CN116972185B - 一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，涉及真空矩形阀门技术领域。该用于半导体的真空低振动阀门，包括外框架，所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周设置有上滑块，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴。

Description

一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门
技术领域
本发明涉及真空矩形阀门技术领域，具体为一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门。
背景技术
现有技术中在半导体生产线上具有传输腔、反应腔或EFEM，各个腔室上设有真空阀门是至关重用的，真空阀门密封性、稳定性、低振动性及易维修性对整个制程的效率及良品率具有很大的影响。
目前的各类真空阀门一般采用气缸驱动，并通过设计对应气路完成阀门的升降动作，此类真空阀门装配复杂、气路故障率高，在气路失效后真空阀门作废，影响产品的品质；现有方式在关闭/打开真空阀门时密封面会有一定的摩擦，容易产生微小颗粒，污染生产线上腔室的内部环境。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，解决了目前的各类阀门一般采用自行设计的气缸驱动与关闭打开时密封面会有一定的摩擦，很容易产生微小颗粒，污染腔室环境的问题。
本发明采用的具体技术方案如下：
一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，包括外框架，其特征在于：所述外框架上端设置有真空腔体，所述真空腔体下端连接有腔体连接板，所述真空腔体内部设置有阀门板，所述阀门板下端连接有波纹管一体轴，所述波纹管一体轴下端穿过腔体连接板，所述腔体连接板下表面两侧设置有气动固定座，所述气动固定座下端连接有气动组件，所述气动组件下端连接有连接座，所述连接座上端设置有连杆支撑板，所述连杆支撑板与连接座内部固定连接有下滑块，所述腔体连接板下表面且位于气动固定座之间设置有限位块，所述限位块下端设置有花键轴，所述花键轴穿过下滑块连接至外框架，所述花键轴外表面包裹有弹簧，所述花键轴外表面一周且位于弹簧上端设置有上滑块，所述上滑块内侧设置有连接块，所述连接块与波纹管一体轴连接处设置有支点轴，所述连杆支撑板上表面前端设置有四个转动底座，所述转动底座之间设置有摆动杆，所述摆动杆与转动底座连接处设置有转动轴，所述摆动杆一端与波纹管一体轴连接，所述摆动杆与波纹管一体轴通过摆动轴连接。
优选的，所述花键轴前端设置有限位框，所述限位框后端与花键轴插入配合且位于上滑块与弹簧之间，所述连杆支撑板上表面且位于花键轴前端设置有限位导向板，所述限位导向板与限位框插入配合。
优选的，所述波纹管一体轴上端波纹管与腔体连接板连接处设置有密封圈，所述阀门板外表面包裹有密封垫。
优选的，所述外框架内部呈阵列开设有安装孔。
优选的，所述限位导向板上端内部设置有接触传感模块，所述腔体连接板前表面设置有显示灯，所述显示灯与接触传感器模块电性连接。
优选的，所述转动轴、摆动轴与支点轴外表面设置有锌镀层。
本发明提供了一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，具备以下有益效果：
（1）该用于半导体的真空低振动阀门选用标准气动组件，经济性较好，通过设计连杆机构与杠杆机理的运用，实现了阀门的稳定关闭与打开。
（2）该用于半导体的真空低振动阀门，通过设计波纹管一体轴，避免摩擦产生污染颗粒落入生产线上的腔室内部，降低生产线上污染颗粒的产生。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明的后视图；
图3为本发明的剖视图；
图4为本发明的局部放大图；
图5为本发明上滑块的连接图。
图中：1、气动组件；2、真空腔体；3、腔体连接板；4、花键轴；5、下滑块；6、上滑块；7、连接块；8、气动固定座；9、摆动杆；10、限位框；11、限位导向板；12、弹簧；13、外框架；14、转动轴；15、摆动轴；16、支点轴；17、连杆支撑板；19、连接座；20、转动底座；21、波纹管一体轴；22、限位块；23、阀门板；30、安装孔；31、显示灯。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明进行详细说明，但本发明的保护范围不受具体实施例和附图所限。
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，包括外框架13，所述外框架13上端设置有真空腔体2，所述真空腔体2下端连接有腔体连接板3，所述真空腔体2内部设置有阀门板23，所述阀门板23下端连接有波纹管一体轴21，所述波纹管一体轴21下端穿过腔体连接板3，所述腔体连接板3下表面两侧设置有气动固定座8，所述气动固定座8下端连接有气动组件1，所述气动组件1下端连接有连接座19，所述连接座19上端设置有连杆支撑板17，所述连杆支撑板17与连接座19内部固定连接有下滑块5，所述腔体连接板3下表面且位于气动固定座8之间设置有限位块22，所述限位块22下端设置有花键轴4，所述花键轴4穿过下滑块5连接至外框架13，所述花键轴4外表面包裹有弹簧12，所述花键轴4外表面一周且位于弹簧12上端设置有上滑块6，所述上滑块6内侧设置有连接块7，所述连接块7与波纹管一体轴21连接处设置有支点轴16，所述连杆支撑板17上表面前端设置有四个转动底座20，所述转动底座20之间设置有摆动杆9，所述摆动杆9与转动底座20连接处设置有转动轴14，所述摆动杆9一端与波纹管一体轴21连接，所述摆动杆9与波纹管一体轴21通过摆动轴15连接。
工作时，当阀门处于初始位置时，两侧弹簧具有一定的预压缩力，通过气路连接左右两侧标准气动组件1的进气出气孔，气缸开始向上运动，带动连接座19沿花键轴4一体向上移动，花键轴4外表面的弹簧12在下滑块5与上滑块6之间形成一定的轴向力，这时下滑块5、上滑块6同时向上运动，此时波纹管一体轴21及摆动杆9均保持相对静止。波纹管一体轴21上的波纹管处于压缩状态。当上滑块6运动至上限位时，此时气动组件1继续运动，从而带动下滑块5继续上升。此时弹簧12继续压缩，当连接座19上升带动连杆支撑板17运动，从而带动摆动杆9以转动底座20上转动轴14发生转动，当摆动杆9转动时，其在水平方向上的分量增大，由于摆动杆9一端与波纹管一体轴21下端通过摆动轴15连接，当摆动杆9水平方向分量增大，进而推动波纹管一体轴21运动，波纹管一体轴21与上滑块6通过支点轴16连接，此时上滑块6位置固定，则波纹管一体轴21会以支点轴16发生摆动。进而带动阀门板23摆动此时阀门关闭。
请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：所述花键轴4前端设置有限位框10，所述限位框10后端与花键轴4插入配合且位于上滑块6与弹簧12之间，所述连杆支撑板19上表面且位于花键轴4前端设置有限位导向板11，所述限位导向板11与限位框10插入配合。
工作时，当上滑块6达到限位，下滑块5继续向上推动时，导向板11会逐渐向限位框10内推进，当导向板11完全进入限位框10内后，阀门关闭，导向板11与限位框10会阻止连杆支撑板19向上移动。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：所述波纹管一体轴21上端波纹管与腔体连接板3连接处设置有密封圈，所述阀门板23外表面包裹有密封垫。
工作时，密封圈与密封垫可以保证该用于半导体的真空低振动阀门，在工作时的气密性。
请参阅图1-2，本发明提供一种技术方案：所述外框架13内部呈阵列开设有安装孔30。
工作时，安装孔30可以方便该用于半导体的真空低振动阀门的安装。
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：所述限位导向板11上端内部设置有接触传感器模块，所述腔体连接板3前表面设置有显示灯31，所述显示灯31与接触传感器模块电性连接。
工作时，当限位导向板11完全插入限位框10时，会启动限位导向板11内部的接触传感器模块，这时显示灯31的电路接通，显示灯31亮起，代表阀门关闭。
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：所述转动轴14、摆动轴15与支点轴16外表面设置有锌镀层。
工作时，由于转动轴14、摆动轴15与支点轴16工作时会对表面进行摩擦，而在其表面做上锌镀层，可以让其更加耐磨延长使用寿命。
综上所述，该用于半导体的真空低振动阀门选用标准气动组件1，经济性较好，通过设计连杆机构与杠杆机理的运用，实现了阀门的稳定关闭与打开。

Claims (6)

1.一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，包括外框架（13），其特征在于：所述外框架（13）上端设置有真空腔体（2），所述真空腔体（2）下端连接有腔体连接板（3），所述真空腔体（2）内部设置有阀门板（23），所述阀门板（23）下端连接有波纹管一体轴（21），所述波纹管一体轴（21）下端穿过腔体连接板（3），所述腔体连接板（3）下表面两侧设置有气动固定座（8），所述气动固定座（8）下端连接有气动组件（1），所述气动组件（1）下端连接有连接座（19），所述连接座（19）上端设置有连杆支撑板（17），所述连杆支撑板（17）与连接座（19）内部固定连接有下滑块（5），所述腔体连接板（3）下表面且位于气动固定座（8）之间设置有限位块（22），所述限位块（22）下端设置有花键轴（4），所述花键轴（4）穿过下滑块（5）连接至外框架（13），所述花键轴（4）外表面包裹有弹簧（12），所述花键轴（4）外表面一周且位于弹簧（12）上端设置有上滑块（6），所述上滑块（6）内侧设置有连接块（7），所述连接块（7）与波纹管一体轴（21）连接处设置有支点轴（16），所述连杆支撑板（17）上表面前端设置有四个转动底座（20），所述转动底座（20）之间设置有摆动杆（9），所述摆动杆（9）与转动底座（20）连接处设置有转动轴（14），所述摆动杆（9）一端与波纹管一体轴（21）连接，所述摆动杆（9）与波纹管一体轴（21）通过摆动轴（15）连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述花键轴（4）前端设置有限位框（10），所述限位框（10）后端与花键轴（4）插入配合且位于上滑块（6）与弹簧（12）之间，所述连杆支撑板（17）上表面且位于花键轴（4）前端设置有限位导向板（11），所述限位导向板（11）与限位框（10）插入配合。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述波纹管一体轴（21）上端波纹管与腔体连接板（3）连接处设置有密封圈，所述阀门板（23）外表面包裹有密封垫。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述外框架（13）内部呈阵列开设有安装孔（30）。
5.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述限位导向板（11）上端内部设置有接触传感器模块，所述腔体连接板（3）前表面设置有显示灯（31），所述显示灯（31）与接触传感器模块电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线上的低振动真空阀门，其特征在于：所述转动轴（14）、摆动轴（15）与支点轴（16）外表面设置有锌镀层。
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