CN116967796A - 一种气浮直线平台的移动组件 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气浮直线平台的移动组件，属于精密加工技术领域，本移动组件包括活动配合的气浮台与承重台，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承用于实现气浮台相对于承重台处于悬浮状态；气浮台的上表面配置有第一槽体，第一槽体的内部设有第一基体，第一基体与气浮台柔性连接。本发明稳定性高，能够确保第一基体的水平度，可降低气锤振动的影响，便于物料的精密加工；并且第一基体与气浮台之间设置间隔，可降低磨损，保证装置的正常运作。

Description

一种气浮直线平台的移动组件

技术领域

本发明属于精密加工技术领域，具体涉及一种气浮直线平台的移动组件。

背景技术

在精密加工、精密测量及半导体等行业中直线运动平台得到广泛的应用，而随着这些行业的不断发展，对于直线运动平台的运行精度要求也越来越高。气浮平台因其无接触支撑，能够快速运动和精准定位，而得到越来越广泛的应用。

授权号为KR102563826B1的发明涉及一种超精密空气轴承线性台装置，根据该发明的实施例，超精密空气轴承线性台装置包括台主体、从上述主体的上部向左右两侧隔开配置、在上述主体的前后方向线性移动的多个X轴单元、在上述多个X轴单元之间交叉配置、向上述主体的左右方向线性移动的多个Y轴单元、将空气供给到上述多个Y轴单元中的至少一个的空气箱、及控制从上述气箱向上述气箱供给的空气流量。

公开号为WO2022028260A1的发明申请提供了一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台，包括：气浮导轨、刚柔耦合平台、驱动组件、检测组件和接触切换装置；刚柔耦合平台包括框架、工作平台和柔性铰链组件；工作平台与框架通过柔性铰链组件连接。工作时各组成部件相互配合，由气浮导轨实现长行程运动，通过刚柔耦合平台的柔性铰链弹性形变实现纳米级定位；当运动行程大于柔性铰链最大形变时，接触切换装置控制框架与气浮导轨之间切换为非接触状态，刚柔耦合平台自由运动；当运动平台位移误差小于柔性铰链最大变形后，将框架与气浮导轨之间切换为接触状态，消除刚柔耦合平台框架在气浮导轨上的波动，此时工作平台的位移完全由柔性铰链形变产生，能够实现纳米平台的精度。

但在现有的气浮平台中，气浮支撑多采用小孔节流的方式，气浮导轨和气浮块之间很容易发生抱死现象，同时小孔节流的方式很容易发生气锤自激现象，导致设备出现高频啸叫、失稳，刚性差，定位精度低，以及所承受负载能力差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种稳定性强、磨损度低的气浮直线平台的移动组件，能够提高定位精准度，可降低气锤振动的影响。

本发明为实现上述目的所采取的技术方案为：

一种气浮直线平台的移动组件，包括活动配合的气浮台与承重台，气浮台与气浮轴承相配合，气浮轴承充气时，在气浮轴承与气浮台的间隙形成气膜，能够实现气浮台相对于承重台上的导轨处于悬浮状态；气浮台的上表面配置有第一槽体，第一槽体的内部设有第一基体，第一基体配置有承载台用于放置带移动的物品。第一基体与气浮台柔性连接。

气浮台与直线电机相配合，实现气浮台沿承重台的长度方向直线往复移动。直线电机包括定子和动子，其中定子固定安装在承重台的上表面，并且定子沿承重台的长度方向延伸，动子与气浮台的下表面相连，动子与定子配合能够驱动气浮台实现直线往复移动，并可停止在特定位置。

采用上述技术方案，第一槽体的设置既为运载物料的承载台提供了安装位点，还不影响气浮台及其下方的直线电机等部件的安装。由于第一基体与气浮台之间的柔性连接关系，在气浮轴承排出的气流不稳定时，仍能确保第一基体的水平度，从而确保所运送的物料的稳定性，进而保证加工过程中的精度。此外，第一基体与第一槽体的配合，使得第一基体的底面以及四周与气浮台之间均存在间隔空间，如此若出现杂质或杂物在气浮台上移动，会使杂质先进入到第一槽体内部的，从而降低杂质或杂物与第一基体和承载台的接触几率，从而加强对承载台及其上物料的保护，降低磨损。另，在气浮轴承与气浮台之间因气锤自激作用而发生振动时，第一基体与气浮台柔性连接，可避免与气浮台等部件共振，因此可降低对承载台上物料的影响，并可通过第一基体相对于气浮台的移动保持承载台与物料的稳定性。

第一基体与气浮台之间有一定的间隔距离，能够避免或减弱物料加工过程中产生的热量对气浮台以及气浮轴承等组件的影响，也可削弱移动组件中的磁性部件对第一基体上移送的物料的影响。

根据本发明的一种实施方式，第一基体的下方配置有第一减振组件，第一减振组件包括连接柱，连接柱的底部与第一槽体的槽底相连，第一基体的底部设有安装孔，连接柱的顶部套设在安装孔的内部。

连接柱的外部套设有缓冲基件，缓冲基件包括两个连接环和设于两个连接环之间的橡胶环，橡胶环配置有凸起部，凸起部与上下两个连接环抵接。

由此，通过第一减振组件实现第一基体与气浮台在竖直方向上的柔性连接。橡胶环设置在两个连接环之间，通过凸起部扩大两个连接环之间的间距，并且实现该间距的可变性，从而使得第一基体与第一槽体的槽底之间的间距可以变化。而凸起部的设置，不影响气浮轴承排出的气体的流动，并且扩大了缓冲基件与气流的接触面积，从而可提高第一减振组件对气膜的敏感性，可在发生气锤自激现象的第一时间进行应对，降低气锤现象对部件的影响。利用缓冲基件中橡胶环的形变可吸收和消耗振动能量，从而避免气浮轴承与气浮台之间的振动影响第一基体上的物料，提高第一基体的水平度，并可通过缓冲基件的缓冲作用防止第一基体与气浮台共振，降低磨损度；并且，第一减振组件的存在也会限制气浮台的振动幅度，从而避免气浮台与气浮轴承共振，从而减弱气锤现象的影响。

根据本发明的一种实施方式，连接柱配置有台阶部，第一基体朝向台阶部的一侧配置有环槽；缓冲基件设于台阶部与环槽之间。

进一步的，连接柱上至少设置两个台阶部，其中一个台阶部设于第一基体与气浮台之间，另有一个台阶部设于第一基体的上方，位于连接柱末端与第一基体上表面之间。

连接环远离橡胶环的一侧设有第一凹槽，第一凹槽与台阶部或第一基体上的环槽相配合。

由此，环槽、台阶部与连接环上的第一凹槽相配合，进一步扩大了缓冲基件的形变空间，提高缓冲基件的减振效果，从而降低气浮台振动对第一基体的影响。

根据本发明的一种实施方式，第一基体的侧方配置有第二减振组件，第二减振组件包括伸缩杆，伸缩杆的固定杆与第一基体的侧壁相连，伸缩杆的活动杆与第一槽体的内侧壁相连。伸缩杆的外部套设有第一弹簧。第一弹簧的两端分别与第一基体、气浮台相配合。

如此，通过第二减振组件实现第一基体与气浮台在水平方向上的柔性连接，对第一基体四周起到减振效果，进一步确保第一基体的水平度，有助于保持其与第一槽体内壁之间的间距。在外部振动的影响下，第一弹簧发生形变的同时伸缩杆的活动杆相对于固定杆伸缩活动，从而实现对第一基体侧壁与第一槽体内侧壁之间间距的调节。

根据本发明的一种实施方式，伸缩杆包括固定杆和活动杆，伸缩杆的活动杆套设在所述固定杆的内部，并且伸缩杆的活动杆能相对于固定杆沿轴线伸缩移动。伸缩杆活动杆的外部套设有橡胶套，伸缩杆固定杆的外部套设有限位套，橡胶套与限位套抵接，橡胶套与限位套均设于第一弹簧的内侧。

如此，气浮台因气锤现象而振动时，在第一弹簧与伸缩杆发生伸缩的过程中橡胶套与限位套配合也发生形变，能够提高对振动能量的吸收与消耗效果，缩短第二减振组件的响应时间，通过第一弹簧与伸缩杆的配合减弱气锤现象对第一基体的影响。

根据本发明的一种实施方式，伸缩杆活动杆的末端套设有装配基体，装配基体的一端与橡胶套抵接，装配基体的另一端与气浮台连接。

根据本发明的一种实施方式，装配基体的内部配置有漏斗状腔体，腔体内部设有限位环体，限位环体的外壁与装配机体的内壁抵接，伸缩杆的活动杆穿过装配基体并与限位环体配合连接。

限位环体套设在伸缩杆的外部；限位环体为锥形或近似锥形结构，限位环体的外壁与装配基体的内壁抵接，限位环体的内部与伸缩杆之间设有间隙。

装配基体内部漏斗状腔体的设置，使得在伸缩杆伸缩的过程中可以与第一基体的侧壁之间形成一定的夹角，从而扩大第一基体的活动范围，增强缓冲效果，并可防止第一基体倾斜，保持水平度。利用装配基体中设置限位环体，能够吸收伸缩杆摆动过程中的振动能量，防止产生转动异响。

根据本发明的一种实施方式，限位套包括两个相对设置的限位单体，限位单体为圆桶型结构，并且限位单体的一端向外扩散，两个限位单体的扩散端抵接。

进一步的，限位单体包括固定环体和条形板，固定环体套设在伸缩杆的外部，多个条形板圆周阵列布设在固定环体的外缘，条形板的一端与固定环体相连，多个条形板朝向固定环体的同侧设置；条形板远离固定环体的一端配置有向外延伸的延伸弯板；两个限位单体的延伸弯板抵接。

在伸缩杆因振动而收缩的过程中，振动能量会沿伸缩杆、橡胶套以及限位套等部件传递，限位套的受力会传导至延伸弯板上，由于两个限位单体抵接的结构，延伸弯板受力会导致其向外延伸，致使其与外侧的第一弹簧接触，可提高第一弹簧与伸缩杆的同轴度，从而能够解决减振过程中第一弹簧偏移的问题，并且在确保第一弹簧和伸缩杆的同轴度的情况下，有助于确保第二减振组件是沿直线方向进行减振，尽可能的缩小伸缩杆相对于气浮台的角度，降低第一基体在某个位置上下晃动的可能性，提高结构稳定性。

由于气浮台的振动幅度是相对低的，可设置限位套的外径设置的和第一弹簧内径接近，可以提高敏感度，如此在轻微振动的时候，就容易导致延伸弯板的形变，而延伸弯板的轻微形变便可影响到附近的第一弹簧。

根据本发明的一种实施方式，气浮轴承设于气浮台的下方，气浮轴承的顶部设有多孔质板，多孔质板与气浮台相对设置。

进一步的，气浮轴承的上表面配置有安装槽，多孔质板嵌设在安装槽内。浮轴承充气后，在高压气流的作用下多孔质板会向靠近气浮台的方向移动。安装槽的槽口配置有法兰环，用于与多孔质板的边缘相配合。多孔质板的外缘设有第二凹槽，第二凹槽与气浮轴承的法兰环相对设置，经由法兰环的限制可防止多孔质板脱落。

进一步的，安装槽的槽底配置有第三凹槽。第三凹槽与多孔质板的边缘相对设置。

利用多孔质板能够提高气浮轴承排出气流的均衡性，从而提高气浮轴承上浮过程的平稳性，避免气浮台端面不平或径向跳动。

进一步的，多孔质板与气浮轴承的上表面之间配置有过滤件。过滤件设置在气浮轴承的出气端，并且气浮轴承上的第三凹槽与过滤件相对设置。

过滤件包括两个相对设置的过滤板，过滤板上配置有滤孔。两个过滤板之间配置有导流板，导流板为弧形板材，多个导流板圆周阵列设置在两个过滤板之间，两个过滤板的外缘设有滤网，滤网将多个导流板包裹在内。

相对于现有技术而言，本发明具有如下有益效果：

1. 第一基体与第一槽体的配合，使得第一基体的底面以及四周与气浮台之间均存在间隔空间，可降低杂质对第一基体及其外物料的影响，降低磨损，还可避免或减弱物料加工过程中产生的热量对气浮台以及气浮轴承等组件的影响；

2. 通过第一减振组件实现第一基体与气浮台在竖直方向上的柔性连接，通过第二减振组件实现第一基体与气浮台在水平方向上的柔性连接，如此，对第一基体起到减振效果，减弱气锤现象的影响，确保第一基体的水平度，有助于保持其与第一槽体内壁之间的间距；

3. 第一减振组件中缓冲基件设置连接环和橡胶环，扩大了缓冲基件与气流的接触面积，从而可提高第一减振组件对气膜响应灵敏度，避免产生共振，防止磨损，减弱气锤作用的影响；

4. 第二减振组件中限位套的设置可提高第一弹簧与伸缩杆的同轴度，有助于确保第二减振组件是沿直线方向进行减振，尽可能的缩小伸缩杆相对于气浮台的角度，降低第一基体在某个位置上下晃动的可能性，提高结构稳定性。

因此，本发明是一种稳定性强、磨损度低的气浮直线平台的移动组件，可降低气锤振动的影响，提高定位精准度。

附图说明

图1为根据本发明实施例1的气浮直线平台的移动组件的结构示意图；

图2为根据本发明实施例1的第一减振组件的结构示意图；

图3为图2中A部的局部放大示意图；

图4为根据本发明实施例1的第二减振组件的结构示意图；

图5图4所示第二减振组件的装配结构示意图；

图6为图5中B部的局部放大示意图；

图7为图5所示限位单体的结构示意图；

图8为根据本发明实施例2的气浮直线平台的移动组件的结构示意图；

图9为图8所示气浮轴承的结构示意图；

图10为图9所示过滤件的结构示意图；

图11为图10所示过滤件的内部结构示意图；

图12为图8所示的弹簧支撑件的结构示意图。

附图标号：承重台10；直线电机11；行程限位器12；气浮台20；第一槽体21；第一基体22；承载台23；第一减振组件30；连接柱31；台阶部311；连接套32；缓冲基件33；连接环34；橡胶环35；凸起部36；环槽37；第一凹槽38；第二减振组件40；伸缩杆41；第一弹簧42；橡胶套43；装配基体44；限位环体45；限位套50；限位单体51；固定环体52；条形板53；延伸弯板54；第一斜面61；第二斜面62；第二槽体63；气浮轴承70；多孔质板71；安装槽72；法兰环73；第三凹槽74；第二凹槽75；过滤件80；过滤板81；导流板82；滤网83；弹簧支撑件90。

具体实施方式

以下结合具体实施方式和附图对本发明的技术方案作进一步详细描述。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1

图1~图7示意性的显示了根据本发明一实施方式的气浮直线平台的移动组件。如图所示，本装置包括活动配合的气浮台20与承重台10，气浮台20与气浮轴承70相配合，气浮轴承70充气时，在气浮轴承70与气浮台20的间隙形成气膜，能够实现气浮台20相对于承重台10上的导轨处于悬浮状态；气浮台20的上表面配置有第一槽体21，第一槽体21的内部设有第一基体22，第一基体22配置有承载台23用于放置带移动的物品。第一基体22与气浮台20柔性连接。第一槽体21的设置既为运载物料的承载台23提供了安装位点，还不影响气浮台20及其下方的直线电机11等部件的安装。

气浮台20与直线电机11相配合，实现气浮台20沿承重台10的长度方向直线往复移动。直线电机11包括定子和动子，其中定子固定安装在承重台10的上表面，并且定子沿承重台10的长度方向延伸，动子与气浮台20的下表面相连，动子与定子配合能够驱动气浮台20实现直线往复移动，并可停止在特定位置。

进一步的，承重台10的上表面配置有光栅尺，气浮台20配置有光栅读数头，利用光栅读数头与光删尺相配合能够对气浮台20的运行进行精准定位。

承重台10上配置有行程限位器12，用于限制气浮台20的行程范围，防止气浮台20在直线移动的过程中发生脱轨。

第一基体22的下方配置有第一减振组件30用于与第一槽体21的槽体相配合，其侧方配置有第二减振组件40用于与第一槽体21的内侧壁相配合。

第一减振组件30包括连接柱31，连接柱31的底部与第一槽体21的槽底相连，第一基体22的底部设有安装孔，连接柱31的顶部套设在该安装孔的内部。连接柱31上设置有上下两个台阶部311，其中一个台阶部311设于第一基体22与气浮台20之间，另一个台阶部311设于第一基体22的上方，位于连接柱31末端与第一基体22上表面之间。

连接柱31的外部还套设有缓冲基件33。缓冲基件33包括两个连接环34和设于两个连接环34之间的橡胶环35，橡胶环35配置有凸起部36，凸起部36与上下两个连接环34抵接。第一基体22朝向所述台阶部311的一侧配置有环槽37；缓冲基件33设于台阶部311与环槽37之间。缓冲基件33中的一个连接环34嵌设在环槽37的内部。

进一步的，连接柱31的外部套设有连接套32，连接套32套设于连接柱31与缓冲基件33之间。缓冲基件33通过与连接套32抵接实现与台阶部311以及第一基体22的配合。

橡胶环35设置在两个连接环34之间，通过凸起部36扩大两个连接环34之间的间距，并且实现该间距的可变性，从而使得第一基体22与第一槽体21的槽底之间的间距可以变化。而凸起部36的设置，不影响气浮轴承70排出的气体的流动，并且扩大了缓冲基件33与气流的接触面积，从而可提高第一减振组件30对气膜的敏感性，可在发生气锤自激现象的第一时间进行应对，降低气锤现象对部件的影响。通过缓冲基件33的缓冲作用防止第一基体22与气浮台20共振，降低磨损度；并且，第一减振组件30的存在也会限制气浮台20的振动幅度，从而避免气浮台20与气浮轴承70共振，从而减弱气锤现象的影响。此外，利用缓冲基件33中橡胶环35的形变可吸收和消耗振动能量，从而避免气浮轴承70与气浮台20之间的振动影响第一基体22上的物料，提高第一基体22的水平度。

连接环34远离橡胶环35的一侧设有第一凹槽38，第一凹槽38与台阶部311的台面或第一基体22上环槽37的槽底相对设置。环槽37、台阶部311与连接环34上的第一凹槽38相配合，进一步扩大了缓冲基件33的形变空间，提高缓冲基件33的减振效果，从而降低气浮台20振动对第一基体22的影响。

第二减振组件40包括伸缩杆41，伸缩杆41设有固定杆和活动杆，其中伸缩杆41的固定杆与第一基体22的侧壁固定连接，伸缩杆41的活动杆与第一槽体21的内侧壁相连。伸缩杆41的活动杆套设在固定杆的内部，并且伸缩杆41的活动杆能够相对于固定杆沿轴线伸缩移动。如此，伸缩杆41的活动杆相对于固定杆往返移动，可调节第一基体22与气浮台20之间的间距。伸缩杆41的外部套设有第一弹簧42。第一弹簧42的两端分别与第一基体22、气浮台20相配合。

如此，通过第二减振组件40实现第一基体22与气浮台20在水平方向上的柔性连接，对第一基体22四周起到减振效果，进一步确保第一基体22的水平度，有助于保持其与第一槽体21内壁之间的间距。在外部振动的影响下，第一弹簧42发生形变的同时伸缩杆41的活动杆相对于固定杆伸缩活动，从而实现对第一基体22侧壁与第一槽体21内侧壁之间间距的调节。

具体的，伸缩杆41活动杆的外部套设有橡胶套43，伸缩杆41固定杆的外部套设有限位套50，橡胶套43与限位套50抵接，橡胶套43与限位套50均设于第一弹簧42的内侧。

如此，气浮台20因气锤现象而振动时，在第一弹簧42与伸缩杆41发生伸缩的过程中橡胶套43与限位套50配合也发生形变，能够提高对振动能量的吸收与消耗效果，缩短第二减振组件40的响应时间，第一弹簧42与伸缩杆41在气锤现象发生的第一时间响应，并通过彼此间的形变配合减弱气锤现象对第一基体22的影响。橡胶套43上沿轴线设置多个环状沟槽，如此可提高橡胶套43形变的敏感度。

伸缩杆41活动杆的末端套设有装配基体44，装配基体44的一端与橡胶套43抵接，装配基体44的另一端与气浮台20固定连接。装配基体44的内部配置有漏斗状腔体，腔体内部设有限位环体45，限位环体45套设在伸缩杆41的外部；限位环体45为锥形或近似锥形结构，限位环体45的外壁与装配基体44的内壁抵接，限位环体45的内部与伸缩杆41之间设有间隙。装配基体44内部漏斗状腔体的设置，使得在伸缩杆41伸缩的过程中可以与第一基体22的侧壁之间形成一定的夹角，从而扩大第一基体22的活动范围，增强缓冲效果。

限位套50包括两个相对设置的限位单体51，限位单体51为圆桶型结构，并且限位单体51的一端向外扩散，两个限位单体51的扩散端抵接。

限位单体51包括固定环体52和条形板53，固定环体52套设在伸缩杆41的外部，多个条形板53圆周阵列布设在固定环体52的外缘，条形板53的一端与固定环体52相连，多个条形板53朝向固定环体52的同侧设置；条形板53远离固定环体52的一端配置有向外延伸的延伸弯板54；两个限位单体51的延伸弯板54抵接。

在伸缩杆41因振动而收缩的过程中，振动能量会沿伸缩杆41、橡胶套43以及限位套50等部件传递，限位套50的受力会传导至延伸弯板54上，由于两个限位单体51抵接的结构，延伸弯板54受力会导致其向外延伸，致使其与外侧的第一弹簧42接触，可提高第一弹簧42与伸缩杆41的同轴度，从而能够解决减振过程中第一弹簧42偏移的问题，并且在确保第一弹簧42和伸缩杆41的同轴度的情况下，有助于确保第二减振组件40是沿直线方向进行减振，尽可能的缩小伸缩杆41相对于气浮台20的角度，降低第一基体22在某个位置上下晃动的可能性，提高结构稳定性。

限位单体51中，相邻的两个条形板53之间留有一定的间隔，如此，有助于气体的流动。在伸缩杆41伸缩的过程中，限位套50附近的气体被圆周阵列分布的条形板53分割，可均匀的流入或流出限位单体51的内部，从而提高第二减振组件40运作的稳定性，防止出现卡顿、避免出现异响。

由于气浮台20的振动幅度是相对低的，可设置限位套50的外径设置的和第一弹簧42内径接近，可以提高敏感度，如此在轻微振动的时候，就容易导致延伸弯板54的形变，而延伸弯板54的轻微形变便可影响到附近的第一弹簧42。

本实施例的移动组件中，由于第一基体22与气浮台20之间的柔性连接关系，在气浮轴承70与气浮台20之间因气锤自激作用而发生振动时，仍能确保第一基体22的水平度，从而确保所运送的物料的稳定性，降低气锤现象对物料的影响。此外，第一基体22与第一槽体21的配合，使得第一基体22的底面以及四周与气浮台20之间均存在间隔空间，如此若出现杂质或杂物在气浮台20上移动，会使杂质先进入到第一槽体21内部的，从而降低杂质或杂物与第一基体22和承载台23的接触几率，从而加强对承载台23及其上物料的保护，降低磨损。

第一基体22与气浮台20之间有一定的间隔距离，能够避免或减弱物料加工过程中产生的热量对气浮台20以及气浮轴承70等组件的影响，也可削弱移动组件中的磁性部件对第一基体22上移送的物料的影响。

实施例2

图8~图12示意性的显示了根据本发明另一实施方式的气浮直线平台的移动组件，与实施例1的不同之处在于：

承重台10上沿长度方向设置的两侧均配置有第一斜面61，气浮台20上相对设置的两个侧壁设有第二斜面62，第一斜面61与第二斜面62一一对应贴合设置。第二斜面62上设有第二槽体63，气浮轴承70则嵌设在第二槽体63的内部，并且气浮轴承70的出气端朝向第二斜面62设置。如此，在气浮轴承70充气时，可在气浮轴承70与气浮台20之间形成气膜，实现气浮支撑。

气浮轴承70设于气浮台20的下方，气浮轴承70的顶部设有多孔质板71，多孔质板71与气浮台20相对设置，用于均衡气流。通过多孔质板71的设置，提高气浮轴承70排出的气流的均衡性，从而降低气锤现象发生的几率。

具体的，气浮轴承70的上表面配置有安装槽72，多孔质板71嵌设在安装槽72内。浮轴承充气后，在高压气流的作用下多孔质板71会向靠近气浮台20的方向移动。安装槽72的槽口配置有法兰环73，用于与多孔质板71的边缘相配合。多孔质板71的外缘设有第二凹槽75，第二凹槽75与气浮轴承70的法兰环73相对设置，经由法兰环73的限制可防止多孔质板71脱落。气浮轴承70顶部的安装槽72的槽底还设有第三凹槽74，第三凹槽74与多孔质板71的边缘相对设置。利用第三凹槽74与第二凹槽75能够对排出的气流进行分流和导向，有助于进一步提高气流的均衡性。第三凹槽74与第二凹槽75的设置，还对多孔质板71起到保护作用。气浮轴承70断气时气浮台20、多孔质板71均下落，第三凹槽74与第二凹槽75可容置部分气体，可在断气瞬间提供一定的缓冲作用，并且第三凹槽74与法兰环73的设置，避免了多孔质板71因其自身以及气浮台20下落的冲击力过大使而与气浮轴承70的表面冲击力度过大，避免多孔质板71表面微孔结构的损坏，或两者接触导致的气浮轴承70表面磨损或凹陷等问题。

多孔质板71的上下移动可以自动根据排气气流强度调节其与气浮轴承70上表面的间距和排气通道的面积，从而提高气流的均衡性和稳定性。从多孔质板71四周排出的气流能够相对的向其正上方方向流动，这样可以确保多孔质板71正面方向的气体压强，即保证气膜强度。

利用多孔质板71能够提高气浮轴承70排出气流的均衡性，从而提高气浮轴承70上浮过程的平稳性，避免气浮台20端面不平或径向跳动。

进一步的，多孔质板71与气浮轴承70的上表面之间配置有过滤件80。过滤件80设置在气浮轴承70的出气端，并且气浮轴承70上的第三凹槽74与过滤件80相对设置。

过滤件80包括两个相对设置的过滤板81，过滤板81上配置有滤孔。两个过滤板81之间配置有导流板82，导流板82为弧形板材，多个导流板82圆周阵列设置在两个过滤板81之间，两个过滤板81的外缘设有滤网83，滤网83将多个导流板82包裹在内。

过滤件80的设置能够实现对气流中颗粒物的截留，提高气流的洁净度，还有助于将气体中的水分分散开来，缩小水体的粒径。用导流板82使气体形成螺旋外排的气流，并从多孔质结构外排出去；旋转气流的产生也有助于气流中水体的进一步分散，防止水体残留在多孔质板71、气浮台20的表面。

过滤件80能够对多孔质板71结构起到一定的缓冲作用，在没有气体外排的情况下，多孔质板71的上下移动可能也会因为自身重力而冲击气浮轴承70的表面，过滤件80的存在可降低多孔质板71与气浮轴承70的磨损度。

进一步的，气浮台20的第二斜面62上配置有弹簧支撑件90，弹簧支撑件90远离第二斜面62的一端朝向第一斜面61的设置。如此，在气浮轴承70断气、气浮台20下落的过程中，弹簧支撑件90能够通过弹性形变实现对气浮轴承70整体与气浮台20接触的缓冲，避免结构振动，降低磨损。

本发明的操作步骤中的常规操作为本领域技术人员所熟知，在此不进行赘述。

以上所述的实施例对本发明的技术方案进行了详细说明，应理解的是以上所述仅为本发明的具体实施例，并不用于限制本发明，凡在本发明的原则范围内所做的任何修改、补充或类似方式替代等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种气浮直线平台的移动组件，包括活动配合的气浮台（20）与承重台（10），所述气浮台（20）与气浮轴承（70）相配合，所述气浮轴承（70）用于实现所述气浮台（20）相对于所述承重台（10）处于悬浮状态；

其特征在于，

所述气浮台（20）的上表面配置有第一槽体（21），所述第一槽体（21）的内部设有第一基体（22），所述第一基体（22）与所述气浮台（20）柔性连接。

2.根据权利要求1所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述第一基体（22）的下方配置有第一减振组件（30），所述第一减振组件（30）包括连接柱（31），所述连接柱（31）的底部与所述第一槽体（21）的槽底相连，所述第一基体（22）的底部设有安装孔，所述连接柱（31）的顶部套设在所述安装孔的内部；

所述连接柱（31）的外部套设有缓冲基件（33），所述缓冲基件（33）包括两个连接环（34）和设于两个所述连接环（34）之间的橡胶环（35），所述橡胶环（35）配置有凸起部（36），所述凸起部（36）与上下两个所述连接环（34）抵接。

3.根据权利要求2所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述连接柱（31）配置有台阶部（311），所述第一基体（22）朝向所述台阶部（311）的一侧配置有环槽（37）；所述缓冲基件（33）设于所述台阶部（311）与所述环槽（37）之间。

4.根据权利要求1所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述第一基体（22）的侧方配置有第二减振组件（40），

所述第二减振组件（40）包括伸缩杆（41），所述伸缩杆（41）的一端与所述第一基体（22）的侧壁相连，所述伸缩杆（41）的另一端与所述第一槽体（21）的侧壁相连；所述伸缩杆（41）的外部套设有第一弹簧（42）。

5.根据权利要求4所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述伸缩杆（41）包括固定杆和活动杆，所述伸缩杆（41）的固定杆与所述第一基体（22）连接，所述伸缩杆（41）的活动杆套设在所述固定杆的内部，并且所述伸缩杆（41）的活动杆能相对于固定杆沿轴线伸缩移动，所述伸缩杆（41）的活动杆与第一槽体（21）的侧壁相连；

所述伸缩杆（41）活动杆的外部套设有橡胶套（43），所述伸缩杆（41）固定杆的外部套设有限位套（50），所述橡胶套（43）与所述限位套（50）抵接，所述橡胶套（43）与所述限位套（50）均设于所述第一弹簧（42）的内侧。

6.根据权利要求5所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述伸缩杆（41）活动杆的末端套设有装配基体（44），所述装配基体（44）的一端与所述橡胶套（43）抵接，所述装配基体（44）的另一端与所述气浮台（20）连接。

7.根据权利要求6所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述装配基体（44）的内部配置有漏斗状腔体，所述腔体内部设有限位环体（45），所述限位环体（45）的外壁与所述装配基体（44）的内壁抵接，所述伸缩杆（41）穿过所述装配基体（44）并与所述限位环体（45）连接。

8.根据权利要求5所述的一种气浮直线平台的移动组件，其特征在于，

所述限位套（50）包括两个相对设置的限位单体（51），所述限位单体（51）为圆桶型结构，并且所述限位单体（51）的一端向外扩散，两个所述限位单体（51）的扩散端抵接。