CN116997788A - 光测定装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种改善了光的利用效率的光测定装置。搬运装置(400)支承及搬运对象物(OBJ)。搬运装置(400)在对象物(OBJ)被支承的部位具有设有比对象物(OBJ)窄的开口402的支承部分(401)。照明装置(200)将波长随时间变化的测定光(SIN)经由支承部分(401)的开口(402)照射到对象物(OBJ)的第一面。受光装置(300)检测从对象物(OBJ)的第二面放射出的扩散透射光即物体光(SOBJ)。

Description

光测定装置
技术领域
本公开涉及光测定装置。
背景技术
在对象物的成分分析和检查中广泛使用分光解析。在分光解析中，将测定光照射于对象物，测定经照射而得的物体光的光谱。然后，基于物体光的光谱与测定光的光谱的关系，能够获得反射特性(波长依赖性)或者透射特性等光学特性。
分光解析被分类成将对象物的透射光作为物体光的透射型和将反射光作为物体光的反射型。反射型适于对反射率高的对象物的测定，但所获得的光学信息被限定于对象物的表面附近的信息。因而，在将精密的工业产品、从动植物采集的受检体、人摄取体内的物质、用生产成套设备制造的液体、气体等作为对象物的测定中，未必具有足够的精度。
透射型能够获得包含对象物的表面以及较深的部分在内的光学特性，因此适于将食品、饮料(以下，统称为饮食品)等作为对象物的情况。专利文献1、2中公开了透射型的产品检查装置。该产品检查装置具备向产品(检查对象)的表面照射脉冲光的照射光学系统和设于产品的背面侧而接收透过了产品的光的受光器。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2020-159971号公报
专利文献2：日本特开2020-159973号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明人对透射型的检查装置进行了研究，结果意识到了以下的课题。图1是表示本发明人所研究的透射型的检查装置1000的图。此外，不能将该检查装置1000认定为公知技术。
产品P由支承机构1400支承、搬运。
如专利文献1、2所示，照明装置1200向产品P的上表面照射脉冲光(测定光SIN)。受光器1300设于产品P的下侧，接收从产品P的底面侧放射出的物体光SOBJ。该物体光SOBJ以扩散透射光为主成分，从产品P的整个底面放射出。
支承机构1400若由对物体光SOBJ透明的材料构成则成本较高，因此存在使用对物体光SOBJ不透明的支承机构1400的情况。该情况下，在支承机构1400的产品P的正下方，需要用于取出物体光SOBJ的开口1102。若开口1102过大，则产品P会落下，因此开口1102的尺寸(宽度)需要比产品P窄。
对于受光器1300，能够仅入射通过了开口1102的物体光SOBJ，产品P的物体光SOBJ的一部分由支承机构1400遮挡。越是使开口1102的宽度变窄，入射到受光器1300中的物体光SOBJ的量(强度)就越降低，越会导致测定精度的降低。
为了增加向受光器1300入射的物体光SOBJ的量，只要增加测定光SIN的强度即可。然而，根据产品P的种类，存在较强的测定光SIN的照射使产品P变质等的问题，所以还存在所能照射的测定光SIN的强度有上限IMAX的情况。在将产品P的透射率设为α，将支承机构1400的遮蔽率(透射率)设为β时，对受光器1300的最大入射强度IDET(MAX)为IDET(MAX)＝IMAX×α×β，受光量由于支承机构1400而减少。受光量的减少导致测定精度的降低。
在使用玻璃等材料作为支承机构1400的情况下，可不再需要开口1102，但即使在该情况下透射率β也不可能是100％。因而，对受光器1300的最大入射强度IDET为IDET＝IMAX×α×β，受光量由于支承机构1400而减少。受光量的减少导致测定精度的降低。
本公开是鉴于上述课题而完成的，其某一方式的例示性的目的在于提供一种改善了测定精度的光测定装置。
用于解决课题的手段
本公开的某一方式涉及光测定装置。光测定装置具备：搬运装置，是支承及搬运对象物的搬运装置，在其支承部分支承对象物；照明装置，将波长随时间变化的测定光经由支承部分照射到对象物的第一面；以及受光装置，检测从对象物的第二面放射出的扩散透射光。
此外，将以上的构成要素任意组合而得的技术方案、将本公开的构成要素、表达在方法、装置、系统等之间相互替换而得的技术方案作为本公开的方式也是有效的。
发明效果
根据本公开的某一方式，能够改善测定精度。
附图说明
图1是表示本发明人所研究的透射型的检查装置的图。
图2是实施方式的光测定装置的框图。
图3是表示测定光SIN的图。
图4是说明图2的光测定装置的分光的图。
图5是表示实施例1的光测定装置的图。
图6是表示实施例2的光测定装置的图。
图7是表示实施例3的光测定装置的图。
图8的(a)～(c)是表示支承部分401的构成例的图。
图9是表示实施例5的光测定装置的图。
图10是表示实施例7的光测定装置的图。
图11是表示比较技术的光测定装置的图。
图12是表示受光装置的构成例的图。
图13是表示光测定装置的一方式的检查装置的图。
具体实施方式
(实施方式的概要)
对本公开的一些例示性的实施方式的概要进行说明。该概要是作为后述的详细说明的前序，出于对实施方式的基本理解的目的，将一个或多个实施方式的一些概念加以简化来进行说明，并不限定发明或公开的范围。另外，该概要并不是对所能想到的全部实施方式的总括性概要，并不是对实施方式不可或缺的构成要素的限定。方便起见，“一实施方式”有些情况下被用作指代本说明书中公开的一个实施方式(实施例、变形例)或多个实施方式(实施例、变形例)的表述。
一实施方式的光测定装置具备：搬运装置，是支承及搬运对象物的搬运装置，在其支承部分支承对象物；照明装置，将波长随时间变化的测定光经由支承部分照射到对象物的第一面；以及受光装置，检测从对象物的第二面放射出的扩散透射光。
根据该结构，就从对象物放射出的扩散透射光而言，其不会被支承部分遮蔽，能够利用受光装置检测到更多的光，因此能够改善测定精度。
此外，所谓“支承”，除了将对象物固定以外，还包含将其置留在某一范围内。
在一实施方式中，在支承部分也可以设有比对象物窄的开口。照明装置也可以将测定光经由支承部分的开口照射到对象物的第一面。
在一实施方式中，也可以是，搬运装置具有分别支承对象物的多个支承部分，多个支承部分分别包含设于搬运装置的共同的面的凹部。
开口也可以是形成在凹部的底面上的贯通孔。
在一实施方式中，也可以是，照明装置包含设于搬运装置的下侧的折返反射镜，折返反射镜将从搬运装置的侧面入射的测定光朝向对象物的第一面反射。
在一实施方式中，也可以是，不使用折返反射镜，照明装置设于搬运装置的下侧。
在一实施方式中，受光装置也可以包含：光学传感器，与对象物相比尺寸(外形的尺寸)较小；以及聚光光学系统，包含与对象物相比尺寸(外形的尺寸)较大的透镜。本发明人意识到，在将特定的对象物作为检查对象的情况下，作为物体光的扩散透射光具有较低的指向性，在很大的范围内放射。在该情况下，通过使用比对象物大的透镜，能够将扩散透射光尽可能多地聚光于光学传感器。
在一实施方式中，受光装置也可以包含光学传感器，且构成为供对象物的扩散透射光中的向偏离测定光的光轴的方向放射的成分入射到光学传感器。
此外，所谓“构成”，并不限于结构具有特征的情况，还包含结构配置双方具有特征的情况以及仅配置具有特征的情况等。根据该光测定装置，在存在对象物的情况下，向光学传感器中入射被对象物衰减后的物体光，在不存在对象物的情况下，不向光学传感器入射测定光，或者即使入射也是非常微弱的强度，因此能够保护光学传感器。另外，无论是否存在对象物，都能够使照明装置连续动作，不需要与是否存在对象物同步的快门等。
在一实施方式中，测定光的波长也可以随时间变化。在一实施方式中，测定光也可以是在1脉冲内波长随时间变化的脉冲光。
(实施方式)
以下，以优选的实施方式为基础参照附图对本公开进行说明。对各附图所示的相同或等同的构成要素、部件、处理标注相同的附图标记，并适当省略重复的说明。另外，实施方式是示例，不对公开构成限定，实施方式中描述的全部特征及其组合未必是公开的本质所在。
附图中记载的各部件的尺寸(厚度、长度、宽度等)存在为了容易理解而适当被扩大或缩小的情况。而且，多个部件的尺寸未必表示出了它们的大小关系，即使在附图上某一部件A与其它部件B相比被绘制得更厚，也可能是部件A比部件B薄。
图2是实施方式的光测定装置100的框图。光测定装置100是测定对象物OBJ的透射光谱的分光器，主要具备照明装置200、受光装置300、搬运装置400、处理装置500。在一些图中，存在将照明装置200、受光装置300等加以简化而用方框表示的情况，但这并不意味着构成它们的部件被收容于单一的壳体。
搬运装置400以横穿照射区域10的方式搬运对象物OBJ。
搬运装置400具有支承部分401，在支承部分401支承对象物OBJ。在支承部分401，在对象物OBJ被支承的部位设有比对象物OBJ窄的开口402，支承部分401以对象物OBJ跨过开口402的方式支承对象物OBJ。开口402的宽度被确定为不使对象物OBJ从开口402落下，因而开口402的宽度只要比对象物OBJ的宽度方向的长度窄即可。
照明装置200从支承部分401的下侧经由开口402对存在于照射区域10的对象物OBJ的第一面(底面)照射波长随时间变化的测定光SIN。为了抑制测定光SIN被支承部分401遮光，测定光SIN的光束直径被会聚得比开口402小。
测定光SIN的时间和波长以一对一的关系建立对应。将这称为测定光SIN“具有波长的唯一性”。照明装置200只要使用公知技术构成即可，例如能够使用专利文献1、2所记载的照明装置。
图3是表示测定光SIN的图。图3的上图表示测定光SIN的强度(时间波形)IIN(t)，下图表示测定光SIN的波长λ的时间变化。
在该例子中，测定光SIN是1个脉冲，在其前缘部主波长为λ1，在后缘部主波长为λ2，在1脉冲内波长在λ1至λ2之间随时间变化。在该例子中，测定光SIN是频率随着时间而增加、换言之是波长随着时间而变短的正的啁啾脉冲(λ1＞λ2)。此外，测定光SIN也可以是波长随着时间而变长的负的啁啾脉冲(λ1＜λ2)。
回到图2。测定光SIN被照射到对象物OBJ的底面侧，透过对象物OBJ，从其第二面(上表面)作为透射光(以下，也称为物体光)SOBJ放射出。在将测定光SIN的光谱设为IIN(λ)，将物体光SOBJ的透射率的波长依赖性设为T(λ)时，物体光SOBJ的光谱IOBJ(λ)由下式表示。
IOBJ(λ)＝T(λ)×IIN(λ)…(1)
物体光SOBJ可能包含正透射光和扩散透射光，而本实施方式特别适于扩散透射光呈支配性的物体OBJ的分光测定。正透射光向与测定光SIN的光轴OA2相同的方向放射，相对于此，作为扩散透射光的物体光SOBJ不仅向测定光SIN的光轴OA2的方向，还向与其不同的方向大范围地放射。例如，在将光轴OA2的方向设为0°时，扩散透射光以余弦特性的强度分布进行放射。
受光装置300设于隔着支承部分401而与照明装置200相反的一侧，换言之设于比支承部分401靠上侧的位置，检测从对象物OBJ的上表面放射出的扩散透射光。受光装置300包含将对象物OBJ的扩散透射光作为物体光SOBJ检测出的光学传感器302。受光装置300如后述那样除了包含光学传感器302以外，还可能包含聚光光学系统等，但在图2中被省略。
光学传感器302是将光信号转换为电信号的光电转换元件，可列举光电二极管、雪崩光电二极管、光电晶体管、利用了光电效应的光电倍增管(光电倍增器)、利用了基于光照射的电阻变化的光电导元件等。
光学传感器302的输出由A/D转换器转换成数字的检测信号，并被供给到处理装置500。检测信号表示物体光SOBJ的时间波形IOBJ(t)。
处理装置500基于受光装置300的输出信号生成物体光SOBJ的光谱IOBJ(λ)。然后，基于测定光SIN的光谱IIN(λ)和物体光SOBJ的光谱IOBJ(λ)计算对象物OBJ的透射率T(λ)。
T(λ)＝IOBJ(λ)/IIN(λ)…(2)
也可以在比对象物OBJ更靠照明装置200侧的位置利用分束器等将测定光SIN的一部分向其它路径分支，利用与受光装置300不同的受光装置(在图2中未图示)测定被分支的测定光SIN的时间波形IIN(t)，获得测定光SIN的光谱IIN(λ)。或者，在测定光SIN的稳定性高的情况下，能够将预先测定的光谱IIN(λ)保持下来并使用它。
图4是说明图2的光测定装置100的分光的图。如上述那样，测定光SIN的时间t和波长λ是一一对应的，因此其时域的波形IIN(t)能够转换成频域的光谱IIN(λ)。
由该测定光SIN生成的物体光SOBJ的时间波形IOBJ(t)也是时间t和波长λ一一对应。因而，处理装置500能够将受光装置300的输出所表示的物体光SOBJ的波形IOBJ(t)转换为物体光SOBJ的光谱IOBJ(λ)。
处理装置500能够基于两个光谱IOBJ(λ)与IIN(λ)之比IOBJ(λ)/IIN(λ)计算对象物OBJ的透射光谱T(λ)。
测定光SIN中的时间t的波长λ的关系用λ＝f(t)这一函数来表示。最简易的是，波长λ相对于时间t按照一次函数呈线性地变化。当物体光SOBJ的时间波形IOBJ(t)在某一时刻tx降低时，意味着透射光谱T(λ)在波长λx＝f(tx)处具有吸收光谱。
此外，处理装置500中的处理并不限定于此。也可在运算出时间的两个时间波形IOBJ(t)与IIN(t)之比T(t)＝IOBJ(t)/IIN(t)之后，通过将该时间波形T(t)的变量t转换成λ来计算透射光谱T(λ)。
以上是光测定装置100的结构。根据该光测定装置100，对于对象物OBJ，从支承部分401侧照射测定光SIN，将从对象物OBJ的与支承部分401相反的一侧的面放射出的扩散透射光作为物体光SOBJ检测出。
由此，物体光SOBJ不会被支承部分401遮蔽，因此可以利用受光装置300取入更多的物体光SOBJ，能够改善光的利用效率。
接下来，说明光测定装置100的具体的实施例。
(实施例1)
图5是表示实施例1的光测定装置100A的图。搬运装置400具有多个支承部分401，各支承部分401构成为能够支承(固定)对象物OBJ。在图5的下部，示出了支承部分401的剖面图。支承部分401具有供对象物OBJ嵌入的凹部410。该凹部410形成于共同的面406，具有比对象物OBJ大的径向尺寸。另外，在凹部410的底面，形成有与对象物OBJ相比径向尺寸较小的贯通孔412。该贯通孔412相当于上述的开口402。对象物OBJ以跨过贯通孔412的方式被载置。另外，通过该贯通孔412向对象物OBJ的底面侧照射测定光SIN。受光装置300以与对象物OBJ的上表面对置的方式设于照射区域10的上侧。
搬运装置400还具备吸引箱430。吸引箱430的内部通过排气用的泵(未图示)维持负压，贯通孔412为吸气口，对象物OBJ被贯通孔412吸住。通过该结构，能够防止对象物OBJ从凹部410脱落。
照明装置200具备折返反射镜202。折返反射镜202设于搬运装置400的内部、更具体而言是吸引箱430的内部，且设于作为开口402的贯通孔412的正下方。在吸引箱430的外部设有生成测定光SIN的光源头204，在吸引箱430的侧面设有供测定光SIN通过的窗432。测定光SIN从搬运装置400的侧面经由该窗432朝向折返反射镜202入射。折返反射镜202将测定光SIN朝向对象物OBJ反射。窗434只要可供测定光SIN通过即可，因此其尺寸可以较小，对吸引箱430内的压力的影响十分小。窗434也可以是对测定光SIN的波段区域透明的玻璃，在该情况下，能够消除窗434对压力的影响。
(实施例2)
图6是表示实施例2的光测定装置100B的图。
在实施例2中，测定光SIN从搬运装置400的下侧不使用折返反射镜地直接照射到对象物OBJ的底面。例如，在吸引箱430的底面设有窗434，测定光SIN能够通过窗434及贯通孔412照射到对象物OBJ的底面。
在实施例2中，与实施例1相比不需要折返反射镜，因此能够简化结构。
在实施例1、实施例2中，在不吸引对象物OBJ的情况下，能够省略吸引箱430。
(实施例3)
图7是表示实施例3的光测定装置100C的图。在实施例3中，利用吸引箱430的真空吸附在凹部410中反重力地支承对象物OBJ。受光装置300配置于搬运装置400的下侧。此外，也可以与实施例1同样地在吸引箱430的内部配置折返反射镜，将光源头204所生成的测定光SIN从吸引箱430的侧方入射到折返反射镜。
(实施例4)
图8的(a)～(c)是表示支承部分401的构成例的图。搬运装置400是移动式的工作台，具备与工作台440一体地或者可分离地形成的多个支架450。多个支架450在搬运方向上等间隔地或者非等间隔地配置。
在图8的(b)中示出了支承部分401的剖面图。在支架450上，形成有比对象物OBJ稍大的径向尺寸的凹陷452和比对象物OBJ小的径向尺寸的开口454。对象物OBJ被以放进支架450的凹陷452中的状态支承、搬运。
在工作台440上，以与开口454重叠的方式形成有开口442。开口442和开口454相当于上述的开口402。
检查对象的对象物OBJ在未图示的上游被安装于支架450的凹陷452。
此外，如图8的(c)所示，也可以以贯通支架450的方式形成凹陷456。
(实施例5)
图9是表示实施例5的光测定装置100E的图。在实施例5中，搬运装置400是辊式输送机，具备沿搬运方向分离地设置的多个辊422。在该实施例5中，能够将邻接2个辊422的间隙用作上述的开口402。
(实施例6)
在能够充分使照明装置200小型化的情况下，也可以将照明装置200配置在吸引箱430内。
(实施例7)
图10是表示实施例7的光测定装置100F的图。在此前的说明中，对在搬运装置400的支承部分401设有开口402的情况进行了说明，但不受此限。在实施例7中，省略了支承部分401的开口402，取而代之的是支承部分401由玻璃、树脂等透明的材料构成。照明装置200将波长随时间变化的测定光SIN经由透明的支承部分401照射到对象物OBJ的第一面。受光装置300检测从对象物OBJ的第二面放射出的扩散透射光SOBJ。
对该光测定装置100F的优点进行说明。通过与比较技术的对比，该光测定装置100F的优点将变得明确。图11示出了比较技术的光测定装置100R。在比较技术中，支承部分401由玻璃等构成，从上侧向对象物OBJ照射测定光SIN，利用支承部分401的下侧的受光装置300测定物体光SOBJ。
若将物体光OBJ的透射率设为α，将支承部分401的透射率设为β，将可向对象物OBJ照射的最大强度设为IMAX，则向受光装置300R入射的光的最大入射强度IDET(MAX)为IDET(MAX)＝IMAX×α×β，支承部分401的透射率β越低，最大入射强度IDET(MAX)越小，测定精度越降低。
相对于此，在实施例7中，能够将照明装置200所出射光的强度IIN调节成使透过支承部分401之后的测定光SIN’的强度IIN’＝IIN×β变为最大强度IMAX。
IIN＝IMAX/β
此时，向受光装置300入射的光的最大入射强度IDET(MAX)为IDET(MAX)＝IIN×β×α＝IMAX×α，受光装置300不会受到支承部分401处的衰减、遮光的影响，能够检测到很多的光，能够改善测定精度。
(关于受光装置)
本发明人意识到，在将使粉末固化成固态形状的饮食品等对象物作为检查对象的情况下，作为物体光SOBJ的扩散透射光具有较低的指向性，在很大的范围内放射。在透射率极低的对象物(例如，若将细小粉末坚实地固化而做成厚度3mm左右，则透射率为数％以下，更具体而言为1％以下)的情况下，为了高精度的分光，需要尽可能多地检测出物体光SOBJ。
图12是表示受光装置300的构成例的图。受光装置300具备光学传感器302和聚光光学系统310。在利用了啁啾调制(chirp)后的脉冲光的分光中，要求光学传感器302的高速的响应性，而光学传感器302的响应性为其面积越小越有利。因而，光学传感器302的具有灵敏度的受光部分只要使用比对象物OBJ小的受光部分即可，也可以使用例如直径为0.5～1mm左右的受光部分。另一方面，为了使从对象物OBJ向大范围扩散的物体光SOBJ入射到受光部分较小的光学传感器302，设有聚光光学系统310。典型地，聚光光学系统310能够使用一片或者多片透镜312。
聚光光学系统310由其径向尺寸充分大于对象物OBJ的透镜312构成。通过使用比对象物OBJ大的透镜312，能够将扩散透射光尽可能多地聚光于光学传感器302。
(用途)
接下来，说明实施方式的光测定装置100的用途。光测定装置100能够用于将粉末固化为固态状的饮食品等产品的检查装置。图13是表示光测定装置100的一方式的检查装置800的图。检查装置800大量检查饮食品等的产品P来判定优劣。在饮食品的情况下，其透射率为1/100～1/1000的量级。
如关于光测定装置100进行说明的那样，检查装置800具备照明装置200、受光装置300、搬运装置400、处理装置500。而且，检查装置800具备受光装置810、光束阻尼器820、数字化转换器830、泵840。
照明装置200具备光源210、脉冲展宽器220、照射光学系统230。光源210生成具有至少10nm的连续光谱、具体而言在900～1300nm的近红外区域中具有较大的连续光谱的相干的脉冲光。光源210也可以是包含脉冲激光器和非线性元件的SC(Super Continuum)光源。脉冲激光器能够使用锁模激光器、微片激光器、光纤激光器等。非线性元件能够使用光子晶体光纤等非线性光纤。
脉冲展宽器220将光源210所生成的脉冲光的脉冲宽度以时间与波长一一对应的方式展宽。脉冲展宽器220也可以由1根波长分散光纤构成。
或者，脉冲展宽器220也可以由将脉冲光按照每一波长分支成多个路径的分波器、对多个路径中的每一个给予不同的延迟的多个光纤(光纤束)和将多个光纤的输出复合的合波器构成。分波器能够由平面光波导(PLC：Planar Lightwave Circuits)构成，具体而言也可以由阵列波导光栅(AWG：Array Waveguide Grating)构成。构成光纤束的多个光纤的长度不同。
搬运装置400的支承部分401具备凹部410。在凹部410的内部，在上游(图中左手侧)通过支架(未图示)载置多个产品P。搬运装置400使多个支承部分401向它们的排列方向(图中右方)移动。此外，将凹部410的面中的载置产品P的面称为表面，将其相反的面称为背面。
照射光学系统230将展宽后的脉冲作为测定光SIN照射到照射区域10。照射区域10被设定于产品P的通过部位、也就是凹部410的通过部位。照射光学系统230能够由透镜等透射光学系统、反射镜等反射光学系统或者它们的组合构成。通过使凹部410移动，使多个产品P依次横穿照射区域10。
光源210以规定的频率(周期)反复产生脉冲光。光源210的动作频率可以根据凹部410的移动速度、也就是产品P的搬运速度来确定，被确定为在1个产品P存在于照射区域10的期间内向相同的产品P照射多个测定光SIN。
光源210的动作与搬运装置400的动作、换言之产品P的位置没有关系。因而，即使在凹部410内不存在产品P时，测定光SIN也反复照射于照射区域10。
受光装置300设于凹部410的上侧。在凹部410的底面形成有贯通孔412。该贯通孔412是为了将来自照射光学系统230的测定光SIN引导到产品P的底面而形成的。
也可以在凹部410的背面侧设置泵840。泵840构成吸引机构，通过使凹部410的背面侧为负压，产品P被凹部410吸住，能够防止产品P伴随着产品P的搬运而从凹部410脱落。
通过受光装置300测定物体光SOBJ的时间波形IOBJ(t)。另外，在测定光SIN的光轴OA2上，为了防止杂光而设有光束阻尼器820。
受光装置810是为了对测定光SIN的光谱进行测定而设置的。照射光学系统230利用分束器等将测定光SIN的一部分作为参照光SREF分支到其它臂。受光装置810对被分支到其它臂的参照光SREF的时间波形IREF(t)进行测定。该时间波形IREF(t)与测定光SIN的时间波形IIN(t)等效。
数字化转换器830包含A/D转换器，以规定的采样频率对受光装置300及受光装置810的输出即时间波形IOBJ(t)、IREF(t)进行采样，并转换成数字信号的波形数据DOBJ(t)、DIN(t)。
在使用数字输出的受光装置300、810的情况下，能够省略数字化转换器830。
处理装置500对数字的波形数据DOBJ(t)及DIN(t)进行处理，获取产品P的透射特性(或者吸收特性)T(λ)。处理装置500能够通过包含处理器、存储器、硬盘等存储介质的通用或专用的计算机与软件程序的组合来实际装配。关于处理装置500的处理，与上述相同。
根据该检查装置800，由于从搬运装置400侧对产品P照射测定光SIN，因此能够防止物体光SOBJ被贯通孔412遮挡，能够利用受光装置300检测到更多的物体光SOBJ。
此外，在图13的检查装置800中，当在凹部410内不存在产品P时，测定光SIN通过贯通孔412而向受光装置300侧泄漏。若假设受光装置300被配置在测定光SIN的光轴OA2上，则在产品P不存在于光轴OA2上时，高强度的测定光SIN会直接入射到光学传感器302，是不好的。因此，受光装置300可以构成为，当在凹部410内不存在产品P时，测定光SIN不向光学传感器302入射。
例如，受光装置300构成为，使对象物OBJ的扩散透射光(物体光SOBJ)中的向偏离测定光SIN的光轴OA2的方向(将偏离角设为θ)放射的成分Sθ入射到光学传感器302。
此外，光轴OA2方向的物体光SOBJ只要不入射到光学传感器302即可，也可以入射到受光装置300的入射光阑。
由此，当在凹部410内不存在产品P时，能够保护受光装置300。此时，照明装置200的光源210可以与搬运装置400的动作非同步地空转，另外也不需要与搬运装置400的动作同步的快门控制。
实施方式只不过示出了本发明的原理、应用，对于实施方式，在不脱离权利要求书所规定的本发明的思想的范围内，允许很多的变形例、配置的变更。
附图标记说明
OA2、OA3 光轴
10 照射区域
OBJ 对象物
100 光测定装置
200 照明装置
210 光源
220 脉冲展宽器
230 照射光学系统
300 受光装置
302 光学传感器
310 聚光光学系统
312 透镜
400 搬运装置
401 支承部分
402 开口
410 凹部
412 贯通孔
500 处理装置
800 检查装置
SIN 测定光
SOBJ 物体光
810 受光装置
820 光束阻尼器
830 数字化转换器
840 泵
P 产品

Claims (7)

1.一种光测定装置，其特征在于，具备：
搬运装置，支承及搬运对象物，在搬运装置的支承部分支承所述对象物；
照明装置，将波长随时间变化的测定光经由所述支承部分照射到所述对象物的第一面；以及
受光装置，检测从所述对象物的第二面放射的扩散透射光。
2.根据权利要求1所述的光测定装置，其特征在于，
在所述支承部分设有比所述对象物窄的开口，
所述照明装置将所述测定光经由所述支承部分的所述开口照射到所述对象物的所述第一面。
3.根据权利要求2所述的光测定装置，其特征在于，
所述搬运装置具有分别支承对象物的多个所述支承部分，所述多个支承部分分别包含设于所述搬运装置的共同的面的凹部，所述开口是形成在所述凹部的底面上的贯通孔。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光测定装置，其特征在于，
所述照明装置包含设于所述搬运装置的内部的折返反射镜，所述折返反射镜将从所述搬运装置的侧面入射的测定光朝向所述对象物的所述第一面反射。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的光测定装置，其特征在于，
所述受光装置包含：
光学传感器，尺寸比所述对象物的尺寸小；以及
聚光光学系统，包含尺寸比所述对象物的尺寸大的透镜。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的光测定装置，其特征在于，
所述受光装置包含光学传感器，且构成为供所述对象物的所述扩散透射光中的向偏离所述测定光的光轴的方向放射的成分入射到所述光学传感器。
7.一种光测定装置，其特征在于，具备：
搬运装置，支承及搬运对象物；
照明装置，将波长随时间变化的测定光照射到所述对象物；以及
受光装置，检测从所述对象物放射的扩散透射光；
所述受光装置具备：
光学传感器，尺寸比所述对象物的尺寸小；以及
聚光光学系统，包含尺寸比所述对象物的尺寸大的透镜。
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