的条件下使用时会出现粘结磨损严重与提前失效等问题。专利发明CN108823526A报道了一种纳米多层复合超硬刀具涂层，其特征在于该涂层包含具有交替层叠结构的CrN/TiAlSiYN复合层。该涂层通过在TiAlN的基础上添加了Si元素与Y元素，细化了晶粒，延缓了扩散，进一步提升了涂层的强度、硬度、韧性与抗氧化性能。但是该涂层虽然具有较为复杂的化学成分，但是仍为达到高熵合金的强化要求，涂层性能有待更进一步的提高。
高温合金具有高温和室温状态下强度硬度大、加工硬化明显、热导率低、摩擦系数大等特点，这使得高温合金加工时会产生切削阻力大、切削温度高、磨损速率高等问题。长时间暴露在高温下不仅会造成涂层的氧化，还会加速涂层的退化、分解与失效。此外高温引起的切屑软化也会在涂层表面留下切屑瘤，增大切削力的同时加重了涂层的粘结磨损。因此，开发出一种适用于高温合金切削加工的涂层已成为本领域技术人员亟需解决的一道难题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，使得通过简单工艺、常规设备、低生产成本制备制备出兼具较高的耐磨损性能、耐崩裂性能、耐高温性能与耐氧化性能的高温合金切削用涂层。为解决上述问题，本发明提供如下技术方案：
一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，包括刀具基体和沉积于刀具基体上的多层涂层，所述多层涂层由依次沉积于刀具基体上的过渡层、周期复合层以及功能层所构成，所述周期复合层具有由第一复合层和第二复合层交替重复两次以上的交替层叠结构。
优选地，所述过渡层与第一复合层具有相同的化学成分，并由化合物TiaAlbCrcN组成，并满足0.15≤a≤0.40，0.15≤b≤0.40，0.15≤c≤0.40，a+b+c＝1。其中，a表示，在该化合物中Ti元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；b表示，在该化合物中Al元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；c表示，在该化合物中Cr元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比。
优选地，所述第二复合层与功能层具有相同的化学成分，并由化合物TidAleCrfMgLhN组成，L表示选自C、B以及Si之中的至少1种元素所组成的元素集合，M表示选自Zr、V、Mo、Nb、Ta、W、Hf、Ce、Sc、Y以及La之中的至少1种元素所组成的元素集合，并满足0.15≤d≤0.35，0.15≤e≤0.35，0.15≤f≤0.35，0.10≤g≤0.15，0.10≤h≤0.25，d+e+f+g+h＝1。其中，d表示，在该化合物中Ti元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；e表示，在该化合物中Al元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；f表示，在该化合物中Cr元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；g表示，在该化合物中M元素集合中所有元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比；h表示，在该化合物中L元素集合中所有元素相对于化合物中除N元素外所有元素的原子占比。因为,如果d≤0.15和/或e≤0.15和/或f≤0.15和/或g≤0.10和/或h≤0.10，涂层的耐高温性能与耐氧化性能会受到影响；如果g≥0.15，涂层的耐磨损性能会受到影响；如果h≥0.25，涂层制备工艺与与成本会受到影响。根据发明人实验表明，所述化合物TidAleCrfMgLhN中各元素相对于除N元素外所有元素的原子占比均为5％～35％时，所述第二复合层与功能层中会产生高熵合金中类似的强化效果，即涂层由面心立方结构的简单固溶体构成，且存在严重的晶格畸变。此时，第二复合层与功能层中的元素扩散受到阻滞，即使在900℃高温退火处理后涂层仍未发生明显的相分解。根据发明人实验表明，涂层中加入适量的L元素集合元素不仅能够产生固溶体强化提高涂层的强度硬度，还可促进晶界处纳米/非晶的杂质点形成，进一步阻滞扩散与阻碍晶界移动。
优选地，所述化合物TiaAlbCrcN与所述化合物TidAleCrfMgLhN中元素成分满足0.05≤|a-d|≤0.20，0.05≤|b-e|≤0.20，0.05≤|c-f|≤0.20。据发明人实验表明，当周期复合层中交替层叠的第一复合层和第二复合层的主要元素，即Ti、Al、Cr三种元素，在相邻的两层之间存在5％～20％成分差时，涂层具有更高的硬度、强度。这是因为，在纳米多层复合涂层中，当相邻层具有一定成分差时涂层容易形成具有相似的晶体结构、晶体尺寸与热膨胀系数，但不同的弹性模量的两种层界面。这种情况下，纳米复合涂层存在周期出现的交变应力场，层间扩散受到阻碍，位错移动受到阻碍，涂层硬度、强度得到强化。
优选地，所述多层涂层中N元素相对于所有元素的原子占比(以下简称为“N元素含量”)为45％～55％。因为，如果涂层中N元素含量＜45％，涂层的耐磨损性能会受到影响；如果涂层中N元素含量＞55％，涂层的耐崩裂性能和耐高温性能会受到影响。根据发明人实验表明，当所述多层涂层中N元素含量为45％～55％时，涂层硬度值处于一个较高的水平；当N元素含量过小时，涂层中易形成金属非晶组织，严重影响涂层的机械性能；当N元素含量过大时，涂层中易形成化学稳定性较差的高N化合物，严重影响涂层的高温稳定性。
优选地，所述周期复合层厚度占涂层总厚度的百分比为50％～80％，进一步优选为60％～75％，所述功能层厚度占涂层总厚度的百分比为10％～30％，进一步优选为15％～25％。因为，如果周期复合层太薄，涂层的耐崩裂性能会受到影响；而如果功能层太薄，涂层的耐磨损性能会受到影响。根据发明人实验表明，通过调整周期复合涂层中各层的层厚比不仅能够调控涂层中残余应力的大小，还可以平衡涂层的耐磨损性能与耐崩裂性能，使涂层拥有最佳的综合性能。
优选地，所述周期复合层中交替层叠的第一复合层和第二复合层的单层平均厚度均为2nm～30nm，进一步优选为5nm。因为，如果周期复合层中第一复合层和第二复合层的单层平均厚度＞30nm时，涂层的耐磨损性能会受到影响；第一复合层和第二复合层的单层平均厚度＜2nm时，涂层的耐磨损性能与耐崩裂性能同样会受到影响。根据发明人实验表明，当周期复合层中交替层叠的第一复合层和第二复合层的单层平均厚度均为2nm～30nm时，周期复合层中相邻层的层界面完整清晰，且能够产生“超晶格”强化，提高涂层硬度的同时也抑制了裂纹的层间扩展。
优选地，所述多层涂层整体平均厚度为1μm～8μm，进一步优选为3μm。因为，如果多层涂层整体厚度过小会导致涂层对刀具的保护性能不明显，涂层的耐磨损性能会受到影响；而太大则会造成涂层的应力开裂，涂层的耐崩裂性能会受到影响。
优选地，所述刀具基体与多层涂层之间还存在粘结层，所述粘结层为选自由Al、Cr、Ti、V、Zr、Nb、Ta、Mo、W、B、C、Si、N、O组成的元素集合中的至少一种元素所组成的化合物构成，所述粘结层平均厚度为10nm～50nm，进一步优选为20nm～30nm。根据发明人实验表明，在刀具基体与多层涂层之间设置硬度较低、塑性较好的粘结层不仅能够减小涂层与基体间的应力失配，还可以提高涂层与基体间的结合强度。
优选地，所述多层涂层的纳米压痕分析中，28Gpa≤H≤40Gpa，270Gpa≤E≤340Gpa，并满足0.50≤H3/E2≤0.70，其中H为所述多层的硬度、E为所述多层涂层的弹性模量。因为，如果H3/E2≤0.50时，涂层的耐磨性能会受到影响；而H3/E2≥0.70时涂层的耐崩裂性能会受到影响。根据发明人实验与相关文献表明，通过计算硬度与弹性模量的相关算式H3/E2可以得到一个系数，这个系数也被称为“抗塑性变形因子(Plastic DeformationResistance Factor)”。抗塑性变形因子能够大致衡量涂层的耐磨损性能的高低，数值越大意味着涂层在受到载荷时更趋向于发生弹性变形，此时涂层不容易发生崩裂；而数值越小则意味着涂层在受到载荷时弹性变形受到抑制，容易发生崩裂，但此时硬度往往较高，所以涂层的耐磨损性能较好。基于上述原因，进一步优化地，0.55≤H3/E2≤0.65。
上述各技术方案中，所述多层涂层与粘结层的各层厚度可通过使用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)等检测设备从涂层刀具的剖面直接进行测量，或采用球磨凹坑法(参考国际标准ISO 26423:2009)间接测量、计算获得。所述多层涂层各层的化学成分可使用X射线能量色散谱仪(EDS)或X射线波长色散谱仪(WDS)等检测设备从涂层刀具的剖面进行分析检测。所述多层涂层各层的晶体结构可使用X射线衍射仪(XRD)从涂层刀具表面进行测定。所述多层涂层的硬度、弹性模量以及抗塑性变形因子可使用纳米压痕仪从涂层表面进行测量、计算后获得。上述涂层性能的检测方法与标准具体参考国际标准ISO 21874:2019。
作为一个总的技术构思，本发明还提供一种高温合金切削涂层刀具的制备方法，包括以下制备步骤：
(1)对刀具基体进行预处理；
(2)在刀具基体表面选择性地沉积粘结层；
(3)采用物理气相沉积的工艺多靶交替沉积的方式，分别通过TiAlCr靶沉积过渡层，通过TiAlCr靶与TiAlCrLM靶沉积具有交替层叠结构的周期复合层，通过TiAlCrLM靶沉积功能层，得到所述一种高温合金切削涂层刀具。
上述制备步骤中所述的沉积工艺没有特别限定，可以为本领域人员公知的各种物理气相沉积工艺，例如，可列举离子镀膜工艺、溅射镀膜工艺与等离子镀膜工艺等。优选地，采用离子镀膜工艺制备多层涂层，因为离子镀膜工艺具有沉积效率高、膜基结合好、沉积温度低等优点。进一步优选地，采用多弧离子镀膜工艺制备多层涂层。
上述各技术方案中，所述刀具基体可以为本领域人员公知的各种切削刀具，适合用于硬质合金刀具、金属陶瓷刀具或高速钢刀具，尤其适合用于硬质合金刀具。
有益效果
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明基于高熵合金强化理论，在传统TiAlCrN涂层的基础上进一步改善，加入了至少2种强化强元素，形成了具有复杂成分体系的多元高熵氮化物涂层。所述多层涂层中化合物TidAleCrfMgLhN为面心立方结构下的简单固溶体，具有强烈的扩散迟滞效应，使得功能层与周期复合层具有良好的耐高温性能与耐氧化性能。周期复合层由含有化合物TiaAlbCrcN的第一复合层和含有化合物TidAleCrfMgLhN的第二复合层交替层叠所构成，相邻两层之间存在一定的成分差与模量差，能够通过共格外延生长产生“超晶格”强化，提高了周期复合层的耐崩裂性能与耐冲击性能。通过在刀具基体与多层涂层之间设置韧性较好、硬度较低的粘结层保证了涂层具有较高的结合强度。本发明还针对高温合金切削涂层刀具提供了一种制备方法，该方法工艺简单、设备常规、生产成本低。通过本发明方法制备的涂层刀具应用范围广、加工效率高、刀具寿命长，能够满足各种条件下的高温合金切削加工，尤其适用于各种条件下的高温合金切削加工。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1中多层涂层的结构示意图；
图2为本发明刀具基体内部结构示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、刀具基体；2、粘结层；3、多层涂层；4、过渡层；5、周期复合层；5a、第一复合层；5b、第二复合层；6、功能层。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步描述。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。除非特别指明，以下实施例中所用的药品均可以从正规渠道购得。
实施例一：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在刀具基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为200个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为36.8GPa，弹性模量为301.5GPa，H3/E2为0.55。
一种本发明含的高温合金切削涂层刀具的制备方法，包括以下制备步骤：
(1)基体清洗：对刀具进行超声清洗以去除表面油污与杂质，烘干备用；
(2)离子刻蚀：将刀具装入真空涂层炉中，缓慢抽真空至1×10-5mba后，向真空炉腔内中通入适当氩气使腔内气压维持在2×10-3mba，对真空涂层炉进行加热至炉腔温度500℃时，对刀具加载-200V的负偏压，利用加速Ar+对刀具表面进行30分钟的离子轰击以提高涂层与基体间结合强度，形成涂层刀具基体1；
(3)沉积粘结层：向真空炉腔内中通入适当氩气使炉腔内气压维持在0.8×10- 2mba，向TiAlCr靶通入180A电流，并对刀具加载-80V的偏压，在刀具基体1表面沉积TiAlCr粘结层2，沉积时间2分钟；
(4)沉积过渡层：向真空炉腔内中通入200sccm至300sccm氮气使炉腔内气压维持在3.2×10-2mba，向TiAlCr靶通入180A电流，并对刀具加载-80V的偏压，在TiAlCr粘结层2表面沉积Ti0.30Al0.60Cr0.10N过渡层4，沉积时间10分钟；
(5)沉积周期复合层：向真空炉腔内中通入500sccm至600sccm氮气使炉腔内气压维持在3.2×10-2mba，向TiAlCr靶通入180A电流，向TiAlCrLM靶通入160A电流，并对刀具加载-80V的偏压，Ti0.30Al0.60Cr0.10N过渡层4表面沉积具有交替层叠结构的Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N周期复合层5，大盘转速设置为3.5rpm，使Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a与Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b依次交替沉积，沉积时间30分钟；
为了形成Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a与Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b交替重复两次以上的交替层叠结构，采用具有三阶绕轴旋转的传动方式使刀具在炉腔内同时进行自转与公转，并在炉腔内对称放置两种以上的靶材，从而在Ti0.30Al0.60Cr0.10N过渡层4表面沉积形成具有交替层叠结构的Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N周期复合层5。通过调整旋转结构的转动速率，可以对交替层叠的Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a与Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b的单层平均厚度进行调整。更具体而言，如果旋转结构的转动速率更快，则单层平均厚度减小，反之则增大。
(6)沉积涂层功能层：向真空炉腔内中通入400sccm至500sccm氮气使炉腔内气压维持在3.2×10-2mba，向TiAlCrLM靶通入160A电流，并对刀具加载-80V的偏压，在周期复合层5表面沉积Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N功能层6，沉积时间10分钟。
本实施例中采用多弧离子镀的工艺多靶交替沉积的方式，通过TiAlCrLM靶沉积粘结层，通过TiAlCr靶沉过渡层，通过TiAlCr靶与TiAlCrLM靶沉积具有交替层叠结构的周期复合层，通过TiAlCrLM靶沉积功能层，得到所述一种高温合金切削涂层刀具。以下其他实施例在无特别说明的情况下，均与本实施例具有相同的制备步骤。
本实施例中刀具基体1采用的是四刃球头硬质合金铣刀，铣刀结构与材料参数如下：
球头前角角度：0°；
球头后角角度：16°；
螺旋角角度：17°；
刃径：6mm；
柄径：8mm；
刀具材料：钴含量9％，硬度93HRA，颗粒度0.2～0.4。
对照品的刀具基体与实施例1相同，采用多弧离子镀的工艺沉积市场上常见的AlTiN涂层，涂层为单层结构，厚度为3.0μm。
以下其它实施例中刀具基体结构与材料参数，以及所用对照品涂层刀具在无特别说明的情况下均与本实施例相同。
用本实施例1和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表1所示：
表1：本发明实施例1与对照品的对比实验结果
由表1可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了88％。可见本实施例涂层技术比现有技术有明显的性能明显提升。
实施例二：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为400个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30A0.60Cr0.10N第一复合层层5a单层平均厚度为2.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b单层平均厚度为3.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为37.2GPa，弹性模量为300.6GPa，H3/E2为0.57。
用本实施例2和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表2所示：
表2：本发明实施例2与对照品的对比实验结果
由表2可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了112％。与实施例1相比，本实施例将周期复合层中交替沉积的第一复合层与第二复合层层单层平均厚度减小了33％，技术效果比与实施例1相比性能明显提升。
实施例三：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.2μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为100个周期，平均厚度为1.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N功能层，平均厚度为0.3μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为1.5μm，硬度为36.0GPa，弹性模量为295.7GPa，H3/E2为0.53。
用本实施例3和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表3所示：
表3：本发明实施例3与对照品的对比实验结果
由表3可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了41％。与实施例1相比，本实施例将多层涂层的整体厚度减小了50％，但技术效果比与实施例1相比性能明显下降。
实施例四：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为1.0μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为500个周期，平均厚度为5.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N，平均厚度为1.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为7.5μm，硬度为37.1GPa，弹性模量为305.2GPa，H3/E2为0.55。
用本实施例4和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表4所示：
表4：本发明实施例4与对照品的对比实验结果
由表4可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了38％。与实施例1相比，本实施例将多层涂层的整体厚度增大了150％，但技术效果比与实施例1相比性能明显下降。
实施例五：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为200个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.20Ta0.15Si0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为34.2GPa，弹性模量为281.4GPa，H3/E2为0.51。
用本实施例5和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表5所示：
表5：本发明实施例5与对照品的对比实验结果
由表5可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了73％。与实施例1相比，本实施例的M元素集合中选择的元素由实施例1中的Ta(15％)变为Zr(15％)，技术效果比与实施例1相比性能略有下降。
实施例六：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15Ta0.10Si0.10B0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.15Ta0.10Si0.1 0B0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为200个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.15Ta0.10Si0.10B0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15Ta0.10Si0.10B0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为39.5GPa，弹性模量为315.7GPa，H3/E2为0.62。
用本实施例6和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表6所示：
表6：本发明实施例6与对照品的对比实验结果
由表6可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了139％。与实施例1相比，本实施例的L元素集合中选择的元素由实施例1中的Si(10％)变为B(10％)+Si(10％)，M元素集合中选择的元素由实施例1中的Ta(15％)变为Ta(10％)，技术效果比与实施例1相比性能明显提升。
实施例七：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15V0.10Ta0.10B0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.15V0.10Ta0.1 0B0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为200个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.15V0.10Ta0.10B0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15V0.10Ta0.1 0B0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为37.6GPa，弹性模量为305.0GPa，H3/E2为0.57。
用本实施例7和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表7所示：
表7：本发明实施例7与对照品的对比实验结果
由表7可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了123％。与实施例1相比，本实施例的L元素集合中选择的元素由实施例1中的Si(10％)变为B(10％)，M元素集合中选择的元素由实施例1中的Ta(15％)变为V(10％)+Ta(10％)，技术效果比与实施例1相比性能明显提升。
实施例八：
一种本发明的含高温合金切削涂层刀具及其制备方法，如图1所示，包括刀具基体1和沉积于刀具基体1上的多层涂层3。该多层涂层3包含沉积于刀具基体1上的过渡层4、沉积于过渡层4上的周期复合层5和沉积于周期复合层5上的功能层6。此外，在基体1与多层涂层3之间选择性地沉积了粘结层2。通过调整靶材成分与沉积参数，粘结层2具体为TiAlCr金属化合物层；过渡层4具体为Ti0.30Al0.60Cr0.10N，平均厚度为0.5μm；周期复合层5具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15Zr0.10Ta0.10Si0.10N/Ti0.30Al0.60Cr0.10N，该层是以Ti0.15Al0.40Cr0.15Zr0.10Ta0.1 0Si0.10N层与Ti0.30Al0.60Cr0.10N层交替沉积得到的周期复合层，具体为200个周期，平均厚度为2.0μm，Ti0.30Al0.60Cr0.10N第一复合层5a单层平均厚度为4.0nm，其中Ti0.15Al0.40Cr0.15Zr0.10Ta0.10Si0.10N第二复合层5b单层平均厚度为6.0nm；功能层6具体为Ti0.15Al0.40Cr0.15Zr0.10Ta0.10Si0.10N，平均厚度为0.5μm。在该实施例中，多层涂层3整体平均厚度为3.0μm，硬度为34.8GPa，弹性模量为284.3GPa，H3/E2为0.52。
用本实施例8和对照品制得涂层刀具进行高温合金(GH4169)的铣削实验，当刀具后刀面最大磨损宽度≥0.3mm时认为刀具已经失效，并将累计加工时间作为刀具使用寿命记录，对比实验结果如下表8所示：
表8：本发明实施例8与对照品的对比实验结果
由表8可见，在刀具结构相同、切削条件相同的条件下，本发明的多层涂层刀具在铣削高温合金时使用寿命比现有技术下的AlTiN涂层刀具增加了85％。与实施例1相比，M元素集合中选择的元素由实施例1中的Ta(15％)变为Zr(10％)+Ta(10％)，技术效果比与实施例1相比性能保持一致。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，包括刀具基体和沉积于刀具基体上的多层涂层，其特征在于：所述多层涂层由刀具基体侧朝向所述多层涂层的表面侧依次包含有过渡层、周期复合层以及功能层，所述周期复合层具有由第一复合层和第二复合层交替重复两次以上的交替层叠结构，所述过渡层与第一复合层具有相同的化学成分，并由下述式(1)所示的化合物组成，
TiaAlbCrcN(1)
式(1)中，满足0.10≤a≤0.45，0.10≤b≤0.45，0.10≤c≤0.45，a+b+c＝1，所述第二复合层与功能层具有相同的化学成分，并由下述式(2)所示的化合物组成，
TidAleCrfMgLhN(2)
式(2)中，M表示选自Zr、V、Mo、Nb、Ta、W、Hf、Ce、Sc、Y以及La之中的至少1种元素所组成的元素集合，L表示选自C、B以及Si之中的至少1种元素所组成的元素集合，并满足0.10≤d≤0.40，0.10≤e≤0.40，0.10≤f≤0.40，0.10≤g≤0.25，0.10≤h≤0.20，d+e+f+g+h＝1。
2.根据权利要求1所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述化合物TiaAlbCrcN与所述化合物TidAleCrfMgLhN中元素成分满足0.05≤|a-d|≤0.20，0.05≤|b-e|≤0.20，0.05≤|c-f|≤0.20。
3.根据权利要求1～2所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述多层涂层中N元素相对于所有元素的原子占比为45％～55％。
4.根据权利要求1～3任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述周期复合层厚度占多层涂层涂层总厚度的百分比为50％～80％，所述功能层厚度占多层涂层总厚度的百分比为10％～30％。
5.根据权利要求1～4任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述周期复合层中交替层叠的第一复合层和第二复合层的单层平均厚度均为2nm～30nm。
6.根据权利要求1～5任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述多层涂层整体平均厚度为1μm～8μm。
7.根据权利要求1～6任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述刀具基体与多层涂层之间还存在粘结层，所述粘结层为选自由Al、Cr、Ti、V、Zr、Nb、Ta、Mo、W、B、C、Si、N、O组成的元素集合中的至少一种元素所组成的化合物构成，所述粘结层平均厚度为10nm～50nm。
8.根据权利要求1～7任一项任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述多层涂层的纳米压痕分析中，28Gpa≤H≤40Gpa，270Gpa≤E≤340Gpa，并满足0.30≤H3/E2≤0.65，其中H为所述多层的硬度、E为所述多层涂层的弹性模量。
9.根据权利要求1～8任一项任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，其特征在于：所述刀具基体材料为硬质合金、金属陶瓷或高速钢刀具中的任一种。
10.根据权利要求1～9任一项任一项所述的一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法，包括以下制备步骤：
(1)对刀具基体进行预处理；
(2)在刀具基体表面选择性地沉积粘结层；
(3)采用物理气相沉积的工艺交替沉积的方式，分别通过TiAlCr靶沉积过渡层，通过TiAlCr靶与TiAlCrLM靶沉积具有交替层叠结构的周期复合层，通过TiAlCrLM靶沉积功能层，得到所述一种高温合金切削涂层刀具。
CN202310681051.4A 2023-06-09 2023-06-09 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法 Pending CN117026147A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310681051.4A CN117026147A (zh) 2023-06-09 2023-06-09 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310681051.4A CN117026147A (zh) 2023-06-09 2023-06-09 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN117026147A true CN117026147A (zh) 2023-11-10

Family

ID=88601089

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310681051.4A Pending CN117026147A (zh) 2023-06-09 2023-06-09 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN117026147A (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6858347B2 (ja) 被覆切削工具
KR100669590B1 (ko) 경질 적층 피막, 그 제조방법 및 성막 장치
US10738376B2 (en) Hard coating for cutting tool
US8507109B2 (en) Multi-layer hard file for indexable insert
KR100610298B1 (ko) 우수한 내마모성, 내열성 및 기판과의 부착성을 가지는적층 피막 및 그 제조 방법
KR102027610B1 (ko) 피복 절삭 공구 및 그의 제조 방법
KR101284766B1 (ko) 절삭공구용 경질피막
JP2015037834A (ja) 表面被覆切削工具
JP5395454B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2008162008A (ja) 被覆された切削工具
JP7061213B2 (ja) 表面被覆切削工具
KR101208838B1 (ko) 고경도 및 내산화성을 갖는 다층막 절삭공구 및 이의 제조방법
WO2021140818A1 (ja) 切削工具
US20040076857A1 (en) PVD coated cutting tool
CN116162899A (zh) 一种钛合金切削涂层刀具及其制备方法
JP5979438B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2002346811A (ja) 被覆焼結体工具
CN114502774A (zh) 涂层切削刀具
JP2009034811A (ja) 突切り、溝切りおよびねじ切りのための超硬合金インサート
CN117026147A (zh) 一种高温合金切削涂层刀具及其制备方法
KR102600870B1 (ko) 내마모성과 인성이 우수한 경질피막을 포함하는 절삭공구
JP5286931B2 (ja) 高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP2008132564A (ja) 表面被覆切削工具
KR102600101B1 (ko) 내마모성이 우수한 절삭공구용 경질피막
JP7240045B2 (ja) ＡｌＣｒ耐酸化耐摩耗性被膜及びその被覆物

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination