CN208982677U - 一种平推伞形高真空插板阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔和气缸安装门，所述气缸安装门外侧安装有气缸轴密封，所述气缸轴密封前端安装有插板阀气缸，所述阀体真空腔一端安装有阀体安装门，所述阀体真空腔内部安装有伞形撑杆，所述伞形撑杆下方安装有支撑块，所述伞形撑杆一侧设有支撑板，所述支撑板另一侧设有密封板，所述支撑板内侧面焊接有支撑板冷却水道。本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对不同工艺可以进行不同的工艺优化设计，机械节拍可以达到60‑90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

Description

一种平推伞形高真空插板阀

技术领域

本实用新型涉及连续镀膜生产技术领域，具体为一种平推伞形高真空插板阀。

背景技术

大型的高温高真空插板阀一直都是大型真空连续腔体真空隔离的难点和重点所在。目前连续装饰镀膜、连续工具镀膜、高温连续真空处理炉和光学镀膜镀膜行业广泛存在不能有效隔离的问题。阀板跨度大，在玻璃和装饰镀膜领域，装载盘(或者装载架)跨度已经需要2-4米跨度，对插板阀的设计提出了很高的要求，且阀板的高度大，在装饰镀膜和高温退火连续炉领域，由于产能的要求，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性，工作环境温度高，在工具镀膜和高温退火连续炉领域需要炉体的温度到达300摄氏度，高温退火连续炉甚至需要到1100摄氏度，节拍块，由于工业化的生产，需要快节拍生产，一般连续运行节拍最快在60-90秒，高真空隔离有效性和稳定性，插板阀最要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种平推伞形高真空插板阀，具备通过性高，成品率高的特点，解决了现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔和气缸安装门，所述气缸安装门外侧安装有气缸轴密封，所述气缸轴密封前端安装有插板阀气缸，所述阀体真空腔一端安装有阀体安装门，所述阀体真空腔内部安装有伞形撑杆，所述伞形撑杆下方安装有支撑块，所述伞形撑杆一侧设有支撑板，所述支撑板另一侧设有密封板，所述伞形撑杆将支撑板和密封板连接在一起，所述支撑板内侧面焊接有支撑板冷却水道，所述密封板的内侧面焊接有密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道和密封板冷却水道密封连接有冷却水进出分水头，所述冷却水进出分水头上端串通连接有冷却水进出管，所述冷却水进出管一端下侧设有压缩空气进气口，所述冷却水进出管串通连接气缸安装门，所述冷却水进出管与气缸安装门的连接处设有冷却水进出轴密封，所述冷却水进出轴密封紧固连接于气缸安装门中部，所述冷却水进出管和冷却水进出轴密封连接，所述阀体真空腔中部设有阀体导向座，所述阀体导向座两侧设有阀体真空腔，所述阀体真空腔两侧内壁固定连接有限位块，所述阀体真空腔中部设有膨胀波纹管，所述膨胀波纹管左侧安装有进气道，所述膨胀波纹管上方和下方均安装有拉紧弹簧，所述阀体导杆通过导杆安装座紧固连接于阀体真空腔内壁。

优选的，所述冷却水进出管通过冷却水进出分水器与外部进出水法兰连接。

优选的，所述膨胀波纹管、伞形撑杆和拉紧弹簧均位于密封板冷却水道和支撑板冷却水道之间。

优选的，所述插板阀气缸中部设有气缸轴，所述气缸轴与支撑板之间设有连轴器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性，允许的隔离温度到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，高真空隔离有效性和稳定性，插板阀最要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的立体图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型的俯视图。

图中：1、阀体真空腔；2、阀体安装门；3、气缸安装门；4、阀体导杆；5、气缸轴密封；6、冷却水进出分水器；7、插板阀气缸；8、冷却水进出轴密封；9、冷却水进出管；10、冷却水进出分水头；11、伞形撑杆；12、阀体导向座；13、限位块；14、拉紧弹簧；15、膨胀波纹管；16、进气道；17、支撑块；18、支撑板；181、支撑板冷却水道；19、密封板；191、密封板冷却水道；20、压缩空气进气口；21、导杆安装座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔1和气缸安装门3，气缸安装门3外侧安装有气缸轴密封5，气缸轴密封5前端安装有插板阀气缸7，插板阀气缸7中部设有气缸轴，气缸轴与支撑板之间设有连轴器，阀体真空腔1一端安装有阀体安装门2，阀体真空腔1内部安装有伞形撑杆11，伞形撑杆11可以将支撑板18和密封板19撑开，并将支撑板18推到与限位块13接触并顶住，伞形撑杆11下方安装有支撑块17，伞形撑杆11一侧设有支撑板18，支撑板18另一侧设有密封板19，伞形撑杆11将支撑板18和密封板19连接在一起，支撑板18内侧面焊接有支撑板冷却水道181，密封板19的内侧面焊接有密封板冷却水道191，支撑板冷却水道181和密封板冷却水道191密封连接有冷却水进出分水头10，冷却水进出分水头10上端串通连接有冷却水进出管9，冷却水进出管9通过冷却水进出分水器6与外部进出水法兰连接，冷却水进出管9一端下侧设有压缩空气进气口20，冷却水进出管9串通连接气缸安装门3，冷却水进出管9与气缸安装门3的连接处设有冷却水进出轴密封8，冷却水进出轴密封8紧固连接于气缸安装门3中部，冷却水进出管9和冷却水进出轴密封8连接，阀体真空腔1中部设有阀体导向座12，阀体导向座12两侧设有阀体真空腔1，阀体真空腔1两侧内壁固定连接有限位块13，阀体真空腔1中部设有膨胀波纹管15，所述膨胀波纹管15之间平行排列，伞形撑杆11位于膨胀波纹管15之间，膨胀波纹管15、伞形撑杆11和拉紧弹簧14均位于密封板冷却水道191和支撑板冷却水道181之间，膨胀波纹管15左侧安装有进气道16，膨胀波纹管15上方和下方均安装有拉紧弹簧14，阀体导杆4通过导杆安装座21紧固连接于阀体真空腔1内壁。

工作原理：当高温真空插板隔阀关闭时，两个插板阀气缸7由后往前充气，通过气缸安装门3上的气缸轴密封5装置，将支撑板18沿着阀体导杆4推向阀体真空腔1的阀体安装门方向2，直到与支撑块17接触并限位块13，在通过由压缩空气进气口20经由进气道16进入膨胀波纹管15内部将波纹管膨胀伸长，并继续加压推动，通过伞形撑杆11将支撑板18和密封板19撑开，将支撑板18推到与限位块13接触并顶住，将密封板19的密封圈推向与阀体真空腔1的内密封面紧密接触达到真空密封，当高温真空插板隔离阀开启时，压缩空气放气，膨胀波纹管15自由状态，由拉紧弹簧14将支撑板18和密封板19拉紧，两个插板阀气缸7由后往前充气，气缸轴通过紧固与气缸安装门3上的气缸轴密封5，将与气缸轴通过联轴器连接的支撑板18沿着阀体导杆4推向阀体真空腔1气缸安装门3方向，将阀门打开。

综上所述：本实用新型的平推伞形高真空插板阀，有效的解决了大跨度大高度的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性，对工件箱(或装载架)高度需要达到1.5米的通过性，允许的隔离温度到达300摄氏度，优化设计后可以达到高温退火连续至需要的1100摄氏度，高真空隔离有效性和稳定性，插板阀最要进行空气与真空隔离、真空压差隔离、真空工艺气氛隔离和温差隔离，对不同工艺需要进行不同的工艺优化设计，经过调校后，机械节拍达到了60-90秒，实现了电气的全自动化控制，可以和全自动化生产线配合使用，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种平推伞形高真空插板阀，包括阀体真空腔(1)和气缸安装门(3)，其特征在于：所述气缸安装门(3)外侧安装有气缸轴密封(5)，所述气缸轴密封(5)前端安装有插板阀气缸(7)，所述阀体真空腔(1)一端安装有阀体安装门(2)，所述阀体真空腔(1)内部安装有伞形撑杆(11)，所述伞形撑杆(11)下方安装有支撑块(17)，所述伞形撑杆(11)一侧设有支撑板(18)，所述支撑板(18)另一侧设有密封板(19)，所述伞形撑杆(11)将支撑板(18)和密封板(19)连接在一起，所述支撑板(18)内侧面焊接有支撑板冷却水道(181)，所述密封板(19)的内侧面焊接有密封板冷却水道(191)，所述支撑板冷却水道(181)和密封板冷却水道(191)密封连接有冷却水进出分水头(10)，所述冷却水进出分水头(10)上端串通连接有冷却水进出管(9)，所述冷却水进出管(9)一端下侧设有压缩空气进气口(20)，所述冷却水进出管(9)串通连接气缸安装门(3)，所述冷却水进出管(9)与气缸安装门(3)的连接处设有冷却水进出轴密封(8)，所述冷却水进出轴密封(8)紧固连接于气缸安装门(3)中部，所述冷却水进出管(9)和冷却水进出轴密封(8)连接，所述阀体真空腔(1)中部设有阀体导向座(12)，所述阀体导向座(12)两侧设有阀体真空腔(1)，所述阀体真空腔(1)两侧内壁固定连接有限位块(13)，所述阀体真空腔(1)中部设有膨胀波纹管(15)，所述膨胀波纹管(15)左侧安装有进气道(16)，所述膨胀波纹管(15)上方和下方均安装有拉紧弹簧(14)，阀体导杆(4)通过导杆安装座(21)紧固连接于阀体真空腔(1)内壁。

2.根据权利要求1所述的一种平推伞形高真空插板阀，其特征在于：所述冷却水进出管(9)通过冷却水进出分水器(6)与外部进出水法兰连接。

3.根据权利要求1所述的一种平推伞形高真空插板阀，其特征在于：所述膨胀波纹管(15)、伞形撑杆(11)和拉紧弹簧(14)均位于密封板冷却水道(191)和支撑板冷却水道(181)之间。

4.根据权利要求1所述的一种平推伞形高真空插板阀，其特征在于：所述插板阀气缸(7)中部设有气缸轴，所述气缸轴与支撑板(18)之间设有连轴器。